DE69816014T2

DE69816014T2 - Farbanzeigevorrichtung mit farbfilterschichten

Info

Publication number: DE69816014T2
Application number: DE69816014T
Authority: DE
Inventors: Rombertus Arie VAN DOORN; Remko Horne; Petrus Godefridus VAN MELIS
Original assignee: Koninklijke Philips Electronics NV
Current assignee: Koninklijke Philips NV
Priority date: 1997-05-26
Filing date: 1998-04-09
Publication date: 2004-04-22
Anticipated expiration: 2018-04-10
Also published as: EP0925598A1; EP0925598B1; JP2000515310A; US6690107B1; WO1998054742A1; KR20000029597A; DE69816014D1

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Farbwiedergabeanordnung mit einem Mittel zum Erzeugen von Elektronen und mit einem Substrat, das mit einem elektrolumineszierenden Phosphormuster sowie einer Farbfilterschicht versehen ist, die sich zwischen dem Phosphormuster und dem Substrat erstreckt.
Die vorliegende Erfindung bezieht sich ebenfalls auf en Verfahren zum Herstellen einer Wiedergabeanordnung, in der eine Farbfilterschicht und ein elektrolumineszierendes Phosphormuster auf einem Substrat vorgesehen sind.
Farbwiedergabeanordnungen der eingangs beschriebenen Art werden u. a. in Fernsehempfängern und Computermonitoren verwendet.
Eine Farbwiedergabeanordnung der eingangs beschriebenen Art ist an sich bekannt. Die bekannte Farbwiedergabeanordnung umfasst eine Elektronenstrahlröhre mit einem Elektronenstrahlerzeugungssystem und einem Wiedergabefenster, wobei die Innenfläche des Wiedergabefensters mit einem Phosphormuster versehen ist. Das genannte Phosphormuster hat Sub-Muster aus Phosphorgebieten, die in Rot, Grün und Blau aufleuchten (nachstehend als "roter", "grüner" und blauer" Phosphor bezeichnet) und es kann weiterhin eine sog. schwarze Matrix enthalten. Eine schwarze Matrixschicht ist eine schwarze Schicht mit Öffnungen oder einem System schwarzer Streifen auf der Oberfläche und (teilweise) zwischen den Phosphorgebieten, aus denen das Phosphormuster aufgebaut ist, und die schwarze Matrixschicht verbessert den Kontraste des wiedergegebenen Bildes. Die schwarze Matrix ist mit Öffnungen versehen, die Zugang bieten zu gefärbten Schichten (auch als Farbfilterschichten bezeichnet) auf denen ein Phosphorgebiet einer entsprechenden Farbe abgelagert wird. Die Farbfilterschichten können sich ebenfalls über die schwarze Matrix erstrecken. Die Farbfilterschicht absorbiert auftreffendes Licht anderer Wellenlängen als das von dem betreffenden Phosphor ausgestrahlte Licht. Dies führt zu einer Verringerung der diffusen Reflexion des auftreffenden Lichtes und verbessert den Kontrast des wiedergegebenen Bildes. Außerdem kann die Farbfilterschicht (beispielsweise eine "rote" Schicht) einen Teil der von dem "roten" Phosphor ausgestrahlten Lichtes, und zwar denjenigen Teil, dessen Wellenlängen außerhalb des roten Teils des sichtbaren Spektrums liegen, absorbie ren. Dies führt zu einer Verbesserung des Farbpunktes des roten Phosphors. Die bekannte Farbwiedergabeanordnung umfasst eine Farbfilterschicht für jeden der Phosphore (Rot, Grün und Blau). Der Deutlichkeit halber sei bemerkt, dass "rote", "blaue" und "grüne" Farbfiltergebiete eine relativ hohe Durchlässigkeit für rotes, blaues bzw. grünes Licht haben. Die Farbangabe der Farbfilterschichten bezieht sich die Durchlässigkeitseigenschaften der Filter, nicht auf deren Farbe.
Die Effektivität der Farbfilter in der bekannten Farbwiedergabeanordnung ist aber nicht zureichend. Je besser das Absorptionsspektrum auf das Licht abgestimmt ist, umso größer ist die Effektivität des Farbfilters und umso besser die Bildwiedergabe.
