DE69713818T2 - Vorrichtung in Kleinbauweise zur Erzeugung eines atmosphärischen Plasmas und Verfahren zur Oberflächenbehandlung - Google Patents

Vorrichtung in Kleinbauweise zur Erzeugung eines atmosphärischen Plasmas und Verfahren zur Oberflächenbehandlung

Info

Publication number
DE69713818T2
DE69713818T2 DE69713818T DE69713818T DE69713818T2 DE 69713818 T2 DE69713818 T2 DE 69713818T2 DE 69713818 T DE69713818 T DE 69713818T DE 69713818 T DE69713818 T DE 69713818T DE 69713818 T2 DE69713818 T2 DE 69713818T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
generating
small
surface treatment
atmospheric plasma
scale device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69713818T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69713818D1 (de
Inventor
Kensuke Akutsu
Yasuhisa Sugawara
Osamu Katayama
Akinori Iwata
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Paint Co Ltd
Original Assignee
Nippon Paint Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Paint Co Ltd filed Critical Nippon Paint Co Ltd
Application granted granted Critical
Publication of DE69713818D1 publication Critical patent/DE69713818D1/de
Publication of DE69713818T2 publication Critical patent/DE69713818T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B17/00Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
    • B05B17/04Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
    • B05B17/06Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
    • B05B17/0607Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24Generating plasma
    • H05H1/2406Generating plasma using dielectric barrier discharges, i.e. with a dielectric interposed between the electrodes
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24Generating plasma
    • H05H1/2406Generating plasma using dielectric barrier discharges, i.e. with a dielectric interposed between the electrodes
    • H05H1/2418Generating plasma using dielectric barrier discharges, i.e. with a dielectric interposed between the electrodes the electrodes being embedded in the dielectric
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24Generating plasma
    • H05H1/47Generating plasma using corona discharges
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H2245/00Applications of plasma devices
    • H05H2245/40Surface treatments
    • H05H2245/42Coating or etching of large items

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
DE69713818T 1996-02-09 1997-02-07 Vorrichtung in Kleinbauweise zur Erzeugung eines atmosphärischen Plasmas und Verfahren zur Oberflächenbehandlung Expired - Fee Related DE69713818T2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2387296 1996-02-09
JP8321408A JPH09274997A (ja) 1996-02-09 1996-12-02 小型常圧プラズマ発生装置及び該装置を使用する表面処理方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69713818D1 DE69713818D1 (de) 2002-08-14
DE69713818T2 true DE69713818T2 (de) 2003-02-06

Family

ID=26361306

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69713818T Expired - Fee Related DE69713818T2 (de) 1996-02-09 1997-02-07 Vorrichtung in Kleinbauweise zur Erzeugung eines atmosphärischen Plasmas und Verfahren zur Oberflächenbehandlung

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP0789505B1 (de)
JP (1) JPH09274997A (de)
DE (1) DE69713818T2 (de)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7098547B1 (en) * 2004-02-20 2006-08-29 Phillip Burns Method and apparatus for converting energy to electricity
JP5336691B2 (ja) * 2005-09-16 2013-11-06 国立大学法人東北大学 プラズマ発生装置、表面処理装置、光源、プラズマ発生方法、表面処理方法および光照射方法
JP4902842B2 (ja) * 2005-09-16 2012-03-21 国立大学法人東北大学 プラズマ発生方法およびプラズマ発生装置
DE102007030915A1 (de) 2007-07-03 2009-01-22 Cinogy Gmbh Vorrichtung zur Behandlung von Oberflächen mit einem mittels einer Elektrode über ein Feststoff-Dielektrikum durch eine dielektrische behinderte Gasentladung erzeugten Plasma
DE102008045830A1 (de) * 2008-09-05 2010-03-11 Cinogy Gmbh Verfahren zur Behandlung eines lebende Zellen enthaltenden biologischen Materials
GB0919274D0 (en) * 2009-11-03 2009-12-16 Univ The Glasgow Plasma generation apparatus and use of plasma generation apparatus
JP2012094523A (ja) * 2011-11-21 2012-05-17 Tohoku Univ プラズマ発生装置
CN103458600B (zh) * 2013-07-31 2016-07-13 华中科技大学 一种产生大气压弥散放电非平衡等离子体的系统
TWI760857B (zh) * 2020-09-23 2022-04-11 逢甲大學 電漿氣霧裝置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU963565A1 (ru) * 1980-10-24 1982-10-07 Всесоюзный Научно-Исследовательский Институт Безопасности Труда В Горнорудной Промышленности Способ очистки газа
JPS5932937A (ja) * 1982-08-16 1984-02-22 Sankyo Dengiyou Kk イオンガン
DE3618412A1 (de) * 1986-05-31 1987-12-03 Oliver Sieke Verfahren und vorrichtung zur behandlung von objekten unter erzeugung chemischer oder physikalischer veraenderungen von gasen, fluessigkeiten, pasten oder feststoffen
JPS63213660A (ja) * 1987-02-28 1988-09-06 Toyoda Gosei Co Ltd コロナ放電処理用対向電極の製造方法
JP2585695B2 (ja) * 1988-03-24 1997-02-26 ユニソイド株式会社 オゾナイザー
JP2939508B2 (ja) * 1989-09-29 1999-08-25 増田 佳子 固体表面のプラズマ処理装置
US5079482A (en) * 1991-02-25 1992-01-07 Villecco Roger A Directed electric discharge generator
US5249575A (en) * 1991-10-21 1993-10-05 Adm Tronics Unlimited, Inc. Corona discharge beam thermotherapy system
JPH05330805A (ja) * 1992-05-27 1993-12-14 O C Eng Kk 対向電極式オゾン発生器
JPH06163143A (ja) * 1992-11-13 1994-06-10 Fuji Photo Film Co Ltd コロナ放電処理装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH09274997A (ja) 1997-10-21
EP0789505A1 (de) 1997-08-13
DE69713818D1 (de) 2002-08-14
EP0789505B1 (de) 2002-07-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69719925D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Plasmabrennerserzeugung
DE69332176T2 (de) Verfahren und Gerät zur Erzeugung eines elektromagnetisch gekoppelten flachen Plasmas zum Ätzen von Oxiden
DE69733733D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Ionenerzeugung in einer Ionenimplantierungseinrichtung
DE69735866D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von voraussagbaren Antworten
DE69527661T2 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Substratbehandlung mittels Plasma
DE69735910D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von Kurznachrichten
DE69739264D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur erzeugung von timing
DE69515593T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung
ATE246956T1 (de) Vorrichtung und verfahren zur erzeugung von gasbläschen optimaler grösse
DE69306007D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Plasmaerzeugung und Verfahren zur Halbleiter-Bearbeitung
DE69528743T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabehandlung
DE69519702D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Produktion von ionisiertem Wasser
DE69626782D1 (de) Verfahren und gerät zur plasmabearbeitung
DE69321071D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Flächenbehandlung im Freien
DE69224514D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung eines Bildes
DE69327069D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Plasmaerzeugung
DE69725288D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur dampfverteilung
DE69405900T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Vakuumbehandlung
DE60026189D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Wellenformkomprimierung und Erzeugung
DE69629101D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung
DE69716617T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur behandlung von gas mit elektronenbestrahlung
DE69937304D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur vakuumbehandlung
DE69713818T2 (de) Vorrichtung in Kleinbauweise zur Erzeugung eines atmosphärischen Plasmas und Verfahren zur Oberflächenbehandlung
DE59503451D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur erzeugung eines inertisierungsgases
DE69938024D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Bildverarbeitung sowie Versorgungsmedium dazu

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee