DE700698C - Vorrichtung zur Beleuchtung der gekruemmten spiegeoptischen Abbildung - Google Patents

Vorrichtung zur Beleuchtung der gekruemmten spiegeoptischen Abbildung

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DE700698C
DE700698C DE1938Z0024745 DEZ0024745D DE700698C DE 700698 C DE700698 C DE 700698C DE 1938Z0024745 DE1938Z0024745 DE 1938Z0024745 DE Z0024745 D DEZ0024745 D DE Z0024745D DE 700698 C DE700698 C DE 700698C
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DE
Germany
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illuminating
imaging
mirror
optical system
reflective
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Expired
Application number
DE1938Z0024745
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Inventor
Dr-Ing Kurt Raentsch
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Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/06Means for illuminating specimens
    • G02B21/08Condensers
    • G02B21/082Condensers for incident illumination only

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Lenses (AREA)

Description

  • Vorrichtung zur Beleuchtung der gekrümmten spiegelnden Oberfläche eines Objektes Die Lösung der Aufgabe, die spiegelnde Oberfläche eines Objektes optisch abzubilden, sei es, um diese Oberfläche selbst zu untersuchen oder auf ihr angebrachte Marken, Teilungen o. dgl. zu beobachten, bereitet wegen der Spiegelwirkung der abzubildenden Fläche oft Schwierigkeiten. Ist die abzubildende Oberfläche eine ebene Fläche, die wenigstens angenähert rechtwinklig auf der optischen Achse des abbildenden optischen Systems steht, dann ist in vielen Fällen die Abbildung nur möglich, indem man die Fläche mittels einer Vorrichtung beleuchtet, die mit einem spiegelnden Element versehen ist, welches ein optisch gerichtetes, achsensymmetrisches Lichtbündel in der Richtung der Abbildungsstrahlen auf die Fläche wirft. Das spiegelnde Element der Vorrichtung, die ähnlich wie die aus der Mikroskopie bekannten Vertikalilluminatoren wirkt, kann entweder ein lichtdurchlässiger Spiegel sein, der den gesamten Querschnitt des Abbildungsstrahlenbündels bedeckt, oder ein lichtundurchlässiger Spiegel, der nur den Abbildungsstrahlen eines Teiles des Querschnitts den Durchgang verwehrt.
  • Diese bekannte Vorrichtung zur Beleuchtung versagt jedoch im allgemeinen, wenn die zu beleuchtende spiegelnde Fläche nicht eben, sondern gekrümmt ist, weil die auf die gekrümmte Fläche einfallenden Beleuchtungsstrahlen zum Teil unter Neigungswinkeln zur optischen Achse des abbildenden Systems abgelenkt werden, die zu groß sind, um noch vom abbildenden System erfaßt zu werden. Ein solcher Fall, der praktisch häufig vorkommt, liegt beispielsweise dann vor, wenn eine auf einem zylindrischen Metallstab mit blanker, z. B. _ polierter Oberfläche in der Form einer Schraubenlinie aufgetragene Teilung abgebildet werden soll. Verwendet man nämlich hierbei die bekannte Beleuchtungsvorrichtung, dann wird dem abbildenden System lediglich ein schmaler Längsstreifen des Objektes beleuchtet dargeboten, während der übrige Teil des Objektes dunkel erscheint.
  • Der Erfindung liegt der Gedanke zugrunde, die Oberfläche des Objektes selbst als Teil des optischen Systems der Beleuchtungsvorrichtung aufzufassen und die Wirkung dieser Oberfläche durch wenigstens ein zusätzliches, in den Gang der gerichteten Beleuchtungsstrahlen geschaltetes optisches Glied so zu beeinflussen, daß die unerwünschte Wirkung der Objektfläche aufgehoben wird. Die Verwirklichung dieses Gedankens beseitigt die vorhandenen Schwierigkeiten. Sie ist möglich mittels einer mit einem spiegelnden Element zur Ablenkung eines optisch gerichteten, achsensymmetrischen Lichtbündels in die Richtung der Abbildungsstrahlen ausgestatteten Vorrichtung zur Beleuchtung der gekrümmten spiegelnden Oberfläche eines Objektes, indem man erfindungsgemäß in Richtung des einfallenden Lichtes gesehen vor das spiegelnde Element ein zusätzliches optisches System in den Beleuchtungsstrahlengang schaltet, welches das Beleuchtungsstrahlenbündel so beeinflußt, daß in zwei zueinander rechtwinkligen Ebenen mit Hilfe des abzubildenden spiegelnden Objektes .ein Bild der Austrittspupille des Beleuchtungssystems in der Ebene der Eintrittspupille des abbildenden optischen Systems erzeugt wird.
  • In der Zeichnung sind zwei Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt. Abb. i zeigt das ersteBeispiel, Abb. 2 das zweite Beispiel in -Mittelschnitten im Aufriß. In Abb. 3 ist ein Schnitt nach der Linie A-A der Abb.2, in Abb. .I ein Schnitt nach der Linie B-13 der Abb. 2 wiedergegeben. Der Verlauf der Beleuchtungsstrahlen ist in den Abbildungen angedeutet.
  • Bei beiden Beispielen ist von einer bekannten Beleuchtungsvorrichtung Gebrauch gemacht, die aus einer als Lichtquelle dienenden Glühlampe a, einem zweilinsigen Lampenkondensor b zur Erzeugung eines optisch gerichteten, achsens_vtntnetrischen Lichtbündels und einem schräg in den Abbildungsstrahlengang gestellten Planspiegel c besteht. Dieser Spiegel c ist mit einer lichtdurchlässigen Re-.flexionsschicht versehen, welche bewirkt, daß ein Teil der auffallenden Strahlen in die Richtung der optischen Achse des abbildenden Systems abgelenkt und auf das zu untersuchende Objekt geworfen wird.
