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Die Erfindung betrifft ein Röntgenuntersuchungsgerät, das eine
Röntgenquelle,
einen Röntgendetektor
und ein zwischen der Röntgenquelle
und dem Röntgendetektor
angeordnetes Röntgenfilter enthält und das
eine Vielzahl Filterelemente umfasst, deren Röntgenabsorptionsvermögen durch
Regelung einer Menge an Röntgenstrahlen
absorbierender Flüssigkeit
in einzelnen Filterelementen eingestellt werden kann.
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Ein Röntgenuntersuchungsgerät dieser
Art ist aus der internationalen Patentanmeldung WO 96/13040 bekannt.
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Das Röntgenuntersuchungsgerät erstellt
ein Röntgenbild
eines zu untersuchenden Objektes, beispielsweise eines radiologisch
zu untersuchenden Patienten. Die Röntgenquelle bestrahlt das Objekt mit
Hilfe eines Röntgenstrahlenbündels und
auf dem Röntgendetektor
wird infolge von lokalen Unterschieden in der Röntgenabsorption innerhalb des
Objektes ein Röntgenbild
erstellt. Das Röntgenfilter
sorgt dafür,
dass der Bereich von Helligkeitswerten des Röntgenbildes begrenzt bleibt.
Das Röntgenfilter wird
so eingestellt, dass einerseits Teile des Röntgenstrahlenbündels, die
nur geringfügig
durch das Objekt abgeschwächt
werden, geringfügig
durch das Röntgenfilter
geschwächt
werden und dass andererseits Teile des Röntgenstrahlenbündels, die
wesentlich durch das Objekt abgeschwächt werden, durch das Röntgenfilter
nahezu ohne Schwächung
durchgelassen werden. Weil die Helligkeitswerte des Röntgenbildes
innerhalb eines begrenzten Bereiches liegen, ist eine weitere Verarbeitung
des Röntgenbildes,
um eine deutliche Wiedergabe kleiner Details mit geringem Kontrast
zu erhalten, sehr gut möglich.
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Das Röntgenfilter des bekannten Röntgenuntersuchungsgerätes umfasst
eine sehr große
Zahl von Kapillarröhrchen
aus Glas, von denen ein Ende mit der Röntgenstrahlen absorbierenden
Flüssigkeit in
Verbindung steht. Die Adhäsion
der Röntgenstrahlen
absorbierenden Flüssigkeit
an der Innenwandung eines solchen Kapillarröhrchens hängt von der elektrischen Spannung
ab, die an das relevante Kapillarröhrchen angelegt ist. Insbesondere
hängt der
Kontaktwinkel, den die Röntgenstrahlen
absorbierende Flüssigkeit
mit der Innenwandung eines solchen Kapillarröhrchens bildet, von der Differenz
der elektrischen Spannung zwischen der Innenwandung und der Röntgenstrahlen
absorbierenden Flüssigkeit ab. Wenn
der Kontaktwinkel größer als
90° ist,
dringt die Röntgenstrahlen
absorbierende Flüssigkeit
kaum in ein solches Kapillarröhrchen
ein; wenn der Kontaktwinkel kleiner als 90° ist, wird ein solches Kapillarröhrchen mit
einer Menge an Röntgenstrahlen
absorbierende Flüssigkeit
gefüllt,
die von der Größe der elektrischen
Potenzialdifferenz abhängt.
Die Menge an Röntgenstrahlen
absorbierender Flüssigkeit
in jedem der Kapillarröhrchen
wird auf Basis der an die Kapillarröhrchen angelegten elektrischen
Spannungen geregelt.
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Die Herstellung des Röntgenfilters
des bekannten Röntgenuntersuchungsgerätes ist
ein komplizierter und daher kostspieliger Vorgang, weil es schwierig
ist, eine große
Anzahl Kapillarröhrchen
in einem regelmäßigen Muster
zu bündeln.
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Der Erfindung liegt als Aufgabe zugrunde, ein
Röntgenuntersuchungsgerät mit einem
Röntgenfilter
zu verschaffen, das einfacher herstellt werden kann.
