DE69915367T2 - Verfahren und vorrichtung zur lüftung eines reinraums - Google Patents

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Description

  • GEBIET DER ERFINDUNG
  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Belüften eines Raumes mit einer Decke und Wänden, wobei saubere Luft zumindest einem Teil des Raumes von der Decke über einen ersten Luftstrom zugeführt wird.
  • Räume dieser Art, für die die Erfindung insbesondere geeignet ist, treten vorwiegend im Bereich der Gesundheitspflege und ebenso in gewissen Industriezweigen in Form sogenannter Reinräume auf. Reinräume werden u. a. für die Herstellung integrierter Schaltungen verwendet, wobei das Vermeiden des Auftretens von Staubpartikeln in der Nähe gewisser Materialoberflächen äußerst wichtig sein kann. Im Bereich des Gesundheitswesens sind im Wesentlichen Operationsräume und dergleichen betroffen, in denen die Anzahl der in der Luft schwebenden Teilchenkontaminationsstoffe, die Bakterien aufweisen können, gering gehalten werden muss.
  • STAND DER TECHNIK
  • Es wurden Verfahren entwickelt, in denen Luft zu kleineren Bereichen des Raumes über gelenkte Luftströme zugeführt wird. Dies beherbergt jedoch das Risiko, dass zusätzlich nicht ausreichend gereinigte Luft eingeführt wird.
  • Ein System, das zu einem gewissen Maße die Probleme des zusätzlichen Einführens von Luft vermeidet, ist in dem System aus der WO 86/06460 gezeigt und beschrieben. Das System umfasst eine horizontale Deckeneinheit, aus der saubere Luft zu einem Raumbereich geführt wird, und umfasst eine vertikale Wandeinheit, von der aus Luft im Wesentlichen horizontal geführt wird. Zwischen der Deckeneinheit und der Wandeinheit sind zusätzliche Luftauslasseinrichtungen angeordnet, um eine diagonal gerichtete Luftzufuhr nach unten in Form eines Luftvorhangs hervorzurufen. Der Luftvorhang verringert das Risiko, dass Luft mit ungewünschten Partikeln zusammen mit dem Strom aus reiner Luft transportiert wird.
  • Bei der Ausführungsform gemäß der WO 86/06460 können Turbulenzen an den Verbindungsstellen zwischen den Raumwänden und der Decke auftreten. Es verbleibt somit ein gewisses Risiko, dass über den Boden des Raumes gleitende Luft Teilchen aufnimmt, die zusammen mit der sauberen Luft in dem Luftstrom mitgeführt werden. Turbulenzen können beispielsweise zu einem Kontakt des Luftstroms mit dem Boden und anderen verunreinigten Oberflächen führen und dann zu einer Mischung mit einem Luftstrom mit sauberer Luft führen.
  • Ein weiteres bekanntes Dokument ist US-A-4-693 175, das ein Reinraumsystem mit Lüfterfiltereinheiten offenbart. Eine Hauptluftzufuhrleitung ist mit jeder Lüfterfiltereinheit über eine Zufuhrverteilerleitung verbunden, die mit einer Verteilerrückleitung verbunden ist, um einen Teil der Rückluft von dem Raum in die Hauptrückführleitung einzuführen. Somit wird in jede Lüfterfiltereinheit von einem Luftaufbereiter aufbereitete Luft und ein Teil der Rückluft aus dem Reinraum eingeführt.
  • ÜBERBLICK ÜBER DIE ERFINDUNG
  • Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren für eine Zirkulation in einem Raum bereitzustellen, wobei die Gefahr des Mischens kontaminierter Luft mit sauberer Luft weitergehender verringert ist. Eine weitere Aufgabe ist es, eine Vorrichtung bereitzustellen, die für eine Belüftung eines Raumes vorgesehen und so ausgestaltet ist, dass die Gefahr weiter verringert wird, dass kontaminierte Luft mit sauberer Luft gemischt wird.
  • Die Aufgaben werden gelöst, indem die Erfindung die in den unabhängigen Patentansprüchen aufgeführten Merkmale aufweist.
