DE69924226T2 - Verfahren und Vorrichtung zum mehrwertigen Programmierung einer Speicherzelle - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum mehrwertigen Programmierung einer Speicherzelle Download PDF

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Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Speicherzelleneinrichtungen und genauer gesagt auf eine Programmiertechnik mit Schwellenwerten auf mehreren Niveaus für derartige Einrichtungen.
  • Beschreibung des relevanten Standes der Technik
  • Das Programmieren von Speicherzellen und dergleichen mit Schwellenwerten auf mehreren Niveaus wird von vielen Entwicklern verwendet, um die Menge an Daten, die auf einer Speichereinrichtung gespeichert werden können, zu erhöhen. Statt daß beispielsweise zwei Schwellenwerte verwendet werden, um die Datenwerte bzw. -niveaus "ein" oder "aus" in der Speicherzelle zu speichern, wird nunmehr eine größere Anzahl von Schwellenwerten verwendet und in Form getrennter Datenniveaus erfaßt. Dies ermöglicht eine erweiterte Datenspeicherung für einen gegebenen Umfang an Speicher.
  • Um bei derartigen Speicherzellen ein Programmieren mit mehreren Schwellenwerten zu erreichen, ist eine exakte Ladungsplazierung eine der Hauptanforderungen. Insbesondere ist es wichtig, die Speichereinrichtung so zu programmieren, daß kein nennenswertes Überschießen der Schwellenwertspannung auftritt, da ein Überschießen von der Abfrageeinrichtung irrtümlicherweise als ein nachfolgendes Datenniveau interpretiert werden könnte. Wenn die Genauigkeit der Ladungsanordnung verbessert wird, so können beträchtlich mehr Spannungsniveaus bei einer einzelnen Speicherzelle verwendet werden, wodurch die relative Dichte der Datenspeicherung erhöht wird.
  • Viele frühere Anordnungen und Programmiertechniken sind für die Programmierung von Speicherzellen mit Schwellenwerten auf mehreren Niveaus vorgeschlagen worden. Eine derartige Technik umfaßt die Schritte des Programmierens der Speicherzellen und dann anschließend Verifizieren des programmierten Niveaus (auch als "Programmieren und Verifizieren" bezeichnet). Variationen der Programmier- und Verifizierungstechnik sind in den US-Patenten Nr. 5,293,560 und 5,218,569 offenbart. Eine weitere Technik beinhaltet Selbstkonvergenz, wobei das gewünschte, programmierte Spannungsniveau bereitgestellt wird durch Verwenden einer Strom- oder Spannungserfassung an einem Punkt in der Einrichtung, um ein weiteres Programmieren der Einrichtung zu beenden. Dies beseitigt das Erfordernis der Verifizierung für jedes programmierte Niveau. Beispiele derartiger Selbstkonvergenztechniken sind in den US-Patenten 5,566,111 und 5,712,815 offenbart.
  • Ein Problem, welches bei beiden solchen Techniken auftritt, besteht darin, daß während des Programmierens, während ein programmierter Zustand sich einem gewünschten Niveau annähert, die Schwellenwertspannung der programmierten Zelle in groben und ungleichmäßigen Schritten, von einem niedrigen Niveau auf ein hohes Niveau oder umgekehrt, verschoben wird. Dies bewirkt im allgemeinen, daß die Schwellenwertverteilung relativ breiter ist als es für ein Programmieren von Zellen mit mehreren Niveaus wünschenswert ist. Einige Lösungen dieses Problems umfassen das folgende: Verwenden einer kontrollierten Pulsbreite für den Programmierimpuls der Gate-Spannung, Verwenden eines kleineren Spannungsschrittes für jeden nachfolgenden Programmierimpuls, der an dem Gate angelegt wird, und/oder Verwenden von genaueren Vergleichen bzw. Komparatoren für die Bezugsspannung. Jede dieser Lösungen bedeutet ein Kompromiß hinsichtlich der Gerätekosten und der Programmiergeschwindigkeit.
  • Ein weiterer Faktor, der das Programmieren und Bereitstellen von Schwellenwertspannungen auf mehreren Niveaus in einer Speicherzelle beeinflußt, ist der Reihenwiderstandseffekt, wie er in dem US-Patent Nr. 5,422,845 beschrieben wird. Dieses Patent schlägt die Lösung vor, daß ein oder mehrere Widerstände zwischen dem Masseanschluß und Masse hinzugefügt werden. Das Ergebnis einer solchen Lösung besteht in einem beträchtlichen Anstieg hinsichtlich der Gerätegrundlasten bedeutet, da Widerstände generell eine große Fläche für die Ausbildung auf Halbleiterentwürfen erfordern.
  • Es ist demnach wünschenswert, eine Speicherzellengeräteanordnung und ein Programmierverfahren bereitzustellen, die eine wünschenswerterweise schmale Verteilung von Schwellenwertspannungen auf mehreren Niveaus bereitstellt, ohne jedoch teure und genaue Steuerungen der Breite des Gateprogrammierimpulses und/oder der Spannungsschritte zu erfordern oder zusätzlich eine erhöhte Verwendung peripherer Geräte, wie z.B. Komparatoren, Widerstände und dergleichen, zu erfordern.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung wird durch die Ansprüche 1 und 19 definiert.
  • Besonders bevorzugte Aspekte der vorliegenden Erfindung sind in den beigefügten unabhängigen und abhängigen Ansprüchen dargelegt. Merkmale der abhängigen Ansprüche können mit Merkmalen der unabhängigen Ansprüche nach Bedarf kombiniert werden und auch in Kombinationen, die sich von den ausdrücklich in den Ansprüchen dargelegten unterscheiden.
  • Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung enthält eine Speichereinrichtung eine Pseudozelle (Dummy-Zelle), die zu einer ausgewählten Speicherzelle parallel geschaltet ist, welche dadurch gemeinsame Source- und Drain-Knoten bilden. Die Bezugnahme auf eine Parallelschaltung ist eine vereinfachte Wiedergabe, da die Einrichtungen über angemessene Block-, Spalten- und Reihenausfallschaltkreise und dergleichen miteinander verbun den sind, die im Stand der Technik allgemein bekannt sind. Die Gates der miteinander verbundenen Einrichtungen verwenden auch eine gemeinsame Wortleitung und bilden einen Gate-Knoten. Die Schwellenwertspannung der Pseudozelle wird gesetzt oder die geeignete Pseudozelle wird ausgewählt je nach der gewünschten, angestrebten Schwellenwertspannung der programmierten Speichereinrichtung. Der Strom durch die zugehörige Pseudozelle wird verwendet, um das Überschießen der programmierten Schwellenwertspannung der Speicherzelle zu kontrollieren. Eine Serie von Stufenspannungen oder Programmierimpulsen wird an dem Gate der Speicherzelle angelegt, um die programmierte Schwellenwertspannung zu erreichen.
  • In einer anderen Ausführungsform der Erfindung wird eine Konstantstromquelle, die beispielsweise aus einer Transistoreinrichtung besteht, zwischen dem gemeinsamen Source-Knoten und dem Masseanschluß der Pseudo- und Speicherzelleneinrichtungen verwendet. Programmierschritte enthalten die zeitliche Taktung des Anlegens einer bekannten Spannung an dem Gate des Stromquellentransistors, um einen konstanten Strom an dem Source-Knoten zu erzeugen. Ein Programmier- und Verifizierverfahren des Programmierens der Speicherzelle nutzt die parallel geschalteten Einrichtungen gemäß den folgenden Schritten: Verbinden des Drain-Knotens und des Gate-Knotens mit einer hohen Spannung und Verbinden des Source-Knotens mit einem Zwischenwert an der Stromquelle, während der Programmierimpuls beginnt. Danach wird das Gate der Konstantstromquelle mit einem festen Spannungsniveau gegenüber Masse verbunden, was die Stromquelle einschaltet und den Source-Knoten auf das Niveau der Stromquelle zieht. Anfänglich ist der Strom durch die Speicherzelle gleich dem Strom durch die Stromquelle, wobei der Strom der Pseudozelle Null ist, da die Schwellenwertspannung der Speicherzelle geringer ist als die der Pseudozelle. In dem endgültigen Zustand der Speicherzelle ist der Strom gleich dem der Dummy-Zelle, was der Hälfte des Konstantstromes entspricht, vorausgesetzt, daß das Aspektverhältnis der Speicherzelle und der Pseudozelle bzw. Dummy-Zelle äquivalent ist und daß ihre Schwellenwertspannungen annähernd die gleichen sind. Diese Ausführungsform der Erfindung stellt eine bequeme Programmierbarkeit bereit, und reduziert dennoch das Überschießen der Schwellenwertspannung beträchtlich, und stellt dadurch eine verbesserte Verteilung der Schwellenwertspannung bereit.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung nutzt ein Selbstkonvergenzverfahren die miteinander verbundenen Speicher- und Dummy-Zellen-Einrichtungen zusammen mit Abfrageverstärkereinrichtungen und Herabzieheinrichtungen für die Drain, welche durch den durch die Dummy-Zelle fließenden Strom aktiviert werden. Die Programmierschritte umfassen die folgenden:
    Verbinden der Drain- und Gate-Knoten mit einer hohen Spannung und des Source-Knotens mit einem Zwischenniveau zu Beginn des Programmierens. Danach Verwenden des Gates der Stromquelle mit einem bekannten Niveau gegenüber Masse, was die Stromquelle einschaltet und den Source-Knoten von dem Zwischenniveau auf high zieht. Und Überwachen des Dummy-Zellen-Stromes über die Abfrageverstärkereinrichtungen, welche die Herabzieheinrichtungen der Drain einschalten, wenn der Strom durch die Dummy-Zellen ein gewisses Niveau erreicht. Dies beendet das Programmieren der Speicherzelle, wenn die gewünschte Schwellenwertspannung der Programmierung an der Zelle erreicht ist. Dieses Konvergenzverfahren mit den Dummy-Zellen vermindert die Breite der Stromverteilung für jede Schwellenwertspannung, während die Schwellenwertspannung auf einen Wert konvergiert, wenn der Speicherzellenstrom durch den Abfrageverstärker bestimmt wird. Darüber hinaus kann eine Reihe von Dummy-Zellen und zugehörigen Abfrageverstärkern für jede nachfolgende, angestrebte Schwellenwertspannung verwendet werden, um dadurch mehrere Datenniveaus für irgendeine Speicherzelle zu erzeugen, die umschaltbar mit der Serie von Dummy-Zellen verbunden werden kann.
  • Gemäß Ausführungsform der Erfindung wird eine genaue Ladungsplazierung mit keinem oder nur einem minimalen Überschießen der Schwellenwertspannung und mit relativ geringen Zusatzlast-(overhead)Erfordernissen der Einrichtung erreicht.
  • KURZBESCHREIBUNG DER FIGUREN
  • Die vorliegende Erfindung wird lediglich beispielhaft unter Bezug auf bevorzugte Ausführungsformen weiter beschrieben, wie sie in den beigefügten Zeichnungen dargestellt sind, und von denen:
  • 1 ein Schaltkreisdiagramm des grundlegenden Aufbaus von Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ist, wobei der Schaltkreis eine Dummy-Zelle enthält, die mit der zu programmierenden Speicherzelle parallel geschaltet ist. Man beachte, daß für die 1, 3 und 4 die parallelen Verbindungen als repräsentative Beispiele dargestellt sind, um die Beschreibung von Ausführungsformen der Erfindung zu erleichtern. Die Layouts des Zellarrays, die Schaltverbindungen und dergleichen sind aus Gründen der Einfachheit fortgelassen worden.