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Diese Aufgabe wird mit einem erfindungsgemäßen Röntgenuntersuchungsgerät gelöst, dass
dadurch gekennzeichnet ist, dass die Filterelemente durch Räume zwischen
nahezu parallelen Platten gebildet werden, wobei die jeweiligen
Platten mit Trenngliedern versehen sind, die ungefähr quer
zur Ebene einer solchen Platte hervorstehen.
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Die Trennglieder begrenzen die Filterelemente
parallel zur Ebene der Platten, quer zur Ebene der Platten begrenzen
Teile der Platten zwischen benachbarten Trenngliedern die Filterelemente.
Paare von nebeneinander liegenden Platten bilden automatisch Filterelemente,
die immer in einer Reihe parallel zu den Platten liegen. Regelmäßige Abstände zwischen
den Trenngliedern auf den Platten verschaffen eine regelmäßige Wiederkehr
von Filterelementen in einer Reihe; regelmäßige Abstände zwischen parallelen Platten
verschaffen eine regelmäßige Wiederkehr
von Reihen von Filterelementen. Die Herstellung einer solchen Konstruktion
ist einfach und daher preiswert und die Filterelemente sind mit
geringen Toleranzen in einem regelmäßigen Muster angeordnet. Vorzugsweise
werden die Abstände
zwischen den Trenngliedern auf einer derartigen Platte und die Zwischenräume von
nebeneinander liegenden Platten so gewählt, dass die Filterelemente
Kapillarröhrchen
bilden. Ein Ende der Filterelemente steht mit einer Röntgenstrahlen
absorbierenden Flüssigkeit
in Verbindung. Die Menge an Röntgenstrahlen
absorbierender Flüssigkeit
in den Filterelementen kann besonders durch Anlegen einer elektrischen
Spannung an die einzelnen Filterelemente geregelt werden.
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Eine Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Röntgenuntersuchungsgerätes ist
dadurch gekennzeichnet, dass die Filterelemente durch nahezu parallele
geriffelte Platten gebildet werden.
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Eine flache Platte kann in einfacher
Weise mit Riffelungen versehen werden. Beispielsweise können die
flachen Platten durch Pressen in einer Form oder durch Spritzguss
mit Riffelungen versehen werden. Die geriffelten Platten sind beispielsweise Platten,
die mit glatten Riffelungen oder scharfen Kniffen versehen sind.
Eine Vielzahl geriffelter Platten wird in einer solchen Weise nebeneinander
angeordnet, dass Räume
zwischen konkaven Seiten von einander gegenüber liegenden Riffelungen jeweiliger Platten
die Filterelemente bilden. Die konvexen Seiten der Riffelungen bilden
die Trennglieder. Die geriffelten Platten bilden vorzugsweise Filterelemente
in Form von Kapillarröhrchen.
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Eine Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Röntgenuntersuchungsgerätes enthält Filterelemente
mit einem im Wesentlichen hexagonalen Querschnitt. In diesem Fall
gibt es kaum oder sogar keinen verschwendeten Raum zwischen den
hexagonalen Kapillarröhrchen.
Daher kann die Röntgenabsorption über nahezu
den gesamten Querschnitt des Röntgenfilters
durch Regelung der Menge von Röntgenstrahlen
absorbierender Flüssigkeit
in den hexagonalen Kapillarröhrchen
eingestellt werden. Weil zwischen den hexagonalen Kapillarröhrchen kaum
verschwendeter Raum bleibt, können
verhältnismäßig dicke
geriffelte Platten zur Bildung der hexagonalen Kapillarröhrchen verwendet
werden. Platten dieser Art haben eine Dicke von beispielsweise einigen
zehn Mikrometern.
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Die parallelen Platten in einer Ausführungsform
eines erfindungsgemäßen Röntgenuntersuchungsgerätes sind
mit Zwischenwänden
versehen, die quer zur Ebene der Platte hervorstehen. Die Zwischenwände sind
Trennglieder, die Filterelemente, insbesondere Kapillarröhrchen,
in einer Richtung entlang der Platten begrenzen. Teile der Platten,
die zwischen benachbarten Zwischenwänden liegen, begrenzen Filterelemente
in der Richtung quer zu den Platten. Flache Platten können in
einfacher Weise mit regelmäßig beabstandeten
Zwischenwänden
versehen werden. Solche Platten mit Zwischenwänden können mit Hilfe von chemischem
Nassätzen
oder Plasmaätzen
oder durch Pulverstrahlen mit Glas oder einem Kunststoff in einfacher
Weise gefertigt werden.
