JPS63213660A - コロナ放電処理用対向電極の製造方法 - Google Patents
コロナ放電処理用対向電極の製造方法Info
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- JPS63213660A JPS63213660A JP4652587A JP4652587A JPS63213660A JP S63213660 A JPS63213660 A JP S63213660A JP 4652587 A JP4652587 A JP 4652587A JP 4652587 A JP4652587 A JP 4652587A JP S63213660 A JPS63213660 A JP S63213660A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の目的
(産業上の利用分野)
この発明は合成樹脂、ガラス等の各種製品のコロナ放電
処理に使用されるコロナ放電処理用対向電極に関するも
のである。
処理に使用されるコロナ放電処理用対向電極に関するも
のである。
(従来の技術)
ポリオレフィン系の合成樹脂にて形成された各種製品は
、該ポリオレフィン系の合成樹脂に極性基が少ないので
、前記製品表面に塗料、接着剤、印刷等が付着しにくい
という特性がある。そこで、前記製品の表面に塗料、接
着、印刷等を行う場合には、その前処理として表面に改
質処理を施して前記付着性を向上させる必要がある。
、該ポリオレフィン系の合成樹脂に極性基が少ないので
、前記製品表面に塗料、接着剤、印刷等が付着しにくい
という特性がある。そこで、前記製品の表面に塗料、接
着、印刷等を行う場合には、その前処理として表面に改
質処理を施して前記付着性を向上させる必要がある。
このポリオレフィン系の合成樹脂よりなる製品の改質処
理として、本願出+!9iI人は樹脂フィルムの改質処
理として行われるコロナ放電処理に着目しているが、こ
の処理方法を三次元樹脂製品の改質処理に通用するには
多くの困難を伴う。
理として、本願出+!9iI人は樹脂フィルムの改質処
理として行われるコロナ放電処理に着目しているが、こ
の処理方法を三次元樹脂製品の改質処理に通用するには
多くの困難を伴う。
その一つは、製品が種々の三次元形状をしてpsる場合
には、これまでのロール状や平板状の対向Tl掻では、
前記製品との間に大きな空気層が生じるとともに、放電
電極との間隔が大きくなるため、コロナ放電が発生しな
くなるという難点である。
には、これまでのロール状や平板状の対向Tl掻では、
前記製品との間に大きな空気層が生じるとともに、放電
電極との間隔が大きくなるため、コロナ放電が発生しな
くなるという難点である。
そのため、前記対向電極を三次元樹脂製品の裏面の形状
と略同一形状に形成することが考えられており、この場
合には、前記三次元樹脂製品の裏面と同一形状を有する
電極基材を形成し、この表面に薄膜状の導電層を被覆さ
せている。
と略同一形状に形成することが考えられており、この場
合には、前記三次元樹脂製品の裏面と同一形状を有する
電極基材を形成し、この表面に薄膜状の導電層を被覆さ
せている。
(発明が解決しようとする問題点)
ところが、上記方法で形成された対向電極には次に示す
ような問題が考えられる。
ような問題が考えられる。
すなわち、前記三次元樹脂製品に透孔、切欠部等の開口
部が設けられている場合には、その部分から前記導電層
が放電電極側に露出することとなる。従って、前記開口
部にコロナ放電中の放電電極が位置すると、該放電電極
と導電層との間に激しいスパークが発生してコロナ放電
を乱し、この開口部に近接する表面が充分にコロナ放電
処理できないことがある。
部が設けられている場合には、その部分から前記導電層
が放電電極側に露出することとなる。従って、前記開口
部にコロナ放電中の放電電極が位置すると、該放電電極
と導電層との間に激しいスパークが発生してコロナ放電
を乱し、この開口部に近接する表面が充分にコロナ放電
処理できないことがある。
発明の構成
(問題点を解決するための手段)
本発明は、上記問題点を解決するため、コロナ放電処理
を行う製品の被処理面の裏面に配置され、該製品を介し
てコロナ放電電極と対向する対向電極であって、前記製
品の裏面と同一又は略同一に形成された保護層と、その
裏面に金属溶射法により形成された導電層とから構成さ
れているという手段を採用している。
を行う製品の被処理面の裏面に配置され、該製品を介し
てコロナ放電電極と対向する対向電極であって、前記製
