DE889484C - Belichtungsmesser fuer Korpuskularstrahlapparate - Google Patents

Belichtungsmesser fuer Korpuskularstrahlapparate

Info

Publication number
DE889484C
DE889484C DES11045D DES0011045D DE889484C DE 889484 C DE889484 C DE 889484C DE S11045 D DES11045 D DE S11045D DE S0011045 D DES0011045 D DE S0011045D DE 889484 C DE889484 C DE 889484C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
screen
arrangement according
ground glass
exposure
angle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DES11045D
Other languages
English (en)
Inventor
Bodo V Dr-Ing Habil Borries
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DES11045D priority Critical patent/DE889484C/de
Application granted granted Critical
Publication of DE889484C publication Critical patent/DE889484C/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/22Optical, image processing or photographic arrangements associated with the tube
    • H01J37/224Luminescent screens or photographic plates for imaging; Apparatus specially adapted therefor, e. g. cameras, TV-cameras, photographic equipment or exposure control; Optical subsystems specially adapted therefor, e. g. microscopes for observing image on luminescent screen

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)

Description

  • Belichtungsmesser für Korpuskularstrahlapparate Erfahrungsgemäß werden bei der Belichtung übermikroskopischer Aufnahmen häufig erhebliche Fehler gemacht, so daß überbelichtete oder unterbelichtete Platten in großer Zahl vorkommen. Die notwendige Belichtungszeit hängt einerseits ab von der jeweils im übermikroskopischen Bild vorhandenen Elektronenstromdichte und der eingestellten Strahlspannung, andererseits von der verwendeten Emulsion und .den bei :der Entwicklung der Platte herrschenden Verhältnissen (Entwicklerart, Konzentration, Temperatur, Entwicklungszeit). Es sind bereits Vorschläge bekanntgeworden, die einen Belichtungsmesser betreffen, welcher die Elektronenstromdichte mittels eines über einen hochohmigen Widerstand abgeleiteten Auffängers und angeschlossenen empfindlichen Gleichstromverstärkers direkt messen. Aus der Angabe der Elektronendichte kann dann die notwendige Belichtungszeit ermittelt werden. Eine andere Möglichkeit, die notwendige Belichtungszeit zu bestimmen, liegt darin, die Leuchtschirmhelligkeit mit Hilfe einer Photozelle zu messen. Diese Lösung ist jedoch schwierig, weil normale Photozellen auf die kleine, vom Leuchtschirm ausgehende Lichtmenge nicht genügend ansprechen, so daß auch hier wiederum Verstärker oder äußerst empfindliche Galvanometer zur Anzeige erforderlich sind.
  • Die Erfindung löst die gestellte Aufgabe mit einfachen Mitteln und robusten Bauelementen. Erfindungsgemäß ist in der Nähe eines Leuchtschirmes des 'Korpüskularstrahlappärates -eine Mattscheibe von einer dem Leuchtschirm entsprechenden Farbe so angeordnet, daß sie vom Beobachter gleichzeitig mit dem Leuchtschirm .betrachtet Werden -kann, wobei die Mattscheibe vorzugsweise von hinten mit einer Glühlampe erleuchtbar ist, deren durch einen Regelwiderstand veränderbarer Strom zur Ermittlung der Belichtungszeit dient. Zur Messung des Glühlampenstromes kann ein einfacher Strommesser dienen. Zur Regelung der notwendigen Belichtungszeit kann man dann so vorgehen, daß mit dem Regelwiderstand die Mattscheibe auf dieselbe visuelle Helligkeit abgeglichen wird, wie sie das aufzunehmende Elektronenbild besitzt. Mit Hilfe der im Strommesser abgelesenen Größe des Lampenstromes kann man dann aus einer Tabelle unmittelbar die notwendige Belichtungszeit entnehmen.. Da es sich um eine große Anzahl von Variablen handelt, von denen die Belichtungszeit abhängig ist (Strahlspannung, Emulsion, Entwickler, Entwicklerkonzentration, Entwicklertemperatur, Entwicklungsdauer, Empfindlichkeit des Leuchtschirmes, Lichtausbeute der Lampe) ist es nicht möglich, eine einfache Zuordnung der Belichtungszeit zum abgelesenen Stromwert anzugeben, es muß vielmehr eine größere Reihe von solchen Abhängigkeiten tabellarisch zusammengestellt werden, wobei durch einen Vorversuch, bei dem alle Einflußgrößen schon so gewählt sind, wie sie später laufend sein sollen, die jeweils gültige Spalte der Tabelle zu ermitteln ist. Die folgende Tabelle gibt die Abhängigkeit der Belichtungszeit vom Lampenstrom T wieder.
  • Die Tabelle ist so aufgebaut, daß sowohl von Spalte zu Spalte, als von Zeile zu Zeile jeweils die I,5fache Belichtungsdauer entsteht. Män kann sich auch mit einer verkürzten Tabelle begnügen, bei der der Sprung der Belichtungszeit jeweils 2 beträgt, weil für geringere Ansprüche an Genauigkeit eine solche Unterteilung ausreicht.