  • Erfindungsgemäß wird ein Bereich eines Raumes mit Luft von oben beaufschlagt, vorzugsweise von der Unterseite der Decke. Aus dem Raum austretende Luft wird zu einem großen Teil durch Auslassöffnungen auf Bodenhöhe abgeführt, wobei jedoch ein Teil der Luft entlang mindestens einer der Wände des Raumes abgeführt wird. Der Teil der Luft, der nicht direkt über die Bodenöffnungen abgeführt wird, entweicht aus dem Raum über eine Auslassöffnung entlang der Wand des Raumes.
  • In einer Ausführungsform der Erfindung ist eine Luftabgabevorrichtung an der Decke des Raumes angeordnet. Die Luftabgabevorrichtung ist so gestaltet, dass sie eine im Wesentliche glatte Unterseite und diagonale Seitenflächen, die auf die Wände gerichtet sind, aufweist. Die Unterseite und die Seitenflächen weisen perforierte Bereiche auf, durch die saubere Luft in den Raum geführt wird.
  • Zwischen der Luftabgabevorrichtung und den Seitenwänden des Raumes sind Auslassöffnungen auf Deckenhöhe angeordnet, durch die aus dem Raum entweichende Luft abgeführt wird. In einer bevorzugten Ausführungsform sind die Auslassöffnungen entlang aller Seitenwände des Raumes angeordnet.
  • Zwischen der Luftabgabevorrichtung und den Auslassöffnungen sind diagonal angeordnete und gekrümmte Strömungsleiteinrichtungen angeordnet, die saubere Luft, die aus der Luftabgabevorrichtung herausströmt, nach unten lenken. Die Strömungsleiteinrichtung verhindert zu einem großen Maße auch, dass die herausströmende Luft direkt durch die Auslassöffnungen abgeführt wird.
  • Der Begriff „saubere Luft" wird hierin als Luft verstanden, die von Partikeln gereinigt ist sowie sterilisierte, desinfizierte Luft.
  • Weitere Vorteile und besondere Merkmale der Erfindung können der folgenden Beschreibung, den abhängigen Patentansprüchen und den begleitenden Zeichnungen entnommen werden.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Die Erfindung wird nunmehr detaillierter unter Zuhilfenahme von Beispielen der Ausführungsformen und mit Bezug auf die begleitenden Zeichnungen beschrieben. Dabei zeigen:
  • 1 schematisch eine perspektivische Ansicht einer konventionellen bekannten Ausführungsform einer Vorrichtung zur Belüftung eines Raumes,
  • 2 schematisch eine perspektivische Ansicht einer Ausführungsform einer Vorrichtung zum Belüften eines Raumes gemäß der Erfindung,
  • 3 schematisch eine perspektivische Ansicht eines Teils der Vorrichtung aus 2, und
  • 4 schematisch eine perspektivische Ansicht von unten der Ausführungsform aus 2.
  • BESCHREIBUNG DES BEKANNTEN STANDS DER TECHNIK
  • Ein gegenwärtig bekanntes System zur Raumbelüftung in einem Operationsraum ist in 1 gezeigt. In dem Operationsraum ist eine Luftzufuhrvorrichtung 30 zentral in der Decke angeordnet. Die Luftzufuhrvorrichtung besitzt eine vertikale Ausdehnung bis in den Raum hinein, um damit die Luftzufuhr in Richtung des zentralen Bereichs des Raumes zu steuern, indem ein Operationstisch 31 angeordnet ist. Die Luftabfuhrvorrichtung ist bei Auslassöffnungen 15 an zwei gegenüberliegenden Wänden auf Bodenhöhe angeordnet. Es wird saubere Luft dem Raum über die Luftzufuhrvorrichtung 30 mit einer relativ hohen Strömungsgeschwindigkeit zugeführt. Systeme dieses bekannten Typs beruhen auf einem sehr hohen Luftaustausch. Es gibt Systeme, die 400 mal einen Luftaustausch pro Stunde ermöglichen und damit eine sehr hohe Strömungsgeschwindigkeit erfordern.
