DE707331C - Magnetische Linse mit unsymmetrischem Polsystem - Google Patents

Magnetische Linse mit unsymmetrischem Polsystem

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DE707331C
DE707331C DES128447D DES0128447D DE707331C DE 707331 C DE707331 C DE 707331C DE S128447 D DES128447 D DE S128447D DE S0128447 D DES0128447 D DE S0128447D DE 707331 C DE707331 C DE 707331C
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DE
Germany
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pole
magnetic lens
pole pieces
magnetic
asymmetrical
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Expired
Application number
DES128447D
Other languages
English (en)
Inventor
Dr-Ing Bodo Von Borries
Dr-Ing Ernst Ruska
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens and Halske AG
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens and Halske AG
Siemens Corp
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Publication date
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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/10Lenses
    • H01J37/14Lenses magnetic
    • H01J37/141Electromagnetic lenses

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Magnetic Resonance Imaging Apparatus (AREA)

Description

  • Magnetische Linse mit unsymmetrischem Polsystem Die Erfindung betrifft eine magnetische Linse mit unsymmetrischem Polsystem, wie sie beispielsweise bei Elcktronenmikroskopen angewendet werden kann. Um kleine Brennweiten zu erhalten, muß man bei derartigen Linsen Magnetsysteme verwenden, deren Polschuhe einander bis auf etwa i mm oder weniger genähert sind. Bei symmetrischer Ausbildung der Polschuhe hat dies zur Folge, daß man mit dem Objekt kaum noch genügend nahe an die magnetische Litise heran kann. Um diesen Nachteil zu vermeiden, hat man unsymmetrische Polschuhe angewendet, und zwar derart, daß der eine Polschub einen ziemlich stumpfen Kegel, der andere Polschuh einen ziemlich spitzen Kegel darstellt. Es gelingt auf diese «'eise, an der Seite des stumpfwinkligen Polschuhes genügend nahe an die Linse mit dem Objekt heranzukommen.
  • Die magnetische Linse der vorliegenden Art ist in der Weise ausgebildet, daß erfindungsgemäß der Querschnitt der Polschuhe derart bemessen ist, daß in beiden Polschuhen, und zwar wenigstens an den Polenden, die magnetische Sättigung bei der jeweiligen Erregerstromstärke in gleicher Höhe eintritt. Dadurch wird der Vorteil erzielt, daß man finit dem geringsten Aufwand eine magnetische Linse besonders kurzer Brennweite erzielen kann.
  • Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist schematisch in der Abbildung dargestellt. Mit i ist die Magnetspule bezeichnet, die von dem ringförmigen Eisenmantel 2 umgeben ist. Die Polschuhe haben die Gestalt von Kegeln, deren Spitze mit einer Öffnung versehen ist. Der dem Objekt zugewandte Polschuh hat die Form eines stumpfen Kegels und ist mit 3 bezeichnet, während der Öffnungswinkel des Polschuhes 4 kleiner ist. Der Querschnitt der Polschuhe wird nun derart gewählt, daß die magnetische Sättigung an den Polenden bei der jeweiligen Erregerstromstärke in gleiches Höhe eintritt. Mit Rücksicht auf die Streulinien ist es zu diesem Zweck erforderlich, dem Polschuh 4 einen größeren Querschnitt zu erteilen als dem Polschuh 3.
  • Beim Ausführungsbeispiel nach der Abb. i sind die konkaven Seiten der Polschuhe nach außen gerichtet. Man kann aber auch die konvexe Seite des Polschuhes 3 dem Objekt zuwenden, wie schematisch in Abb.2 dargestellt ist. Auch hier kann man durch Bemessung der Querschnitte der Polschuhe dafür sorgen, daß die Sättigung an den Polenden in gleicher Höhe eintritt.

Claims (3)

  1. PATENTANSPRÜCHE: t. Magnetische Linse mit unsymmetrischem Polsystem, dadurch gekennzeichnet, daß der Querschnitt der Polschuhe derart bemessen ist, daß in beiden Polschuhen, und zwar wenigstens an den Polenden, die magnetische Sättigung bei der jeweiligen Erregerstromstärke praktisch in gleicher Höhe eintritt.
  2. 2. Magnetische Linse nach Anspruch t, dadurch gekennzeichnet, daß die konkaven Seiten der Polschuhe nach außen gerichtet sind.
  3. 3. Magnetische Linse nach Anspruch t, dadurch gekennzeichnet, daß der dem Objekt benachbarte Polschuh dem Objekt seine konvexe Seite zukehrt.
DES128447D 1937-08-16 1937-08-17 Magnetische Linse mit unsymmetrischem Polsystem Expired DE707331C (de)

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DE517680X 1937-08-16
DES128447D DE707331C (de) 1937-08-16 1937-08-17 Magnetische Linse mit unsymmetrischem Polsystem

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE839678C (de) * 1941-07-16 1952-05-23 Telefunken Gmbh Kathodenstrahlroehre mit einem praktisch axial gerichteten Magnetfeld

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE839678C (de) * 1941-07-16 1952-05-23 Telefunken Gmbh Kathodenstrahlroehre mit einem praktisch axial gerichteten Magnetfeld

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