    Belichtungszeit
    I . I I 11 . 111 . IV
    v
    vI vII
    Amp Sek. III Sek. Sek. Sek. Sek. Sek. Sek.
    4,0 0,o88 0,132 0,197 o,296 o,444 o,666 i,ooo
    3,8 0,132 0,197 o,296 0,44q.. o,666 i,ooo i,5oo
    3,6 o,197 o,296 0,444 o>666 i,ooo 1,500 2,250
    3,3 o,296 0,444 o,666 i,ooo 1,500 2,25 0 3,375
    3,0 o,444 o,666 1,000 1,500 2,250 3,375 5,o6
    2,6 o,666 i,ooo 1,500 2,250 3,375 5,o6 7,6o
    2,2 11,000 1,500 2,250 3,375 5,o6 7,6o 11,39
    Da man an einem bestimmten Übermikroskop in der Regel mit der gleichen Emulsion und glenchen Entwicklungsverhältnissen sowie mit der gleichen Strahlspannung arbeitet, und auch die Leuchtschirme in ihrer Ausbeute ungefähr gleich sind, wird man für eine längere Experimentierperiode jeweils auf einer Spalte der Tabelle bleiben können, Sollte die Leuchtkraft des Leuchtschirmes infolge von Alterung nachlassen, so muß man die Belichtungqzeiten, - wenn man bemerkt, .daß die Platten allmählich überbelichtet werden, entsprechend verkürzen und beispielsweise 'voll' Spalte IV auf Spalte III zurückgehen.
  • Man kann auch so vorgehen, daß man nach Ermittlung der für die gewählten Verhältnisse gültigen Tabellenspalte diejenige Helligkeit der grünen Mattscheibe einstellt, bei der eine handliche Belichtungszeit, z. B. 3 Sekunden, notwendig ist. Man wird dann den Kondensator des Übermikroskops so einstellen, daß das übermikroskopische Bild die gleiche Helligkeit wie die grüne Mattscheibe bei den gewählten Verhältnissen hat.
  • Am bequemsten ist ein Abgleich von Leuchtschirm und Mattscheibe möglich; wenn beide Gebiete unmittelbar aneinander anstoßen, wie dies im optischen Photometer der Fall ist. Man kann daher eine Einheit konstruieren, die in einer zum Elektronenstrahl senkrechten Ebene einen Leuchtschirm und die Mattscheibe enthält, die unmittelbar aneinander anstoßen. Man muß jedoch dann dafür sorgen, daß die Mattscheibe mit einer ableitenden Schicht versehen wird oder vom Elektronenbombardement freibleibt, damit die Platte sich nicht durch Elektronenbeschuß auflädt. Eine solche Einheit kann man beispielsweise von der Seite in den Strahlengang hineinschieben und vor der Aufnahme, um das Bild wieder freizugeben, entfernen.
  • Eine andere besonders vorteilhafte Anordnung ist in der Abbildung dargestellt. Diese Abbildung zeigt einen Schnitt durch den unteren Teil eines Elektronenmikroskops. Mit i ist der Gehäuseteil bezeichnet, welcher das Beobachtungsfenster 2 trägt, durch das der Beobachter den Endbildleuchtschirm3 betrachten kann. Bei 4 ist das Auge des Beobachters zu denken, bei 5 liegt die Mitte des Projektivpolschuhs. Der Endbildleuchtschirm 3 ist in üblicher Weise um eine Achse 6 schwenkbar, er kann also zur Belichtung der im Strahlengang dahinterliegenden photographischen Platte 7 aus dem Strahlengang herausgeklappt werden. Fest mit dem Endbildleuchtschirm zusammengebaut ist eine Glühlampe 8, die eine Mattglasscheibe 9 von hinten her beleuchtet. Diese Mattglasscheibe besitzt eine der Farbe des Leuchtschirmes 3 entsprechende Farbe. Die Scheibe 9 liegt bei dieser Ausführungsform nicht in der gleichen Ebene wie der Leuchtschirm, sondern senkrecht zum Leuchtschirm, jedoch so, daß sowohl die Ebene des Endbildleuchtschirmes 3 als auch die Ebene der Mattscheibe 9 dem Auge des Beobachters unter dem gleichen Winkel, nämlich annähernd unter 45°, erscheinen. Auf .diese Weise kann man, wenn ein dachartiger Schirm io über der Scheibe 9 angebracht wird, leicht erreichen, daß die Elektronen die Mattglasscheibe 9 selbst nicht treffen können. Mit Hilfe der Buchse i i wird die eine Glühlampenleitung 12 in das Innere des Mikroskops hereingeleitet. Mit 13 ist der Strommesser bezeichnet, 14 ist der regelbare Widerstand, mit dessen Hilfe die Helligkeit ,der Mattscheibe der Helligkeit des Endbildleuchtschirmes 3 angepaßt werden kann, und mit 15 ist die Lampenbatterie bezeichnet. Ein Helligkeitsabgleich ist auch bei dieser Anordnung durch gleichzeitiges Beobachten des En:dbildleuchtschirmes 3 und der Mattscheibe 9 leicht möglich. Durch den Zusammenbau- der Mattscheibe g@ mit dem Leuchtschirm wird beim Belichten der Photoschicht 7 der Leuchtschirm und die Mattscheibe gleichzeitig hochgeklappt, was konstruktiv ohne weiteres möglich ist, da die Mattscheibe mit der zugehörigen Glühlampe nur wenig Raum beansprucht. Auf dem Beobachtungsleuchtschirm 3 ist ein größerer Bereich des abgebildeten Objektes zu übersehen, als später auf der Photoschicht aufgenommen wird. Es ist daher vorteilhaft, denjenigen Bereich des Leuchtschirmes 3, der dem auf der Photoschicht abgebildeten Bereich entspricht, durch eine Umrandung zu markieren.