  • Die Luft besitzt auch ein relativ hohe Strömungsgeschwindigkeit, wenn sie sich dem Boden des Raumes nähert und es können leicht Turbulenzen auftreten. Ein großer Teil der zugeführten Luft entweicht aus dem Raum in der gewünschten Weise durch die Auslassvorrichtung 15. Die abgeführte Luft erzeugt einen Unterdruck an der Luftzufuhrvorrichtung 30. Der Unterdruck stellt sicher, dass Luft, die entlang dem Boden strömt und dabei Teilchen mit Bakterien aufgenommen hat, entlang den Seitenwänden des Raumes abgeführt wird. Diese Luft kann kontaminiert sein und es besteht die Gefahr, dass diese Luft zusammen mit den nach unten gerichteten Luftstrom mitgeführt und damit zur Kontamination beiträgt.
  • Als Folge der hohen Luftstromgeschwindigkeit können größere Turbulenzen am Boden des Raumes in der Nähe der Seitenwände 33 auftreten. Diese Turbulenzen bewirken, dass Teilchen und Kontaminierungsstoffe von dem Boden des Raumes mit dem Luftstrom mitgeführt werden. Die kontaminierte Luft kann in den direkt von der Luftzufuhrvorrichtung 30 herkommenden Luftstrom eintreten und damit ungewünschte Bereiche des Raumes, beispielsweise die mit den Kreisen 34 markierten Flächen, erreichen. Zunächst können Raumbereiche mit einem gewissen Abstand vom Operationstisch 31 erreicht werden, beispielsweise ein Raumbereich, in welchem ein Seitentisch oder Instrumententisch 35 steht. Sterile Instrumente und ähnliches können an dem Instrumententisch angeordnet sein und diese könnten sehr leicht durch die zirkulierende Luft kontaminiert werden.
  • Die hohe Luftstromgeschwindigkeit führt ferner zu Turbulenzen im Bereich von Objekten und Personen in dem Raum. Operationsleuchten 36 und ähnliches, die in der Decke angeordnet sind, können starke Turbulenzen hervorrufen, die noch mehr das Risiko unerwünschter Verwirbelungen erhöhen.
  • DIE ERFINDUNG
  • Der in 2 schematisch gezeigte Raum weist eine Ausführungsform einer Vorrichtung gemäß der Erfindung für die Raumbelüftung auf und ist ein Operationssaal, wobei dieser jedoch auch ein Reinraum in einem industriellen Umfeld sein könnte. Der Raum ist mit einer Decke 10 ausgestattet, die zumindest teilweise aus einer Vorrichtung aufgebaut ist oder diese enthält, um Luft zuzuführen, wobei die Vorrichtung in Form einer Luftabgabevorrichtung 14 vorliegt, die sich von der Decke nach unten erstreckt; ferner weist der Raum Wände 11 auf. Saubere Luft wird von der Luftabgabevorrichtung in einem ersten Luftstrom 12 zu ausgewählten Bereichen des Raumes geführt. Der Luftstrom wird so geführt, dass er sich mit einer relativ geringen Strömungsgeschwindigkeit ausbreitet. Die Strömungsgeschwindigkeit ist vorzugsweise kleiner als 1 m/s und vorteilhafterweise kleiner als 0.2 m/s. Die erfindungsgemäße Raumbelüftung liefert ungefähr einen zwanzigmaligen Luftaustausch pro Stunde. Höhere oder geringere Werte des Luftaustausches können ebenso verwirklicht werden. Die geringe Strömungsgeschwindigkeit bedeutet, dass das Risiko von Turbulenzen und Verwirbelungen sehr gering ist. Luft wird von dem Raum über einen zweiten Luftstrom 13 über erste Auslassöffnungen 15 in den Wänden 11 des Raumes oder in der Nähe des Bodens abgeführt.
  • Die saubere Eintrittsluft wird der Luftabgabevorrichtung 14 mit Überdruck zugeführt, der von mindestens einer Druckpumpenvorrichtung 16 bereitgestellt wird. Das Abführen der entweichenden Luft wird mittels mindestens einer zweiten Unterdruckpumpenvorrichtung 17 bewerkstelligt. Zwei Belüftungsgebläse oder Pumpenvorrichtungen 17 sind vorzugsweise zueinander diagonal an zwei gegenüberliegenden Wänden angeordnet. In der gezeigten Ausführungsform sind zwei Belüftungsgebläse oder Pumpenvorrichtungen 17' für das Erzeugen eines Unterdrucks mit behälterförmigen Kanalsystemen 18, die an den Wänden 11 ent lang verlaufen, verbunden. Die Kanalsysteme 18 sind mit Schlitzen oder Öffnungen an der Unterseite versehen, durch die Luft von dem Raum abgeführt werden (siehe auch 3 und 4). Ungefähr 80 bis 85% der Luft wird vorzugsweise über die ersten Auslassöffnungen 15, die an dem Boden angeordnet sind, abgeführt.