  • 2 ist eine Kurve, welche die größeren Schritte und Pulsbreiten der Gate-Spannung (gegenüber früheren Techniken) darstellt, welche mit Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung möglich sind, ohne die Verteilung der Schwellenwertspannung nachteilig zu beeinflussen.
  • 3 ist ein Schaltkreisdiagramm einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zur Durchführung des Programmier- und Verifizier-Verfahrens, wobei der Schaltkreis eine Dummy-Zelle enthält, die zu der zu programmierenden Speicherzelle parallelgeschaltet ist, und mit einer Konstantstromquelle zwischen dem gemeinsamen Source-Knoten und Masse.
  • 4 ist ein Schaltkreisdiagramm einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zur Durchführung des Selbstkonvergenzverfahrens, wobei der Schaltkreis weiterhin Lesezellen und Herabziehzellen zusätzlich zu den Einrichtungen nach 1 enthält.
  • 5 ist ein Schaltkreisdiagramm einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung mit einer Variation der in 4 dargestellten Drain-Anschlüsse der Einrichtung.
  • 6 ist ein Diagramm eines Speicherzellen-Arrays, wobei individuelle Speicherzellen wahlweise entsprechend den beispielhaften Figuren oben programmiert werden können.
  • 7 ist ein Diagramm eines Abfrageverstärkerschaltkreises nach 6, einschließlich eines repräsentativen Satzes von drei Dummy-Zellen zur Erzielung von vier Programmierniveaus.
  • 8 ist ein Diagramm eines beispielhaften Dateneingangspuffers, der verwendet wird zum Abbilden von einzuschreibenden Daten auf den Drain-Knoten der Speicherzelle.
  • GENAUE BESCHREIBUNG VON AUSFÜHRUNGSFORMEN DER ERFINDUNG
  • Eine genaue Beschreibung von Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung wird unter Bezug auf die 1 bis 8 gegeben. Die angeschlossenen Geräte, wie in den 1 bis 5 dargestellt, dienen nur beispielhaften bzw. repräsentativen Zwecken und dienen dazu, die Diskussion zu vereinfachen, indem gewisse Schaltnetzwerke und dergleichen ausgeschlossen werden. Die 6 bis 8 zeigen repräsentative Schaltanordnungen und periphere Schaltkreise für ein Speicherzellarray. Die unten beschriebenen Prinzipien sollen auf andere Speicherzelleinrichtungen, Arrays und dergleichen angewendet werden, um die offenbarten, günstigen Resultate zu erzielen.
  • In 1 ist eine repräsentative, programmierbare Speicherzellanordnung 100 dargestellt. Diese umfaßt eine Speicherzelle 102, die mit einer Dummy-Zelle 104 parallelgeschaltet ist. Entsprechend der Schaltung ist ein gemeinsamer Drain-Knoten 106 zusammen mit einem gemeinsamen Source-Knoten 108 ausgebildet. Eine gemeinsame Leitung 110 (d.h. eine Wortleitung) zieht die Gates der Zellen auf einen Gate-Knoten 112. Die Schwellenwertspannung der programmierten Speicherzelleneinrichtung 102 ist als Vtp und der Strom ist als Icp wiedergegeben. Die entsprechenden Werte für die Dummy-Zellen-Einrichtung 104 sind als Vtd und Idp wiedergegeben. Gemäß dieser Ausgestaltung wird Vtd der Dummy-Zelle entsprechend auf die angestrebte Schwellenwertspannung eingestellt (die demnach als Vt bezeichnet wird). Wenn beispielsweise zwei Datenbits von einer Zelle erwünscht sind, so sind zumindest vier diktierbare Schwellenwertniveaus in der Einrichtung erforderlich (beispielsweise Null plus drei weitere Niveaus). Insoweit könnte die angestrebte, programmierte Vt auf vier unterschiedliche Niveaus über eine Verbindung mit einem Satz von Dummy-Zellen umschaltbar sein, wobei jede Dummy-Zelle eine andere Schwellenwertspannung Vtd hat. Ein umschaltbarer, zugänglicher Satz derar tiger Dummy-Zellen würde mit so vielen angestrebten Schwellenwerten verfügbar gemacht, wie sie für eine bestimmte Datenspeicherdichte erforderlich sind.
  • Wenn in 1 die Dummy-Zelle 104, die mit der Speicherzelle 102 verbunden ist, wie es beispielhaft dargestellt ist, liefert eine Treppenstufenanwendung von Gate-Spannungen im allgemeinen einen vorteilhaften Programmierbetrieb. Gemäß 2 ist ebenfalls eine Kurve der Gate-Spannungen 120 zum Programmieren für das Anlegen an dem Gate-Knoten 112 dargestellt. Das Programmierfreigabesignal ist als PGMB 121 dargestellt. Zu Beginn trägt die Dummy-Zelle 104 keinen nennenswerten Betrag des Drain-Stromes mit der Speicherzelle 102 gemeinsam. Wenn sich jedoch die Schwellenwertspannung der programmierten Speicherzelle eines zielwerten Spannungsniveaus (Vt) annähert, so fließt mehr Strom durch die Dummy-Zelle. Im Vergleich zu früheren Systemen müssen die Programmierimpulsbreite 122 und der Programmierverifizierungsimpuls 124 nicht so genau kontrolliert bzw. gesteuert werden. Zusätzlich können die Zunahmen der Spannungsschritte in größeren Stufen variiert werden (beispielsweise um etwa 1 Volt für jeden Schritt), anstatt mit den schmaleren Schritten, was zu mehr Programmier- und Verifizierungsvorgängen führen kann. Frühere Methoden mußten u.U. in etwa 10 oder mehr Programmier- und Verifizierungsschritte anwenden, wohingegen das vorliegende Verfahren weniger Schritte benötigen würde, wegen der größeren Spannungsschritte. Beispielsweise würde das vorliegende Verfahren womöglich nur fünf Schritte zum Programmieren der Zelle benötigen. Darüber hinaus haben aufgrund der Verwendung größerer Spannungsschritte gemäß der vorliegenden Erfindung irgendwelche Variationen der Gate-Spannung einen nur geringen Einfluß auf die Verteilung der Schwellenwertspannung. In 2 zeigt die Linie 126 (die durch 11 Volt verlaufend dargestellt ist) an, daß die Gate-Spannung 120 während jedes nachfolgenden Programmierimpulses in etwa auf demselben Niveau verbleibt.
