DE720354C - Elektronenoptisches System mit einer Intensitaetsblende - Google Patents

Description

• Elektronenoptisches System mit einer Intensitätsblende Wie in der Lichtoptik, ist es auch in der Elektronenoptik erwünscht, an einzelnen Stellen des elektronenoptischen Strahlenganges Intensitätsverluste dadurch zu erzielen, daß Blendenränder von der Strahlung getroffen werden. Einfach ist eine solche Ausblendung dann, wenn die Abbildung durch ein Magnetfeld erfolgt oder wenn im elektrischen oder elektrischen und magnetischen Abbildungsfeld ein feldfreier Raum vorhanden ist. Schwierig ist es jedoch, die Ausblendung dort vorzunehmen, wo sich kein feldfreier Raum befindet.
• Es ist bekannt, eine Ausblendung durch Blenden vorzunehmen, die entweder auf einem Potential gehalten sind, das mit dem Potential des Raumes ohne Anwesenheit der Blende nicht übereinstimmt, oder aber ungeladene Blenden zur Ausblendung zu benutzen. Die Bedingungen, die an eine Blende aus Metall zu stellen sind, damit der Feldverlauf nicht gestört wird, sind ebenfalls bekannt. Es muß erstens ihre Form einer im ursprünglichen Feld vorhandenen Äquipotentialfläche entsprechen, und es muß zweitens ihr Potential identisch sein mit dem Potential dieser Fläche. Es fehlt hier allerdings die wesentliche Erkenntnis, daß sich bei der überwiegenden Mehrzahl der abbildenden Potentialfelder auch in felderfüllten Gebieten eine Potentialfläche findet, die mindestens in einem größeren Teil eben ist und senkrecht zur optischen Achse steht (s. Abbildung), so daß man die Blende in besonders einfacher Weise eben ausbilden kann.
• Nach der Erfindung ist die in ihrer Form der im ursprünglichen Feld vorhandenen Äquipotentiallläche entsprechende und auf das Potential dieser Fläche aufgeladene Intensitätsblende in ihrer Größe verstellbar und wird in dem von Null verschiedenen elektrischen Feld an der Stelle einer ebenen, sieh senkrecht zur optischen Achse erstreckenden Äquipotentialfläche angeordnet. Durch diese Anordnung der Blende im Feld wird offensichtlich keinerlei Einfluß auf das Potentialfeld ausgeübt, während gleichzeitig die Form der Blende es ermöglicht, sie nach Art einer Irisblende verstellbar auszuführen. Das System nach der Erfindung läßt eine Intensitätsmodulation, verbunden mit dem Vorteil hoher Abbildungsschärfe infolge der Abblendung des Strahlenganges, zu.

Claims (1)

1. _PATENTANSPRUCH: Elektronenoptisches System mit einer in ihrer Form der im ursprünglichen Feld vorhandenen Äquipotentialfläche entsprechenden und auf das Potential dieser Fläche aufgeladenen Intensitätsblende, dadurch gekennzeichnet, daß die Blende in ihrer Größe verstellbar und in dem von lull verschiedenen elektrischen Feld an der Stelle einer ebenen, sich senkrecht zur Achse erstreckenden Äquipotentialiläche angeordnet ist.