DE8705039U1 - Ablage für scheibenförmige Elemente - Google Patents

Ablage für scheibenförmige Elemente

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DE8705039U1
DE8705039U1 DE8705039U DE8705039U DE8705039U1 DE 8705039 U1 DE8705039 U1 DE 8705039U1 DE 8705039 U DE8705039 U DE 8705039U DE 8705039 U DE8705039 U DE 8705039U DE 8705039 U1 DE8705039 U1 DE 8705039U1
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    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/67313Horizontal boat type carrier whereby the substrates are vertically supported, e.g. comprising rod-shaped elements
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Description

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ABLAGE FÜR SCHEIBENFÖRMIGE ELEMENTE
Die Erfindung betrifft eine Ablage für scheibenförmige Elemente mit zwei Tragleisten, die ächspärällel nebeneinander angeordnet sind* mit einem Abstand, derx kleiner ist als der Durchmesser der kleinsten Elemente, und die nach oben offene Aufnahmen tragen, welche Aufnahmen durch gegeneinander verfederte Maltelaschen gebildet sind, zwischen die jeweils ein Element paßt.
Zur Handhabung von Bauteilen, zum Beispiel Halbfertigteilen und derglaichen Elemente bei der Massenfertigung, benötigt man Ablagen, in denen diese Elemente maschinell an vorbestimmten Positionen eingesetzt und herausgenommen werden können.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Ablage der eingangs genannten Art so auszugestalten, daß sie einfach aus möglichst einfachen Teilen herstellbar ist, robust ausgestaltet ist, eine sichere, präzis räumlich fixierte Halterung für die Elemente bietet und mit Elementen unterschiedlicher Stärke bestückt werden kann.
Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß jede Tragleiste zwei Tragstangen aufweist, daß für jede Aufnahme eine stationäre Haltelasche vorgesehen ist, die von der einen Tragstange zur anderen Tragstange reicht und an beiden Tragstangen befestigt ist, daß für jede Aufnahme eine verfederte Haltelasche vorgesehen ist, die von der einen Tragstange zur anderen Tragstange reicht und an beiden Tragstangen in Längsrichtung der Tragstangen verschieblich angeordnet ist, daß für jede Aufnahme eine Druckfeder auf jede Tragstange gesteckt ist, die sich einerseits an der der stationären Haltelasche gegenüberliegenden Seite der verfederten Haltelasche der zugehörigen Aufnahme abstützt und sich andererseits auf der stationären Haltelasche der benachbarten Aufnahme abstützt, und daß für jede Aufnahme auf jede Tragstange ein Abstandshalter gesteckt ist, der in den Zwischenraum zwischen den beiden Haltelaschen der betreffenden Aufnahme reicht.
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Eine solche Ablage läßt sich aus venigen unterschiedlichen Einzelteilen, den Stangen, den Drudefedern, den Abstandshaltern un£ den beiden Typen von Haltelaschen herstellen, wobei diese einzelteile unter sich alle identisch sein können. Im Rahmen der durch die Druckfeder gegebenen Beveglichkeit der verfederten Haltelasche ist jede Aufnahme für unterschiedlich starke Elemente geeignet, und zvar unabhängig von der Belegung der benachbarten Aufnahme.
Die stationären Haltelaschen definieren dabei die Position der zugehörigen Aufnahme sehr präzis, vas für die maschinelle Bedienung wichtig ist. Zweckmäßig sind die stationären Halteiaschen in Nuten der Tragstangen fixiert. Dabei kann man zusätzliche Nuten zur Fixierung der stationären Haltelaschen vorsehen, in denen die Haltelaschen entsprechend einem anderen Abstand der Aufnahmen vahlveise fixierbar sind, so daß die Ablage sich gegebenenfalls leicht umrüsten läßt auf einen anderen Stärkebereich der Elemente.
Man kann mehrere solche Ablagen mit ihren Tragstangen achsparallel zueinander und zu dem einen Rahmenleistenpaar in einem rechteckigen Palettenrahmen anordnen. Die Tragstangen erstrecken sich dann zweckmäßig parallel zum kurzen Rahmenleistenpaar und sind dann an dem langen Rahmenleistenpaar befestigt.
Die Befestigung kann man leicht so ausgestalten, daß sie lösbar ist, so daß man einen Palettenrahmen bei Bedarf umrüsten kann.
Weitere Merkmale der Erfindung sind Gegenstand der weiteren TJnteransprüche.
