DE69822293T2

DE69822293T2 - Membranventil

Info

Publication number: DE69822293T2
Application number: DE69822293T
Authority: DE
Inventors: Ingvar BÄCKLUND
Original assignee: Robovalve AB
Current assignee: Buerkert Werke GmbH and Co KG
Priority date: 1997-04-04
Filing date: 1998-04-03
Publication date: 2005-02-17
Anticipated expiration: 2018-04-04
Also published as: ATE261562T1; EP0972148B1; JP4776046B2; CA2284637C; SE510074C2; AU6935598A; DE69822293D1; SE9701242D0; SE9701242L; JP2001519878A; CA2284637A1; US6250332B1; EP0972148A1; WO1998045629A1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Membranventil zum Steuern eines Flusses eines gasförmigen oder flüssigen Fluides und insbesondere zum Leiten eines solchen Flusses von mindestens einem Anschluß des Ventiles zu mindestens einem anderen Anschluß des Ventiles.
Die wO 95/00782 desselben Erfinders beschreibt ein solches Membranventil mit einem Ventilgehäuse, das eine im wesentlichen kreisförmige Ventilkammer aufweist, in die ein zentraler Kanal mündet und auf dessen jeder Seite ein erster Seitenkanal und ein zweiter Seitenkanal. Jeder Seitenkanal hat eine externe Verbindung für Fluid und wird von dem zentralen Kanal mittels eines entsprechenden von zwei im wesentlichen parallelen Ventilsitzmitteln getrennt, die sich ähnlich Schwellen durch die Ventilkammer hindurch erstrecken. Jedes Ventilsitzmittel schafft einen im wesentlichen geradlinigen Ventilsitz für eine elastische Membran. Die Membran ist so ausgebildet, daß sie in und außer dichtenden Kontakt mit mindestens einem der Ventilsitzmittel gebracht werden kann. Zwei individuell betätigbare Steuermittel sind beide so ausgebildet, daß sie einen entsprechenden geradlinigen Abschnitt der Membran gegen den entsprechenden Ventilsitz drücken, wodurch die Passage von Fluid zwischen dem zentralen Kanal und einem entsprechenden Seitenkanal abgesperrt wird und zum aktiven Anheben eines entsprechenden Abschnittes der Membran von dem entsprechenden Ventilsitz, wodurch eine Flußpassage zwischen dem zentralen Kanal und dem entsprechenden Seitenkanal geöffnet wird.
Dieses Dreiwege/Dreianschlufl-Membranventil des Standes der Technik hat bewiesen, daß es extrem gut arbeitet. Allerdings war der Wunsch, es in ein 4-Wege/4-Anschlußventil umzuwandeln, d.h. ein Ventil zum Mischen von drei Flüssen oder zum Leiten eines Flusses von einem externen Anschluß (Einlaßanschluß) zu einem oder mehreren von drei weiteren externen Anschlüssen (Auslaßanschlüsse).
Dies wurde durch eine erste Entwicklung des eingangs genannten Ventiles erreicht. Diese erste Entwicklung ist in der WO 97/17558 desselben Erfinders beschrieben. Bei dem Membranventil nach der ersten Entwicklung ist das Ventilgehäuse mit einer zweiten im wesentlichen kreisförmigen Ventilkammer ausgestattet, in die ein vierter Kanal mündet, der einen externen Anschluß für Fluid hat und der mit dem zentralen Kanal durch eine Öffnung in dem Ventilgehäuse kommuniziert. Eine zweite elastische Membran ist vorgesehen und so ausgebildet, daß sie in und außer dichtenden Eingriff mit einem dritten Ventilsitzmittel gebracht werden kann, das in der zweiten Ventilkammer vorgesehen ist. Ein drittes Steuermittel ist vorgesehen, um sowohl die zweite Membran gegen den dritten Ventilsitz zu drücken, wodurch die Passage von Fluid zwischen dem vierten Kanal und dem zentralen Kanal abgesperrt wird, als auch um die Membran von ihrem Eingriff mit den dritten Ventilsitzmitteln zu lösen, wodurch die Passage von Fluid zwischen dem vierten Kanal und dem zentralen Kanal geöffnet wird.
