DE892833C - Ionisations-Vakuummeter mit kalter Kathode - Google Patents
Ionisations-Vakuummeter mit kalter KathodeInfo
- Publication number
- DE892833C DE892833C DE1951P0006762 DEP0006762D DE892833C DE 892833 C DE892833 C DE 892833C DE 1951P0006762 DE1951P0006762 DE 1951P0006762 DE P0006762 D DEP0006762 D DE P0006762D DE 892833 C DE892833 C DE 892833C
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- cathode
- ionization vacuum
- cold cathode
- vacuum gauge
- tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003517 fume Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
- H01J41/02—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas
- H01J41/06—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas with ionisation by means of cold cathodes
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
- Zur Messung hoher Vakua haben sich im praktischenBetrieb nur Ionisations-Vakuummeterdurchgesetzt. Im wesentlichen unterscheidet man dabei zwei grundsätzliche Typen. Im einen Fall hat man in der Vakuummeterröhre eine kalte Kathode und verlängert durch ein kräftiges Magnetfeld die Bahn der durch Stoffionisation frei werdenden Elektronen, so daß eine selbsttätige Gasentladung entsteht, die auch bei hohem Vakuum nicht erlischt. Dieses Gerät hat,die, Nachteile, daß es nur eine verhältnismäßig geringe Genauigkeit besitzt und daß es nicht mehr zündet, wenn es bei hohem Vakuum eingeschaltet wird. Für genaue Messungen hat sich deshalbdas Ionisations-Vakuummeter mit geheizter Kathode bewährt, doch besitzt dieses Gerät andere grundsätzliche Mängel. Ein groß-er Nachteil ist die relativ hohe Wärmeentwicklung, die durch die geheizte Kathode bedingt ist. Die Wärmeentwicklung führt immer wieder, vor allem dann, wenn die Röhre atmosphärischerLuft ausgesetzt war, zur Gasabgabe der Elektroden. und der Röhrenwand, wodurch die Meßergebnisse gefälscht werden können. Weiterhin bilden sich bei Vorhandensein von öldämpfen an der auf etwa 24oc"# K erhitzten Kathode Zersetzungspro#dukte, die sehr störend wirken können und unter Umständen zur Verschlechterung der Isolation führen und somit auch wieder zur Fälschung der Meßergebnisse beitragen. Ein weiterer Nachteil ist die große Empfindlichkeit der Kathode gegen Erschütterungen, Lufteinbrüche und Oldämpfe und ihre durch die Empfindlichkeit bedingte kurze Lebensdauer. Das erfindungsgemäße Vakuummeter umgeht vorstehende Nachteile dadurch, daß es mit einer kalten, Elektronen emittierenden Kathode arbeitet. Die erfindungsgemäße Kathode besteht aus einer Spitze von extrem kleinem Radius. Die durch den kleinen Radius bedingte hohe elektrische Feldstärke an der Spitze bewirkt, daß aus dieser bei mäßigen Spannungen (einige tausend Volt) bereits in kaltem Zustand Elektronen emittiert werden. Wirddie Elektronenemission der kaltenKathode überwacht und gesteuert, dann kann man mit einem solchen Vakuummeter die gleiche, wenn nicht sogar eine höhere Genauigkeit erzielen als mit dem Ionisations-Vakuummeter mit geheizter Kathode. Dabei fallendie Nachteile weg, die durch die geheizte Kathode bedingt sind. Das erfindungsgemäßeVakuummeter besteht im wesentlichen aus dem Meß- und Bedienungspult und einer an der Vakuumapparatur anzubringenden Meßröhre. Im Bedienungspult sind die für die Stromversorgung der Röhre erforderlichen Bauteile, wie Transforrnator, Gleichrichterröhre und Kondensator sowie Meßinstrum-ente und Schalter, untergebracht.
- Die Abbildung zeigt den schematischen Aufbau des Gerätes mit der Vakuummeterröhre. In der Vakuummeterröhre i befindet sich die kalte Kathode 2, die Beschlennigungselektrode 3 und die Auffangelektrode 4. Im Gerät 5 sind die Gleichspannungsquelle 6, eine Stromstäbilisierungseinrichtung 7, ein Kontrollinstrument 8 und ein Meßinstrument 9 eingebaut.
- Die Gleichspannungsquelle 6 erzeugt eine Gleichspannung von einigen tausend Volt. Die spitzenförmige Kathode:2 ist übe ' r die Stabilisierungseinrichtung 7 und das Kontrollinstrument 8 mit dem negativen Pol der Gleichspannungsquelle 6 verbunden. Am positiven Pol der Gleichspannungsquelle 6 liegt die Beschleunigungselektrode 3. Durch die hohe, an,der Spitze auftretende Feldstärke treten aus der Spitze Elektronen aus und werden durch die gitterförmige Beschleunigungselektro,de beschleunigt. Das Kontrollinstrument 8 zeigt den Emissionsstrom an. Die beschleunigten Elektronen durchlaufen den Ionisierungsraum, pendeln zurück zur positiven Beschleunigungselektrode 3 und erreichen diese nach einigen Pendelungen. Die durch ,den Raum fließenden Elektronen bilden Ionen, welche durch die negative Auf fangelektrOde 4 abgesaugt werden. Den Ionenstrom zeigt das Instrument 9, an. Wird diej Elektronenemission der Kathode 2 konstant gehalten, dann ist der Ionenstrom ein Maß für den in der Meßröhre herrschenden Gasdruck. Die Stabilisierungseinrichtung 7 kontrolliert automatisch den Emissionsstrom und regelt ihn automatisch auf einen konstanten. Wert ein.