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Eine Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Röntgenuntersuchungsgerätes enthält nebeneinander
liegende Platten, die zwischen benachbarten Filterelementen miteinander
verbunden sind. Weil benachbarte Platten zwischen benachbarten Filterelementen
miteinander verbunden sind, sind die Filterelemente, beispielsweise
Kapillarröhrchen,
geeignet voneinander getrennt, sodass die Röntgenstrahlen absorbierende
Flüssigkeit
nicht oder kaum von einem Kapillarröhrchen in das andere lecken kann.
Daher kann die Menge an Röntgenstrahlen
absorbierender Flüssigkeit
in einzelnen Kapillarröhrchen
sehr leicht unabhängig
voneinander geregelt werden. Benachbarte Platten können zwischen
den Kapillarröhrchen
miteinander verbunden werden, indem die Platten zwischen den Kapillarröhrchen,
vorzugsweise nahe den Trenngliedern, aneinander befestigt werden,
beispielsweise durch Kleben oder Verschmelzen. So wird eine starre
Konstruktion für das
Röntgenfilter
erhalten. Um die einzelnen Kapillarröhrchen voneinander zu trennen,
ist es nicht notwendig die Platten aneinander zu kleben; es genügt, wenn
benachbarte Platten zwischen benachbarten Kapillarröhrchen einander
berühren.
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Bei einer Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Röntgenuntersuchungsgerätes ist
zwischen den Trenngliedern eine elektrisch leitende Schicht vorgesehen.
Die elektrische Spannung wird an die elektrisch leitende Schicht
angelegt, um die Menge von Röntgenstrahlen
absorbierender Flüssigkeit
in dem betreffenden Kapillarröhrchen
zu regeln. Die leitende Schicht liegt vorzugsweise auf der Innenwandung
des betreffenden Kapillarröhrchens
in dem Röntgenfilter.
Weiterhin sind jeweilige leitfähige Schichten
von benachbarten Kapillarröhrchen
voneinander durch die Trennglieder elektrisch isoliert, sodass die
an ein Kapillarröhrchen
angelegte elektrische Spannung von der an ein anderes Kapillarröhrchen angelegten
elektrischen Spannung unabhängig ist.
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Weil eine gesonderte leitfähige Schicht
verwendet wird, kann das Material für die geriffelten Platten im
Prinzip willkürlich
gewählt
werden; es ist insbesondere nicht notwendig, für die geriffelten Platten ein
leitfähiges
Material zu verwenden. Die geriffelten Platten oder die Platten
mit Zwischenwänden werden
vorzugsweise aus Plastikfolie oder einer Glasfolie hergestellt.
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Bei einer Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Röntgenuntersuchungsgerätes ist
auf einer konkaven Seite der betreffenden Riffelung eine elektrisch
leitende Schicht vorgesehen. Die elektrisch leitende Schicht auf
der konkaven Seite der Riffelung liegt auf der Innenwandung des
Kapillarröhrchens,
das von der betreffenden Riffelung gebildet wird. Daher kann das
durch die an die leitfähige Schicht
angelegte elektrische Spannung erzeugte elektrische Feld geeignet
die Röntgenstrahlen
absorbierende Flüssigkeit
durchdringen. Dieses elektrische Feld beeinflusst die Adhäsion der
Röntgenstrahlen
absorbierenden Flüssigkeit
an der Innenwandung.
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Bei einer Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Röntgenuntersuchungsgerätes ist
auf der elektrisch leitenden Schicht eine elektrisch isolierende
Schicht vorgesehen und ist eventuell auf der elektrisch leitenden
Schicht eine hydrophobe Deckschicht vorgesehen. Die elektrisch isolierende Schicht
sorgt dafür,
dass die elektrische Ka pazität zwischen
der Röntgenstrahlen
absorbierenden Flüssigkeit
und der elektrisch leiten den Schicht genügend klein ist, um eine schnelle
Röntgenfilterantwort zu
ermöglichen.