Es ist nun u. a. eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Farbwiedergabeanordnung der eingangs beschriebenen Art zu schaffen, wodurch eine bessere Bildwiedergabe erreicht wird.
Um dies zu erreichen weist eine Farbwiedergabeanordnung der eingangs beschriebenen Art das Kennzeichen auf, dass es zwischen der Farbfilterschicht und dem Phosphormuster eine transparente Zwischenschicht gibt.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, dass die Farbfilterschicht und das Phosphormuster aus elektrolumineszierenden Phosphoren mit Hilfe relativ hoch energetischen Elektronen angeregt werden (etwa 25 kV kinetischer Energie). Ein Teil der Elektronen geht durch das Phosphormuster, aber deren kinetische-Energiepegel erfährt im Allgemeinen eine Reduktion. Elektronen, die durch das Phosphormuster hindurchgehen und die Farbfilterschicht erreichen, können die Qualität der Farbfilterschicht im Laufe der Zeit beeinträchtigen, so dass die für die Farbfilterschicht zu verwendenden Stoffe Begrenzungen ausgesetzt sind. Die Elektronen verursachen ein Alterungsphänomen in der Farbfilterschicht. Durch dieses Alterungsphänomen ist das Absorptionsspektrum der Farbfilterschicht Änderungen ausgesetzt. Die beeinträchtigt die Qualität des wiedergegebenen Bildes. Die Anordnung einer Zwischenschicht sorgt dafür, dass die Elektronen gesperrt werden, wenigstens teilweise, und zwar durch die Zwischenschicht, so dass weniger Elektronen die Farbfilterschicht erreichen.
Aus US 5.543.685 ist eine Wiedergabeanordnung bekannt, die mit einem Schutzfilm versehen ist, der zwischen der Farbfilterschicht und den Anodenleitern vorgesehen ist, auf dem die Phosphore aufgetragen werden. Die Anodenleiter werden in einem Ätzverfahren angebracht, was die Farbfilter beeinträchtigen würde. Um dies zu vermeiden wird der Schutzfilm oben auf den Farbfiltern angebracht. Der Schutzfilm dient lauter zum Schützen der Farbfilter bei der Herstellung und von einer Elektronen sperrenden Funktion ist überhaupt nicht die Rede.
Es ist gewählt worden, dass die Zwischenschicht transparent ist, so dass diese Zwischenschicht Licht durchlässt, das von dem Phosphormuster ausgestrahlt wurde. Vorzugsweise umfasst die Zwischenschicht anorganische Stoffe. Im Vergleich zu organischen Stoffen zeigen anorganische Stoffe einen besseren Widerstand gegen Elektronenbeschuss und bei gleicher Schichtdicke ist die Anzahl Elektronen, die gesperrt wird, wesentlich größer. Bei Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung sind die Stoffe, die für das Farbfilter verwendet werden, nicht stabil, wenn sie einem Elektronenbeschuss mit Elektronen ausgesetzt werden, deren kinetische Energie über 7,5 kV liegt, wobei die genannten Stoffe hauptsächlich organische Pigmente sind, wie (Codierung entsprechend Color Index) PR190, PR123, PR149, PR178, PR202, PR206, PV29, PB16, PB27 und ZnPc, Rot4013TR (hergestellt von Ciba-Geigy). Vorzugsweise hat die Zwischenschicht eine Schichtdicke d (in nm), die 25(A/Rho)(E₀/Z^0,5)ⁿ übersteigt, wobei A das Molekülgewicht ist, wobei Rho die Dichte ist (in g/cm³), wobei Z die Atomzahl ist und wobei n durch n = 1,2/(1 – 0,29log₁₀Z) gegeben wird und wobei E₀ 7,5 (kV) ist. Zwischenschichten mit einer derartigen Dicke sperren nahezu alle Elektronen. Die Schichtdicke übersteigt vorzugsweise nicht die oben mit Hilfe der Formel angegebene doppelte Dicke. Schichten mit einer größeren Dicke bieten nicht mehr Schutz. Im Vergleich zu organischen Stoffen haben anorganische Stoffe im Allgemeinen eine höhere Z-Zahl und eine höhere Dichte Rho, wodurch folglich organische Stoffe bevorzugt werden.