  • 3 zeigt eine beispielhafte bzw. repräsentative Speichereinrichtung 100', die aus der Speichereinrichtung 100 nach 1 besteht, jedoch zusätzlich eine Konstantstromquelle mgp hat, die aus einer Transistoreinrichtung 130 gebildet ist. Die Stromquelle 130 könnte aus ähnlichen Einrichtungen bestehen, die eine Stromquellenfunktion bereitstellen. Die Quelle 130 wird zwischen dem Source-Knoten 108 und dem Masseniveau (0 Volt) angeordnet. Für die Transistoreinrichtung wird eine bekannte Spannung vgp an dem Gate angelegt und ein Konstantstrom Igp wird erzeugt, um den Source-Knoten 108 herabzuziehen.
  • In Anbetracht dieser Speicherzellanordnung 100' kann ein Programmier- und Verifizierverfahren zum Programmieren angelegt werden, und eine verbesserte Verteilung von Schwellenwertspannungen auf mehrere Niveaus bereitgestellt werden. Bevor das Programmieren ausgeführt wird, wird Igp durch Anlegen einer bekannten vgp an dem Gate der Einrichtung 130 vordefiniert. Vgp kann mit einem Mini-Array oder dergleichen verfolgt werden, um Prozeßvariationen zu kompensieren. Um die Einrichtung zu programmieren, sind der Drain-Knoten 106 und der Gate-Knoten 112 mit einer hohen Spannung verbunden und der Source-Knoten ist außer dem mit einem gewissen Zwischenniveau verbunden, während der Programmierimpuls beginnt. Danach wird das Gate von mgp mit einem bekannten vgp-Niveau gegenüber Masse (0 Volt) verbunden. Während dieser anfänglichen Schritte ist Icp = Igp und Idp = 0. Weiterhin sei angenommen, daß Vtp kleiner als Vtd ist, wobei Vtd entsprechend der Zielwertspannung Vt eingestellt wird. Man beachte, daß dann, wenn Vtp größer als Vtd ist, Idp nicht gleich 0 ist und der Programmiervorgang abgeschlossen wird oder mit derartigen Gerätewerten als ineffizient angesehen wird. Rechtzeitig steigt der Dummy-Zellen-Strom an und Icp = Idp = Igp/2, vorausgesetzt, das Aspektverhältnis der Speicherzelle und der Dummy-Zelle sind äquivalent, und Vtd ist so eingestellt oder ausgestaltet worden, daß sie gleich der angestrebten Spannung Vt ist. Bei dieser Gerätekonfiguration und diesen Programmierverfahren bleibt das Programmieren relativ einfach, jedoch wird das Überschießen von Vtp reduziert, wodurch eine verbesserte Verteilung der Schwellenwertspannung gewährleistet wird.
  • 4 zeigt eine ähnliche beispielhafte Anordnung wie 3, jedoch mit hinzugefügten Bauteilen, um eine Selbstkonvergenz des Programmierniveaus zu erzielen. Die Speicherzellenanordnung 140 enthält eine Speicherzelle 142 mit einem Strom Icp, die parallel zu einer Dummy-Zelle 144 mit einem Strom Idp geschaltet ist. Eine Konstantstromquelle 156 mit dem Strom Idp ist zwischen den Source-Knoten 148 und Masse geschaltet. Ein Abfrageverstärker ist dargestellt, welcher eine Stromleseeinrichtung 154 enthält, die mit einem Inverter 155 verbunden ist, zusammen mit einer Herabzieheinrichtung 152. Diese Geräte werden gemeinsam verwendet, um den Strom Idp zu erfassen bzw. abzufragen und die Drain herabzuziehen, wenn der Strom ein gewisses Niveau erreicht. Dieses Niveau entspricht der angestrebten Schwellenwertspannung, welche auf der programmierten Speicherzelle erreicht wurde. Ein gemeinsamer Drain-Knoten 146 ist für die Einrichtung 142, 152 und 154 ausgebildet. Ein gemeinsamer Gate-Knoten und ein Source-Knoten sind für die Einrichtungen 142 und 144 ausgebildet. 5 zeigt eine Einrichtung ähnlich der in 4 dargestellten mit Ausnahme der Tatsache, daß die Drain 155 der Einrichtung 154 von der gemeinsamen Drain 146 getrennt geschaltet und daher mit einer unabhängigen Versorgung verbunden ist.
  • Das Programmierungsverfahren mit Selbstkonvergenz beinhaltet Schritte, die der obigen Programmier- und Verifizierungsoperation ähnlich sind. Vor dem Programmieren sind der Drain-Knoten 146 und der Gate-Knoten 150 mit hoher Spannung verbunden und der Source-Knoten 148 ist mit einem gewissen Zwischenniveau verbunden, während der Programmiervorgang beginnt. Danach wird das Gate der aktuellen Stromeinrichtung 152 gegenüber dem Masseniveau (0 Volt) mit vgp verbunden. Dieses schaltet Igp an und zieht den Source-Knoten 148 von high auf das (aktuelle) Niveau. Ein Abfrageverstärker, welcher eine Lesezelle 154 enthält, die mit einem Invertierer 155 verbunden ist, wird verwendet, um den Strom Idp durch die Dummy-Zelle zu erfassen, was wiederum eine Anzeige des Zellstromes zu programmieren als Icp gleich Igp minus Idp nach sich zieht. Wenn Idp ein gewisses Niveau erreicht hat, schaltet sich die Lesezel le 154 ein und ermöglicht das Herabziehen der Drain-Spannung und stellt den programmierten Zustand der Speicherzelle 142 bereit.
