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An der Pumpe arbeitender Korpuskularstrahlapparat Bei an: der Pumpe
arbeitenden Korpuskularstrahlapparaten, beispielsweise Elektronennukroskopen, müssen
Einrichtungen vorgesehen sein, um den Innenraum des Apparates wahlweises mit der
Außenluft mit Einer Vorvakuumpumpe oder mit der Hochvakuumpumpe zu verbinden. Solche
Einrichtungen werden insbesondere dafür gebraucht, um in das Innere des Gefäßes
Objekte und Fotomaterial einzubringen. bzw. diese Gegenstände daraus zu entnehmen.
Für die Umschaltung der einzelnen Vakuumwege ran der Fotoschleuse von Elektronenmikroskopen
hat man bisher Metal:lh:ahnküken verwendet. Da solche Küken mechanisch leicht beschädigt
werden können und sie zudem, wenn sie sicher arbeiten sollen, auch des öfteren gefettet
werden müssen, besteht das Bedürfnis nach einer Einrichtung, die die gewünschten
Umschaltungen in anderer Weise sicher durchzuführen gestattet. Diie Erfindung zeigt
hierfür einen Werg. Erfindungsgemäß dienen., für die Umschaltung der einzelnen.
Vakuumwege vorzugsweise drei mit Trockendichtungen arbeitende Ventile, die mit Hilfeeines
durch einen Handgriff zu betätigenden Steuergestänges über Nockenschei!ben geöffnet
und geschlossen werden können. Man: hat auf diese Weise eine einfach zu bedienende,
ohne Vakuumfett' arbeitende Einrichtung, die alle gewünschten Schaltungen bei an
der Pumpe arbeitenden, Korpuskularstrahlapparaten durchzuführen gestattet. Die beweglichen
Ventilteile wird man vorzugsweise
durch Federkörper nach außen hin
abdichten. Das Ventilgehäuse kann .man gemäß der weiteren Erfindung mit Vorteil
unter Zwischenlage einer Trockendichtungsschevhe an einer Wand des Korpuskularstrahlapparates
befestigen. Diese Trockendichtungsscheibe wird 'dann gleich als Dichtungsmaterial
für das Ventil verwendet. Eine besonders einfache Konstruktion ergiibt sich, wenn.
man für alle Ventile ein gemeinsames Gehäuse verwendet. In diesem Gehäuse kann sich
dann eine mit der Auß.enl@uft ständig in Verbindung stehende Kammer :befinden. In
der zuletzt genannten Kammer wird man dann ein Ventil anordnen, das mit einer zur
Hochvakuumpumpe führenden Leitung zusammenarbeitet, während ein zweites Ventil in
dieser Kammer so angeordnet ist, :daß es mit einer zum Innenraum des Korpuskularstrahlapparates
führenden Leitung zusammenarbeitet. In der ständig mit :der Außenluft in Verbindung
stehenden Kammer wird man schließlich ein drittes. Ventil anordnen., das mit einer
zum Innenraum des Koxpuskularstrahlapparates führenden Leitung zusammenarbeitet.
Wenn man für alle bei der Steuerung erforderlichen Ventile ein gemeinsames Gehäuse
anwendet, wird mrän auch für alle Ventile eine gemeinsame durchgehende Trockendichtungsscheibo
verwenden, in der sich dann jeweils an der Stelle des Ventils entsprechende Bohrungen.
befinden, .die im Bereich der zu den Vakuumpumpen bzw. zum Innenraum des Korpuskularstrahlapparates
führenden Leitungen; liegen.
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Weitere für die Erfindung wesentliche Merkmale werden in den in den
Figuren dargestellten Ausführungsbeispielen behandelt.
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Fiig. i zeigt einen Querschnitt durch ein nach der Erfindung ausgeführtes,
mit einer Trockendichturig arbeitendes Ventil, Fig. 2 einen Schnitt durch ein etwas
anders konstruiertes, demselben Zweck dienendes Ventil, Fig. 3 eine Seitenansicht
der Ventilanordnung; in Fig. q. ist ein schematisches Bild der Ventilsteuerung in
Verbindung mit einer Fotoschleuse eines Elektronenmikroskops dargestellt; Fig. 5
zeigt .die einzelnen: Stellungen der Steuerwelle und Fig.6 eine Draufsicht auf den
Steuerapparat. In Fig. i ist mit i das Ventilgehäuse und mit 2 der- Ventilkörper
bezeichnet. Zum Steuern des Ventilkörpers dient eine Ventilstange 3, deren unteres
Ende bei 4. tellerförmig ausgebildet ist. Die Feder 5 drückt den Ventilkörper 2
gegen eine Trockendichtungsschei#be 6, in der sich bei 7 die zu verschließendeöffnung
befindet. Mit demC*häus-ei ist ein Wellkörper 8 verschraubt, dessen oberes Ende
an einem Druckkörper 9 befestigt ist, der mit einem Schaltnocken io zusammenarbeitet.
Der Druckkörper ist in einem Schlitten ii verschraubt, der in den Schienen 12 gleitet.
Mit 13 ist eine Ab,decldidübe der Steueranordnung bezeichnet.
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Bei der in Fi.g. 2 dargestellten Ausführungsform sind die entsprechenden
Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen. Im. diesem. Fall wird der Ventil-Celler
äq, .bei der Aufwärtsbewegung der Stange 3, welche unter Wirkung der Feder 5 bei
entsprechender Einstellung des Schaltnockens io erfolgt, durch die Scheibe 15 abgehoben,
die sich gegen den. Vorsprung 16 ,legt. Das Gehäuse i kann über eine Leitung 17
beispielsweise mit der Außenluft in Verbindung stehen.
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In den Fig. 3 bis 6 ist eine Anordnung dargestellt, bei der mit Hilfe
einer Steuerwelle ä8 und denn ihr zugeordneten Handgriff 32 drei .Ventile ig, 2o,
21 in einer bestimmten Reihenfolge betätigt werden können. Den Ventilen ist in diesem
Fall eine gemeinsame Trockendichtungsscheibe 23 zugeordnet.
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Das Gehäuse 24., welches für die drei Ventile gemeinsam ist, besitzt
eine Vakuumkammer 2'5 und eine Luftkammer 26; die Vakuumkammer 25 kann über eine
Hochvakuumleitung 27 mit der Hochvakuumpumpe und über eine Vorviakwumleitung 28
mit der Vorvakuumpumpe in Verbindung gebracht werden. Mit 2g. ist eine Leitung bezetiehnet;
die von der Kammer 25 zum Raum; 3o. des Korpuakularstrahlapparates führt. Eine ähnliche
Leiturig 3,1 ist zur Verbindung der Luftkammer 26 mit dem Innenraum 3iot .des Korpuskularstrahlapparates
vor-,gesehen. Mit den Leitungen 27,29 und 31 arbeiten drei. Ventile der in
Fig. i bzw. 2 dargestellten Art zusammen. In der Stellung i' ist die Schaltung so
getroffen, daß die ständig mit der Außenluft in Verbindung stehende Luftkammer 26
mit dem Raum1 3o verbunden ist. Dementsprechend ist dann; die Leitung 29, welche
dem. Raum 3(01 mit der Kammer 25 verbindet, durch das mittlere Ventil 2o geschlossen.
.Nach ,dem Drehen der Steuerwelle ä8 in -die Stellung 2' ist die Schaltung eingestellt,
bei der der Raum 30' an der Vorvnkuumpurape liegt. Dementsprechend ist in.
.diesem Fall durch das erste Ventil ig, die Hochvakuumleitung27 und das dritte Ventil
2i die Luftkammer 26 vom Raum 30 abgesperrt, während die Leitung 29, durch
Öffnen des zweiten Ventils 2o den Raum 3o mit der Kammer 25 verbindet, die ihrerseits
ständig über die Leitung 28 mit der Vorvakuumpumpe verbunden ist. Nach Übergang
in die Stellung 3' ist die Hochvakuumpumpe ,auf den Raum 3,0 geschaltet.
Dementsprechend sind die Ventilei ig@ und 2o geöffnet, während das Ventil 2.i geschlossen.
ist.
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Man kann, die Ventilsteuerung bei Korp.uskularstra,hlapparatenbeliebiger
Art anwenden. Insbesondere kann man sie mit Vorteil dann verwenden, wenn es sich
darum handelt, bei der Schleuseinrichtung eines Korpuskularstra.hlapparates,-also
beispielsweise ibei der Fotoschleuse eines Elektronenmikroskops, die Vakuumwege
beim Aus-und Einschleusen zu steuern. In diesem Fall wird man das Gehäuse der Ventile
an einer Stirnwand der Plattenschleuse :befestigen. Man kann die Erfindung aber
auch anwenden, wenn. es sich um einfachere Korpuskularstrahlapparate handelt, bei
denen keine besonderen Schleusen zum anbringen des Fotomaterials und der Objekte
verwendet werden, bei denen also der ganze Innenraum des Apparates beim Einsetzen
des Fotomaterials oder
des Objektes mit der Auaenluft in Verbindung
gebracht wird.