Dadurch ermöglicht die vorliegende Erfindung es, dass eine viel größere Variation in Farbfiltern verwendet wird, so dass das Absorptionsspektrum des Phosphors und des Farbfilters besser aufeinander abgestimmt werden kann. Die bisher verwendeten Farbfilterschichten, wie Schichten basiert auf Eisenoxid (rote Farbfilter), Kobaltaluminat (blaue Farbfilter) und CoO.NiO.TiO₂.ZnO (grüne Farbfilter) sind keineswegs einwandfrei. Wenn bekannte Farbfilterschichten verwendet werden, beträgt die Steigerung des sog. LCP-Wertes ("Luminance Contrast Performance", definiert durch die weiße Leuchtdichte (L_w), geteilt durch die diffuse Reflexion R 1/2 / diff (LCP = Lw/R 1/2 / diff)) nur 20% der Steigerung, die mit einer vergleichbaren Farbwiedergabeanordnung ohne Farbfilterschichten erzielt werden kann. Durch Ersatz von Eisenoxid durch beispielsweise Rot 4013TR oder Kobaltaluminat durch beispielsweise PB27, beträgt die Steigerung des LCP-Wertes auf etwa 28%.
Vorzugsweise liegt die spezifische Masse des Materials der anorganischen Schicht über 3 g/cm³. Je höher die spezifische Masse, umso besser werden die Elektronen gesperrt. Wenn die spezifische Masse 3,0 g/cm³ übersteigt, zeigt die Zwischenschicht einen wesentlichen Sperreffekt, sogar wenn diese Schicht eine Dicke von weniger als 1 μm hat.
Submikron-Schichten (Schichten mit einer Dicke unterhalb 1 μm) können leichter angewandt werden und zeigen weniger Nachteile.
Ein Verfahren der in dem zweiten Abschnitt genannten Art weist das Kennzeichen auf, dass nach der vorliegenden Erfindung eine zwischen der Farbfilterschicht und dem Phosphormuster eine Zwischenschicht vorgesehen wird.
Nebst den oben genannten Vorteilen hat das Verfahren den Vorteil, dass eine Reduktion von Phosphornebel erreicht wird. Phosphornebel tritt auf, wenn Phosphorteilchen einer bestimmten Farbe (beispielsweise Rot) in Gebiete Gelangen, die für Phosphorteilchen einer anderen Farbe, beispielsweise Blau, gemeint sind. Dies ist ein unerwünschtes Phänomen, das Farbunreinheit verursacht und folglich eine Reduktion der Qualität des wiedergegebenen Bildes. Die Anordnung einer Zwischenschicht zwischen den Farbfiltergebieten und dem Phosphormuster reduziert Phosphordunst und verbessert folglich die Qualität des wiedergegebenen Bildes.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im vorliegenden Fall näher beschrieben. Es zeigen:
1 einen Schnitt durch eine Wiedergaberöhre,
2A und 2B einen Schnitt durch ein Wiedergabefenster für eine Wiedergabeanordnung nach der vorliegenden Erfindung,
2C die Eindringtiefe R in (μm) als eine Funktion der spezifischen Masse Rho (in g/cm³),
3A bis 3H das Verfahren zum Herstellen einer Wiedergabeanordnung nach der vorliegenden Erfindung,
4A einen Schnitt durch ein Wiedergabefenster für eine Wiedergabeanordnung nach der vorliegenden Erfindung mit Farbfilterschichten und mit einer anorganischen Zwischenschicht,
4B ein Wiedergabefenster für eine Wiedergaberöhre nach der vorliegenden Erfindung.
Die Figuren sind nicht maßstabgerecht gezeichnet. In den Figuren beziehen sich gleiche Bezugszeichen auf entsprechende Elemente.