Auch dieses Ventil hat bewiesen, daß es seine Aufgaben zufriedenstellend erfüllt.
Beiden genannten Ventilen des Standes der Technik ist ein zentraler Kanal gemeinsam, der in direkter Verbindung mit einem zugeordneten Anschluß steht. Folglich ist dieser Anschluß auch beim Fluidtransfer zwischen den verbleibenden zwei Anschlüssen in dem Ventil entsprechend der WO 95/00782 und zwischen jeglicher Kombination von zwei der verbleibenden drei Anschlüssen bei dem Ventil gemäß der wO 97/17558 involviert.
Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Membranventil zu schaffen, das einen Transfer von Fluid zwischen jeglicher Kombination von mindestens zwei seiner Anschlüsse erlaubt, ohne daß irgendein weiterer Anschluß involviert ist. Beim Erreichen dieser Forderung soll das neue Membranventil im gleichen Ausmaße die sanitären Anforderungen wie die bekannten Ventile erfüllen, es soll einfach und zuverlässig arbeiten, und es soll relativ wenige bewegliche Teile haben.
Bei einem Membranventil der oben beschriebenen Art können die Ventilsitze als Schwellen oder Wehre zwischen benachbarten Kanälen und zugeordneten Anschlüssen charakterisiert werden. Die Verbindung zwischen zwei Anschlüssen wird durch eine Fluidpassage über eine oder mehrere Schwellen hergestellt.
Zur Lösung der Aufgabe der vorliegenden Erfindung wird vorgeschlagen, daß der zentrale Kanal durch einen zentralen Raum ersetzt wird, der keine direkte Verbindung mit irgendeinem Anschluß hat. Die Fluidpassage von einem Anschluß zu dem zentralen Raum muß über eine Schwelle hinweg erfolgen, und die Passage von dem zentralen Raum zu irgendeinem anderen Anschluß muß über eine weitere Schwelle hinweg erfolgen. Folglich muß jeglicher Fluß durch das Ventil hindurch zwei Schwellen und den zentralen Raum passieren.
Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden jetzt detallierter beschrieben, wobei auf die beigefügte Bezeichnung Bezug genommen wird, bei der:
– 1 eine Draufsicht eines Ventilgehäuses eines ersten Ausführungsbeispieles ist;
– 2 eine Ansicht von unten des Ventilgehäuses der 1 ist;
– 3 ein vertikaler zentraler Schnitt längs der Linie III–III der 1 ist, jedoch in vergrößertem Maßstab;
– 4 ein vertikaler zentraler Schnitt längs der Linie IV–IV der 1 ist, im selben Maßstab wie 3;
– 5 eine Draufsicht eines Ventilgehäuses eines zweiten Ausführungsbeispieles ist;
– 6 eine Ansicht von unten des Ventilgehäuses der
5 ist;
– 7 ein vertikaler zentraler Schnitt längs der Linie VII–VII der 5 ist;
– 8 ein vertikaler zentraler Schnitt längs der Linie VIII–VIII der 5 ist;
– 9 ein vertikaler zentraler Schnitt längs der Linie IX–IX der 5 ist;
– 10 eine perspektivische Ansicht eines möglichen dritten Ausführungsbeispieles der vorliegenden Erfindung ist, das eine Ventilkammer auf jeder der vier Seiten des Ventilgehäuses hat, das einen rechteckigen Querschnitt hat;
– 11 ein Schnitt längs der Linie XI–XI der 10 ist;
– 12 eine perspektivische Ansicht eines möglichen vierten Ausführungsbeispieles der vorliegenden Erfindung ist, das eine Ventilkammer in jeder von sechs Seiten eines Ventilgehäuses hat, das den Querschnitt eines regulären Sechseckes hat;
– 13 ein Schnitt längs der Linie XIII–XIII der
12 ist;
– 14 eine perspektivische Ansicht eines möglichen fünften Ausführungsbeispieles der vorliegenden Erfindung ist, das ein Ventilgehäuse mit zwei Ventilkammern in einer ebenen Fläche hat;
– 15 ein Schnitt längs der Linie XV–XV der 14 ist;
– 16 eine perspektivische Ansicht eines möglichen sechsten Ausführungsbeispieles der vorliegenden Erfindung ist, mit einem Ventilgehäuse, das zwei Ventilkammern in jeder von zwei gegenüberliegenden ebenen Oberflächen aufweist;
– 17 ein Schnitt längs der Linie XVII–XVII der 16 ist;
– 18 eine perspektivische Ansicht eines siebten Ausführungsbeispieles der vorliegenden Erfindung ist, mit einem Ventilgehäuse, das zwei Ventilkammern in jeder von zwei gegenüberliegenden ebenen Obeflächen (wie in den 16 und 17) hat und eine Ventilkammer in jeder von zwei gegenüberliegenden Endflächen; und
– 19 ein Schnitt längs der Linie XIX–XIX der 18 ist.
