DE69818364T2 - Germanium Emittorelektrode - Google Patents

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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H05F3/00Carrying-off electrostatic charges
    • H05F3/04Carrying-off electrostatic charges by means of spark gaps or other discharge devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01TSPARK GAPS; OVERVOLTAGE ARRESTERS USING SPARK GAPS; SPARKING PLUGS; CORONA DEVICES; GENERATING IONS TO BE INTRODUCED INTO NON-ENCLOSED GASES
    • H01T19/00Devices providing for corona discharge
    • H01T19/04Devices providing for corona discharge having pointed electrodes

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Description

  • Statische Eliminierung ist eine wichtige Aktivität bei der Produktion von fortschrittlichen Technologien, wie integrierte Schaltungen in sehr großer Anzahl auf einem Chip (ultra large scale integrated circuits), magnetorestriktive Aufzeichnungsköpfe, usw. Die Erzeugung von in Gasen enthaltenen Feststoffen durch Korona in statischen Eliminatoren konkurriert jedoch mit dem gleich wichtigen Bedürfnis, Umgebungen einzurichten, welche frei von Teilchen und Verunreinigungen sind. Da metallische Verunreinigen einen fatalen Schaden bei diesen fortschrittlichen Technologien verursachen, ist es wünschenswert, solche Verunreinigungen auf das niedrigst mögliche Niveau zu drücken.
  • Es ist allgemein bekannt, dass wenn metallische Ionenemitter Koronoentladungen in Raumluft unterworfen werden, sie Zeichen von Schädigung innerhalb weniger Stunden und die Erzeugung von feinen Partikeln zeigen. Dies ist bekannt bei Nadelspitzen, Kupfer-, rostfreiem Stahl-, Aluminium- und Titanemittern. Korrosion wird in Bereichen festgestellt, welche der Entladung oder den aktiven gasförmigen Spezies NOx ausgesetzt sind. NO3-Ionen werden auf allen obigen Materialien gefunden, ob die Emitter positive oder negative Polarität hatten. Ozonbezogene Korrosion hängt auch von der relativen Feuchtigkeit und von der Kondensationskerndichte ab.
  • Silizium- und Siliziumdioxid-Emitterelektroden erfahren in der Gegenwart von Koronaentladungen bedeutend weniger Korrosion als Metalle. Es ist auch bekannt, dass durch Reinigen der Emitterelektroden mit trockener Luft NHN4O3 verringert werden kann, entweder als in der Luft schwebende Verunreinigung oder als Ablagerung auf den Emittern.
  • Oberflächenreaktionen führen zur Bildung von Verbindungen, welche die mechanische Struktur der Emitter verändern. Gleichzeitig führen solche Reaktionen zur Erzeugung von Teilchen von den Elektroden oder tragen zur Bildung von Teilchen in der Gasphase bei.
  • Von Silizium ist bekannt, dass es einer thermischen Oxidation, Plasmaoxidation, Oxidation durch Ionenbeschuss und Implantation und ähnlichen Arten von Nitridation unterliegt.
  • Der Stand der Technik enthält die US-A-5 447 763, US-A-5 047 892, US-A-5 057 966, US-A-4 967 608, US-A-3 789 278, US-A-3 813 549, US-A-4 110 614, US-A-4 837 658, US-A-5 539 205, US-A-5 596 478, US-A-5 116 583 und JP-A-7-70348. Weder eine dieser Schriften noch irgendeine von vielen technischen Unterlagen in diesem Gebiet lehren oder schlagen die vorliegende Erfindung vor.
  • Gemäß dieser Erfindung enthält eine koronaerzeugende Emitterelektrode zum Ionisieren von Gas reines Germanium, welches mit einem Leiter dotiert ist, um so ein Halbleiter mit einem spezifischen Widerstand von zwischen ungefähr 0,1 und 100 Ωcm zu sein, wobei die Einführung feiner Teilchen vom Emitter in das Gas verringert wird.
  • Besondere Ausführungsformen gemäß dieser Erfindung werden nun mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben, in welchen
  • 1 eine Seitenansicht einer Emitterelektrode ist, welche einige typische Proportionen und Abmessungen zeigt;
  • 2a eine Vorderansicht der Testkammer ist, welche in vereinfachter und schematischer Form dargestellt ist;
  • 2b eine Seitenansicht der Testkammer ist, welche in vereinfachter und schematischer Form dargestellt ist;
  • 3 eine Rasterelektronenmikroskop-Fotografie der Spitze einer Siliziumelektrode nach einem Test ist;
  • 4 eine Rasterelektronenmikroskop-Fotografie der Spitze einer Germaniumelektrode nach einem Test ist;
  • 5 eine Rasterelektronenmikroskop-Fotografie der Seite einer Germaniumelektrode nach einem Test ist, welche den Übergang zwischen einer stumpfen und einer glänzenden Oberflächenbeschaffenheit zeigt;
  • 6a eine schematische Ansicht einer Spitze-zu-Fläche-koronaerzeugenden Vorrichtung ist;
  • 6b eine schematische Ansicht einer Spitze-zu-Spitze-koronaerzeugenden Vorrichtung ist;
  • 6c eine schematische Ansicht einer Draht-zu-Fläche-koronaerzeugenden Vorrichtung ist;
  • 6d eine schematische Ansicht einer Draht-zu-Zylinder-koronaerzeugenden Vorrichtung ist;
  • 6e eine schematische Ansicht einer Spitze-zu-Raum-koronaerzeugenden Vorrichtung ist.
  • Germanium wird, im Gegensatz zu Silizium, nicht bei Raumtemperatur thermisch oxidiert und ist durch Plasmaverfahren schwieriger zu oxidieren als Silizium. Nitridation ist in Germanium auch schwieriger. Die erhöhte Schwierigkeit der Oxidation von Ge hat zum größeren Standardreduktionspotential für Ge als für Si und möglicherweise zu den unterschiedlichen Wanderungsraten der Ionen in den Silizium- und Germaniumoxidfilmen beigetragen.
  • 1 ist eine Seitenansicht einer Emitterelektrode 12, welche einige typische Proportionen und Abmessungen zeigt. Die Elektrode hat eine Spitze 18, welche mit einem kugelförmigen Radius 17 endet. Das hintere Ende hat eine Abschrägung 19. Es gibt bei dieser Erfindung keine Begrenzung der genauen Größe, Form oder der Proportionen der Elektrode. Es ist nur ein Beispiel einer geeigneten Elektrode und zeigt den Typ, welcher bei der Validierung der Experimente verwendet wurde.