Claims (2)
- PATENTANSPRÜCHE: i. Ionisations-Vakuummeter mit einer kalten. Elektronen emittierenden Kathode, dadurch gekennzeichnet, daß die Kathode aus einer oder mehreren Spitzen besteht.
- 2. Ionisations-Vakuummeter nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß der Emissionsstrorn automatisch stabilisiert wird.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE1951P0006762 DE892833C (de) | 1951-12-16 | 1951-12-16 | Ionisations-Vakuummeter mit kalter Kathode |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE1951P0006762 DE892833C (de) | 1951-12-16 | 1951-12-16 | Ionisations-Vakuummeter mit kalter Kathode |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE892833C true DE892833C (de) | 1953-10-12 |
Family
ID=581143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE1951P0006762 Expired DE892833C (de) | 1951-12-16 | 1951-12-16 | Ionisations-Vakuummeter mit kalter Kathode |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE892833C (de) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1195968B (de) * | 1959-03-12 | 1965-07-01 | Deutsche Bundespost | Verfahren zur Messung des Vakuums in abgeschmolzenen Elektronenstrahlroehren |
| DE4137527A1 (de) * | 1991-11-14 | 1993-05-19 | Siemens Ag | Ionisationsdruckmesser |
-
1951
- 1951-12-16 DE DE1951P0006762 patent/DE892833C/de not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1195968B (de) * | 1959-03-12 | 1965-07-01 | Deutsche Bundespost | Verfahren zur Messung des Vakuums in abgeschmolzenen Elektronenstrahlroehren |
| DE4137527A1 (de) * | 1991-11-14 | 1993-05-19 | Siemens Ag | Ionisationsdruckmesser |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE1031030B (de) | Einrichtung zur Feststellung von Undichtigkeiten | |
| DE2717436A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung des partialdruckes eines gases zur vakuummessung, leckanzeige, messung der niederschlagsrate o.dgl. | |
| DE2134739C2 (de) | Massenspektrometer zur Analyse der anteiligen Mengen von Gasen in einem Gasgemisch | |
| DE1167065B (de) | Geraet zur Anzeige der Konzentration von Gasen, die Elektronen einfangen | |
| Muller et al. | The cathode ray-tube polarograph | |
| DE892833C (de) | Ionisations-Vakuummeter mit kalter Kathode | |
| EP0431233A1 (de) | Partialdruckmesszelle mit Kaltkathodenionenquelle für die Lecksuche in Vakuumsystemen | |
| US3505554A (en) | Ionization pressure gauge | |
| DE1673223B2 (de) | Verfahren und vorrichtung zum trennen von ionen mit verschie denem verhaeltnis ladung masse | |
| DE485151C (de) | Verfahren zur Kontrolle und Messung des Gluehlampenvakuums | |
| AT107267B (de) | Verfahren zur Kontrolle und Messung des Glühlampenvakuums. | |
| DE860828C (de) | Verfahren zur Messung von sehr kleinen elektrischen Leitwerten | |
| DE1698216A1 (de) | Massenspektrometer und Ionenmanometer | |
| DE495363C (de) | Einrichtung zum Messen des Dampfdruckes in Vakuumapparaten, in deren Innerem eine Ionenbewegung von sich geht, insbesondere in Quecksilberdampfgleichrichtern | |
| DE663389C (de) | Einrichtung zur Kontrolle und/oder Anzeige des Vakuums in Vakuumentladungsapparaten mit Glueh- oder Quecksilberkathode | |
| DE836064C (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Ionentrennung | |
| Boyd et al. | The mechanism of breakdown of ambient air in long uniform-field gaps | |
| DE2924048A1 (de) | Anordnung zur ueberwachung der elektrischen leitfaehigkeit von hochreinem wasser | |
| DE888885C (de) | Vorrichtung zur Messung von Gleichspannungen geringer Groesse | |
| DE19855522C2 (de) | Vakuum-Meßverfahren und Vakuum-Meßeinrichtung | |
| DE1934940C (de) | Ionisationsmanometerrohre | |
| DE833519C (de) | Anordnung zur Spannungserzeugung | |
| DE1267880B (de) | Schaltungsanordnung fuer einen Lecksucher mit akustischer Anzeige | |
| DE890247C (de) | Vorrichtung zur Messung von geladenen Elementarteilchen und der Intensitaet von Gamma- und Roentgenstrahlen | |
| DE1082989B (de) | Strahlenmesseinrichtung mit einer grossflaechigen Ionisationskammer |