Die elektrisch isolierende Schicht ist vorzugsweise für die Röntgenstrahlen
absorbierende Flüssigkeit
undurchlässig,
sodass Durchschlag zwischen der elektrisch leitenden Schicht und
der Röntgenstrahlen
absorbierenden Flüssigkeit
entgegengewirkt wird. Die elektrisch isolierende Schicht kann jedoch
auch mit einer versiegelnden Schicht bedeckt werden, um Durchschläge zu vermeiden.
Vorzugsweise wird eine dielektrische Schicht als elektrisch isolierende
Schicht verwendet.
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Die hydrophobe Deckschicht garantiert,
dass immer wenn keine elektrische Spannung an die betreffende elektrisch
leitende Schicht angelegt ist, der Kontaktwinkel zwischen der Röntgenstrahlen
absorbierenden Flüssigkeit
und der Deckschicht wesentlich größer ist als 90°. In Abhängigkeit
von den für
die Röntgenstrahlen
absorbierende Flüssigkeit
und die Wandung der Filterelemente verwendeten Materialien, insbesondere
in Form von Kapillarröhrchen,
gibt es dann entweder keine elektrische Potenzialdifferenz zwischen
den elektrische leitenden Teilen und der Röntgenstrahlen absorbierenden
Flüssigkeit oder
es gibt infolge einer elektrisch geladenen Doppelschicht zwischen
der Wandung des Filterelementes und der Röntgenstrahlen absorbierenden
Flüssigkeit
eine restliche elektrische Potenzialdifferenz. Die angelegte elektrische
Spannung verändert
die elektrische Potenzialdifferenz zwischen dem elektrisch leitenden
Teil und der Röntgenstrahlen
absorbierenden Flüssigkeit.
Das Anlegen oder Verändern einer
elektrischen Spannung verringert den Kontaktwinkel; im Falle einer
adäquaten
elektrischen Spannung wird der Kontaktwinkel auf einen Wert unter
90° verringert;
das Filterelement ist dann zumindest teilweise mit der Röntgenstrahlen
absorbierenden Flüssigkeit
gefüllt.
Durch Wahl einer hydrophoben Deckschicht wird erreicht, dass die
Kapillarröhrchen,
die keine elektrische Spannung erhalten, nicht mit der Röntgenstrahlen
absorbierenden Flüssigkeit
gefüllt werden.
Wenn eine elektrische Spannung an die elektrisch leitende Schicht
eines solchen Filterelementes angelegt wird, wird der Kontaktwinkel
auf einen Wert von weniger als 90° verringert,
sodass die Hydrophobie aufgehoben wird und das betreffende Kapillarröhrchen mit
der Röntgenstrahlen
absorbierenden Flüssigkeit
gefüllt
wird. Wenn an ein Filterelement keine elektrische Spannung angelegt
wird, ist das Röntgenabsorptionsvermögen des
betreffenden Filterelementes vernachlässigbar klein. Durch Wahl einer
hydrophoben Deckschicht wird erreicht, dass kaum oder keine nicht
beabsichtigte restliche Röntgenstrahlen
absorbierende Flüssigkeit
in den Kapillarröhrchen
verbleibt, wenn an die elektrisch leitenden Teile oder Bahnen keine
elektrische Spannung angelegt wird. Daher ist es nicht notwendig,
gesonderte Maßnahmen
zum Leeren des Röntgenfilters
in der Nähe
der betreffenden elektrisch leitenden Teile oder Bahnen zu ergreifen.
Somit kann einer unerwünschten
(Hintergrund-)Röntgenabsorption
durch das Filter in einfacher Weise entgegengewirkt werden.
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Die leitfähige Schicht, die elektrisch
isolierende Schicht und die hydrophobe Deckschicht können leicht
auf den geriffelten Platten aufgebracht werden, bevor diese zur
Bildung der Kapillarröhrchen
zusammengebaut werden. Es ist sogar möglich, solche Schichten auf
flachen Platten oder Folien aufzubringen und anschließend die
Platten oder Folien zu riffeln. Es ist auch möglich, die hydrophoben und
elektrisch isolierenden Schichten nach dem Zusammenbau der Platten
aufzubringen; dies bietet den Vorteil, dass eine Verformung dieser
Schichten infolge des Riffelungsvorgangs vermieden wird.