  • Bei den Experimenten wurden Silizium- und Germaniumemitter einer Korona mit positiver und negativer Polarität ausgesetzt. Die Emitter wurden in einer trockenen, simulierten Luftumgebung für Zeiträume von bis zu 750 Stunden platziert. Emitterproben wurden bei nominellen Expositionszeiten von 100, 250, 500 und 750 Stunden entnommen zum visuellen (optisch/REM) Untersuchen, Wiegen und Röntgenstrahlen-Photoemissionsspektroskopie (XPS)-Oberflächenanalysen.
  • Die Germaniumemitter wurden hergestellt aus >99,999% reinem n-Typ (Antimon dotiertem) polykristallinem Germanium, waren ungeätzt und hatten einen spezifischen Widerstand von 5–40 Ωcm. Eine wichtige Eigenschaft der Germaniumemitter der vorliegenden Erfindung in Gasionisatoren ist, dass sie halbleitend sind, so dass sie eine elektrische Korona unterstützen können. Genauer gesagt, müssen sie einen spezifischen Widerstand zwischen ungefähr 0,1–100 Ωcm haben. Dieser Grad des spezifischen Widerstandes kann erfüllt werden durch Dotieren mit irgendeinem bekannten geeigneten Leitungs-Dotierungsmittel, und ist nicht auf Antimon beschränkt. Ferner kann, wenn das bevorzugte Antimon verwendet wird, es n-Typ oder p-Typ sein. Die Siliziumemitter wurden hergestellt aus >99,999% reinem, p-Typ (Bor-dotiert), Einkristall-Silizium, sie waren geerdet und hell geätzt und hatten einen spezifischen Widerstand von 40–100 Ωcm. 1 zeigt einen Emitter mit nominellen Proportionen.
  • Die Emitterproben wurden ausgewählt auf der Basis ihrer Verfügbarkeit und unter Berücksichtigung der im Handel erhältlichen Emittermaterialien, welche in der Industrie verwendet werden. Genauer gesagt wurde herausgefunden, das quarzbeschichtetes Wolfram keine emittierten Teilchen erzeugt, welche größer sind als 0,03 μm. Siliziumkarbid-Emitter mit Siliziumspitze sind bekannt und verwenden eine Spitze, welche aus einer Siliziumschmelze gewachsen ist. Es wurde eine verringerte Korrosion der Spitzen, welche zu den metallischen Emittern am nächsten sind, festgestellt. Eine 100-fache Reduktion der Teilchenerzeugung im Vergleich zu einem thorierten Wolfram-Basismaterial wurde im Stand der Technik als in verschiedenen Emittermaterialien gefunden beansprucht; reine Zirkonium-Titan-Metalle, Silizium-Beschichtungen, welche durch einen physikalischen Elektronenstrahl-Ablagerungsprozess gebildet wurden, und homogene Siliziummaterialien. Die Reinheit (>99,99%) und die Homogenität des Siliziums wurde als ein bestimmender Faktor beansprucht. Bei der kommerziellen Anwendung eines Einkristall-Siliziumemitters wird berichtet, dass 100-fach weniger Teilchen erzeugt werden als bei thorierten Wolframspitzen in dem Größenbereich von größer als 0,025 μm.
  • Es wird angenommen, dass die Ergebnisse einer Koronaaktivität relativ unabhängig sind von der Oberflächenausrichtung.
  • Die 2a und 2b sind schematische Diagramme des experimentellen Testkammer 1-Aufbaus. Die 2a ist eine Vorderansicht der Testkammer, welche in einer vereinfachten und schematischen Form dargestellt ist, und 2b ist eine Seitenansicht der Testkammer, welche in vereinfachter und schematischer Form dargestellt ist.
  • Die Glaskammer 1 ist ein Glasrohr und ist 0,96 m hoch und hat einen Innendurchmesser von 0,254 m. Sauerstoff wird von einem Tank 3 und Stickstoff von einem Tank 2 zugeführt. Die Stickstoff- und Sauerstoffmischung wird durch die Verwendung von Strömungsmessern 5 und einzelnen Leitungsventilen 4 geregelt. Die Strömungsrate der gemischten Gase wird durch das Ventil 6 gesteuert. Ein Filter 7 wird verwendet, um eine von Feststoffen und Feuchtigkeit freie Umgebung zu erhalten. Die üblichen Strömungsraten für Sauerstoff- und Stickstoffgase während der Experimente betrugen 0,25 l/min bzw. 1,0 l/min. Die Gase wurden in der Testkammer 1 vom Übergangskegel 8 mit 76 mm Durchmesser verteilt und in Öffnungen entlüftet, welche am Boden der Kammer angeordnet sind. Das Probennehmen wird durch zwei Seitenöffnungen 23 durchgeführt.
  • Eine vertikale Glasplatte 24, welche sich über die ganze Länge und den Durchmesser der Kammer erstreckt, teilt die Kammer in zwei fast unabhängige Teile. Die Platte war leicht entlang ihrer Kanten mit Teflondichtungen aus geschlitzten Schläuchen abgedichtet. Das Vorhandensein der Kreuzkontamination zwischen den Elektrodensätzen führte zu bedeutenden und unerwarteten Ergebnissen.
  • Der Testabschnitt besteht aus sechzehn Sätzen von Elektrodenbaugruppen, welche in vier Säulen von vier unabhängigen Emitterelektroden 12 angeordnet sind. Zwei Säulen, eine mit Germaniumemittern und eine mit Siliziumemittern, wurden auf jeder Seite des Glasplattenteilers positioniert. Die Emitter auf einer Seite der Platte hatten eine positive Polarität, während die auf der anderen Seite eine negative Polarität hatten.
  • Jede Elektrodenbaugruppe besteht aus einem Emitter und einer 100 mm × 100 mm Kupferplatte 10. Die Kupferplatten sind geerdet. Der Abstand zwischen dem Emitter und der geerdeten Elektrode ist auf ungefähr 16 mm festgesetzt. Die Spannung wird an jede Emitterelektrode durch einen 1 GΩ-Widerstand 11 angelegt, um zu helfen, die Nadelströme auszugleichen und jede Möglichkeit einer Funkenbildung während der Tests zu verhindern.