Wie das Membranventil, das in der WO 97/17558 beschrieben ist, haben die Ventile nach den ersten und zweiten Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung, die im Zusammenhang mit den 1–4 bzw. den 5–9 beschrieben sind, ein Ventilgehäuse mit einer oberen und einer unteren Ventilkammer, die jede Ventilsitzmittel und eine elastische Membran aufweisen sowie eine Betätigungseinheit, die in der Lage ist, Bewegungen der zugeordneten Membranen so zu steuern, daß sie in und außer dichtenden Kontakt mit den entsprechenden Ventilsitzmitteln bringbar sind.
Da es bevorzugt ist, die Betätigungseinheiten, die in der WO 97/17558 beschrieben sind, mit den Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung zu verwenden, werden sie hier nicht im Detail beschrieben.
Das erste Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, das in den 1–5 gezeigt ist, enthält ein Ventilgehäuse 10 mit vier Anschlüssen, wobei das Gehäuse eine obere Ventilkammer 11 und eine untere Ventilkammer 12 aufweist, die an gegenüberliegenden Seiten 10a, 10b des Ventilgehäuses vorgesehen sind. In den 1 und 2 erkennt man, daß die Ventilkammern in der Draufsicht im wesentlichen kreisförmig sind und aus den 3 und 4, daß sie in der Seitenansicht im wesentlichen schalen- oder plattenförmig sind.
Es sind zwei Ventilsitzmittel in der Form von Wehren oder Schwellen 13 und 14 (1) vorgesehen, die sich wie parallele Sehnen durch die obere Ventilkammer 11 hindurch erstrecken. Im Inneren des Ventilgehäuses 10 sind grubenartige Kanäle 15, 16 (vgl. 4) vorgesehen, die radial auswärts der Schwellen 13 bzw. 14 in die Ventilkammer 11 öffnen und mit entsprechenden Anschlüssen A und C in Verbindung stehen. In ähnlicher Weise hat die untere Ventilkammer 12 zwei parallele Ventilsitzmittel in der Form von Wehren oder Schwellen 17, 18, die sich wie parallele Sehnen über die Ventilkammer erstrecken (2). Im Inneren des Ventilgehäuses 10 sind in ähnlicher Weise grubenförmige Kanäle 19, 20 vorgesehen, die radial auswärts der Schwellen 17 bzw. 18 in die Ventilkammer 12 öffnen und mit entsprechenden gegenüberliegenden Anschlüssen B und D in Verbindung stehen.
Wie aus den 1 und 2 hervorgeht, sind die Anschlüsse A und C wechselseitig ausgerichtet und diametral zueinander gegenüberliegend, wie es auch die Anschlüsse B und D sind. Es ist auch zu erkennen, daß die gemeinsame Achse der Kanäle 15 und 16 und deren zugeordneten Anschlüsse A und C und die gemeinsame Achse der Kanäle 19 und 20 und deren zugeordneten Anschlüsse B und D rechtwinklig zueinander stehen und weiter, daß die wechselseitig parallelen Schwellen 13, 14, die den Kanälen 15, 16 zugeordnet sind, rechtwinklig zu den wechselseitig parallelen Schwellen 17, 18 stehen, die den Kanälen 19, 20 zugeordnet sind.