品の裏面と同一又は略同一に形成された保護層と、その
裏面に金属溶射法により形成された導電層とから構成さ
れているという手段を採用している。
(作用)
本発明は前記手段を採用したことにより、次のように作
用する。
用する。
コロナ放電処理を行う製品の裏面の形状と同一又は略同
一に形成された保護層の裏面に金属溶射法によって形成
された導電層は該製品に開口部があっても、この開口部
を通してコロナ放電電極と直接対向することがないため
、該コロナ放電電極と導電層とが直接対向したときに生
じる激しいスパークが防止される。従って、前記製品の
被処理面全体が均一にコロナ放電される。
一に形成された保護層の裏面に金属溶射法によって形成
された導電層は該製品に開口部があっても、この開口部
を通してコロナ放電電極と直接対向することがないため
、該コロナ放電電極と導電層とが直接対向したときに生
じる激しいスパークが防止される。従って、前記製品の
被処理面全体が均一にコロナ放電される。
また、金属溶射法によって形成された保護層はそれ自体
の厚みを厚くすることができるため、導電性が高くなる
。さらには、前記製品が複雑な形状をしていても、前記
金属溶射法によれば、導電層をその製品形状に追従させ
て形成することが容易にできるため、該導電層を前記被
処理面のどの部分でも均一厚みにできる。従って、同様
に製品の被処理面が均一にコロナ放電される。
の厚みを厚くすることができるため、導電性が高くなる
。さらには、前記製品が複雑な形状をしていても、前記
金属溶射法によれば、導電層をその製品形状に追従させ
て形成することが容易にできるため、該導電層を前記被
処理面のどの部分でも均一厚みにできる。従って、同様
に製品の被処理面が均一にコロナ放電される。
(実施例)
以下、この発明を三次元合成樹脂製品である自動車用イ
ンストルメントパネル用パッド(以下、インパネバンド
という)をコ七す放電処理する対向電極に具体化した一
実施例を第1図、第2図に従って説明する。
ンストルメントパネル用パッド(以下、インパネバンド
という)をコ七す放電処理する対向電極に具体化した一
実施例を第1図、第2図に従って説明する。
まず、本発明の対向電極1の表面に載置されてコロナ放
電処理用が行われるインパネバッド2について説明する
。
電処理用が行われるインパネバッド2について説明する
。
前記インパネバンド2は断面が略横コの字状に形成され
ており、前面3と、2個の透孔4ををする上面5と、後
面6とから三次元形状に形成されるとともに、−後述す
るコロナ放電処理後、これらの面3,5.6の表面にP
VC(ポリ塩化ビニル)樹脂製の表皮シートが接着され
るようになっている。
ており、前面3と、2個の透孔4ををする上面5と、後
面6とから三次元形状に形成されるとともに、−後述す
るコロナ放電処理後、これらの面3,5.6の表面にP
VC(ポリ塩化ビニル)樹脂製の表皮シートが接着され
るようになっている。
次に、このインパネバッド2の表面をコロナ放電処理す
る装置を説明する。
る装置を説明する。
この方法に用いるコロナ放電処理装置は、高周波印加手
段Bと、電極移動手段Cと、同電極移動手段Cの先端に
取り付けられた先端を球状のボール電極としたコロナ放
電電極18と、同コロナ放電電極18と対向するように
設けられた対向電極手段りと、前記高周波印加手段B及
び電極移動手段Cを制御するための制′4&IIユニッ
トEとから構成されている。
段Bと、電極移動手段Cと、同電極移動手段Cの先端に
取り付けられた先端を球状のボール電極としたコロナ放
電電極18と、同コロナ放電電極18と対向するように
設けられた対向電極手段りと、前記高周波印加手段B及
び電極移動手段Cを制御するための制′4&IIユニッ
トEとから構成されている。
前記対向電極手段りは前記インパネバッド2を載置する
保護層11及び該保護層11の裏面に金属溶射法にて形
成された導電層12から形成された対向電極1と、前記
導電層12の裏面に該導電層12を被覆するように形成
された電極基材13とから構成される装置 さらに詳述すると、前記保護層11はその表面が前記イ
ンパネバッド2の裏面の形状と略同一又は同一形状に形
成されるとともに、厚みがどの部分でも一定に形成され
ている。また、同保護層11は耐熱性及び耐酸化性に優
れた合成樹脂としての耐熱性エポキシ樹脂にて形成され
ており、前記透孔4から露出する部分が後述するコロナ
放電で熱変形したり、酸化したりすることが防止される
とともに、導電層12とコロナ放電電極1日とが直接対
向しないようになっている。