  • Hochspannung mit der geeigneten Polarität wird an die Emitter 12 auf jeder Seite der Glasabteilung 24 durch eine konstante 0–25 kV Gleichstromversorgung angelegt. Die negative Stromversorgung 15 versorgt die Nadeln 12 auf einer Seite der Platte und die positive Stromversorgung 16 versorgt die Nadeln 12 auf der anderen Seite der Platte. Der Strom zu jedem Emitter wurde auf ungefähr 4 μA festgesetzt, ein Stromniveau, welches typisch ist für jenes, welches man bei Ionisatorprodukten vorfindet. Der Strom wird durch das elektrische Feld in der Nähe der Spitzen eingerichtet und auf den Endwert durch Einstellungen am Elektrodenabstand festgesetzt. Der Strom von jeder Nadel wurde durch den Spannungsabfall über einen 100 kΩ-Widerstand überwacht.
  • Die Spitze-zu-Ebene-Geometrie setzt den schwersten, doch gesteuerten Test für Emitterelektroden fest. Sie setzt auch die Bedingungen für den elektrostatischen Niederschlag von einigen Feststoffen fest, welche durch die Emitter erzeugt werden. Eine Untersuchung von Ablagerungen auf der geerdeten Gegenelektrode kann Informationen über die elementare Zusammensetzung von Teilchen ergeben, welche durch die Korona erzeugt werden. Die Ionen, welche die Gegenelektrode erreichen, werden an den Feldern und den Drücken, welche im Experiment verwendet werden, thermalisiert, und ihre Energie beträgt ungefähr 0,026 eV. Als ein Ergebnis wird kein Kupfer durch Ionenbeschuss gesputtert. Dies schließt nicht die chemischen Reaktionen aus, welche an dieser Elektrode stattfinden, wie durch die Bildung von kreisförmigen Mustern auf den Platten bewiesen, aber von solchen Reaktionen wird nicht erwartet, dass sie Teilchen freisetzen, bis relativ große Ablagerungen gemacht werden. Diese Position entstand aus den Ergebnissen der unten erörterten Experimente.
  • Die Aerosolkonzentrationen und Teilchengrößenverteilungen werden gemessen unter Verwendung eines Kondensationskernzählers (CNC) und einem elektrostatischen Klassifizierer (EC), welche zusammen bei 13 in 2 angegeben sind. Der CNC misst die Gesamtanzahlskonzentration von Teilchen mit einem Durchmesser, welcher größer ist als 0,01 μm; er tastet mit 300 cm3/min ab. Der EC deckt den Größenbereich von 0,011 bis 0,05 μm ab. Der EC liefert an den CNC eine größenausgewählte Probe mit einer viel geringeren Konzentration als die Gesamtteilchenkonzentration. Der elektrostatische Klassifizierer und der CNC liefern Informationen über Aerosolgrößen unterhalb des Mikrometer-Bereichs; wenn größere Teilchen durch den Klassifizierer festgestellt worden wären, wäre ein Laserteilchenzähler verwendet worden, um den Größenmessungsbereich auszudehnen. Anderweitig als während der Größeneinteilung durch den Klassifizierer, wurde die Aerosolkonzentration kontinuierlich durch den CNC überwacht und von einem Computer 14 aufgezeichnet. Von den positiven und negativen Seiten wurden abwechselnd während des Tages Proben gezogen, aber zum Ende des Expositionszeitraumes wurde die negative Seite fast die ganze Zeit überwacht.
  • Um den Testaufbau weiter zu erklären sind auf einer Seite der Glasplatte, d. h. in einem isolierten Abteil, ein Satz von Germaniumelektroden und ein Satz von Siliziumelektroden vorgesehen. Während irgendeines Testlaufes wird eine ionisierende Spannung, sagen wir die negative Spannung, entweder an den Germaniumsatz oder an den Siliziumsatz angelegt. Die andere Seite der Platte hat auch einen Satz von Germaniumelektroden und einen Satz von Siliziumelektroden und nur entweder der Germanium- oder der Siliziumsatz wird mit einer positiven Spannung versehen. Ein Testlauf kann, sagen wir, einen positiven Germaniumsatz auf der einen Seite der Platte und einen negativen Siliziumsatz auf der anderen Seite einschließen. Durch Umschalten sind vier Kombinationen erhältlich: Silizium-Silizium; Germanium-Germanium; positives Si-negatives GE; und negatives Si-positives Ge.
  • Da der Teilchenzähler seine eigene Probe bei nur 300 cm3/min zieht und die Zähler als Konzentration berichtet, ist die Konzentration in der Kammer die gleiche wie durch den Zähler gemessen. Die Kammerströmungsrate wird nur verwendet, um auf die Anzahl von Teilchen zu schließen, welche jede Sekunde bei der Kammer aus Konzentrationsmessungen am Auslass erzeugt werden. Ein Kriterium zur Auswahl der Kammerströmungsrate war, sicherzustellen, dass die Teilchenkonzentration am Auslass innerhalb des Messbereichs des Teilchenzähler liegt. Ein Ziel war die relativen Teilchenerzeugungsraten für die verschiedenen Emitterproben zu messen, nicht Konzentrationen in irgendeinem Reinraumaufbau. Es war auch erwünscht, Informationen über die erzeugten Teilchen aus den Ablagerungen auf der Gegenelektrode zu erhalten.
  • Die Hauptarbeit wurde in einer trockenen simulierten Luft (80% Stickstoff, 20% Sauerstoff)-Atmosphäre durchgeführt, um Komplikationen zu vermeiden; welche aus gasförmigen Verunreinigungen aus der Luft oder durch die Bildung von hydrierten Species und Ammoniak auftreten können, welche in der Korona erzeugt werden können. Tests wurden in einem Klasse 100-Reinraum durchgeführt, wobei die Emitter Umgebungsfeuchtigkeitsniveaus ausgesetzt wurden, typischerweise 5000 ppm. Die Ergebnisse der letzteren Tests werden zusammengefasst.
  • Das Kammer-Stickstoffgas wurde aus einem Flüssigstickstofftank 2 erhalten und enthält ungefähr 1 ppb H2O. Das Feuchtigkeitsniveau im Sauerstoff war höher, aber die simulierte Luft enthielt im allgemeinen weniger als 50 ppm Feuchtigkeit. In der Abwesenheit einer Korona war die Hintergrundteilchenkonzentrativn weniger als 0,01 cm–3.