Claims (6)

  1. PATENTANSPRÜCHE: r. Belichtungsmesser für Korpuskularstrahlapparate, insbesondere Elektronenmikroskope, dadurch gekennzeichnet, daß in der Nähe eines Leuchtschirmes eine Mattscheibe von einer dem Leuchtschirm entsprechenden Farbe so angeordnet ist,, daß sie beim Beobachter gleichzeitig mit dem Leuchtschirm beobachtet werden kann, wobei die Mattscheibe vorzugsweise von hinten mit einer Glühlampe erleuchtbar ist, deren durch einen Regelwiderstand veränderbarer Strom zur Ermittlung der Belichtungszeit dient.
  2. 2. Anordnung nach Anspruch r, dadurch gegekennzeichnet, daß Mattscheibe und derLeuchtschirm in einer Ebene unmittelbar einander berührend angeordnet sind.
  3. 3. Anordnung nach Anspruch r oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Leuchtschirm und die Mattscheibe auf einem gemeinsamen Halter angeordnet sind, -der zur Belichtung der Photoschicht aus dem Strahlengang entfernbar, beispielsweise herausklappbar, oder nach der Seite hin verschiebbar ist. d..
  4. Anordnung nach Anspruch r, dadurch gekennzeichnet, daß die Mattscheibe und der Leuchtschirm zueinander unter einem Winkel, z. B. einem Winkel von 9o°, liegen und so angeordnet sind, daß jede von ihnen dem Beobachter unter deim gleichen Winkel, beispielsweise unter 45°', erscheinen.
  5. 5. Anordnung nach Anspruch r oder einem der folgenden, gekennzeichnet durch die Verwendung von Abschirmmitteln zur Vermeidung des Elektronenaufpralls auf die Mattscheibe.
  6. 6. Anordnung nach Anspruch z oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, .daß auf einem Leuchtschirm, der einen größeren Bildausschnitt wiedergibt, als er -dem auf deir photographischen Schicht wiedergegebenen entspricht, durch eine Umrandung markiert ist, die dem auf der Photoschicht abgebildeten Ausschnitt entspricht.
DES11045D 1944-05-26 1944-05-26 Belichtungsmesser fuer Korpuskularstrahlapparate Expired DE889484C (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DES11045D DE889484C (de) 1944-05-26 1944-05-26 Belichtungsmesser fuer Korpuskularstrahlapparate