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Ausführungsbeispiele der Erfindung
sind in der Zeichnung dargestellt und werden im Folgenden näher beschrieben.
Es zeigen:
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1 schematisch
ein Röntgenuntersuchungsgerät, in dem
die Erfindung verwendet wird,
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2 schematisch
ein Röntgenfilter,
in dem die Erfindung verwendet wird,
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3 eine
Draufsicht des Röntgenfilters
von 2 und
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4 eine
Draufsicht einer anderen Ausführungsform
eines Röntgenfilters,
das in einem erfindungsgemäßen Röntgenuntersuchungsgerät verwendet
wird.
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1 zeigt
schematisch ein erfindungsgemäßes Röntgenuntersuchungsgerät 1.
Die Röntgenquelle 2 emittiert
ein Röntgenstrahlenbündel 3 zum Bestrahlen
eines Objektes 4. Infolge von Unterschieden in der Absorption
von Röntgenstrahlen
in dem Objekt 4, beispielsweise einem radiologisch zu untersuchenden
Patienten, wird auf einer für
Röntgenstrahlen
empfindlichen Oberfläche 15 des
Röntgendetektors 5,
der gegenüber
der Röntgenquelle
abgeordnet ist, ein Röntgenbild
geformt. Eine Hochspannungsstromversorgung 51 versorgt
die Röntgenquelle 2 mit
einer elektrischen Hochspannung. Der Röntgendetektor 5 der
vorliegenden Ausführungsform wird
von einer Bildverstärker/Aufnahmekette
gebildet, die einen Röntgenbildverstärker 16 zum
Umwandeln des Röntgenbildes
in ein lichtoptisches Bild auf einem Austrittsfenster 17 und
auch eine Videokamera 18 zum Aufnehmen des lichtoptischen
Bildes enthält.
Der Eintrittsschirm 19 wirkt als die für Röntgenstrahlen empfindliche
Oberfläche
des Röntgenbildverstärkers, die
einfallende Röntgenstrahlen
in ein Elektronenstrahlenbündel
umwandelt, das mit Hilfe eines elektronenoptischen Systems 20 auf
das Austrittsfenster abgebildet wird. Die einfallenden schen Systems 20 auf
das Austrittsfenster abgebildet wird. Die einfallenden Elektronen
erzeugen das lichtoptische Bild auf einer Leuchtstoffschicht 21 des
Austrittsfensters 17. Die Videokamera 18 ist mit
dem Röntgenbildverstärker 16 über eine
optische Kopplung 22 gekoppelt, beispielsweise ein Linsensystem oder
eine Lichtfaserkopplung. Die Videokamera 18 leitet aus
dem lichtoptischen Bild ein elektronisches Bildsignal ab, welches
Bildsignal einem Monitor 23 zugeführt wird, um die in dem Röntgenbild
enthaltene Bildinformation zu visualisieren. Das elektronische Bildsignal
kann auch einer Bildverarbeitungseinheit 24 zur weiteren
Verarbeitung zugeführt
werden.
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Zwischen der Röntgenquelle 2 und
dem Objekt 4 ist das Röntgenfilter 6 zur örtlichen
Abschwächung
des Röntgenstrahlenbündels angeordnet:
Das Röntgenabsorptionsvermögen einzelner
Filterelemente 7 des Röntgenfilters 6 wird
mit einer Einstelleinheit 50 eingestellt. Die Einstelleinheit 50 ist
mit der Hochspannungsversorgung 51 gekoppelt, sodass das
Röntgenfilter 6 auf
Basis der Intensität
des von der Röntgenquelle
emittierten Röntgenstrahlenbündels 3 eingestellt
werden kann.
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2 zeigt
schematisch ein Röntgenfilter
eines erfindungsgemäßen Röntgenuntersuchungsgerätes. Das
Röntgenfilter
enthält
eine Anzahl nahezu paralleler geriffelter Platten 8, die
die Filterelemente 7 bilden. Benachbarte geriffelte Platten
sind so angeordnet, dass konkave Seiten der Riffelungen jeweiliger
Platten immer einander gegenüber
liegen. Konkave Seiten von jeweiligen Platten bilden jedes Mal ein
Kapillarröhrchen.