  • Bei den in den Tests verwendeten Strömungsraten würden sehr wenig Turbulenzen in der Kammer erwartet. Es wurde jedoch erwartet, dass die Koronanadeln eine Bewegung im Gas induzieren, den „Koronawind". In ähnlichen Geometrien wurden Koronawindgeschwindigkeiten von einigen Metern pro Sekunde beobachtet. Es wurde deshalb eine Mischung des Gases durch Koronawind erwartet. Wenn man Raumluft während der Austauschperioden in die Kammer strömen ließ, wurde beobachtet, dass die Konzentration der Teilchen sich exponentiell mit der Zeit abbaut, eine Eigenschaft von gut gemischten Kammern.
  • Obwohl der Koronastrom für jede Nadel am Anfang auf nominell 4 μA (8 μA für die letzten 250 Stunden) eingestellt und die positiven und negativen Sätze gelegentlich nachgestellt wurden, um diesen Durchschnittsstrom aufrechtzuerhalten, änderten sich einige der Emitterströme im Verlauf des Experiments. Alle positiven Siliziumnadeln blieben innerhalb von 5% ihrer Anfangswerte. Zwei der positiven Germaniumnadeln liefen anfangs bei ungefähr 5 μA, aber waren nach 500 Stunden nahe 4 μA. Da die positive Korona sich im Gas um die Elektrode bildet, ist es nicht überraschend, dass Oberflächenänderungen wenig Einfluss auf den Strom haben.
  • Die negativen Emitter zeigten größere Änderungen, allgemein als Stromabnahmen interpretiert; da der Durchschnittsstrom gelegentlich auf den nominellen Wert nachgestellt wurde, wurden einige der Abnahmen durch Zunahmen an den zwei Nadeln versetzt. Selbst einige Silizium- und Germaniumnadelströme nahmen um 40% am Ende ihrer Expositionen ab. Die Anfangsabbauzeiten für die Ströme scheinen in der Größenordnung von 3 Tagen für die Siliziumemitter und 10 Tage für die Germaniumemitter zu sein.
  • Angesichts dessen kann die Abnahme der Ströme als eine Modifikation der Nadeloberfläche interpretiert werden, da die negative Korona durch Photoionisation und positiven Ionenbeschuss auf die Elektrodenoberfläche vermittelt werden kann. Einige Oberflächenmodifikationen verbessern das Freisetzen von sekundären Elektronen an der Oberfläche, während andere ihre Freisetzung behindern können. Die Silizium- und die Germaniumnadeln zeigen beide einige Abnahmen.
  • Obwohl beobachtet wurde, dass Teilchen in Stößen ausgesendet wurden, wenn der Strom zu den Emittern zum ersten Mal eingeschaltet wurde, waren die gleich bleibenden Emissionen viel geringer. Zusätzlich stellten wir durch Ausschalten des Stromes zu der einen oder der anderen Seite fest, dass die positiven Emitter sehr niedrige Teilchenkonzentrationen erzeugten, weniger als 0,1 cm–3. Die negativen Emitter erzeugten einige hundert Teilchen pro Kubikzentimenter und ungefähr 1–2% wurden von der negativen Seite zur positiven Seite getragen. Die Größenverteilungsmessungen wurden deshalb nur bei den Teilchen versucht, welche durch die negativen Emitter erzeugt wurden. Nur durch Energiezufuhr zu den Silizium- oder Germaniumemittern waren unabhängige Bestimmungen der Teilchengröße möglich. Die niedrigen Konzentrationen machten es jedoch notwendig, über lange Zeitdauern zu mitteln und begrenzten die Genauigkeit der Ergebnisse. Die Teilchen, welche von dem Silizium und dem Germanium emittiert wurden, hatten mittlere Durchmesser von ungefähr 0,015 μm, bei einer vollen Größenverteilungsbreite von ungefähr 0,01 μm, und ergaben bedeutende Anzahlen von Teilchen nur zwischen 0,01 und 0,02 μm. Die Zählstatistiken waren ungeeignet, um die Größenverteilung genauer zu bestimmen.
  • Es wurde herausgefunden, dass die negative Korona ungefähr 30 cm–3 anfänglich pro Nadel erzeugt (d. h. 200 cm–3 für 7 Nadeln); am Ende der Testperiode war die Produktionsrate ungefähr 20 cm–3 pro Nadel. Die Emitter mit positiver Polarität erzeugten ungefähr 0,03 cm–3 pro Nadel. In einem Vergleichstest wurde bestimmt, dass die Siliziumnadeln 111 cm–3 und die Germaniumnadeln 63 cm–3 erzeugten, durch separate Energiezufuhr zu den negativen Silizium- und Germaniumnadeln. Partikel, bei welchen beobachtet wurde, dass sie von den Germaniumemittern kommen, sind jedoch Siliziumteilchen, welche sich früher auf diesen Emittern abgesetzt hatten durch Kreuzkontamination von der negativen Siliziumelektrode. Diese zwei Kurzzeitraten (ungefähr 1 Stunde) sind beide größer als die Langzeitrate, 30 cm–3 pro Nadel. Die Gründe dafür sind nicht klar, aber es gibt zwei Möglichkeiten.
  • Erstens wirken die Emitter und ihre Gegenelektroden als kleine elektrostatische Abscheider, welche Teilchen laden und einsammeln können. Deshalb ist es wahrscheinlich, dass zwei Sätze von Emittern mehr Teilchen einsammeln können als ein Satz. Zweitens wird erwartet, dass die Strömungsmuster in der Kammer unterschiedlich sind, wenn en Satz aktiviert wird anstelle von zwei. Die Teilchenprobe könnte unterschiedlich beeinflusst werden während der geänderten Testbedingungen aufgrund verschiedener Strömungsmuster.
  • Unter der Annahme, dass die Teilchen im Gas gut gemischt sind, entspricht eine Konzentration von 30 cm–3 pro Nadel einer Erzeugungsrate von 625 cm–1 pro Nadel im gleich bleibenden Zustand. Andererseits könnte ein Teilchenstoß, wenn die negative Energie zugeführt wurde, eine Konzentrationsspitze von 1,5 × 105 cm–3 erzeugen; die Konzentration nahm in diesem Fall so schnell ab, dass die gut gemischte Annahme nicht gültig ist. Der Stoß könnte aus sehr kleinen Teilchen bestehen, kleiner als 0,01 μm, welche schnell koagulieren, um leichter beobachtete Teilchen zu bilden. Da die Energiestöße zuerst in den frühen Stadien der Exposition beobachtet wurden sowie nahe dem Ende, werden die Teilchen in den Stößen wahrscheinlich nicht von Oberflächen in der Kammer freigesetzt.
