JP2004119799A5 - - Google Patents
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- ワイヤボンディング用ワイヤの先端との間に高電圧を印加して前記ワイヤとの間に放電を生じさせるワイヤボンディング装置用放電電極であって、
導電性の電極芯材を備え、
前記電極芯材の表面に形成されたポーラス構造の絶縁膜について前記ポーラス構造を封孔処理してなる絶縁層で前記電極芯材が覆われ、前記ワイヤの先端に対向する放電部位の部分においては前記電極芯材が露出する露出面を有することを特徴とするワイヤボンディング装置用放電電極。 - 請求項１に記載のワイヤボンディング装置用放電電極において、
前記ポーラス構造の絶縁膜は、陽極酸化法またはプラズマ溶射法で形成されたポーラスなアルミナ膜であることを特徴とするワイヤボンディング装置用放電電極。 - 請求項１または請求項２に記載のワイヤボンディング装置用放電電極において、
前記封孔処理してなる絶縁層は、前記ポーラス構造の絶縁膜の上に、レーザＰＶＤ法により、無機系材料膜を堆積させてなる絶縁層であることを特徴とするワイヤボンディング装置用放電電極。 - 請求項１または請求項２に記載のワイヤボンディング装置用放電電極において、
前記封孔処理してなる絶縁層は、前記ポーラス構造の絶縁膜に樹脂を含浸させてなる絶縁層であることを特徴とするワイヤボンディング装置用放電電極。
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