Die Erfindung vird nun anhand der beigefügten Zeichnung näher erläutert.
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In deff Zeichnung zeigt:
Figur 1 von unten gesehen, abgabrochen, den Ausschnitt
eines rechteckigen .?äl et te nrahme ns, der mit
Ablagen bestückt ist,
Figur 2 den Schnitt II aus Figur 1,
Figur 3 die in Figur 2 sichtbare Tragstange allein,
und
Figur 4 den palettenrahmen aus Figur 1 uad 2 von oben & gesehen entsprechend dem Pfeil IV aus Figur
In der Zeichnung ist mit 1 ein rechteckiger Palettenrahmen bezeichnet, dessen lange Rahmenschenkel mit. 2 und 3, dessen kurze Rahmenschenkel mit 4 und 5 bezeichnet sin'.. In den Palettenrahmen 1 sind mehrere Ablagen 6, 7, 8 eingeschraubt. Die Ablagen sind unter sich gleich ausgebildet, vie dies nun anhand der Ablage 6 näher erläutert wird.
Die Ablage 6 besteht aus zwei achsparallel nebeneinander angeordneten Tragleisten 9 und 10, die mit Abstand gemäß Doppelpfeil 11, der kleiner ist als der Durchmesser der kleinsten aufzunehmenden Elemente, angeordnet sind. Die Tragleisten tragen nach oben offene Aufnahmen 15, 16. Für jede Tragleiste 9, 10 sind zwei Tragstangen 18, 19 vorgesehen. Auf die Tragstangen sind für jede Aufnahme 15, 16 eine stationäre Haltelasche 20, 21, 22 und eine verfederte Haltelasche 23, 24 gesteckt. Die Haltelaschen reichen von der einen Tragstange 18 zur anderen Tragstange 19. Die stationären Haltelaschen 20, 21, 22 stecken axial fixiert in Nuten 28, 29, 30, 31 der zugehörigen Tragstangen. Für jede Aufnahme 15. 16 ist auf beide Tragstangen 18, 19 je ein auf die zugehörige Tragstange gleitend passender Ring 40, 41, 42, 43, der als Abstandshalter dient, und eine Druckfeder 44, 45, 46, 47 aufgesteckt.
jeder Ring weist wie der Ring 40 eine Nut 48 auf, in der die zugehörige verfederte Haltelasche 23 axial unverschieblich auf dem Ring steckt. Die Druckfedern 44 bis 47 stützen sich, vie zum Beispiel die Druckfeder 44, einerseits an dem angrenzenden Ring 25 und an der stationären Haltelasche 21 der benachbarten Aufnahme 15 ab.
Die Druckfedern, zum Beispiel die Druckfeder 44, haben das <:
Bestreben, den Ring 25 gegen die zugehörige stationäre Halte- |
lasche 20 zu drücken, wird zwischen die zugehörigen Haltela- |
&iacgr; sehen, zum Beispiel die Haltelaschen 21 und 24 der Aufnahme 15, |
ein scheibenförmiges Element, zum Beispiel das Element 49, |
eingesteckt, dann weicht die Haltelasche 24 gegen die Kraftwirkung der zugehörigen Druckfedern 46 und 47 zurück und die Aufnahme 15 spreizt sich entsprechend. Das scheibenförmige Element liegt dann zwischen den Haltelaschen gehaltert auf den zugehörigen Ringen 42, 43. ■,
Die Tragstangen 18, 19 sind an ihren beiden Enden an Querstangen 50, 51 mit Winkelprofil verschraubt. Die Querstangen 50, 51 ihrerseits sind an den langen Rahmenschenkeln 2 und 3 verschraubt. Zu diesem Zweck und auch zum Anschrauben anderer Tragstangen sind die Rahmenschenkel an ihrer Innenseite mit einer vorspringenden Lippe 55, 56, 57 versehen. An den Lippen 55 und 57 der langen Rahmenschenkel werden Klemmlaschen 58, 59, 60, 61 angesetzt, die mit den Querstangen 50, 51 verdrehungssicher verschraubt sind. Die Klemmlaschen 58, 61 können an beliebiger Stelle der Lippen 55, 57 angeschraubt werden, so daß man die Position der Ablagen 6, 7, 8 ... entlang der langen Rahmenschenkel 2, 3 beliebig einstellen kann.
Die Haltelaschen erstrecken sich bei leerer Aufnahme bis auf ihren oberen Randbereich 63 planparallel zueinander und senkrecht zur Achse 62, 64 der Tragstangen. Sie erstrecken sich auch bei geöffneter Aufnahme planparallel zueinander, bedingt durch eine gute Passung der zugehörigen Ringe 40, 41 auf den Stangen 18, 19. Im oberen Bereich 63 sind die Haltelaschen, bezogen auf die zugehörige Aufnahme, nach außen abgewinkelt, um das Einführen und das Spreizen der Aufnahmen beim Einführen von Elementen 49 zu erleichtern.
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Statt die Aufnahmen durch Sinfuhren der Elemente zu spreizen, kann man sie natürlich auch spreizen, indem man die verfederte Haltelasche gegen die Kraftwirkung der zugehörigen Druckfeder zur Seite schiebt, ehe man das zugehörige Element einsetzt.
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Claims (9)