Zur Vereinfachung der Zeichnung werden nur vier Platten 8 gezeigt,
wobei jede Platte einige Riffelungen aufweist. Konvexe Seiten dieser
Riffelungen stehen in Bezug auf die konkaven Seiten der benachbarten
Riffelungen ungefähr
quer hervor. Die konvexen hervorstehenden Seiten wirken als Trennglieder 10,
die benachbarte Filterelemente 7 voneinander trennen. In
der Praxis wird beispielsweise eine große Anzahl aus beispielsweise
einigen 10 bis einigen 100 parallelen Platten mit jeweils zwischen
10 und 100 Riffelungen verwendet. Das Röntgenfilter hat beispielsweise
laterale Abmessungen (relativ zur Richtung des Röntgenstrahlenbündels) von
ungefähr
5 cm × 5
cm. Die Kapillarröhrchen
haben eine Länge
von ungefähr
1 cm. Die Riffelungen in der dargestellten Ausführungsform sind durch scharfe
Kniffe mit Winkeln von ungefähr
120° gebildet
worden, und bilden somit Kapillarröhrchen mit einem nahezu hexagonalen
Querschnitt. Die Kapillarröhrchen
haben einen Durchmesser von beispielsweise 300 μm. Geriffelte Platten können auch
verwendet werden, um Kapillarröhrchen
mit einem runden oder elliptischen Querschnitt zu bilden. Geeignete
Materialien für
die Platten sind beispielsweise Plastikfolien und Glasfolien mit
einer Dicke von zwischen 2 μm
und 20 μm;
geeignete Ergebnisse werden insbesondere mit Hilfe einer dünnen Kunststoff- oder
Glssfolie mit einer Dicke von ungefähr 5 μm erhalten. Geeignete Plastikfolien
sind insbesondere Polyethen-, Polyethersulphon- oder Polyetherteraphtalatfolien
und ähnliches.
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Ein Ende der Kapillarröhrchen steht
mit der Röntgenstrahlen
absorbierenden Flüssigkeit 30 in
einem Reservoir 31 in Verbindung. Eine geeignete Röntgenstrahlen
absorbierende Flüssigkeit
ist beispielsweise eine Lösung
aus Bleisalz, wie z. B. Bleiperchlorat (Pb(ClO4)2) in entmineralisiertem Wasser. Infolge
der Kapillarwirkung der einzelnen Filterelemente steigt in den einzelnen
Kapillarröhrchen
die Röntgenstrahlen
absorbierende Flüssigkeit
in Abhängigkeit
von der an die betreffenden Kapillarröhrchen angelegten elektrischen
Spannung. Die Kapillarwirkung wird durch Adhäsion der Röntgenstrahlen absorbierenden
Flüssigkeit
an der Innenwandung der Kapillarröhrchen bewirkt. Diese Adhäsion kann auf
Basis der an die Kapillarröhrchen
angelegten elektrischen Spannung gesteuert werden. Wenn zwischen
der Wandung des betreffenden Kapillarröhrchens und der Röntgenstrahlen
absorbierenden Flüssigkeit
keine oder nahezu keine Spannungsdifferenz vorliegt, ist das betreffende
Kapillarröhrchen 7 in Bezug
auf die Röntgenstrahlen
absorbierende Flüssigkeit
hydrophob. Der Füllgrad
solcher Kapillarröhrchen
mit der Röntgenstrahlen
absorbierenden Flüssigkeit
kann über
die an die betreffenden Kapillarröhrchen angelegte elektrische
Spannung gesteuert werden. Es hat sich gezeigt, dass die Einstellung
des Röntgenfilters
innerhalb von 0,01 Sekunde geändert werden
kann.
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3 ist
eine Draufsicht des in einem erfindungsgemäßen Röntgenuntersuchungsgerät verwendeten
Röntgenfilters.