  • Gemäß 6 erkennt man ein Schaltkreisdiagramm, welches den inneren Aufbau eines Arrays aus Speicherzellen mit Floating-Gate (schwebendes Gate) gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt. Das Array enthält eine Mehrzahl von Speicherzellen mit Floating-Gates, die in dem Block 203 angeordnet sind, so daß sie wahlweise programmiert werden können. Die Speicherzellen mit Floating-Gate sind über Source und Drain miteinander verbunden, so daß sie Reihen aus Speicherzellen mit Floating-Gate bilden. Die Steuergates aller Speicherzellen mit Floating-Gates sind in einer Reihe mit derselben Wortleitung verbunden. Die beispielhaft dargestellten Blockausfalleitungen BWLn – 1 und BWLn sind zusammen mit ihren entsprechenden Speicherzellwortleitungen SWL0 bis SWL31 dargestellt. Der Block 204 zeigt Spaltenausfalleitungen und eine Schaltung, wie sie durch die Eingänge DWL und DWR kontrolliert wird, die dazu dienen, wahlweise Bitleitungen mit geeigneten benachbarten Bitleitungen zu verbinden. Der Block 202 zeigt einen verwandten bzw. benachbarten Schaltkreis, der ausgebildete Bitleitungen über ein Eingangssignal VCP auf geeignete Spannungsniveaus zieht (beispielsweise 2,0 Volt während VDD = 6,25 Volt ist), um die Speicherzellen zu programmieren. Der Block 201 zeigt als Beispiel einen Strombegrenzer, der ein geregeltes Niveau TYP0 (oder VGP) bereitstellt unter Verwendung der Steuersignale PGM, YPB und eines Signals von einem Stromspiegel 210. Ein Treiberblock 200 ist dargestellt, welcher Eingangssignale VGP, YG0 und YG1 verwendet. Die Bitauswahlleitungen 212, die im einzelnen mit YS0–YS2 und YSP0–YSP2 bezeichnet sind, gehen von einem Decoderschaltkreis aus, der die gewünschten Bitleitungen auswählt. Die Betriebsweise eines ähnlichen Speicherzellenarrays wird genauer in der gleichzeitig anhängenden US-Patentanmeldung mit dem Titel "Vorrichtung und Verfahren zum Programmieren einer EPROM-Array-Zelle mit virtueller Masse ohne störende benachbarter Zellen" beschrieben, mit den Erfindern Chin-Hsi Lin, Shi-Charng Al, Chien-Sing Lee, Ful-Long Ni, Mam-Tsung Wang, Chin-Yi Huang, eingereicht am 26. August 1997 als US-Anmeldung mit der Serial Nr. 08/918,796, deren europäisches Gegenstück die Patentanmeldung EP-A-0 899 744 ist, die am 03. März 1999 veröffentlicht wurde, und auf welcher der Leser bezüglich weiterer Einzelheiten verwiesen wird. Ein Abfrageverstärker 220, welcher einem Datenbit 0 entspricht, ist ebenfalls dargestellt, und es ist ein Abfrageverstärker 222 dargestellt, der dem Datenbit 8 entspricht. Ein entsprechender Dateneingangspuffer 224 für die data0 und ein Puffer 226 für data8 ist ebenfalls mit einer entsprechenden Datenleitung DL verbunden dargestellt.
  • Es wird nunmehr auf 7 Bezug genommen, in welcher eine genaue Darstellung des Abfrageverstärkers wiedergegeben ist, auf welche in 6 Bezug genommen wurde (mit Puffern 220 und 222, die in ihrer Arbeitsweise im wesentlichen dieselben sind). In diesem Beispiel ist eine ausgewählte Speicherzelle über die Datenleitung DL mit einer der Dummy-Zellen 302, 304 und 306 verbunden, abhängig von den einzuschreibenden Daten. Mit anderen Worten, es wird in Abhängigkeit von den einzuschreibenden Daten über DL während des Programmierens eine der Einrichtungen 302, 304 oder 306 freigegeben. Die NMOS-Einrichtung 300 wird verwendet, um den teilweisen Programmierstrom anzuregen und wird durch VGP angesteuert. Jede Dummy-Zelle 302306 hat eine andere Schwellenwertspannung, die jeweils als vtd0, vtd1 und vtd2 bezeichnet ist. Mit jeder Dummy-Zelle ist ein individueller Abfrageverstärker verbunden. Die Abfrageverstärker bestehen aus einem mit einem Inverter verbundenen Transistor, wie dargestellt, die jeweils mit 308312 und 314316 bezeichnet sind. Während der Programmierung werden die Ausgangssignale SAB0, SAB1 und SAB2 von den Abfrageverstärkern in ein NOR-Gatter 340 eingegeben, um ein Signal einer Programmiertreigabeschranke (PENB) zu erzeugen. Beim Lesen wird dieser Pfad abgeschaltet. Die Ausgangssignale werden außerdem in einen Encoder 342 eingegeben, um 2 Datenbits (Bit0 und Bit1) zu erzeugen, die dann, wenn sie gemeinsam verwendet werden, beim Lesen vier verschiedene Datenniveaus bilden. Dieser Pfad wird während des Programmierens abgeschaltet. In der vorgeschlagenen Anwendung ist es wünschenswert, wenn beim Lesen die konvergierte Schwellenwertspannung der programmierten Zelle durch den Abfrageverstärker verfolgt wird. Dementsprechend werden die Dummy-Zellen sowohl bei Programmier- als auch bei Lesevorgängen verwendet. Beim Lesen werden die Dummy-Zellen mit einer Speicherzelle verglichen, die mit der Datenleitung DL verbunden ist, das Gatter 330 ist freigeschaltet und PGMB ist mit high verbunden. Die NMOS-Einrichtung 300 ist abgeschaltet, während VGP während des Lesens mit low verbunden ist. Beim Programmieren werden die Dummy-Zellen mit dem definierten, teilweisen Programmierstrom verglichen, der durch die NMOS-Einrichtung 300 definiert wird, wenn diese durch VGP angesteuert wird. Der Pfad der Datenleitung wird abgeschaltet, indem PGMB mit low verbunden ist. Wenn der Abfrageverstärker sowohl für Programmier- als auch für Lesevorgänge verwendet wird, werden die entsprechenden Ausgänge zu PENB, BIT0 und BIT1. Die Tabelle 350 zeigt die Beziehung der Niveaus von SAB0, SAB1 und SAB2 mit den Ausgängen BIT0 und BIT1 des Encoders 342, welches die Ausgänge bzw. Ausgangswerte der Mehrniveauzelle nach dem Abfragen sind.