  • Es wurde herausgefunden, dass der Einfluss der Korona auf die Germaniumund Siliziumemitter mit der Zeit zunahm mit großen Unterschieden unter den Emittern. Tabelle 1 fasst die Expositions- und Oberflächenbeoabchtungen für die Testserien zusammen. XPS-Studien brachten minimale oder keine Nitrate oder eingeschlossenen Stickstoff in den Arten bei einem Sensitivitätsniveau der Ausrüstung (1 %) hervor. Proben wurden bis zu 1200 s geprüft mit 4 keV Sputtering mit Argonionen.
  • Tabelle 1: Nadelexpositionsparameter und Beobachtungen
    Figure 00130001
  • Figure 00140001
  • Bei Lichtmikroskopie schien der Siliziumemitter mit positiver Polarität überhaupt nicht durch die Korona über 500 Stunden beeinflusst zu werden. Während der letzten 250 Teststunden wurde der Strom am positiven Siliziumemitter von 4 auf 8 μA erhöht und die Spitze entwickelte eine bläuliche Tönung bis ungefähr 0,5 Durchmesser von der Spitze; die bläuliche Färbung sah der bläulichen Färbung sehr ähnlich, welche auf wärmebehandeltem Stahl beobachtet wurde. Die Spitze (erster 1/8 Durchmesser) scheint stumpf zu sein und einige feine Teilchen werden auf der Oberfläche der Nadel in dem Bereich mit der bläulichen Färbung beobachtet. Es gab keinen bedeutende Gewichtszunahme oder -verlust während der Tests mit den positiven Siliziumemittern. Die Änderungen in der Siliziumnadel mit der positiven Polarität sind klein verglichen mit denen bei den anderen Proben. Eine genauere Untersuchung der positiven Siliziumemitter unter Verwendung von Rasterelektronenmikroskopie (REM) ergab eine gemusterte Struktur mit feinen Löchern oder Kanälen. Ein Beispiel dieser Struktur ist in 3 dargestellt, bei welcher die dunklen unregelmäßig geformten Bereiche die Poren oder Löcher sind. Diese gleiche Struktur wurden bei den positiven Siliziumemittern bei 750 Stunden beobachtet nach dem Betrieb der Nadeln bei höherem Strom. Die Spitzen der Siliziumemitter oxidierten allmählich, wie im Vergleich der Daten in Tabelle 1 bei Si 11 und Si 13 zu sehen ist, und ihr spezifischer Widerstand erhöhte sich, wie durch die hellen Bereiche bewiesen ist, welche bei Elektronenbeleuchtung und durch Ladung während XPS-Analysen der Spitzen zu sehen ist. Die Poren sind möglicherweise das Ergebnis von Entladungen durch die Isolationsschicht.
  • Es wurde beobachtet, dass das Germanium mit positiver Polarität eine bräunlich gepulverte Spitze während der ersten 100 Stunden der Ionisierung entwickelte. Hinter der Spitze entwickelte der Germaniumkegel eine bläuliche Färbung, sehr ähnlich wie die, welche am positiven Siliziumemitter nach 750 Stunden zu sehen ist. Die bräunliche Spitze und der bläuliche Kegel waren in Bereichen, welche direkt der Korona ausgesetzt sind, und wuchsen mit der Expositionszeit in der Größe. Obwohl einige Änderungen an den Germaniumspitzen aufzutreten schienen, wurde keine Gewichtszunahme oder -verlust an irgendeinem der Emitter mit Korona mit positiver Polarität beobachtet.
  • Das REM brachte ein fast schaumiges Aussehen hervor mit typischen Merkmalen in der Größenordnung von 10 μm. Bei stärkerer Vergrößerung scheint die Oberfläche aus Teilchen oder Teilchenflocken zusammengesetzt zu sein, welche miteinander verbunden sind. Es gibt Brüche und Vorsprünge; bei einer Struktur wurde beobachtet, das sie ungefähr 30 Mikrometer aus der Oberfläche herausgewachsen war.
  • XPS-Anlaysen der Oberflächen von Ge 11- und Ge 22-Proben brachten zum Vorschein, dass die Ablagerungen eine große Menge von Siliziumoxiden enthalten, was eine Kreuzkontamination zwischen den Emittern vorschlägt.
  • Diese Schlussfolgerung entstand aus der Abwesenheit von Silizium bei nachfolgenden Beobachtungen, bei welchen nur Germaniumemitter in der Testkammer verwendet wurden.
  • Es ist jedoch wichtig herauszustellen, dass innerhalb der eher zufälligen Ablagerungen auf den Germaniumemittern mit positiver Polarität eine Porenstruktur war, welche ähnlich ist wie die, welche in den Spitzen der Siliziumproben, welche oben dargestellt sind, beobachtet wird. Diese werden wieder den Siliziumdioxidablagerungen zugeschrieben. Die Oberflächenschichten waren elektrische Isolatoren, vor und nach dem Sputtering mit 4 keV Argonionen. Es wird angenommen, dass das bräunliche Aussehen der Nadel das Ergebnis von Licht ist, welches von dem gelben Germanium durch die Oberflächenablagerungen gestreut wird.
  • Die Oberflächen der negativen Silizium- und Germaniumemitter wurden beide durch die Korona beeinflusst. Die Oberflächenbeschaffenheit der Siliziumelektroden mit negativer Polarität hatte ein einheitliches stumpfes graues Aussehen, wo sie Korona ausgesetzt war. Unter stärkerer Vergrößerung scheint die Spitze mit einer Schicht von feinen Teilchen mit ungefähr 1 μm Größe beschichtet zu sein, welche aus Agglomeraten von feineren Teilchen zusammengesetzt zu sein scheinen. Die Struktur war körnig, wie feiner Sand. Der Übergang von der stumpfen zur glänzenden Oberflächenbeschaffenheit war abrupt und es wurde im glänzenden Bereich keine Entfärbung des Kegels beobachtet. Feine, faserförmige Teilchen wurden auch auf der Oberfläche des Emitters bei 250 Stunden Exposition beobachtet, in den stumpfen grauen und den glänzenden Bereichen. Einige der Fasern sind gerade, während andere unregelmäßig geformt oder gebogen sind. In der Oberfläche der Nadel wurde nach 750 Stunden Korona ein Riss gefunden. Eine Inspektion dieses Risses brachte zum Vorschein, dass die Oberflächenbeschaffenheit 1–2 Teilchenschichten dick ist: ungefähr 10–20 μm. Es gibt keine offensichtliche Erosion der Spitze. Falls überhaupt hat sich die Oberflächenschicht leicht durch die Bildung oder Ablagerung von Teilchen verdickt. Die Oberfläche der Spitze ist unter Elektronenbeleuchtung hell, und dies ist wiederum das Ergebnis eines elektrisch isolierenden Oberflächenfilms.