Zwischen den Schwellen 13 , 14 der oberen Ventilkammer 11 ist eine im wesentlichen V- oder trichterförmige Ausnehmung oder ein Hohlraum 21 (3) vorgesehen, die bzw. der von im wesentlichen der Durchmesserlänge der Ventilkammer 11 in Richtung zur unteren Ventilkammer 12 spitz zuläuft, wo sie bzw. er sich zwischen den Schwellen 17 und 18 öffnet. Die Breite des Hohlraumes entspricht dem Abstand zwischen den Schwellen 13 und 14. In entsprechender Weise ist zwischen den Schwellen 17, 18 der unteren Ventilkammer 12 eine ähnli che, im wesentlichen V- oder trichterförmige Ausnehmung bzw. ein Hohlraum 22 (in 4 invertiert dargestellt) vorgesehen, der von im wesentlichen der vollen Durchmesserlänge der Ventilkammer 12 in Richtung zum oberen Ventilsitz 11 hin spitz zuläuft, wo er sich zwischen den Schwellen 13 und 14 öffnet. Die Breite des Hohlraumes 22 entspricht dem Abstand zwischen den Schwellen 17 und 18.
Die Hohlräume 21 und 22 bilden zusammen einen zentralen Raum 23 , der sich durch das Ventilgehäuse 10 zwischen den Ventilkammern 11 und 12 hindurch erstreckt und der keine Verbindung mit irgendeinem der Anschlüsse A, B, C und D hat, ausgenommen über eine entsprechende Schwelle 13, 14, 17 bzw. 18.
In den 3 und 4 sind eine obere Membran 24 und eine untere Membran 25 dargestellt, die für ein Zusammenwirken mit den Schwellen 13, 14 der oberen Ventilkammer 11 bzw. mit den Schwellen 17, 18 der unteren Ventilkammer 12 ausgebildet sind. Die Membranen sind im Abstand von der oberen Fläche 10a bzw. der unteren Fläche 10b des Ventilgehäuses 10 dargestellt, um nicht mit Einzelheiten des Ventilgehäuses zu kollidieren. Beim Betrieb sind die Membranen zwischen entsprechenden oberen und unteren Betätigungseinheiten 26, 27 und der oberen Ventilgehäusefläche 10a bzw. der unteren Ventilgehäusefläche 10b eingespannt. Beide Betätigungseinheiten, die in den 3 und 4 schematisch dargestellt sind, sind in geeigneter Weise von der ersten in der WO 97/17558 beschriebenen Art und haben zwei Steuermittel, die selektiv in den durch die Pfeile F₁, F₂, F₃ und F₄ bezeichneten Richtungen beweglich sind, um einen Abschnitt jeweils einer Membran 24, 25 gegen eine entsprechende Schwelle 13 , 14 und 17 , 18 zu drücken und um die entsprechenden Abschnitte von den Schwellen abzuheben.
Durch Auswahl verschiedener Kombinationen von Drücken und Abheben der Membranabschnitte kann jetzt ein Fluß zwischen verschiedenen Anschlüssen hergestellt werden, wie zumindest aus der nachfolgenden Tabelle ersichtlich ist: Zweiwege-Verbindung zwischen Anschlüssen
In der obigen Tabelle beziehen sich F₁, F₂, F₃ und F₄ auf die Bewegungsrichtungen der Steuermittel der Betätigungseinheiten 26, 27, wobei ein +Zeichen eine Bewegungsrichtung zum Öffnen der Flußpassage über eine Schwelle durch Anheben eines Membranabschnittes von einer zugeordneten Schwelle bezeichnet, während ein -Zeichen eine Bewegungsrichtung zum Absperren der Flußpassage über eine Schwelle durch Drücken eines Membranabschnittes gegen eine zugeordnete Schwelle bezeichnet.