Eine Farbwiedergaberöhre 1 (1) hat eine evakuierte Hülle 2, die ein Wiedergabefenster 3, einen kegelförmigen Teil 4 und einen Hals 5 aufweist. Ein Elektronenstrahlerzeugungssystem 6 zum Erzeugen von drei Elektronenstrahlen 7, 8 und 9 ist in dem genannten Hals 5 vorgesehen. Ein Wiedergabeschirm 10 befindet sich auf der Innenseite des Wiedergabefensters. Der genannte Wiedergabeschirm 10 hat ein Phosphormuster aus Phosphorelementen, die in Rot, Grün und Blau aufleuchten. Auf ihrem Weg zu dem Wiedergabeschirm 10 werden die Elektronenstrahlen 7, 8 und 9 mit Hilfe einer Ablenkeinheit 11 über den Wiedergabeschirm 10 abgelenkt und gehen durch eine Schattenmaske 12, die vor dem Wiedergabeschirm 3 vorgesehen ist und eine dünne Platte mit Öffnungen aufweist. Die Schattenmaske ist mit Hilfe von Aufhängemitteln 14 in das Wiedergabefenster aufgehängt. Die drei Elektronenstrahlen 7, 8 und 9 gehen in einem kleinen Winkel gegenüber einander durch die Öffnungen 13 der Schattenmaske und folglich trifft jeder Elektronenstrahl auf Phosphorelemente nur einer einzigen Farbe.
Die 2A und 2B sind ein Schnitt durch zwei Wiedergabeanordnungen nach einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung. Das Substrat 3 ist mit einer roten Farbfilterschicht 22 versehen, die in 2A ebenfalls die schwarze Matrix bedeckt und in 2B sich nur in Öffnungen in der schwarzen Matrix erstreckt, sowie mit einer blauen Farbfilterschicht 24 und einer schwarzen Matrix 15. Eine bevorzugte anorganische Zwischenschicht 16 befindet sich zwischen den Farbfilterschichten und den Phosphoren 25R (rot aufleuchtender Phosphor), 25B (blau aufleuchtender Phosphor) und 25G (grün aufleuchtender Phosphor). Die Dicke der Zwischenschicht ist derart, dass wenigstens ein wesentlicher Teil der Elektronen von den Phosphoren gesperrt werden. Die Erfinder haben gefunden, dass die mittlere kinetische Energie von Elektronen, die durch die Phosphorschicht hindurchgegangen sind in der Größenordnung von 7,5 keV liegt. Die nachfolgende Tafel zeigt die Eindringtiefe (die Dicke, bei der nahezu alle Elektronen von einer Schicht gesperrt werden) für eine Anzahl anorganischer Stoffe. Die Eindringtiefe kann wie folgt berechnet werden: Eindringtiefe = 25(A/Rh0)(E0/Z0,5)n wobei A das Mulekülgewicht ist, wobei Rho die Dichte ist (in g/cm³), wobei Z die Atomnummer ist und wobei n gegeben wird durch: n = 1,2/1 – 0,29log₁₀Z), wobei E₀ 7,5 (kV) ist und wobei R die Eindringtiefe in nm ist.
2C die Eindringtiefe R (in μm) als eine Funktion der spezifischen Masse Rho (in g/cm³).