保護層11及び該保護層11の裏面に金属溶射法にて形
成された導電層12から形成された対向電極1と、前記
導電層12の裏面に該導電層12を被覆するように形成
された電極基材13とから構成される装置 さらに詳述すると、前記保護層11はその表面が前記イ
ンパネバッド2の裏面の形状と略同一又は同一形状に形
成されるとともに、厚みがどの部分でも一定に形成され
ている。また、同保護層11は耐熱性及び耐酸化性に優
れた合成樹脂としての耐熱性エポキシ樹脂にて形成され
ており、前記透孔4から露出する部分が後述するコロナ
放電で熱変形したり、酸化したりすることが防止される
とともに、導電層12とコロナ放電電極1日とが直接対
向しないようになっている。
なお、前記耐熱性に優れた合成樹脂とは軟化温度が10
0°C以上であるものをいい、好ましくはその溶融温度
が180 ’C以上のものをいう。
0°C以上であるものをいい、好ましくはその溶融温度
が180 ’C以上のものをいう。
第2図に示すように、前記導電層12は前記金@溶射法
のうち、アーク溶射法によって溶融された導電性の高い
金属を溶射機14から前記保護層11の裏面全体に吹き
付けることによって形成されている。前記アーク溶射法
は、直流の高電圧を2本の金属線間に印加することによ
って両金属線間にアークを発生させ、このアークによっ
て溶融された金属をμm単位の微粒子とし、高圧の圧縮
空気によって噴射させる方法であり、前記溶射機14か
らはこのμm単位の微粒子が噴射されるようになってい
る。
のうち、アーク溶射法によって溶融された導電性の高い
金属を溶射機14から前記保護層11の裏面全体に吹き
付けることによって形成されている。前記アーク溶射法
は、直流の高電圧を2本の金属線間に印加することによ
って両金属線間にアークを発生させ、このアークによっ
て溶融された金属をμm単位の微粒子とし、高圧の圧縮
空気によって噴射させる方法であり、前記溶射機14か
らはこのμm単位の微粒子が噴射されるようになってい
る。
本実施例においては、導電性の高い金属としてのCuを
厚みが6μm〜20μm程度となるように吹きつけ、該
導TL層12全体の抵抗が100%となるようになって
いる。従って、この導電層12は前記保護層1工の裏面
の三次元形状に追従して全ての部分で略均−厚みに形成
されるとともに、導電性が非常に高い状態となっている
。また、前記導電層12は一端が接地されるとともに、
後述する高圧トランス20に接続されている。
厚みが6μm〜20μm程度となるように吹きつけ、該
導TL層12全体の抵抗が100%となるようになって
いる。従って、この導電層12は前記保護層1工の裏面
の三次元形状に追従して全ての部分で略均−厚みに形成
されるとともに、導電性が非常に高い状態となっている
。また、前記導電層12は一端が接地されるとともに、
後述する高圧トランス20に接続されている。
前記電橋基材13は通常のエポキシ樹脂にて形成されて
おり、前記導電112が外部に露出しないようになって
いる。これは、前記導電層12が露出していると、コロ
ナ放電時に該露出部分とコロナ放電電極18との間に激
しいスパークが発生することを防止するためである。
おり、前記導電112が外部に露出しないようになって
いる。これは、前記導電層12が露出していると、コロ
ナ放電時に該露出部分とコロナ放電電極18との間に激
しいスパークが発生することを防止するためである。
前記高周波印加手段Bは高周波を溌生ずる高周波発振器
19と、そこで発生した高周波を昇圧する高圧トランス
20とから構成されている。前記高周波発振器19とし
ては、例えば、20〜30KH2,最大出力350Wの
高周波を発生するタンチック社の製品(商品名HVO5
−2)が使用され、高圧トランス20としても同じくタ
ンチック社の製品(商品名スーパC)が使用されている
。
19と、そこで発生した高周波を昇圧する高圧トランス
20とから構成されている。前記高周波発振器19とし
ては、例えば、20〜30KH2,最大出力350Wの
高周波を発生するタンチック社の製品(商品名HVO5
−2)が使用され、高圧トランス20としても同じくタ
ンチック社の製品(商品名スーパC)が使用されている
。
従って、前記コロナ放電電極18と前記導電層12との
間には0〜350Wの高周波が印加されるようになって
いる。
間には0〜350Wの高周波が印加されるようになって
いる。
前記電極移動手段Cはコロナ放電電極18を三次元方向
の任意な位置に移動させるための移動機構(図示なし)
によって構成されており、前記制御ユニットEに接続さ