  • Zufuhrluft wird in den Raum über Öffnungen der Luftabgabevorrichtung 14 abgegeben. Die Luftabgabevorrichtung 14 ist vorzugsweise mit perforierten Bereichen versehen, die über den Flächen in dem Raum angeordnet sind, die mit sauberer Luft zu versorgen sind. Die Luft, die von diesen perforierten Bereichen zugeführt wird, erhält in einem Luftstrom 12 eine im Wesentlichen vertikale Richtung nach unten. Die Luftabgabevorrichtung ist mit Seitenoberflächen 19 versehen, die diagonal in Richtung zu der benachbarten Wand orientiert sind, durch die die Luftzufuhr diagonal nach unten in den Raum gelenkt wird. Um diese Luftzufuhr weiter zu steuern und zu lenken sind Strömungsleiteinrichtungen 20 zwischen der Wand 11 und der Seitenoberfläche 19 vorgesehen.
  • 3 zeit deutlicher, wie die Luftströmung an der Wand 11 sich als Folge des gesteuerten Zuführens und Absaugens von Luft entwickelt. Der erste Luftstrom 12 verteilt sich im Wesentlichen vertikal nach unten von einem ersten perforierten Paneel 21 in der Luftabgabevorrichtung 14. Ein Teil 12' des ersten Luftstromes 12 verteilt sich ferner ausgehend von einem zweiten perforierten Paneel 22 in der Seitenoberfläche der Luftabgabevorrichtung 19. Dieser Teil 12' des ersten Luftstroms wird in Richtung der Wand 11 diagonal nach unten mittels der Strömungsleiteinrichtung 20 gelenkt. In der dargestellten Ausführungsform ist die Strömungsleiteinrichtung 20 als eine gekrümmte Platte ausgeführt, die sich über die Länge des gesamten Raumes erstreckt. Entsprechende Platten sind vorzugsweise an allen Wänden 11 im Raum angeordnet.
  • Die saubere Luft wird von der Überdruckpumpenvorrichtung 16 zu den perforierten Paneelen 21 und 22 über eine erste Leitung 24 geführt. Die erste Leitung 24 erstreckt sich in der gezeigten Ausführungsform durch eine Decken- und/oder Bodenstruktur 25. Das Zuführen der sauberen Luft zu den perforierten Paneelen 21 und 22 kann mittels der Luftabgabevorrichtung 14 oder über eine spezielle Leitung, beispielsweise in der Weise, wie dies in 3 gezeigt ist, stattfinden.
  • Das behälterförmige Kanalsystem 18 erstreckt sich geeigneter Weise über die gesamte Länge aller Wände. Es kann gewisse Umstände geben, um die Abmessungen des Kanalsystems 18 über gewissen Bereiche zu begrenzen. Das Kanalsystem 18 ist an dem in Richtung des Raumes gekrümmten Ende mit mindestens einem dritten perforierten Paneel 23 versehen, durch das Luft aus dem Raum abgeführt wird. Die perforierten Bereiche bilden die zweiten Auslassöffnungen 32. Abhängig von der Form des Raumes, der Ausstattung und den Anfordernissen für die Reinheit können die Größe und die Anzahl der perforierten Paneele 23 variieren.
  • Eine zweite Leitung 26 erstreckt sich von dem Kanalsystem 18, über die Auslassluft mittels der zweiten Pumpenvorrichtung 17 (siehe 2) abgeführt wird. Die zweite Leitung 26 erstreckt sich durch eine Außenwand oder tragende Wand 27 zum äußeren oder zu einem weiteren Raumbereich. Die zweite Pumpenvorrichtung 17 ist vorzugsweise außerhalb der Außenwand 27 angeordnet.