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DES11045D DE889484C (de) 1944-05-26 1944-05-26 Belichtungsmesser fuer Korpuskularstrahlapparate

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE889484C true DE889484C (de) 1953-09-10

Family

ID=7473526

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DES11045D Expired DE889484C (de) 1944-05-26 1944-05-26 Belichtungsmesser fuer Korpuskularstrahlapparate

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE889484C (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1232288B (de) * 1963-09-13 1967-01-12 Siemens Ag Belichtungsmesser fuer Korpuskularstrahlgeraete

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1232288B (de) * 1963-09-13 1967-01-12 Siemens Ag Belichtungsmesser fuer Korpuskularstrahlgeraete

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Roberts et al. The flying-spot microscope
DE889484C (de) Belichtungsmesser fuer Korpuskularstrahlapparate
DE3006379C2 (de)
DE1044950B (de) Fotoelektrische Abtasteinrichtung fuer die Eichung von Elektrizitaetszaehlern
DE686800C (de) len Belichtung, insbesondere von Bildfilmen
DE683925C (de) Lichtelektrischer Belichtungsmesser
DE632768C (de) Photographischer Belichtungsmesser
DE746607C (de) Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung der Belichtungszeit photographischer Objekte
DE732791C (de) Ultraviolett- oder Elektronenmikroskop
AT206523B (de) Photoelektrische Abtasteinrichtung zur Eichung von Elektrizitätszählern
AT148264B (de) Verfahren und Einrichtung zur lichtelektrischen Belichtungsmessung bzw. Belichtungsregelung für photographische Apparate u. dgl.
DE409876C (de) Verfahren zum Messen der Belichtung fuer photographische Aufnahmen
DE488899C (de) Einrichtung zur Dunkelfeldbeleuchtung mit auffallendem Licht
DE2032314A1 (de) Verfahren zum berührungslosen optischen Prüfen und Messen von Oberflächen und Vorrichtungen zum Durchführen dieses Verfahrens
AT132246B (de) Optischer Lichtmesser, insbesondere für Photographie.
DE758116C (de) Zweistufiges Elektronenmikroskop mit Objektivlinse und Projektionslinse und einem zwischen Objektivlinse und Projektionslinse angeordneten Zwischenbildschirm
DE681472C (de) Mikrophotographische Einrichtung mit Graukeilphotometer
DE693665C (de) Vorrichtung zur Messung der Helligkeit in Photo- und Filmateliers
DE621820C (de) Vorrichtung zur Bestimmung der Lichtdurchlaessigkeit duenner Schichten, insbesondere photographischer Schichten
DE732698C (de) Vorrichtung zur visuellen Auswertung von Spektren
DE619543C (de) Vorrichtung zur Bestimmung der Schwaerzungen einer photographischen Schicht im gerichteten und diffusen Licht
DE625223C (de) Einrichtung zur Ermittlung der Belichtungszeit an photographischen Apparaten mit Bildsucher
DE896095C (de) Verfahren zur Herstellung von Dunkelfeldaufnahmen mittels eines Elektronenmikroskops
AT146347B (de) Photoelektrischer Belichtungsmesser.
DE573086C (de) UEberwachungseinrichtung fuer die photographische Aufnahme von Bild und Ton auf einem gemeinsamen Film