  • Das Objekt d des ersten Ausführungsbeispiels (Abb. i) hat eine erhabene spiegelnde Oberfläche c von kugelförmiger Gestalt. Diese Oberfläche ist mit Hilfe eines optischen Systems f abzubilden, wobei der Abbildungsstrahlengang durch eine Blende g begrenzt wird, deren Ebene mit der hinteren Brennebene des Systems f zusammenfällt. Das Bild der Blende g, vom Objekt d aus gesehen, wirkt als Eintrittspupille des Systems f und erscheint so, als ob sie in unendlicher Entfernung vom System f läge. Ebenso scheint der Leuchtfaden der Lichtquelle a, der durch den Lampenkondensor b in großer Entfernung abgebildet wird, für einen hinter dem Lampenkondensor b befindlichen Beobachter in unendlich großer Entfernung zu liegen. Der Beleuchtungsstrahlengang wird durch die Ausdehnung dieses Leuchtfadens begrenzt, dessen Bild demnach die Stelle der Austrittspupille des Lampenkondensors b vertritt. Zwischen dem Lampenkondensor b und dem Spiegel c ist eine Sammellinse h in den Gang der Beleuchtungsstrahlen geschaltet. Die Brennweite dieser Linse h ist so gewählt, daß die zerstreuende Wirkung der spiegelnden Oberfläche e kompensiert wird, d. h. daß die als parallelstrahliges Lichtbündel die Linse h treffenden Lichtstrahlen einer solchen Sammelwirkung unterworfen sind, daß sie nach ihrer Reflexion an den Spiegeln c und e den Spiegel c als parallelstrahliges Bündel wiederum treffen. Sie durchsetzen zum Teil diesen Spiegel c und fallen auf das abbildende System f, welches sie in der Ebene der Blende g zu einem Bilde des Leuchtfadens der Lichtquelle a vereinigt.
  • Das abbildende System f des zweiten Ausführungsbeispiels (Abb.2) ist im Gegensatz zu dem des ersten Beispiels nicht mit einer Blende g ausgestattet. Demzufolge wirkt die freie Öffnung des Systems f als Eintrittspupille. Als Objekt ist ein Körper i zugrunde gelegt, dessen hohle, zylindrische Oberfläche k hochglanzpoliert und vom System f abzubilden ist. Die Zylinderachse dieser Hohlfläche k steht in Abb.2 senkrecht auf der Zeichenebene. In dieser Ebene übt sie deshalb eine sammelnde Wirkung auf die einfallenden Beleuchtungsstrahlen aus. Diese sammelnde Wirkung wird durch eine vor den Spiegel c in den Beleuchtungsstrahlengang geschaltete zylindrische Sammellinse l in nachstehend noch angegebener Weise kompensiert, deren Zylinderachse der Fläche k parallel ist. In den die beiden Zylinderachsen enthaltenden Schnittebenen, denen die Ahb. 3 und q. zugehören, wirkt sowohl die Linse l als auch die Oberfläche k weder sammelnd noch zerstreuend, d. h. die Zylinderlinse l entspricht einer planparallelen Platte und die Oberfläche k einem ebenen Spiegel.
  • Als Austrittspupille des Beleuchtungssystems dieses Beispiels wirkt wiederum das Bild des Glühfadens der Lichtquelle a. Der Abstand des Lampenkondensors b von der Lichtquelle a ist .so zu wählen, daß dieser Glühfaden durch die in den Ebenen der Abb.3 und 4 liegenden Beleuchtungsstrahlenbüschel in der Eintrittspupille des abbildenden Systems f, d. h. ungefähr auf deren dem einfallenden Lichte zugekehrten Oberfläche, abgebildet wird. Dabei werden die Lichtstrahlen zum Teil am Spiegel c abgelenkt und der Oberfläche k zugeführt, welche sie in der Richtung der optischen Achse des Systems f auf den Spiegel c reflektiert, den sie zum Teil durchsetzen. In dem der Abb.z entsprechenden Schnitt, der rechtwinklig zu den Zylinderachsen geführt ist, übt die Linse l eine sammelnde Wirkung auf das Beleuchtungsstrahlenbündel aus. Das hat zur Folge, daß nach der Ablenkung durch den Spiegel c ein Bild des Glühfadens in einer Ebenem -entsteht, welches von der Oberfläche k wiederum, und zwar gleichfalls ungefähr auf der dem einfallenden Lichte zugekehrten Oberfläche des Systems f, abgebildet wird.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCH: Mit einem spiegelnden Element zur Ablenkung eines optisch gerichteten, achsensymmetrischen Lichtbündels in die Richtung der Abbildungsstrahlen ausgestattete Vorrichtung zur Beleuchtung der gekrümmten spiegelnden Oberfläche eines Objektes zum Zwecke ihrer Abbildung mittels eines optischen Systems, dadurch gekennzeichnet, daß, in Richtung des einfallenden Lichtes gesehen, vor das spiegelnde Element ein zusätzliches optisches System in den Beleuchtungsstrahlengang geschaltet ist, welches das Beleuchtungsstrahlenbündel so beeinflußt, daß in zwei zueinander rechtwinkligen Ebenen mit Hilfe des abzubildenden spiegelnden-Objektes ein Bild der Austrittspupille des Beleuchtungssystems in der Ebene der Eintrittspupille des abbildenden optischen Systems erzeugt wird.
DE1938Z0024745 1938-08-19 1938-08-19 Vorrichtung zur Beleuchtung der gekruemmten spiegeoptischen Abbildung Expired DE700698C (de)

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