DE866219C - Lichtelektrisch empfindlicher Widerstand - Google Patents

Lichtelektrisch empfindlicher Widerstand

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DE866219C
DE866219C DEP3158D DEP0003158D DE866219C DE 866219 C DE866219 C DE 866219C DE P3158 D DEP3158 D DE P3158D DE P0003158 D DEP0003158 D DE P0003158D DE 866219 C DE866219 C DE 866219C
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DE
Germany
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photoelectrically sensitive
semiconductor
current
photoelectrically
resistor
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Expired
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DEP3158D
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English (en)
Inventor
Erich Dr Krautz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Osram GmbH
Original Assignee
Patent Treuhand Gesellschaft fuer Elektrische Gluehlampen mbH
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/08Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors
    • H01L31/09Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/0224Electrodes

Description

  • Lichtelektrisch empfindlicher Widerstand Für viele Anwendungsgebiete der Elektrotechnik, insbesondere für Signal-"Schalt- und Regelzwecke, werden lichtelektrisch empfindliche Widerstände, sogenannte Photowiderstände oder Photoleiter, mit hoher Strombelastbarkeit für die verschiedensten Spektralbereiche vom Ultrarot bis zum Ultraviolett benötigt. Die bisher im Handel erhältlichen Photowiderstände zeigen eine nur verhältnismäßig geringe Strombelastbarkeit und Empfindlichkeit und erfordern daher im allgemeinen die zusätzliche Verwendung von Verstärkeranlagen. Es ist indessen neuerdings gelungen, durch eine besondere Behandlung von feinkristallinen, pulverförmig vorliegenden, photoelektrisch empfindlichen Stoffen auch Photoleiter mit sehr hoher Strombelastbarkeit und hoher Empfindlichkeit herzustellen, so daß jetzt meist auf mehrstufige Verstärkeranlagen verzichtet werden kann oder doch wenigstens eine wesentlich geringere Verstärkerstufenzahl hinreicht. Es ist z. B. durch geeignete Sinterverfahren gelungen, Photokeramikkörpcr herzustellen, die bei sehr geringen Feldstärken bereits eine sehr hohe lichtelektrische Empfindlichkeit aufweisen. So läßtsichbeispielsweise bei einer Photoleiterzelle mit einem 2 cm2 großen Elektrodenraster, dessen Strichabstand 0,75 mm beträgt, bei einer angelegten Spannung von etwa io V schon durch eine Belichtung mit Zoo Lux ein sStrombis zu io mA erreichen; während der Dunkelstrom bei gleichem angelegten. Feld weniger als 2 - io-$Amperebeträgt. Beisehrschnellablaufenden Steuerungsvorgängen ist diese sehr hohe Empfindlichkeit allerdings wegen des bei Photowiderständen bekanntlich langsameren .Abfallens der Restleitfähigkeit nicht in vollem Maße ausnutzbar. Es steht aber auch dann noch ein großer Strombereich zur Verfügung.
  • Diese außerordentlich hohe Empfindlichkeit ist in erster Linie auf das durch geeignete Präparation erzielbare gute Isolationsvermögen der verwendeten Photowerkstoffe zurückzuführen, das sich bei Zinksulfid; Cädmiumsulfid, deren Mischkristallen, Phosphoren und vielen weiteren photoelektrisch empfindlichen Stoffen neuerdings erreichen läßt, z. B. durch eine Glühbehandlung in geeigneten Dämpfen, beispielsweise bei Sulfiden durch eine Glühbehandlung in Hochdruckschwefeldampf.
  • Für viele Anwendungsgebiete ist es andererseits aber günstig, wenn der Photowiderstand bereits vor der Belichtung einen erheblichen Strom durchläßt; er also einen erheblichen Dunkelstrom führt. So ist beispielsweise bei der Modulation von Glühlampen im allgemeinen eine ,Steuerung zwischen Grauglut und Weißglut der Wolframwendel durchaus hinreichend. Ähnliches gilt auch bei Schalteinrichtungen mit Relais, die Schaltvorgänge auslösen, sobald ein bestimmter vorgegebener Ruhestrom um einen geringen zu steuernden Strombetrag überschritten wird.
  • Man kann zwar in vielen Fällen durch eine oxydierende Behandlung der. Photowerkstoffe oder durch entsprechende Zusätze zu den Photowerkstoffen den Dunkelstrom des Photowiderstandes ohne weiteres auf den gewünschten Betrag erhöhen, doch ist damit im allgemeinen gleichzeitig eine wesentliche Einbuße an auszusteuerndem -Hellstrom verknüpft. Die Erfindung bezweckt; diesen Nachteil zu beseitigen und einen vorgegebenen Dunkelstrom unter Beibehaltung des ganzen Steuerbereiches des auf hohe Empfindlichkeit gezüchteten Photowiderstandes zu erreichen.
