DE69834919D1 - Oberflächeninspektionsverfahren und vorrichtung - Google Patents

Oberflächeninspektionsverfahren und vorrichtung

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Kazumi Haga
Motoshi Sakai
Yoshihiro Ishiguro
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Nanosystem Solutions Inc
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Nanosystem Solutions Inc
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/306—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces for measuring evenness

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