  • Gemäß 8 ist der Dateneingangspuffer aus 6 (224, 226) dargestellt, der das Signal DINB in DL (aus 7) einspeist. Die Tabelle 362 zeigt ein DATA-Signal, welches ein decodiertes Signal ist, das von Einschreibe-Datenbits (bit0 und bit1 – im Unterschied zu BIT0 und BIT1, wie sie oben diskutiert wurden) herrührt, die beim Programmieren verwendet werden. Dieses DATA-Signal zusammen mit dem zuvor erläuterten PENB-Signal und dem PGMB-Signal (über einen Invertierer 361) werden in ein NOR-Gatter 360 eingegeben. Der Puffer enthält weiterhin Transistoreinrichtungen 364, 366 und den Invertierer 368, die als ein Teilernetzwerk zwischen die Versorgung VPP und Masse geschaltet sind, um das Dateneingangssignal DINB bereitzustellen. Gemäß dieser Anordnung wird das DATA-Signal nur dann an den Datenleitungs eingang DL angelegt, wenn genau ein Abfrageverstärker ein gewünschtes Programmierniveau einer Speicherzelle erfaßt hat. Während des Programmierens wird der Schaltkreis freigeschaltet (über PGMB) und das DINB-Signalniveau bezieht sich auf das DATA-Niveau. Wenn DATA = 1, so ist DINB auf einem niedrigen Niveau (low) and wenn DATA = 0, so ist DINB high. Beim Lesen ist der Schaltkreis abgeschaltet, wobei DINB auf low gehalten wird. Man beachte, daß, während die beispielhaften Figuren dargestellt wurden, welche die für die Erzeugung von 4 Programmierniveaus (z.B. 2 bits) verwendeten Komponenten beschrieben, eine ähnliche Schaltung von Bauteilen verwendet werden könnte, um auch noch mehr Programmierniveaus zu erzielen.
  • In den dargestellten Konfigurationen ist das Erzielen einer verbesserten Verteilung der Schwellenwertspannung oder des Stromes ein wichtiger Faktor, um eine Speicherzelleneinrichtung mit mehreren Niveaus bereitzustellen. Dies sollte jedoch nicht für den Preis geschehen, daß eine unsinnige Gerätekopflast für die Steuerung oder das Zählen der folgenden erforderlich ist: Pulsbreiten, Reihenwiderstandseffekte oder Prozeßvariationen. Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung, bei welchen die angeschlossene Dummy-Zelle eine Schwellenwertspannung gleich dem angestrebten Programmierniveau hat, bieten zusammen mit den zuvor erwähnten Verfahren der Programmierung eine wirkungsvolle Lösung zur Steuerung der programmierten Schwellenwertspannung und zur Kompensation irgendwelcher Variationen.
  • Die vorstehende Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen der Erfindung ist für Zwecke der Veranschaulichung der Beschreibung präsentiert worden. Sie soll weder erschöpfend sein noch die Erfindung auf die speziell offenbarten Formen beschränken. Offensichtlich liegen viele Modifikationen und Variationen für Praktika auf diesem Gebiet auf der Hand. Beispielsweise können verschiedene Kombinationen der Merkmale der folgenden abhängigen Ansprüche mit den Merkmalen der unabhängigen Ansprüche vorgenommen werden, ohne vom Schutzumfang der Erfindung abzuweichen.

Claims (21)

  1. Verfahren zum Programmieren einer Speicherzelleneinrichtung, mit Schwellenwerten auf mehreren Niveaus, auf ein angestrebtes Spannungsniveau eines Schwellenwertes, wobei die Speicherzelleneinrichtung eine Speicherzelle (102) aufweist, die einen Zellenstrom und eine Schwellenwertspannung hat, wobei das Verfahren die Schritte aufweist: über eine Schaltung Verbinden zumindest einer Pseudozelle (Dummy-Zelle) (104), welche entsprechenden Zellenstrom und Schwellenwertspannung hat, mit der Speicherzelle (102), wobei die miteinander verbundenen Zellen gemeinsame Drain-(106), Gate-(112) und Source-Knoten (108) haben, Einstellen der Schwellenwertspannung der Pseudozelle (104) auf das angestrebte Spannungsniveau des Schwellenwertes, und Programmieren der Speicherzellen (102) auf das angestrebte Spannungsniveau des Schwellenwertes.