  • Die Strömungsleiteinrichtung 20 besitzt eine Ausdehnung, derart, dass Luft des ersten Luftstroms 12, 12' parallel aber entgegengesetzt orientiert zur Strömungsrichtung des zweiten Luftstroms 13 geführt wird. Durch Steuern der Luftströme wird das Risiko für das Hervorbringen von Turbulenzen und Verwirbelungen reduziert. Stattdessen wird die kontaminierte Luft in Richtung der Wände des Raumes und hoch entlang den Wänden in Richtung der zweiten Auslassöffnungen 32 getrieben. Die Strömungsleiteinrichtung 20 erstreckt sich vertikal unter die zweiten Auslassöffnungen 32, so dass ungewünschte Turbulenzen an den Auslassöffnungen 32 vermieden werden. Durch die trennende Wirkung der Strömungsleiteinrichtung 20 kann ein Einführen von Bakterien enthaltenden Teilchen und anderen Teilchen in den ersten Luftstrom 12 vermieden werden.
  • 4 zeigt ein Beispiel wie ein erster Luftstrom 12 sich von einer Anzahl erster perforierter Paneele 21 ausbreitet. Die Anzahl der Paneele 21 und deren Anordnung kann in Abhängigkeit von der momentanen Anwendung und der Gestaltung des Raumes variieren. Eine Luftabgabevorrichtung 14, die an der Decke angeordnet ist, kann wie in der gezeigten Ausführungsform die gesamte Decke des Raumes bedecken. Auf diese Weise kann im Prinzip der gesamte Raum mit reiner Luft versorgt werden. Lediglich die Fläche, die den Wänden des Raumes am nächsten liegt, weist keine Zufuhr für saubere Luft auf. In anderen Ausführungsformen bedeckt die Luftabgabevorrichtung lediglich einen Teil der Decke. Es ist auch möglich, die gesamte Decke oder einen gewissen Teil davon mit mehreren koordinierten Luftabgabevorrichtungen zu versehen.
  • Ein Operationstisch 28, der in dem mittleren Bereich des Raumes angeordnet ist, und ein Instrumententisch 29 oder ähnliches, der mit einem gewissen Abstand zu der Seitenwand des Raumes angeordnet ist, werden mit sauberer Luft über die erfindungsgemäße Vorrichtung versorgt. Das Risiko, dass kontaminierte Luft in den Luftstrom mit reiner Luft eintritt, bleibt sehr klein. Der Instrumententisch 29 oder ähnliche Raumeinrichtungen können vielmehr beliebig im Raum verteilt werden, wobei nur ein geringes Risiko für eine Kontamination mit verschmutzter Luft besteht.
  • Eine deckenmontierte Ausstattung für die Benutzung im Raum kann in der Luftabgabevorrichtung 14 angebracht werden, oder wenn dies geeignet ist, in der Deckenstruktur 25. Operationsutensilien oder andere empfindliche Ausstattungsgegenstände sollten mit einem gewissen Abstand von den Wänden des Raumes angeordnet werden.
  • Die Belüftung des Raumes wird vollständig durch eine Zufuhr sauberer Luft mit Überdruck und durch die Abgabe verbrauchter Luft gesteuert. Durch das Einstellen der Oberfläche, durch die saubere Luft den Raum zugeführt wird, kann eine beliebige Fläche oder ein Bereich in dem Raum ein gewünschtes Maß an Reinheit erreichen.

Claims (13)

  1. Verfahren zum Lüften eines Raums mit Wänden (11) und einer Decke (10), wobei saubere Luft über einen ersten Luftstrom (12) in wenigstens einen Teil des Raums geführt wird und Luft über erste Auslassöffnungen (15), die in den Wänden (11) des Raums angeordnet sind, abgeleitet wird, dadurch gekennzeichnet, dass: Luft, die in einem zweiten Luftstrom (13) entlang wenigstens einer Wand (11) enthalten ist, aus dem Raum über wenigstens eine zweite Auslassöffnung (32) abgeleitet wird, die oberhalb und in Richtung der Wände des Raums außerhalb eines vorgesehenen Arbeitsbereiches in dem Raum vorhanden ist, und die zugeführte Luft auf eine geneigte Strömungsleiteinrichtung (20) zu geführt wird, die an der zweiten Auslassöffnung (32) angeordnet ist.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass: die zugeführte Luft in dem Raum nach unten gerichtet wird, so dass dem ersten Luftstrom (12), der sich am nächsten an der wenigstens einen Wand (11) befindet, eine Strömungsrichtung zugewiesen wird, die parallel zu der zweiten Strömungsrichtung des Luftstroms und ihr entgegengesetzt ist.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Luftstrom (12) über wenigstens eine Luftabgabevorrichtung (14) in den Raum geführt wird, die sich von der Decke nach unten erstreckt.