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1. Ablage für scheibenförmige Elemente
mit zwei Tragleisten, die achsparallel nebeneinander angeordnet sind mit einem Abstand, der kleiner ist als der Durchmesser der kleinsten Element, und die nach oben offene Aufnahmen tragen, velche Aufnahmen durch gegeneinander verfederte Haltelaschen gebildet sind, zwischen die jeweils ein Element paßt,, dadurch gekennzeichnet,
daß jede Tragleiste ( 9, 10 ) zwei Tragstangen ( 18, 19 ) aufweist,
daß für jede Aufnahme ( 15, 16 ) eine stationäre Haltelasche ( 20, 21, 22 ) vorgesehen ist, die von der einen Tragstange ( 18 ) zur anderen Tragstange ( 19 ) reicht und an beiden Tragstangen befestigt ist,
daß für -jede Aufnahme eine verfederte Haltelasche ( 23, 24 ) vorgesehen ist, d?e von der einen Tragstange zur anderen Tragstange reicht und an beiden Tragstangen in Längsrichtung der Tragstangen verschieblich angeordnet ist,
daß für jede Aufnahme eine Druckfeder ( 44, 45,46, 47 ) auf jede Tragstange gesteckt ist, die sich einerseits an der der stationären Haltalasche gegenüberliegenden Seite der verfederten Haltelasche der zugehörigen Aufnahme abstützt und sich andererseits auf der stationären Haltelasche der benachbarten Aufnahme abstützt, und
daß für jede Aufnahme auf jede Tragstange ein Abstandshalter ( 40, 41, 42, 43 ) gesteckt ist, der in den Zwischenraum zwi-r sehen den beiden Haltelaschen der betreffenden Aufnahme reicht.
2. Ablage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die stationären Haltelaschen ( 20, 21, 22 ) in Nuten ( 28, 29, 30, 31 ) der Tragstangen ( 18, 19 ) fixiert sind.
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3. Ablage nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß zusätzliche Nuten ( ) zur Fixierung der stationären Haltelaschen ( 20, 21, 22 ) vorgesehen sind, in denen die Haltelaschen entsprechend einem anderen Abstand der Aufnahmen ( 15, 16 ) wahlweise fixierbar sind.
4. Ablage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß ein Abstandshalter ein auf eine zugehörige Tragstange ( 18, 19 ) gleitend passender Ring ( 40, 41, 42, 43 ) ist. an dem die zur gleichen Aufnahme zugehörige verfederte Haltelasche ( 23, 24 ) befestigt ist.
5. Ablage nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß eine Druckfeder ( 44, 45, 46, 47 ) sich an dem zugehörigen Ring ( 40, 41, 42, 43 ) abstützt.
6. Ablage nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die verfederten Haltelaschen ( 23, 24 ) in Nuten
(48 ... ) der zugehörigen Ringe ( 40, 41, 42, 43 ) stecken.
7. Ablage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß die Haltelaschen einer Aufnahme bei leerer Aufnahme bis auf ihren oberen Randbereich ( 60 ) planparallel zueinander nach oben ragen, und
daß die oberen Randbereiche ( 63 ) der Haltelaschen ( 20 ) nach außen abgewinkelt sind.
8. Ablage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge ke nnze ichnet,
daß die beiden Tragstangen ( 18, 19 ) mit ihren beiden Enden an je einer Querstange ( 50, 51 ) befestigt sind.
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9. Ablage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
daß ein rechteckiger palettenrähmen ( 1 ) vorgesehen ist»
und
daß die Tragstangen ( 18, 19 ).an dem einen, vorzugsweise dent langen, Rahmenleistenpaar ( 2, 3 ) des Paiettenrahmens parallel zu dem änderen Rahmenleistenpaar ( 4, 5 ) montierbar sind.
DE8705039U 1986-09-12 1987-04-04 Ablage für scheibenförmige Elemente Expired DE8705039U1 (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009138185A1 (de) * 2008-05-14 2009-11-19 Siltronic Ag Träger zur aufnahme von halbleiterscheiben

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