れている。前記制御ユニットBはマイコン等によって構
成されており、前記制御手段Cを作動させる運動プログ
ラムや高周波印加手段Bの作動開始と停止を制御するプ
ログラムが書き込まれている。
の任意な位置に移動させるための移動機構(図示なし)
によって構成されており、前記制御ユニットEに接続さ
れている。前記制御ユニットBはマイコン等によって構
成されており、前記制御手段Cを作動させる運動プログ
ラムや高周波印加手段Bの作動開始と停止を制御するプ
ログラムが書き込まれている。
次に、上記のように構成されたコロナ放電処理装置を用
いてインパネバッド2の表面をコロナ放電処理用するに
は、該インパネバッド2を前記保tlNllの表面に載
置し、制御ユニットEのスイッチをONとする。
いてインパネバッド2の表面をコロナ放電処理用するに
は、該インパネバッド2を前記保tlNllの表面に載
置し、制御ユニットEのスイッチをONとする。
すると、前記電極移動手段Cは前記移動機構によってコ
ロナ放電電極18をコロナ放電処理のスタート位置とし
てのインパネバッド2の後面6の縁部に近接した部位(
第1図の2点鎖線で示す)に移動する。その後、高周波
印加手段Bが作動され、コロナ放電電極18と導電層1
2との間に28KVO高周波を印加するとともに、イン
パネバッド2の表面の形状にそって三次元的に移動(第
1図の一点鎖線の矢印で示す)する。従って、コロナ放
電電極18とインパネバッド2の表面との間にコロナ放
電が発生し、これらの面3,5゜6にコロナ放電処理が
行われる。
ロナ放電電極18をコロナ放電処理のスタート位置とし
てのインパネバッド2の後面6の縁部に近接した部位(
第1図の2点鎖線で示す)に移動する。その後、高周波
印加手段Bが作動され、コロナ放電電極18と導電層1
2との間に28KVO高周波を印加するとともに、イン
パネバッド2の表面の形状にそって三次元的に移動(第
1図の一点鎖線の矢印で示す)する。従って、コロナ放
電電極18とインパネバッド2の表面との間にコロナ放
電が発生し、これらの面3,5゜6にコロナ放電処理が
行われる。
このとき、前記コロナ放電電極18が前記透孔4の上方
に位置すると、該コロナ放電電極18は前記透孔4の側
壁部も均一にコロナ放電処理するために下方に移動する
。このため、前記対向電極lとコロナ放電電極18とが
近接し、この対向電極1に対して直接コロナ放電を行う
が、前記対向電極1はその表面に導電1口12を被覆す
る保護層11が形成されているため、この部分で激しい
スパークが発生してコロナ放電を乱すことを防止できる
。従って、前記インパネパッド2全体を均一にコロナ放
電処理することができる。
に位置すると、該コロナ放電電極18は前記透孔4の側
壁部も均一にコロナ放電処理するために下方に移動する
。このため、前記対向電極lとコロナ放電電極18とが
近接し、この対向電極1に対して直接コロナ放電を行う
が、前記対向電極1はその表面に導電1口12を被覆す
る保護層11が形成されているため、この部分で激しい
スパークが発生してコロナ放電を乱すことを防止できる
。従って、前記インパネパッド2全体を均一にコロナ放
電処理することができる。
また、前記保護層11の裏面には導電性の高いCuを金
属溶射法によって付着させた導電層12が形成されてい
るため、この導電層12の導電性を高くすることができ
、ひいては、コロナ放電における放電効率を高めること
ができる。
属溶射法によって付着させた導電層12が形成されてい
るため、この導電層12の導電性を高くすることができ
、ひいては、コロナ放電における放電効率を高めること
ができる。
また、金属溶射法によって導電層12を形成したため、
保護層11が複雑な三次元形状をしている場合でも、該
Cuを保護層11の裏面の各部に均一厚みに形成するこ
とが容易にできる。従って、前記インパネバッド2のど
の部分でも均一なコロナ放電を発生させることができる
。
保護層11が複雑な三次元形状をしている場合でも、該
Cuを保護層11の裏面の各部に均一厚みに形成するこ
とが容易にできる。従って、前記インパネバッド2のど
の部分でも均一なコロナ放電を発生させることができる
。
また、コロナ放電電極18として先端が球状のボール電
極を用いたため、同ポール電栂からのコロナ放電を各透
孔4側面に均一に飛ばすことができ、効率良くコロナ放
電処理を行うことができる。
極を用いたため、同ポール電栂からのコロナ放電を各透
孔4側面に均一に飛ばすことができ、効率良くコロナ放
電処理を行うことができる。
なお、この発明は前記実施例に限定されるものではなく
