DE7606084U1 - Anordnung zum zerstaeuben von festkoerpern im hochvakuum, insbesondere von dielektrischen stoffen in wechselspannungs- kathodenzerstaeubungs-anlagen - Google Patents
Anordnung zum zerstaeuben von festkoerpern im hochvakuum, insbesondere von dielektrischen stoffen in wechselspannungs- kathodenzerstaeubungs-anlagenInfo
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