Das zweite Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung, das in den 5–9 gezeigt ist, beinhaltet ein Ventilgehäuse 30 mit drei Anschlüssen, das eine obere Ventilkammer 31 und eine untere Ventilkammer 32 aufweist, die in gegenüberliegenden parallelen Flächen 30a, 30b des Ventilgehäuses vorgesehen sind. Aus den 5 und 6 ist zu erkennen, daß die Ventilkammern in der Draufsicht im wesentlichen kreisförmig und in der Seitenansicht im wesentlichen schalen- oder plattenförmig sind.
Es sind zwei Ventilsitzmittel in der Form von Wehren oder Schwellen 33 und 34 (5) vorgesehen, die sich wie parallele Sehnen durch die obere Ventilkammer 31 hindurch erstrecken. Im Inneren des Ventilgehäuses 30 sind grubenartige Kanäle 35, 36 (vgl. 8 und 9) vorgesehen, die sich radial auswärts der Schwellen 33 bzw. 34 zur Ventilkammer 31 öffnen und mit entsprechenden Anschlüssen A' und C' in Verbindung stehen, die wechselseitig ausgerichtet und diametral zueinander gegenüberliegend angeordnet sind. Es ist offensichtlich, daß die Anordnung der oberen Ventilkammer 31 mit ihren zugeordneten Schwellen, Kanälen und Anschlüssen ähnlich zur oberen Ventilkammer 11 des ersten Ausführungsbeispieles ist.
Die untere Ventilkammer 32 hat nur ein Ventilsitzmittel in Form eines Wehres oder einer Schwelle 37, die sich exzentrisch ähnlich einer Sehne über die Ventilkammer erstreckt (6). Im Inneren des Ventilgehäuses 30 ist ein grubenartiger Kanal 39 vorgesehen, der sich radial nach außen der Schwelle 37 zur Ventilkammer 32 öffnet und mit dem Anschluß D' in Verbindung steht.
Aus den 5 und 6 ist zu erkennen, daß die gemeinsame Achse der Kanäle 35 und 36 und ihrer zugeordneten Anschlüsse A' und C' und die gemeinsame Achse des Kanales 39 und ihres zugeordneten Anschlusses D' rechtwinklig zueinander stehen und weiter, daß die wechselseitig parallelen Schwellen 33, 34, die den Kanälen 35, 36 zugeordnet sind, rechtwinklig zu der Schwelle 38 stehen, die dem Kanal 39 zugeordnet ist.
Zwischen den Schwellen 33, 34 der oberen Ventilkammer 31 ist eine Ausnehmung oder ein Hohlraum 41 vorgesehen ( 5 und 7), der sich durch das Ventilgehäuse erstreckt und zur unteren Ventilkammer 32 auf der gegenüberliegenden Seite der Schwelle 38 relativ zum Kanal 39 hin öffnet. Die Breite des Hohlraumes entspricht dem Abstand zwischen den Schwellen 33 und 34 (5).
Ebenfalls in der unteren Ventilkammer 32 ist auf der der Schwelle 38 relativ zum Kanal 39 gegenüberliegenden Seite eine Ausnehmung oder ein Hohlraum 42 (6 und 7) vorgesehen, der sich durch das Ventilgehäuse hindurch er streckt und sich zur oberen Ventilkammer 31 zwischen den Schwellen 33, 34 hin öffnet.
Die Hohlräume 41 und 42 bilden zusammen einen zentralen Raum 43 , der sich durch das Ventilgehäuse 10 zwischen den Ventilkammern 11 und 12 hindurch erstreckt und keine Verbindung mit irgendeinem der Anschlüsse A', C' und D' aufweist, ausgenommen über eine entsprechende Schwelle 33, 34 bzw. 38.