、例えば、次に示すように変更して具体化することも可
能である。
、例えば、次に示すように変更して具体化することも可
能である。
(1)前記各実施例ではコロナ放電電極18としてボー
ル電極を用いたが、この他、ビン電極や棒電極を用いて
もよい。
ル電極を用いたが、この他、ビン電極や棒電極を用いて
もよい。
(2)前記電極移動手段Cは先に本願出願が出願した(
特許1頭第61−282596号)に記載した装置を用
いることもできる。
特許1頭第61−282596号)に記載した装置を用
いることもできる。
(3)前記実施例では、インパネバンド2にコロナ放電
処理を行う装置に具体化したが、この他、マッドガート
やサイドモールの塗装工程の前処理工程として用いる装
置、ルーフヘッダやフロントピラーの植毛工程の前処理
工程として用いる装置等に具体化することができる。
処理を行う装置に具体化したが、この他、マッドガート
やサイドモールの塗装工程の前処理工程として用いる装
置、ルーフヘッダやフロントピラーの植毛工程の前処理
工程として用いる装置等に具体化することができる。
(4)前記実施例では、本発明を合成樹脂製品をコロナ
放電処理する対向電極1に具体化したが、ガラス製品に
コロナ放電処理する対向電極1に具体化することもでき
る。
放電処理する対向電極1に具体化したが、ガラス製品に
コロナ放電処理する対向電極1に具体化することもでき
る。
(5)前記実施例では、金属溶射方法として電気代溶射
法としてアーク溶射法を用いたが、この他、プラズマ溶
射法、線爆溶射法、さらには、ガス式溶射法としてフレ
ーム溶射法、爆発溶射法を用いることができる。
法としてアーク溶射法を用いたが、この他、プラズマ溶
射法、線爆溶射法、さらには、ガス式溶射法としてフレ
ーム溶射法、爆発溶射法を用いることができる。
(6)前記保護rIfi11が溶射される金属の密着性
の低い材質で形成されている場合には、プライマ一層を
設けてもよい。
の低い材質で形成されている場合には、プライマ一層を
設けてもよい。
(7)前記導電層12を形成する金属は本実施例のCu
の他、Au、Ag、Zn、Aff等の金属や導電性の高
い合金を用いることができる。
の他、Au、Ag、Zn、Aff等の金属や導電性の高
い合金を用いることができる。
発明の効果
以上詳述したように、本発明の対向電極は導電層の24
電性を高くすることができるとともに、コロナ放電処理
を行う製品の被処理面に開口部があっても、該被処理面
全体を均一にコロナ放電処理できるばかりでなく、コロ
ナ放電処理用製品が複雑な三次元形状でも前記導電層を
前記形状に追従して形成することができるため、同様に
前記製品のどの部分においても均一なコロナ放電を発生
させることかできるという優れた効果を奏する。
電性を高くすることができるとともに、コロナ放電処理
を行う製品の被処理面に開口部があっても、該被処理面
全体を均一にコロナ放電処理できるばかりでなく、コロ
ナ放電処理用製品が複雑な三次元形状でも前記導電層を
前記形状に追従して形成することができるため、同様に
前記製品のどの部分においても均一なコロナ放電を発生
させることかできるという優れた効果を奏する。
第1図は本発明を具体化した一実施例を示す断面図、第
2図は保Si層の裏面に金属溶射法によって導電層を形
成する方法を示す側面断面図である。 1・・・対向電極、2・・・コロナ放電処理を行う製品
、11・・・保護層、12・・・導電層、13・・・電
極基材、18・・・コロナ放電電極 特許出願人 豊田合成 株式会社代理人 弁
理士 恩1)博宣第2図
2図は保Si層の裏面に金属溶射法によって導電層を形
成する方法を示す側面断面図である。 1・・・対向電極、2・・・コロナ放電処理を行う製品
、11・・・保護層、12・・・導電層、13・・・電
極基材、18・・・コロナ放電電極 特許出願人 豊田合成 株式会社代理人 弁
理士 恩1)博宣第2図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、コロナ放電処理を行う製品(2)の被処理面の裏面
に配置され、該製品(2)を介してコロナ放電電極(1
8)と対向する対向電極(1)であって、前記製品(2
)の裏面と同一又は略同一に形成された保護層(11)
と、その裏面に金属溶射法により形成された導電層(1
2)とから構成されていることを特徴とするコロナ放電
処理用対向電極。 2、前記導電層(12)の裏面には該導電層(12)を
被覆する電極基材(13)が設けられていることを特徴
とする特許請求の範囲第1項に記載のコロナ放電処理用
