DE890692C - Verfahren zum Oxydieren von Aluminiumo'berflächen, insbesondere von Oberflächenabdruckschichten - Google Patents
Verfahren zum Oxydieren von Aluminiumo'berflächen, insbesondere von OberflächenabdruckschichtenInfo
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Description
Die Erzeugung von Oxydschichten auf Aluminium, wie sie höchsten Ansprüchen an Gleichmäßigkeit
und Dichte z. B. bei der Abbildung von Oberflächen von mikroskopischen Objekten für die
mikroskopische Betrachtung, insbesondere im Elektronenmikroskop, genügen sollen, wurde bisher
durch elektrolytische Verfahren vorgenommen. Es wurde nun zur Abbildung von Oberflächen, die
nicht aus Aluminium bestehen, ein Verfahren vorgeschlagen, bei welchem auf die abzubildende Oberfläche
eine außerordentlich dünne Aluminiumschicht aufgedampft und anschließend oxydiert wird. Es
zeigte sich aber hierbei, daß die Oxydation auf elektrolytischem Wege zur Erreichung höchster
Gleichmäßigkeit der Oxydschicht einige Schwierigkeiten macht.
Gemäß der Erfindung wird nun vorgeschlagen, die zu oxydierende Aluminiumschicht in einer
Sauerstoffatmosphäre kathodisch zu schalten und durch Glimmentladung zu oxydieren.
Das neue Verfahren ist vor allem vorteilhaft für die Oxydation sehr dünner Aluminiumschichten,
die durch thermische Bedampfung zwecks Abbildung auf Oberflächen mikroskopischer Objekte
aufgedampft sind. Im gleichen Raum können diese Aluminiumschichten sofort nach ihrer Erzeugung
kathodisch geschaltet und unter Einlassen von Sauerstoff oder Luft in den bisher evakuierten
Arbeitsraum anschließend durch Glimmentladung oxydiert werden. Auf diese Weise ist keine besondere
Apparatur für die Oxydation erforderlich.
Die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren er-
haltenen Aluminiumoxydschichten sind sehr gleichmäßig und geben als frei tragende Schicht nach der
Ablösung von ihrer Unterlage eine naturgetreue Abbildung der Oberfläche ihrer Unterlage, welche
vorzüglich zur Betrachtung und Ausmessung im Elektronenmikroskop geeignet ist.
Claims (2)
- Patentansprüche:i. Verfahren zur Oxydation von Aluminiumoberflächen, insbesondere von Oberflächenabdruckschichten; dadurch gekennzeichnet, daß die zu oxydierende Aluminiumschicht in einer Sauer stoff atmosphäre kathodisch geschaltet und durch Glimmentladung oxydiert wird.
- 2. Anwendung. des Verfahrens gemäß Anspruch ι zur Oxydation von Aluminiumschichten, die durch thermische Bedampfung auf mikroskopische Objekte aufgebracht sind, deren Oberfläche abgebildet werden soll, anschließend an die Aufdampfung im gleichen Arbeitsraum.I 5427 9.53
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE890692C true DE890692C (de) | 1953-08-13 |
Family
ID=580838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DENDAT890692D Expired DE890692C (de) | Verfahren zum Oxydieren von Aluminiumo'berflächen, insbesondere von Oberflächenabdruckschichten |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE890692C (de) |
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- DE DENDAT890692D patent/DE890692C/de not_active Expired
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