  • Die Germaniumemitter erzielten eine bräunliche Ablagerung über ungefähr einen Spitzendurchmesser und hatten eine unregelmäßige klare Grenze bei 144 Stunden. Einige leichtere konisch verjüngte Ablagerungen wurden unterhalb der Grenze beobachtet, wo sich der glänzende Bereich in Bereiche erstreckte, welche bräunliche Ablagerungen hatten. Nach 250 Stunden Exposition hatten die Germaniumspitzen einen Bereich jenseits der bräunlichen Ablagerung erreicht, welcher eine bläuliche Tönung hatte. REM-Bilder brachten eine Beschichtung mit feinen Teilchencluster zum Vorschein. Typische Clusterdimensionen sind in der Größenordnung von 10 μm, und die feinen Teilchen waren im 1 μm Größenbereich und in der Form unregelmäßig; diese sind auch Cluster feinerer Teilchen. Es gab gelegentliche Poren in der Ablagerung ähnlich wie die auf der Siliziumoberfläche beobachteten. 4 ist eine Rasterelektronenmikroskopfotografie der Spitze eines Germaniumemitters nach dem Test und zeigt nicht die Löcher oder Poren auf dem Siliziumemitter, wie in 3 zu sehen.
  • 5 zeigt den Übergang zwischen den glänzenden und reagierten Oberflächenbereichen auf der Ge 27-Probe.
  • XPS-Analysen der Germaniumemitter mit negativer Polarität zeigten nicht das Vorhandensein von Silizium in der Oberfläche der Nadelspitzen. Germanium wurde auch nicht auf irgendeinem der Siliziumemitter oder auf den Plattenelektroden auf Erdpotential gefunden.
  • Die Emitter mit positiver Polarität haben wenig Sauerstoff eingeschlossen, doch erhöht sich der Überfluss an Sauerstoff im Laufe der Zeit bei den positiven und negativen Emittern. Die räumliche Auflösung der XPS-Ausrüstung (300 μm an einem Ort und 800 μm an dem anderen) verhinderte, dass die Stöchiometrie auf den Nadeln mit positiver Polarität gemessen wurde. Die Zusammensetzung an der negativen Siliziumnadel scheint nahe der von SiO2 zu sein.
  • Es scheinen wenige oder keine Teilchen durch die positiven Silizium- oder Germaniumemitter erzeugt zu werden. Drei Beobachtungen unterstützen dies: Direkte Messung von Teilchen nur mit der positiven Spannung angelegt ergaben sehr niedrige Teilchenkonzentrationen; solche Teilchen, wie sie an den positiven Spitzen erscheinen, sind von der negativen Seite gekommen, da dort ein 1–2%iger Übertrag war durch direkte Messung und; die Oberflächenanalysen der positiven Emitter zeigen einen Hauptteil des Siliziums und Sauerstoffs auf den Germaniumnadeln bei minimalem Germanium, wogegen die negativen Germaniumemitter keinen Beweis von Silizium zeigen.
  • Im Rahmen dieser Untersuchung und in Übereinstimmung mit den obigen Beobachtungen wurde festgestellt, dass alle Teilchen auf Silizium basieren. Dies wird durch die Beobachtung gestützt, dass die Teilchen, welche durch die negativen Siliziumemitter erzeugt wurden, zweimal mehr sind als die Rate der negativen Germaniumemitter. Es ist denkbar, dass die Germaniumemitter reemittierende auf Silizium basierende Teilchen waren, welche an die Nadeln gezogen wurden. Das Germanium oxidiert, mindestens auf den negativen Emittern, aber das Oxid fällt nicht von den Emittern ab.
  • Die Teilchen wurden nicht von den Kupferoberflächen erzeugt. Kupfer wurde nicht getrennt von den geerdeten Gegenelektrodenoberflächen gefunden – einschließlich Analysen der Emitteroberflächen und der Nadelzylinder, welche auf Hochspannung sind und keine Korona erzeugen. Germanium wurde auch nirgendwo anders gefunden außer auf den Germaniumemittern.
  • Transmissionselektronenmikroskopie (TEM)-Analysen der Gegenelektroden ergaben auch kein abgeschiedenes Germanium; es waren nur Silizium- und Silizium-Kupfer-Zusammensetzungen auf den Gegenelektroden. Dies galt insbesondere für Germaniumelektroden.
  • Nachfolgende Tests wurden mit einem einzelnen Germaniumemitter mit negativer Polarität im experimentellen Aufbau durchgeführt. Dieses Tests ergaben eine Teilchenerzeugungsrate von 0,23 cm–3, ungefähr zwei bis drei Größenordnungen unter der für die negativen Siliziumemitter.
  • Darüberhinaus bleibt die Herausforderung die sichtbaren Änderungen zu interpretieren, welche auf den Nadeln auftreten. Die Schädigung der Emitter war unwahrscheinlich aufgrund der Erwärmung. Der Temperaturanstieg an den Spitzen aufgrund eines 4 μA Koronastromes ist weniger als 3°C. Die Elektronentemperatur im Plasma übersteigt jedoch 10 000°C, deshalb könnten einige thermische Prozesse an den Spitzen der Emitter beobachtet werden. Es gibt auch die Möglichkeit von Mikrofunkenentladungen innerhalb der resistiven Ablagerungen, welche die Elektroden überziehen.
  • Weder bei den Silizium- noch bei den Germaniumemittern jeder Polarität wurde festgestellt, dass sie bedeutende Anzahlen von Teilchen erzeugen, welche größer sind als 0,02 μm im Durchmesser. Nur im Größenbereich von 0,01 bis 0,02 μm und bei negativer Polarität auf den Emittern wurden Unterschiede in den Materialien beobachtet. Frühere Studien mit Silizium berichteten nur Informationen für Größen von mehr als 0,025 μm. Die Teilchenerzeugung bei jeder Größe ist eine Materialübertragung und möglicherweise ein Kontaminierungsprozess. Im vorliegenden Fall sind die Teilchen negativ geladen und es zeigte sich, dass sie sich auf den Oberflächen niederschlagen.
  • Eine bedeutende Charakteristik und Vorteil der vorliegenden Erfindung gegenüber dem Stand der Technik ist die bedeutende Verringerung von Teilchen in der Größe von ungefähr 0,01–0,02 μm, welche durch den negativen Emitter erzeugt wurden. Die Verringerung der Teilchenerzeugung in diesem Bereich ist ungefähr 2–3 Größenordnungen geringer als eine solche Produktion von negativen Siliziumemittern.
  • Der Aufbau von Ionen von einem typischen Ionisator ist sehr komplex und weit davon entfernt verstanden zu werden. Viele Species sind kurzlebig und diese sind oft hoch reaktiv. Die meisten ionischen Spezies, welche in der Literatur erörtert werden, werden im Elektrodenzwischenraum gefunden, nachdem Ionenmolekül-Reaktionen Zeit hatten, sich zu entwickeln. In den trockenen Sauerstoff-Stickstoff-Mischungen der vorliegenden Experimente sind die wahrscheinlichen ionischen Spezies N2 +, NO+, NO2 + und 02+ bei Korona mit positiver Polarität und NO2 +, NO3 , O, O2 und O3 bei Korona mit negativer Polarität. Es wird angenommen, dass das N2 +-Ion sich schnell in NO+ umwandelt und Ladung auf Sauerstoff überträgt, um O2 + zu bilden. Freie Elektronen treiben die Bildung von Radikalen an, wie die erregten Spezies O* und O2*, und diese führen zur Bildung von Ozon. In der positiven Korona werden Elektronen zur positiven Elektrode gezogen und es wird weniger Ozon erzeugt als in negativer Korona. Die freien erzeugten Elektronen und die verwandten freien Radikale sind jedoch dichter an einer positiven Oberfläche der Elektrode. Die Nähe der Reaktionen der positiven Korona wurde verwendet, um die größere Korrosion zu erklären, welche typischerweise bei positiven Emittern oder negativen Emittern in Metallen beobachtet wird.
  • Obwohl es bekannt ist, dass die oben genannten Spezies in der Korona vorhanden sind, ist es wahrscheinlicher, dass die Ionenspezies, welche auf die Nadelspitzen prallen, eine chemische Aktivität an den Emittern ergeben. Es wird erwartet, dass solche Spezies, welche an einer Elektrode aktiv sind, diejenigen sind, welche bei der Korona mit der entgegengesetzten Polarität in den Studien gasförmiger Ionen beobachtet wurden. Sauerstoff, Stickstoff und NOx-Ionen-Spezies bombardieren die Emitteroberfläche.
  • Es wurde beobachtet, dass die korrosiven Reaktionen an Si und Ge in den Stickstoff-Sauerstoff-Mischungen wesentlich mehr zerstörerisch an den negativen Emittern waren als an den positiven Emittern. Dieses Ergebnis ist im Gegensatz zu Ergebnissen bei Metallen. Arbeit mit Nickellegierungen hat gezeigt, dass physikalisches Sputtering nicht bedeutsam ist als Haupterosionsmechanismus in Umgebungen mit positiver Korona, wo wenige negative Ionen über die kurze Distanz zum Emitter beschleunigt werden können. Die Rolle des Ionenbeschusses in der negativer Korona und die verbesserte Korrosion von negativen Silizium- und Germaniumemittern weist uns auf die Betrachtung von Ionenbeschuss und die Möglichkeit von physikalischem Sputtering in diesen Materialien hin.
  • Der Hauptmechanismus für die Elektrodenschädigung in Silizium und Germanium scheint Ionenbeschuss von der Korona zu sein, mit einem Unterschied zu den Metallen. Im Gegensatz zu Metallen, wo NO3 in den Korrosionsprodukten gefunden wird, werden nur Oxide auf den Silizium- und Germaniumemittern beobachtet. Dieses Ergebnis entspricht der Präferenz von Silizium und Germanium zu oxidieren vor der Aufnahme von Stickstoff. Die sehr dicken Oxidschichten, welche in der Umgebung mit negativer Korona beobachtet werden, können auf mehreren Ursachen beruhen: Ionen, welche weiter von der Emitterspitze entfernt gebildet werden, werden zur Oberfläche beschleunigt und treiben eine tiefere Oxidbildung an; die Oxidation wird durch das starke angelegte Feld und den Strom in der isolierenden Oberflächenschicht verstärkt; und die Bildung von sehr feinen Teilchen durch Sauerstoff-/NOx-Reaktionen an der Siliziumspitze, um SiO zu bilden und dessen nachfolgende Kondensation und Ablagerung.
  • Der letzte dieser Mechanismen ist der wahrscheinlichste, da es zur Bildung von 0,015 μm großen Teilchen führen würde und die Bildung von 10–20 μm dicken Ablagerungen auf den Elektroden erklären kann. Feine Teilchen könnten auch durch Ionensputtering oder elektrische Entladungen durch isolierende Ablagerungen auf den Emitterspitzen gebildet werden. Von Mechanismen, welche zu Ablagerungswachstum und Flockung von den Elektroden führen können, wird erwartet, dass sie größere Teilchen ergeben. Es wurde beobachtet, dass sich widerstandsfähige Oxidschichten auf den Emittern bildeten und diese reißen oder Poren entwickeln.
  • Das Fehlen von Nitridation von Germanium und Silizium schlägt Vorteile für diese beiden Materialien zur Ionisierung in Stickstoffumgebungen vor.
  • Vorläufige Tests von Germanium- und Siliziumemittern wurden in einem Klasse 100-Reinraum durchgeführt. Ein Satz von vier Elektroden, zwei mit positiver Polarität und zwei mit negativer Polarität, ließ man in einem Testluftionisator über einen Zeitraum von einem Monat laufen. Der Strom an den Nadeln betrug tpyischerweise je 2 μA. Am Ende des Tests brachten REM-Bilder der Germanium- und Siliziumemitter Ablagerunen auf den negativen und den positiven Emittern zum Vorschein.
  • Der Luftionisator wurde in dem Klasse 100-Reinraum laufen gelassen, um Teilchenemissionen unter Verwendung eines Luftschwebeteilchen-Zählers zu bestimmen. Die Teilchenzählungen wurden über ein-Minuten-Intervalle angesammelt und, wenn eine Alarmschwelle nicht überschritten wurde, wurde ein Bericht über jeden zehnten Test gedruckt. Die kleinste gemessene Teilchengröße war 0,3 μm, und das Alarmniveau wurde bei dem eine-Minute-Probenzeitraum auf eine Zählrate von 300 eingestellt. Als der Lauf begann, betrug die typische Anzahl von 0,3 μm-Teilchen ungefähr 20/min. Dies setzte sich fort bis zum Nachmittag des dritten Tages, als eine große Anzahl von Teilchen in Stößen emittiert wurden (300–650/min) über einen Zeitraum von 8 Stunden.