  2. Verfahren zum Programmieren einer Speicherzelleneinrichtung mit Schwellenwerten auf mehreren Niveaus nach Anspruch 1 in der Verwendung als ein Programmier- und Verifizierverfahren, wobei der Schritt des Programmierens der Speicherzelle auf ein Spannungsniveau eines angestrebten Schwellenwertes aufweist: Verbinden der Drain-(106) und Gate-Knoten (112) mit einem hohen Spannungsniveau sowie des Source-Knotens (108) mit einem gewissen Zwischenspannungsniveau für jeden aus einer Serie von angelegten Programmierimpulsen (122), Wiederholen des Anlegens von Programmierimpulsen (122) und daraufhin von Verifizierungsspannungsimpulsen (124) an den Gate-(112), Drain-(106) und Source-Knoten (108), bis das programmierbare Spannungsniveau des Schwellenwertes der Speicherzelle (102) die angestrebte Schwellenwertspannung erreicht.
  3. Verfahren zum Programmieren einer Speicherzelleneinrichtung mit Schwellenwerten auf mehreren Niveaus nach Anspruch 1, wobei die Speicherzelle (102) eine Speicherzelle mit potentialfreiem Gate (floating gate) ist.
  4. Verfahren zum Programmieren einer Speicherzelleneinrichtung mit Schwellenwerten auf mehreren Niveaus nach einem der Ansprüche 1 bis 3 in der Verwendung als Programmier- und Verifizierungsverfahren, welches weiterhin einen Schritt des umschaltbaren Auswählens der Pseudozelle (104) für die spezielle, angestrebte Schwellenwertspannung, die auf der Speicherzelle (102) gewünscht wird, umfaßt.
  5. Verfahren zum Programmieren einer Speicherzelleneinrichtung mit Schwellenwerten auf mehreren Niveaus nach einem der Ansprüche 1 bis 4, in der Verwendung als Programmier- und Verifizierverfahren, wobei der Schritt des Anlegens von Spannungsimpulsen abgestufte Spannungsniveaus verwendet, die für einen jeweils nachfolgenden Impuls mit dem Gate-Knoten (112) verbunden werden.
  6. Verfahren zum Programmieren einer Speicherzelleneinrichtung mit Schwellenwerten auf mehreren Niveaus nach Anspruch 5, wobei eine große Spannungsstufe für die Gate-Spannung verwendet wird und dadurch weniger Programmier- und Anlege-Schritte für die Programmierung der Speicherzelle (102) erforderlich sind.
  7. Verfahren zum Programmieren einer Speicherzelleneinrichtung mit Schwellenwerten auf mehreren Niveaus nach Anspruch 1 in der Verwendung als Programmier- und Verifizierungsverfahren, wobei eine Konstantstromquelle in Form einer Transistoreinrichtung (130) zwischen den Source-Knoten (108) und das Massenniveau geschaltet wird, wobei der Schritt des Programmierens der Zelle auf das Spannungsniveau des angestrebten Schwellenwertes aufweist: für jeden aus einer Serie von Programmierimpulsen (122): Bestimmen einer Gate-Spannung, um durch die Konstantstromquelle (130) einen bekannten Strom bereitzustellen, Verbinden der Drain-(106) und Gate-Knoten (112) mit einem hohen Spannungsniveau sowie des Source-Knotens (108) mit einem gewissen Zwischenspannungsniveau, während ein Programmierimpuls (122) an dem Gate-Knoten (112) angelegt wird, Verbinden des Gates der Stromquelle (130) mit der festgelegten Gate-Spannung, um einen Konstantstrom zu erzeugen und um den Source-Knoten (108) von einem hohen auf ein niedriges Niveau herabzuziehen, wobei der anfängliche Speicherzellenstrom gleich dem Strom der Stromquelle ist und wobei der Strom der Pseudozelle gleich Null ist, während die Schwellenwertspannung der Speicherzelle kleiner ist als die Schwellenwertspannung der Pseudozelle, und Anlegen der Programmierimpulse (122) und daraufhin Anlegen von Impulsen einer Verifizierungsspannung, bis das Spannungsniveau des programmierwerten Schwellenwertes der Speicherzelle die angestrebte Schwellenwertspannung erreicht.
  8. Verfahren zum Programmieren einer Speicherzelleneinrichtung mit Schwellenwerten auf mehreren Niveaus nach Anspruch 7, welches weiterhin einen Schritt des umschaltbaren Auswählens der Pseudozelle für eine bestimmte, angestrebte Schwellenwertspannung umfaßt, welche auf der Speicherzelle (102) gewünscht ist und wobei der Speicherzellenstrom gleich dem Pseudozellenstrom ist, welcher gleich der Hälfte des Stromes der Stromquelle ist.
  9. Verfahren zum Programmieren einer Speicherzelleneinrichtung mit Schwellenwerten auf mehreren Niveaus nach Anspruch 7 oder Anspruch 8, wobei der Schritt des Erfassens einer Gate-Spannung eine Einrichtung zum Verfolgen und Kompensieren der Gate-Spannung aufweist, die verwendet wird, um den Strom der Stromquelle zu erzeugen.
  10. Verfahren zum Programmieren einer Speicherzelleneinrichtung mit Schwellenwerten auf mehreren Niveaus nach Anspruch 9, wobei die Einrichtungen zur Verfolgung und Kompensation der Gate-Spannung ein Mini-Array in der Einrichtung umfaßt.
  11. Verfahren zum Programmieren einer Speicherzelleneinrichtung mit Schwellenwerten auf mehreren Niveaus nach einem der Ansprüche 7 bis 10, wobei der Schritt des Anlegens von Spannungsimpulsen abgestufte Spannungsniveaus verwendet, welche an dem Gate-Knoten (112) für jeden nachfolgenden Programmierimpuls angelegt werden.