  4. Vorrichtung zum Belüften eines Raums mit Wänden (11) und einer Decke (10), wobei eine Pumpenvorrichtung (16), die einen Überdruck erzeugt, zum Zuführen von reiner Luft zu wenigstens einem Teil des Raums von der Decke über einen ersten Luftstrom (12) vorhanden ist, und wenigstens eine Pumpenvorrichtung (17), die einen Unterdruck erzeugt, so eingerichtet ist, dass sie verbrauchte Luft aus dem Raum über eine erste Auslassöffnung (15) absaugt, dadurch gekennzeichnet, dass: wenigstens eine zweite Pumpenvorrichtung (17'), die einen Unterdruck erzeugt, vorhanden ist, um Luft abzusaugen, die in dem Raum zirkuliert hat, wenigstens eine zweite Auslassöffnung (32) oberhalb und in Richtung der Wände des Raums außerhalb eines Arbeitsbereiches in dem Raum vorhanden ist, um verbrauchte Luft über die zweite Pumpeneinrichtung (17') abzusaugen, die einen Unterdruck erzeugt, dass eine Strömungsleiteinrichtung (20) an der zweiten Auslassöffnung (32) angeordnet ist, um die Teilmenge (12') des ersten Luftstroms (12) in einem schrägen Winkel auf die Wände des Raums zu zu leiten.
  5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass: Luftabgabevorrichtungen (14) an der Decke des Raums vorhanden sind, um reine Luft nach unten in den ersten Luftstrom (12) und wenigstens in der Richtung einer der Wände des Raums in einer Teilmenge (12') des ersten Luftstroms (12) abzugeben.
  6. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass: die Luftabgabevorrichtungen so eingerichtet sind, dass sie sich von der Decke des Raums nach unten erstrecken.
  7. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass: die Luftabgabevorrichtung (14) mit einer Pumpenvorrichtung (16) verbunden ist, die einen Überdruck erzeugt, und die erste Auslassöffnung (15) mit einer ersten Pumpenvorrichtung (17) verbunden ist, die einen Unterdruck erzeugt, um eine erhebliche Menge der zugeführten Luft abzusaugen.
  8. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass: die Luftabgabevorrichtung (14) wenigstens einen perforierten Abschnitt (21, 22) umfasst.
  9. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass: ein Kanalsystem (18) an der Decke des Raums entlang wenigstens einer der Wände des Raums vorhanden ist, wenigstens eine Öffnung in dem Kanalsystem (18) die zweite Auslassöffnung (32) bildet, und das Kanalsystem (18) mit einer zweiten Pumpenvorrichtung (17) verbunden ist, die einen Unterdruck erzeugt.
  10. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Überdruck-Pumpenvorrichtung (16) vorhanden ist, um dem Raum Luft mit einer Strömungsgeschwindigkeit von weniger als 1 m/s zuzuführen.
  11. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Überdruck-Pumpenvorrichtung (16) vorhanden ist, um dem Raum Luft mit einer Strömungsgeschwindigkeit von ungefähr 0,2 m/s zuzuführen.
  12. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Auslassöffnung (32) mit der zweiten Pumpenvorrichtung (17') verbunden ist, die einen Unterdruck erzeugt, um eine geringere Menge der zugeführten Luft abzupumpen.
  13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Unterdruck-Pumpenvorrichtung (17) vorhanden ist, um ungefähr 80% der zugeführten Luft abzusaugen, und die zweite Unterdruck-Pumpenvorrichtung (17') vorhanden ist, um ungefähr 20% der zuführten Luft abzusaugen.
DE69915367T 1998-12-02 1999-12-01 Verfahren und vorrichtung zur lüftung eines reinraums Expired - Lifetime DE69915367T2 (de)

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