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Auf der Innenwandung der konkaven
Seiten der Riffelungen der Platten 8 sind jeweilige elektrisch leitende
Schichten 9 aufgebracht. Somit wird auf der Innenwandung
der Kapillarröhrchen 7 eine
elektrisch leitende Schicht 9 aufgebracht. Dadurch wird
dafür gesorgt,
dass elektrisch leitende Schichten 9 von verschiedenen
Kapillarröhrchen
voneinander geeignet elektrisch isoliert sind. Die elektrischen
Spannungen werden an die elektrisch leitenden Schichten jeweiliger
Kapillarröhrchen 7 über Spannungszuführungen 32 angelegt.
Um die elektrisch leitenden Schichten zu bilden, wird vorzugsweise
ein Metall verwendet, das über
Dampfabscheidung geeignet abgeschieden werden kann und eine geringe
Ordnungszahl aufweist und somit eine geringe Röntgenabsorption. Insbesondere
Aluminium, Kupfer und Chrom sind zum Bilden der elektrisch leitenden
Schicht geeignete Materialien, weil diese Materialien auf den Platten
durch Dampfabscheidung leicht aufge bracht werden können. Eine
solche elektrisch leitende Schicht kann auch mit Indiumzinnoxid
(ITO) und Silicium gebildet werden, das auch dotiert sein könnte.
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Die elektrisch isolierende Schicht 42 wird
auf der elektrisch leitenden Schicht 9 aufgebracht. Die elektrisch
isolierende Schicht ist vorzugsweise eine dielektrische Schicht,
die die Röntgenstrahlen
absorbierende Flüssigkeit
von der elektrisch leitenden Schicht 9 isoliert, um zwischen
der elektrisch leitenden Schicht 9 und der Röntgenstrahlen
absorbierenden Flüssigkeit 30 die
elektrische Potenzialdifferenz aufrechtzuerhalten. Die relative
Dielektrizitätskonstante
der dielektrischen Schicht ist vorzugsweise verhältnismäßig groß und die dielektrische Schicht
muss verhältnismäßig dünn sein,
um dafür
zu sorgen, dass das durch die Ladung auf der elektrisch leitenden Schicht
bewirkte elektrische Feld gut in die dielektrische Schicht eindringt.
Andererseits muss die elektrische Kapazität der dielektrischen Schicht
verhältnismäßig gering
sein, um eine schnelle Veränderung
der Ladung der elektrisch leitenden Schicht zu ermöglichen.
Es hat sich gezeigt, dass Parylen N mit einer relativen Dielektrizitätskonstante
von 2,65 und Parylen C mit einer relativen Dielektrizitätskonstante
von 3,15 geeignete Materialien sind, um die elektrisch isolierende
Schicht 42 mit einer Dicke zwischen 2 μm und 10 μm zu bilden. Außerdem können Parylen
C und insbesondere Parylen N elektrische Durchschläge gut aushalten.
Insbesondere Parylen N kann leicht deponiert werden, indem man das
Monomer auf der Oberfläche
der elektrisch leitenden Schicht polymerisieren lässt. Es
ist sogar möglich,
nach Riffelung der Platten und Bildung der Kapillarröhrchen eine
Parylen-N-Schicht auf der elektrischen leitenden Schicht aufzubringen.
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Auf der elektrisch isolierenden Schicht 42 ist eine
hydrophobe Deckschicht 43 angebracht. Die Deckschicht 43 kann
sehr dünn
sein; falls notwendig, kann die Deckschicht eine monomolekulare
Schicht sein. Geeignete hydrophobe Eigenschaften haben Deckschichten,
deren Oberfläche
aus mit CH3, CF3, CH2 oder CF2 endenden
Silanen, Siloxanen oder anderen Kohlenwasserstoffen zusammengesetzt
ist. Weiterhin sind Paraffin und Polyfluorkohlenwasserstoffe, wie
z. B. Teflon, ebenfalls geeignete hydrophobe Deckschichten. Solche
Deckschichten können
in einfacher Weise und trotzdem genau durch Dampfabscheidung aus
der Gasphase deponiert werden.