  12. Verfahren zum Programmieren einer Speicherzelleneinrichtung mit Schwellenwerten auf mehreren Niveaus nach Anspruch 11, wobei ein großer Spannungsabfall für die Gate-Spannung verwendet wird und dadurch weniger Programmier- und Anlegeschritte für das Programmieren der Speicherzelle (102) erforderlich sind.
  13. Verfahren zum Programmieren einer Speicherzelleneinrichtung mit Schwellenwerten auf mehreren Niveaus nach Anspruch 1 in der Verwendung als ein Selbstübermittlungsverfahren, wobei zumindest eine Stromabtasteinrichtung angeschlossen ist, um den zumindest einen Pseudozellenstrom zu erfassen, und wobei eine Transistoreinrichtung einer Konstantstromquelle zwischen den Source-Knoten und Masseniveau geschaltet ist, und wobei der Schritt des Programmierens der Speicherzelle auf das Spannungsniveau des angestrebten Schwellenwertes aufweist: Bestimmen einer Gate-Spannung, um einen bekannten Strom durch die Konstantstromquelle bereitzustellen, Verbinden der Drain-(146) und Gate-Knoten (150) mit einem hohen Spannungsniveau und des Source-Knotens (148) mit einem gewissen, festen Spannungsniveau, wobei an dem Gate-Knoten (150) ein anfänglicher Programmierimpuls angelegt wird, Verbinden des Gates der Stromquelle (156) mit der festgelegten Gate-Spannung, um einen Konstantstrom zu erzeugen und um den Source-Knoten (148) von high auf low herabzuziehen, wobei der anfängliche Speicherzellenstrom gleich dem Strom der Stromquelle ist, Anlegen von Programmierspannungsimpulsen, während der Pseudozellenstrom mit der Abtasteinrichtung erfaßt wird, wobei der Speicherzellenstrom gleich dem Strom der Stromquelle abzüglich des Stromes der Pseudozelle ist, Herabziehen der Drain über die Abtasteinrichtung (152, 154, 155), wenn der Strom der Pseudozelle auf einem gewissen Niveau konvergiert.
  14. Verfahren zum Programmieren einer Speicherzelleneinrichtung mit Schwellenwerten auf mehreren Niveaus nach Anspruch 13, das weiterhin einen Schritt einschließt, wonach die Pseudozelle (144) für die speziell angestrebte Schwellenwertspannung, die auf der Speicherzelle (142) erwünscht ist, wie es während des Programmierens durch Einschreibdaten bestimmt wird, umschaltbar ausgewählt wird.
  15. Verfahren zum Programmieren einer Speicherzelleneinrichtung mit Schwellenwerten auf mehreren Niveaus nach Anspruch 14, wobei die Pseudozelle (144) eine Mehrzahl von Zellen aufweist, welche mit unterschiedlichen Schwellenwertspannungsniveaus angelegt sind, und eine Mehrzahl von Stromerfassungseinrichtungen aufweist, um den Strom durch jede Pseudozelle (144) zu erfassen.
  16. Verfahren zum Programmieren einer Speicherzelleneinrichtung mit Schwellenwerten auf mehreren Niveaus nach Anspruch 15, wobei der Schritt des Herabziehens für jeden Stromsensor erfolgt, wenn die programmierte Spannung das angestrebte Schwellenwertniveau durchschreitet, welches für die Pseudozelle (144) gesetzt worden ist.
  17. Verfahren zum Programmieren einer Speicherzelleneinrichtung mit Schwellenwerten auf mehreren Niveaus nach einem der Ansprüche 13 bis 16, wobei der Schritt des Bestimmens einer Gate-Spannung Einrichtungen zum Verfolgen und Kompensieren der für die Erzeugung des Stromes der Stromquelle verwendeten Gate-Spannung umfaßt.
  18. Verfahren zum Programmieren einer Speicherzelleneinrichtung mit Schwellenwerten auf mehreren Niveaus nach Anspruch 17, wobei die Einrichtungen zum Verfolgen und Kompensieren der Gate-Spannung ein Mini-Array in der Einrichtung umfassen.
  19. Schaltkreis für die Verwendung eines Programmier- und Verifizierverfahrens zum Programmieren einer Speicherzelleneinrichtung mit Schwellenwerten auf mehreren Niveaus auf ein angestrebtes Spannungsniveau des Schwellenwertes, wobei der Schaltkreis aufweist: eine Speicherzelle (102), die einen Zellenstrom und eine Schwellenwertspannung hat, zumindest eine Pseudozelle (104), die schaltbar mit der Speicherzelle (102) verbunden ist, wobei die Pseudozelle einen entsprechenden Zellenstrom und eine entsprechende Schwellenwertspannung hat, wobei die Schwellenwertspannung auf das angestrebte Spannungsniveau des Schwellenwertes gesetzt ist, und wobei die angeschlossenen Zellen einen gemeinsamen Drain-(106), Gate-(112) und Source-Knoten (108) haben.
  20. Schaltkreis für die Verwendung eines Programmier- und Verifizierverfahrens zum Programmieren einer Speicherzelleneinrichtung mit Schwellenwerten auf mehreren Niveaus nach Anspruch 19, welcher weiterhin eine Konstantstromquelle aufweist, die zwischen den Source-Knoten (108) und das Masseniveau geschaltet ist.
  21. Schaltkreiseinrichtung nach Anspruch 19 oder 20, welche für ein selbstkonvergierendes Verfahren zum Programmieren einer Speicherzelleneinrichtung mit Schwellenwerten auf mehreren Niveaus verwendet werden kann, wobei der Schaltkreis weiterhin zumindest eine Stromerfassungseinrichtung aufweist, die so angeschlossen ist, daß sie zumindest einen Pseudozellenstrom erfaßt und so ausgestaltet ist, daß sie die Drain (106) herabzieht, wenn der Speicherzellenstrom ein gewünschtes Niveau erreicht.
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