Vorzugsweise werden anorganische Stoffe verwendet, weil organische Stoffe im Allgemeinen eine viel größere Eindringtiefe aufweisen als anorganische Stoffe. Die "Sperrkraft" organischer Stoffe ist im Allgemeinen geringer als die von anorganischen Stoffen. Organische Stoffe bestehen vorwiegend aus C, O, H und N (Elementen mit einer niedrigen Z Zahl) zusammengesetzt und haben im Allgemeinen eine niedrige Dichte (in der Größenordnung von 1 g/cm³). Die Eindringtiefe ist etwa 5 bis 10mal größer als die bei anorganischen Stoffen. In der vorliegenden Erfindung ist die Dicke der anorganischen Zwischenschicht vorzugsweise größer als die Eindringtiefe R. Nahezu alle durch die Phosphorschicht hindurch gegangenen Elektronen werden von solchen Schichten gesperrt, bevor sie auf die Farbfilterschicht auftreffen. Die vorliegende Erfindung beschränkt sich nicht eine solche Dicke. Auch dünnere Schichten können bei Ausführungsformen nach der vorliegen den Erfindung verwendet werden. Schichten mit einer Dicke zwischen 0,1 R und 1 R können nicht alle Elektronen sperren, aber sie sperren eine wesentliche Anzahl Elektronen. Die Zwischenschicht kann aus mehreren Teilschichten zusammengesetzt sein. In bevorzugten Ausführungsformen, die auf einfache Weise hergestellt werden können, ist die Zwischenschicht eine einzelne Schicht.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, dass Elektronen, die von dem Phosphor durchgelassen werden, ein Alterungsphänomen in der Filterschicht (den Filterschichten) verursachen. Dies hat zwei entgegengesetzte Effekte. Erstens ändert sich das Absorptionsspektrum einer Farbfilterschicht im Laufe der Zeit und folglich ändert sich auch die Farbwiedergabe und zweitens kann eine Vielzahl Pigmente (vorwiegend organische Pigmente) nicht in den Farbfilterschichten verwendet werden. Eine anorganische Zwischenschicht zum Sperren der Elektronen reduziert diese Nachteile und/oder schließt sie aus, und ermöglicht es, dass Pigmente verwendet werden, die während des Elektronenbeschusses instabil sind.
Ein Beispiel eines Verfahrens zum Anbringen einer Zwischenschicht zwischen einer Farbfilterschicht und dem Phosphormuster ist In den 3A bis 3H schematisch dargestellt.

A. Das Anbringen einer schwarzen Matrix 32 auf einem Substrat 31; dies kann mit Hilfe bekannten Verfahren durchgeführt werden. (3A).
B. Das Anbringen einer photoempfindlichen Schicht mit einem roten Farbstoff 33 auf dem Substrat, das Belichten der Schicht 33 durch eine Maske 34 hindurch (3B).
C. Das Entfernen der nicht belichteten photoempfindlichen Schicht (3C) zum Bilden eines Farbfilters.
D. Das Anbringen einer photoempfindlichen Schicht 35 mit einem blauen Farbstoff 33 auf dem Substrat, das Belichten der Schicht 35 durch eine Maske 36 hindurch (3D).
E. Das Entfernen der nicht belichteten photoempfindlichen Schicht (3E) zum Bilden einer blauen Farbschicht.
F. Das Anbringen einer TEOS (Tetraethylorthosilikat) oder einer TEOTI (Tetraethylorthotitanat) SOL-Gel-Lösung auf den Farbfilterschichten, und zwar in einem Schleuderverfahren. Das Aushärten der Sol-Gel-Lösung zum Bilden einer transparenten SiO₂- oder TiO₂-Zwischenschicht 37. Auf alternative Weise kann beispielsweise eine kolloidale SiO₂-Lösung statt einer TEOS-Lösung angebracht werden. Vorzugsweise wird die Zwischen schicht aus einer kolloidalen Lösung erhalten. Dies hat den Vorteil gegenüber einer Zwischenschicht, die aus einer Sol-Gel-Lösung erhalten wurde, dass nach dem Entwicklungsvorgang weniger Phosphordunst auftritt. Eine kolloidale Lösung (beispielsweise eine wässerige Lösung) wird im Schleuderverfahren oder im Fließdeckverfahren angebracht und mit Hilfe von IR-Lampen zum Trocknen gebracht.
Einige Beispiele verwendbarer kolloidaler Dispersionen sind Silikadispersionen (wie Ludox und Syton von Dupont, Levasil von Bayer, Snowtex von Nissan, Nyasol von Akzo und Aerosil von Degusa). Dispersionen aus SnO, ATO (Antimon-Zinn-Oxid), ITO und Ta₂O₅ können auf alternative Weise verwendet werden. Vorzugsweise liegt die mittlere Teilchengröße zwischen 5 und 150 μm. Eine leitende Zwischenschicht (beispielsweise eine Zwischenschicht mit ITO, ATOP oder Indiumoxid) hat den Vorteil, dass Belastung der Farbfilterschichten reduziert wird.
G. Das Anbringen einer Photosuspension 39 mit blau lumineszierenden Phosphoren. Belichtung der Photosuspension 39 durch eine Maske 38 (3F). Das Entfernen nicht belichteter Teile.