In den 7, 8 und 9 sind eine obere Membran 44 und eine untere Membran 45 dargestellt, die für ein Zusammenwirken mit den Schwellen 33, 34 der oberen Ventilkammer 31 bzw. mit der Schwelle 38 der unteren Ventilkammer 32 ausgebildet sind. Die Membranen sind im Abstand von der oberen Fläche 30a bzw. der unteren Fläche 30b des Ventilgehäuses 30 dargestellt, um nicht mit Einzelheiten des Ventilgehäuses zu kollidieren. Während des Betriebes sind die Membranen zwischen entsprechenden oberen und unteren Betätigungseinheiten 46, 47 und der oberen Ventilgehäusefläche 30a bzw. der unteren Ventilgehäusefläche 30b eingespannt. Wie bei den 3 und 4 ist die obere Betätigungseinheit 46, die in den 7–9 schematisch dargestellt ist, geeigneter Weise von der ersten Art, die in der WO 97/17558 beschrieben ist und zwei Steuermittel aufweist, die in Richtung der Pfeile F₁, F₂ selektiv beweglich sind, um einen Abschnitt der Membran 44 gegen eine entsprechende Schwelle 33 bzw. 34 zu drücken und entsprechende Abschnitte von den Schwellen abzuheben. Die untere Betätigungseinheit 47, die schematisch in den 7-9 dargestellt ist, ist geeigneter Weise von der zweiten Art, die in der WO 97/17558 beschrieben ist und hat nur ein Steuermittel, das in den durch den Pfeil F₅ bezeichneten Richtung selektiv beweglich ist, um einen Teil der Membran 45 gegen die Schwelle 38 zu drücken und diesen Teil von der Schwelle abzuheben.
Durch Auswählen unterschiedlicher Kombinationen des Drückens und Abhebens von Membranabschnitten kann jetzt ein Fluß zwischen verschiedenen Anschlüssen hergestellt werden, wie es zumindest aus der nachfolgenden Tabelle ersichtlich ist. Zweiwege-Verbindung zwischen Anschlüssen
In der obigen Tabelle beziehen sich F₁, F₂ und F₅ auf die Bewegungsrichtungen der Steuermittel der Betätigungseinheiten 46, 47, und ein +Zeichen bezeichnet eine Bewegungsrichtung zum Öffnen der Flußpassage über eine Schwelle hinweg durch Anheben eines Membranteiles von der zugeordneten Schwelle, während ein -Zeichen eine Bewegungsrichtung zum Absperren einer Flußpassage über eine Schwelle hinweg bezeichnet, durch Drücken eines Membranabschnittes gegen eine zugeordnete Schwelle.
In der obigen Beschreibung des ersten und zweiten Ausführungsbeispieles der vorliegenden Erfindung sind zwei Ventilkammern in einander gegenüberliegenden Flächen des Ventilgehäuses vorgesehen. Die Prinzipien der vorliegenden Erfindung ermöglichen aber einen höheren Freiheitsgrad bezüglich der Anordnung der Ventilkammern. Es wäre folglich ebenso möglich, zwei oder mehr Ventilkammern in ebenen Flächen eines Ventilgehäuses anzuordnen, die einander nicht gegenüberliegen, vorausgesetzt lediglich, daß eine Möglichkeit besteht, "einen zentral Raum" vorzusehen, wie z.B. einen Kanal zwischen ihnen. Folglich wären auch zwei oder mehr Ventilkammern, die in ein und derselben Oberfläche vorgesehen sind, möglich.
Mehrere Beispiele solcher möglichen Anordnungen werden unter Bezugnahme auf die 10-19 kurz beschrieben.
10 zeigt eine perspektivische Ansicht eines Ausführungsbeispieles mit einem Ventilgehäuseblock 100a, der einen im wesentlichen rechteckigen Querschnitt hat. Eine Ventilkammer 101 ist auf jeder der vier Seiten des rechteckigen Querschnittes vorgesehen (11). Jede Ventilkammer hat Schwellen 102, 103 und zwischen den Schwellen einen Hohlraum 104, der mit einem entsprechenden Hohlraum einer anderen Ventilkammer durch intern sich schneidende Kanäle 105, 106 in Verbindung steht. Die Kanäle 107, 108 öffnen zu jeder Ventilkammer außerhalb der Schwellen 102, 103 und stehen mit zugeordneten oberen und unteren Anschlüssen P1, P2 in Verbindung.