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Die elektrisch leitende Schicht 9,
die elektrisch isolierende Schicht 42 und die hydrophobe Deckschicht 43 werden
auf einem möglichst
großen Teil
der Innenseite des betreffenden Kapillarröhrchens angebracht; dadurch
wird erreicht, dass nur eine sehr kurze Zeitdauer erforderlich ist,
um das Kapillarröhrchen
in erheblichem Ausmaß mit
der Röntgenstrahlen
absorbierenden Flüssigkeit
zu füllen.
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4 ist
eine Draufsicht einer weiteren Ausführungsform eines Röntgenfilters,
das in einem erfindungsgemäßen Röntgenuntersuchungsgerät verwendet
wird. Die nahezu parallelen Platten 8 sind mit Zwischenwänden 10 versehen,
die als Trennglieder wirken. Teile der Platten 8 zwischen
benachbarten Zwischenwänden 10 bilden
Kapillarröhrchen 7.
Auf Teilen der Platten zwischen den Zwischenwänden ist eine elektrisch leitende
Schicht auf der der Innenseite der Kapillarröhrchen zugewandten Seite aufgebracht;
auf der genannten elektrisch leitenden Schicht ist die dielektrische
Schicht vorgesehen, die von der hydrophoben Deckschicht bedeckt
wird. Wenn die Zwischenwände
auch mit einer elektrisch leitenden Schicht bedeckt sind, auf der
eine elektrisch leitende Schicht und eine hydrophobe Deckschicht
aufgebracht sind, wird ein möglicht
großer Teil
der Innenseite der Kapillarröhrchen
durch die genannten Schichten bedeckt werden.
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Für
einzelne Platten 8 sind gesonderte Spannungszuführungen 32 vorgesehen.
Die elektrisch leitenden Teile sind mit der betreffenden Spannungszuführung über jeweilige
Schalter 33 elektrisch gekoppelt. Insbesondere α-Si-Dünnfilm-MOS-Transistoren sind
geeignete Schalter zum Steuern des Röntgenfilters. Die Spannungszuführungen 32 sind
mit elektrischen Spannungsquellen 35 über einen Spaltentreiber 34 gekoppelt.
Der Spaltentreiber sorgt für
die Verteilung der gewünschten
elektrischen Spannungen auf die elektrisch leitenden Teile 9 einzelner
Platten 8. Vorzugsweise werden elektrische Spannungen im Bereich
von 30 V bis 100 V verwendet; in diesem Fall können Schalter in Form von α-Si-Dünnfilmtransistoren
verwendet werden.
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Pro Zeile von elektrisch leitenden
Teilen von einzelnen Platten 8 sind Steuerzeilen 36 zum
Steuern der Dünnfilmtransistoren 33 vorgesehen,
wobei Steuerzuführungen
mit den jeweiligen Gatekontakten 37 der Dünnfilmtransistoren 33 elektrisch
gekoppelt sind. Jeder der Dünnfilmtransistoren 33 ist
mittels seines Sourcekontaktes 38 mit der betreffenden Spannungszuführung 32 verbunden,
während
sein Drainkontakt 39 mit der jeweiligen elektrisch leitenden
Bahn 9 gekoppelt ist. Die jeweiligen Dünnfilmtransistoren 33 sind
geschlossen, d. h. elektrisch eingeschaltet, indem an die betreffende
Steuerungszuführung
ein Steuersignal angelegt wird. Die Steuersignale werden durch einen
Zeilentreiber 40 geliefert. Durch Schließen des
betreffenden Dünnfilmtransistors 33 mit
Hilfe eines Steuersignals und durch gleichzeitiges Anlegen einer
geeigneten Spannung über
die entsprechende Steuerzuführung
wird die Spannung der betreffenden elektrisch leitenden Bahn auf
den gewünschten
Wert eingestellt. Daher wird in der Nähe der genannten elektrisch
leitenden Bahn die Hydrophobie der Platte 8 aufgehoben
und füllt
sich das Gebiet in der Nähe
der genannten elektrisch leitenden Bahn mit der Röntgenstrahlen
absorbierenden Flüssigkeit.
Der Füllgrad
ist abhängig
von der angelegten elektrischen Spannung. Der Zeilentreiber 34,
der Spaltentreiber 40 und die elektrische Spannungsquelle 35 sind
Teile der Einstelleinheit 50.