  • Dies gelingt nach der Erfindung durch einen lichtelektrisch empfindlichen Widerstand, bei dem die lichtelektrisch empfindliche, mit dem Elektrodenraster versehene Schicht auf einem mit Stromanschlüssen versehenen und parallel zu dem Elektrodenraster geschalteten Halbleiterwiderstand aufgebracht ist. Bei einem derart ausgebildeten Photowiderstand wird demnach der Dunkelstrom ausschließlich oder hauptsächlich durch die nach Belieben einstellbare Leitfähigkeit des Halbleiterwiderstandes erreicht, während der zusätzliche Steuerstrom von der parallel dazu geschalteten lichtelektrisch empfindlichen Schicht geliefert wird. Die Verwendung eines Halbleiterkörpers als Unterlage- und Träger des lichtelektrisch empfindlichen , Stoffes ist deswegen von großem Vorteil, weil sich Halbleiterkörper, der Größe der Photowiderstandsschicht angepaßt, mit beliebigen Widerstandswerten und damit Dunkelströmen bequem herstellen lassen, ohne daß dabei eine Änderung der Abmessungen des Halbleiterkörpers nötig ist. Es stehen auch sehr viele Halbleiterverbindungen zur Verfügung, welche die Anwendung hoher Sintertemperaturen erlauben und daher gegebenenfalls eine gute Versinterung der Photoleiterschicht am fertigen - Widerstand möglich machen. Bei der Herstellung des Halbleiterwiderstandes wird beispielsweise die Keramik in Molybdängefäßen oder -kapseln je nach den gewünschten Eigenschaften im Vakuum oder in Schutzgasen durch Hochfrequenz hochgeheizt. Bei dieser geschichteten Anordnung Photoleiter-Halbleiter erreicht man noch den bemerkenswerten Vorteil, daß man mit einer relativ geringen Menge des wertvollen Photowerkstoffes auskommt, ohne daß dabei die Festigkeit der Zelle gefährdet wird: Denn diese wird durch die feste Halbleiterunterlage gesichert.
  • In der Zeichnung sind als Ausführungsbeispiele zwei nach der Erfindung ausgebildete lichtelektrisch empfindliche Widerstände in Vorderansicht und im Schnitt dargestellt.
  • Bei der Anordnung nach den Abb. i und 2 ist auf einem scheibenförmigen Halbleiterkörper i die lichtelektrisch empfindliche Schicht 2 und auf dieser das Elektrodenraster 3 aufgebracht. Die Ober- und Unterkante des Widerstandes sind mit leitenden Belägen q:, etwa aus Silber, versehen, die an das Elektrodenraster 3 und die Stromzuführungen 5 angeschlossen sind. Der Halbleiterkörper i kann aus einem Magnesium-Titanoxyd-Spinell bestehen. Die lichtelektrisch empfindliche Schicht läß't sich nach den bekannten Verfahren der Aufdampfung, Festdampfung oder nach dem Sinterverfahren erzielen.
  • In den Abb. 3 und q. ist eine Ausführungsform dargestellt, bei der auf dem Halbleiterwiderstand i zuerst das Elektrodenraster 3, in der Regel ein Doppelkammrasteraufgebracht ist, über dem sich die lichtelektrisch empfindliche :Schicht2 befindet. In diesem Fall ist also das Elektrodenraster 3 zwischen dem Halbleiterwiderstand i und der Photoschicht 2 angeordnet. Hierbei ergeben sich besonders große Dunkelströme, weil das Doppelkammraster auch gleichzeitig die Elektroden des Halbleiterwiderstandes bildet und demgemäß auch auf den Halbleiterwiderstand die hohen Feldstärken des Doppelkammrasters wirken.
  • Die durchgeführten Versuche haben gezeigt, daß sich die bei der Herstellung von Halbleiterwiderständen übliche Reduktion der Ausgangsstoffe mit der zur Senkung des Dunkelstromes der lichtelektrisch empfindlichen Stoffe vorzunehmenden Glühbehandlung kombinieren, d. h. in einem Arbeitsgang durchführen läßt, z. B. wenn als Halbleiterwiderstand ein Magnesiumoxyd-Titanoxyd-Spinell und als Photostoff Cadmiumsulfid benutzt wird. Es. kann dann durch eine geeignete Glühbehandlung in Schwefeldampf gleichzeitig sowohl der gewünschte Leitwert des Spinells als auch das erforderliche Isolationsvermögen des Cadmiumsulfides herbeigeführt werden.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCH: Lichtelektrisch empfindlicher Widerstand, dadurch gekennzeichnet, daß die lichtelektrisch empfindliche, mit dem Elektrodenraster (3) versehene Schicht (2) auf einem Stromanschlüsse aufweisenden und parallel zu dem Elektrodenraster (3) geschalteten Halbleiterwiderstand (i) aufgebracht ist.
DEP3158D 1941-02-07 1941-02-07 Lichtelektrisch empfindlicher Widerstand Expired DE866219C (de)

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DE866219C true DE866219C (de) 1953-02-09

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