対向電極。3、前記導電層(12)は前記保護層(11
)の裏面に対し、Cuを6μm〜20μmの厚みで形成
してなることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載
のコロナ放電処理用対向電極。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4652587A JPS63213660A (ja) | 1987-02-28 | 1987-02-28 | コロナ放電処理用対向電極の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4652587A JPS63213660A (ja) | 1987-02-28 | 1987-02-28 | コロナ放電処理用対向電極の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63213660A true JPS63213660A (ja) | 1988-09-06 |
JPH0359094B2 JPH0359094B2 (ja) | 1991-09-09 |
Family
ID=12749694
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4652587A Granted JPS63213660A (ja) | 1987-02-28 | 1987-02-28 | コロナ放電処理用対向電極の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63213660A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5288664A (en) * | 1990-07-11 | 1994-02-22 | Fujitsu Ltd. | Method of forming wiring of semiconductor device |
EP0789505A1 (en) * | 1996-02-09 | 1997-08-13 | Nippon Paint Co., Ltd. | Small-sized atmospheric plasma generating apparatus and surface processing method using the apparatus |
JP2004138268A (ja) * | 2002-10-15 | 2004-05-13 | Yamaoka Kinzoku Kogyo Kk | イオン風を利用したカーテン装置およびカーテン装置を使用した分煙システム |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62126339U (ja) * | 1986-02-01 | 1987-08-11 |
-
1987
- 1987-02-28 JP JP4652587A patent/JPS63213660A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62126339U (ja) * | 1986-02-01 | 1987-08-11 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5288664A (en) * | 1990-07-11 | 1994-02-22 | Fujitsu Ltd. | Method of forming wiring of semiconductor device |
EP0789505A1 (en) * | 1996-02-09 | 1997-08-13 | Nippon Paint Co., Ltd. | Small-sized atmospheric plasma generating apparatus and surface processing method using the apparatus |
JP2004138268A (ja) * | 2002-10-15 | 2004-05-13 | Yamaoka Kinzoku Kogyo Kk | イオン風を利用したカーテン装置およびカーテン装置を使用した分煙システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0359094B2 (ja) | 1991-09-09 |
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