  • Wenn die Emitter in Klasse 100-Reinraumluft verwendet werden, hydriert die Feuchtigkeit viele der Ionenspezies und es treten Reaktionen auf, um teilchenförmiges Material zu bilden. Dieses Material haftet sich an die Emitter und erhöht die Teilchenzählungen (und Teilchengrößen) über die, welche für die Emitterschädigung charakteristisch sind.
  • Germanium muss mit einigen Betrachtungen seiner Grenzen verwendet werden. GeO2 ist das wahrscheinlichste Oxid, welches auf der Germaniumemitterspitze gebildet wird und ist als wasserlöslich bekannt. Die Gegenwart von Wasserdampf in der Klasse 100-Reinraumluft schien jedoch nicht die Oberflächenreaktionen in Weisen zu ändern, welche ein Versagen der Emittermaterialien beschleunigen. Tatsächlich verhielten sich die Germaniumemitter im Klasse 100-Reinraum vergleichbar wie die Siliziumemitter und möglicherweise besser. Von Germanium ist auch bekannt, dass es mehr als Silizium gegenüber einer Ätzung in Halogenplasmas anfällig ist. Mit und neben diesen Beschränkungen, werden die Vorteile von verbesserten, nicht-metallischen Emittern am besten realisiert, wenn die Ionenerzeugung in einer trockenen, luftgereinigten Umgebung durchgeführt wird.
  • Germanium- und Siliziumemitterelektroden oxidieren durch Plasma- und Ionenbeschussmechanismen. Es wurde keine Nitridation der Materialien beobachtet, im Gegensatz zu dem, was von der Ionenchemie erwartet werden könnte, welche von Halbleiterherstellungsverfahren und Nitratbildungen, welche auf Metallemittern gefunden wurden, berichtete. Die Silizium- und Germaniumemitterelektroden mit negativer Polarität oxidieren mit einer größeren Rate als die Emitter mit positiver Polarität; im Gegensatz zu Ergebnissen bei metallischen Emittern. Die . Siliziumemitter mit negativer Polarität erzeugen um einige Größenordnungen größere Teilchenemissionen als die Emitter mit positiver Polarität. Obwohl die Germaniumemitter oxidieren, wurde kein Beweis gefunden, um anzuzeigen, dass Teilchen von diesem Material über den monatelangen Test abfallen. Die Form der Korrosion an den negativen Emittern scheint eine allgemeine Oxidation zu sein, ein Anschwellen und Flocken. Bei positiven Emittern entwickeln die Silizium- und Germaniumemitterspitzen Poren oder Kanäle in den Spitzen; einige solche Poren können auch in den Strukturen an den negativen Spitzen gesehen werden. Die Germaniumemitter scheinen eine. höhere Schwellenionenenergie zu haben als Silizium, was zu Elektrodenkorrosion führt. Dieses Ergebnis entspricht eine generellen Präferenz der Oxidation von Silizium gegenüber Germanium.
  • Die beste Durchführung wird erzielt, wenn die Elektroden mit trockener Luft gereinigt werden.
  • In dem experimentellen Testaufbau wurden die Nadel und ihr Widerstand in Reihe angeordnet. Es war möglich, Einstellungen zwischen dem Widerstand und der Nadel zu machen, um so die Spannung zur einzelnen Nadel zu modifizieren. In 2a und 2b sind die Nadeln und je ihr zugeordneter Widerstand dargestellt, als ob sie in rechten Winkeln aneinander befestigt wären. Da dies eine vereinfachte und schematische Zeichnung ist, ist durch die rechtwinklige Anordnung mehr Klarheit in der Darstellung möglich, wobei das Betriebsprinzip unverändert ist.
  • Der Stand der Technik ließ einen annehmen, dass Einkristallsiliziumemitter reiner sind in Bezug auf feine Feststoffteilchen als polykristalline Siliziumemitter. Die Experimente in dieser vorliegenden Erfindung haben aber festgestellt, dass polykristalline Germaniumemitter reiner sind in Bezug auf feine Feststoffteilchen als Einkristall-Siliziumemitter. Einkristall-Germanium ist mindestens so gut oder besser als polykristallines Germanium bei der Reduktion von feinen Feststoffteilchen, aber ist wahrscheinlich kommerziell unnötig, aufgrund seiner erhöhten Kosten. Der Stand der Technik hat vorgeschlagen, dass Siliziumemitter eher massiv oder homogen sein müssen als auf einem metallischen Substrat aufgetragen, um das Problem der Erosion der Beschichtung und nachfolgendes Freiliegen des darunter liegenden Metalls zu vermeiden, was mehr Teilchen produzieren würde. Germaniumemitter erodieren nicht auf diese Weise und deshalb sind Germaniumbeschichtungen in der Größenordnung von 10–20 Mikrometer oder mehr ohne Beschränkung auf einem Metallsubstrat akzeptabel.

Claims (9)

  1. Koronaerzeugende Emitterelektrode (12) zum Ionisieren von Gas, wobei die Elektrode (12) reines Germanium enthält, welches mit einem Leiter dotiert ist, um so ein Halbleiter mit einem spezifischen Widerstand von zwischen ungefähr 0,1 und 100 Ωcm zu sein, wobei die Einführung feiner Teilchen vom Emitter in das Gas verringert wird.
  2. Emitterelektrode nach Anspruch 1, welche verringerte Mengen von Teilchen im Größenbereich von ungefähr 0,01–0,02 μm erzeugt.
  3. Emitterelektrode nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Emitterelektrode festes Germanium ist.
  4. Emitterelektrode nach Anspruch 1 oder 2, bei welcher das Germanium, welches mit einem Leiter dotiert ist, um so ein Halbleiter zu sein, eine Beschichtung von mindestens ungefähr 10–20 μm enthält.
  5. Emitterelektrode nach irgendeinem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Emitterelektrode (1) ein mit Antimon dotiertes Germanium ist.
  6. Emitterelektrode nach irgendeinem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Emitterelektrode >99,999% reines kombiniertes Germanium und Dotierstoff ist.
  7. Emitterelektrode nach irgendeinem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Emitterelektrode polykristallines Germanium enthält.
  8. Emitterelektroden nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Emitterelektrode (1) monokristallines Germanium enthält.
  9. Emitterelektroden nach irgendeinem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Reduktion am negativen Emitter stattfindet.
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