12 zeigt eine perspektivische Ansicht eines Ausführungsbeispieles mit einer Ventilkammer 101 in jeder von sechs Seiten eines Ventilgehäusesblocks 100b, der einen Querschnitt eines regelmäßigen Sechseckes hat. Interne, sich schneidende Kanäle 109, 110, 111 (13) erstrecken sich zwischen gegenüberliegenden Ventilkammern und verbinden Hohlräume 104 aller Ventilkammern 101. Die Kanäle 107, 108 öffnen zu jeder Ventilkammer 101 und stehen mit entsprechenden oberen und unteren Anschlüssen P1, P2 in Verbindung.
Die 14 und 15 zeigen einen Ventilgehäuseblock 100c mit zwei Ventilkammern 101 in einer oberen ebenen Fläche. Ein interner Kanal 112 verbindet die Hohlräume 104 von zwei Ventilkammern, und Anschlüsse P1, P2 stehen mit entsprechenden Ventilkammern in Verbindung, wie oben beschrieben.
Die 16 und 17 zeigen einen Ventilgehäuseblock 100d mit zwei Ventilkammern 101 in jeder von zwei gegenüberliegenden ebenen Flächen. Drei interne Kanäle 113, 114, 115 verbinden alle vier Ventilkammern, und Anschlüsse P1, P2, P3, P4 stehen mit einer entsprechenden Ventilkammer in Verbindung.
Die 18 und 19 zeigen ein Ausführungsbeispiel mit einem Ventilgehäuseblock 110e mit zwei Ventilkammern 101 in jeder von zwei gegenüberliegenden ebenen Flächen und einer Ventilkammer 101 in jeder von zwei gegenüberliegenden Endflächen. Drei interne Kanäle 116, 117, 118 verbinden alle sechs Ventile, und Anschlüsse P1, P2, P3, P4, P5, P6 stehen mit einer entsprechenden Ventilkammer in Verbindung.

Claims

Membranventil mit einem Ventilgehäuse (10; 30), das mindestens drei Anschlüsse (A, 8, C, D; A', C', D') und mindestens zwei Ventilkammern (11, 12; 31, 32) in dem Ventilgehäuse aufweist, wobei jede Ventilkammer mindestens einen ersten Raum (15, 16, 19, 20; 35, 36, 39) aufweist, der mit einem zugeordneten der genannten Anschlüsse in Verbindung steht, und einen zweiten Raum (21, 22; 41, 42), der durch eine Schwelle (13, 14, 17, 18; 33, 34; 38) von dem ersten Raum getrennt ist, dadurch gekennzeichnet, daß die zweiten Räume (21, 22; 41, 42) der Ventilkammern durch einen zentralen Raum (23; 43) hindurch miteinander kommunizieren, der keine direkte Kommunikation mit einem der genannten Anschlüsse hat, derart, daß ein Fluß zwischen irgendwelchen der genannten Anschlüsse und dem zentralen Raum nur über eine der genannten Schwellen hinweg erfolgen kann und derart, daß ein Fluß zwischen ausgewählten Kombinationen von zwei der mindestens drei Anschlüsse nur über ein Passieren von zwei Schwellen stattfinden kann.
Membranventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Raum jeder Ventilkammer mit einem zentralen Raum des Ventilgehäuses kommuniziert, der allen der genannten zweiten Räume gemeinsam ist.
Membranventil nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß in jeder von zwei gegenüberliegenden Flächen eines Ventilgehäuseblocks (100) eine Ventilkammer angeordnet ist.
Membranventil nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekenn zeichnet, daß in jeder einer Vielzahl von Oberflächen eines Ventilgehäuseblocks (100a; 100b) eine Ventilkammer angeordnet ist.
Membranventil nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß in mindestens einer von einer Vielzahl von Flächen eines Ventilgehäuseblocks (100c; 100d; 100e) mehr als eine Ventilkammer angeordnet ist.