H. Das Endergebnis. Die Zwischenschicht 37 erstreckt sich zwischen dem Phosphorelement 39 und dem Farbfilter 35. Weitere Phosphore (Rot und Grün) können auf eine übliche Art und Weise vorgesehen werden (wie in 3G schematisch dargestellt). Die Reihenfolge, in der die Phosphore angebracht werden, ist für die vorliegende Erfindung nicht von Bedeutung.

Im Betrieb werden die blauen Phosphore (ebenso wie die grünen und roten Phosphore) von Elektronen hoher Energie angeregt. Die Phosphore ermöglichen einen Durchgang eines Teils dieser Elektronen, obschon der mittlere Energieinhalt dieser Elektronen (in der Größenordnung von 7,5 kV) niedriger ist, und, nach der vorliegenden Erfindung, sie wenigstens teilweise von der Zwischenschicht gesperrt werden, bevor sie das Farbfilter (die Farbfilter) erreichen können. Die Erfinder haben erkannt, dass die Anordnung der Zwischenschicht (Phosphordunst) ebenfalls zu einer Reduktion des Phosphordunstes führt. Die Zwischenschicht 37 verhindert oder verringert die Gefahr, dass Phosphorteilchen (25B) an der roten Farbfilterschicht 35 oder an den Rändern der Öffnungen der schwarzen Matrix hängen bleiben.
Dadurch wird Phosphordunst reduziert oder ausgeschlossen. Dieser Vorteil kann erzielt werden ohne die Notwendigkeit einer Aufbewahrung der Zwischenschicht während des weiteren Herstellungsschrittes.
4A ist ein Schnitt durch ein Wiedergabefenster einer Farbelektronenstrahlröhre nach der vorliegenden Erfindung. 4B ist eine Draufsicht (der Phosphorelemente) des Wiedergabefensters in 4A. Die Innenfläche des Wiedergabefensters ist mit einer schwarzen Matrix 41 versehen. Die Farbfilterschicht 42 erstreckt sich über Öffnungen 43R für Phosphorelemente R (Rot) und über die schwarze Matrix 41, mit Ausnahme der Öffnungen 43B, 43G für die Phosphorelemente B (Blau) bzw. G (Grün). Die Farbfilterschichtgebiete 44B sind in den Öffnungen 43B vorgesehen. Die Farbfilterschichtgebiete 24B ragen über die schwarze Matrix hinaus. In diesem Beispiel ist die Dicke t₂ der Farbfilterschicht 44B 1,5–5 μm. Die Dicke t₁ ist etwa 0,5–0,7 μm. Auf den Farbfilterschichten wird eine Zwischenschicht L angebracht. Über die Öffnungen 43R, 43G und 43B werden Phosphore 45R, 45G und 45B angebracht und die Farbfilterschichten, falls vorhanden, erstrecken sich zwischen den Phosphoren und dem Substrat.
Zwischenschichten mit Stoffen, die eine relativ niedrige Brechzahl haben (n < 1,8) und insbesondere SiO₂-Schichten bieten einen zusätzlichen Vorteil. Die Intensität des von dem blauen Phosphor ausgestrahlten Lichtes nimmt durch das Vorhandensein der Zwischenschicht zu. Eine Zwischenschicht aus SiO₂ zwischen dem blauen Farbfilter ( in diesem Beispiel aus Kobaltaluminat) und dem blauen Phosphormuster, wobei die genannte Zwischenschicht eine Dicke von etwa 0,2–0,5 μm hat, steigert die Leuchteffizienz (gegenüber der Situation, in der es keine Zwischenschicht zwischen dem Farbfilter und dem Phosphormuster gibt) um etwa 20%.
Die Farbwiedergabeanordnung nach der vorliegenden Erfindung kann kurz wie folgt beschrieben werden:
Eine transparente anorganische Zwischenschicht erstreckt sich zwischen einer Farbfilterschicht und einer Phosphorschicht. Die genannte Zwischenschicht sperrt Elektronen bevor sie in die Farbfilterschicht eindringen können. Alterungserscheinungen, welche die Effektivität der Farbfilterschicht beeinträchtigen, werden auf diese Art und Weise ausgeschlossen. Es ist auf alternative Weise auch möglich, bisher nutzlose Pigmente zu verwenden, insbesondere Pigmente, die im Falle eines Elektronenbeschusses in der Farbfilterschicht (oder in den Farbfilterschichten) unstabil sind. Dadurch hat sich die Effektivität der Farbfilterschicht gesteigert.
Das Verfahren weist das Kennzeichen auf, dass zwischen den Farbfilterschichten und dem Phosphormuster eine Zwischenschicht vorgesehen ist. Dadurch wird Phosphordunst vermieden oder reduziert.
Die genannte Zwischenschicht kann permanent sein oder sich in den weiteren Prozeßschritten zerlegen.
Es dürfte einleuchten, dass die vorliegende Erfindung sich nicht auf die obenstehenden Beispiele beschränkt. So zeigt beispielsweise 1 einen herkömmlichen Typ einer Farbelektronenstrahlröhre. Im Rahmen der vorliegenden Erfindung soll der Ausdruck "Farbwiedergabeanordnung" in breitem Sinne als Wiedergabeanordnung mit auf einem Substrat, einem Muster von Phosphoren mit drei lumineszierenden Phosphoren interpretiert werden. Farbwiedergabeanordnungen umfassen alle Arten von Wiedergabeanordnungen, wie Plasma-Wiedergabeanordnungen.

Claims

Farbwiedergabeanordnung mit einem Mittel zum Erzeugen von Elektronen (6) und mit einem Substrat (3), das mit einem elektrolumineszierenden Phosphormuster (25) sowie einer Farbfilterschicht (22, 24) versehen ist, die sich zwischen dem Phosphormuster und dem Substrat erstreckt, dadurch gekennzeichnet, dass die Farbwiedergabeanordnung weiterhin eine transparente Elektronen sperrenden Zwischenschicht (16) aufweist, so dass die Farbschicht, die transparente Elektronen sperrende Zwischenschicht und das Phosphormuster drei aufeinander folgende Schichten bilden.
Farbwiedergabeanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektronen sperrende Zwischenschicht ein anorganisches Material enthält.
Farbwiedergabeanordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektronen sperrende Zwischenschicht eine Schichtdicke d (in nm) hat, die größer ist als 25(A/ρ)(E₀/Z^0,5)ⁿ, wobei A das Molekulargewicht ist, wobei ρ die Dichte (in g/cm³) ist, wobei Z die Atomnummer des Materials der Elektronen sperrenden Zwischenschicht ist, wobei E₀ der Pegel ist, über dem das Absorptionsspektrum der Farbfilterschicht unter Elektronenbeschuss sich ändert, und wobei n gegeben wird durch n = 1,2/(1 – 0,29log₁₀Z).
Farbwiedergabeanordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Dichte des Materials der Elektronen sperrenden Zwischenschicht über 3 g/cm³ liegt.
Farbwiedergabeanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke der Elektronen sperrenden Zwischenschicht kleiner ist als 1 μm.
Farbwiedergabeanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Farbfilter mit Pigmenten versehen sind, die ein Eisenoxid (rotes Farbfilter), ein Kobaltaluminat (blaues Farbfilter) und CoO.NiO.TiO₂.ZnO (grünes Farbfilter) enthält.
Farbwiedergabeanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Material der Elektronen sperrenden Zwischenschicht eine optische Brechzahl unterhalb 1,8 hat.
Farbwiedergabeanordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektronen sperrende Zwischenschicht hauptsächlich Siliziumoxid enthält.
Verfahren zum Herstellen einer Wiedergabeanordnung, wobei eine Farbfilterschicht und ein elektrolumineszierendes Phosphormuster auf einem Substrat vorgesehen werden, dadurch gekennzeichnet, dass das Verfahren weiterhin den Verfahrensschritt umfasst, in dem eine transparente, Elektronen sperrende Zwischenschicht derart vorgesehen wird, dass die Farbfilterschicht, die transparente, Elektronen sperrende Zwischenschicht und das Phosphormuster drei aufeinander folgende Schichten bilden.