DE69703771T2

DE69703771T2 - Verfahren zur selektiven metallbeschichtung einer inneren, elektrisch isolierenden oberfläche eines offenen körpers, und mittels dieses verfahrens hergestellter abtastgeschwindigkeitsmodulator

Info

Publication number: DE69703771T2
Application number: DE69703771T
Authority: DE
Inventors: Ben Kubbinga; Egidius Legierse; Adele Meeuwsen; Willem Severin; Franciscus Van Veggel
Original assignee: Koninklijke Philips Electronics NV
Current assignee: Koninklijke Philips NV
Priority date: 1996-03-18
Filing date: 1997-02-26
Publication date: 2001-06-13
Anticipated expiration: 2017-02-27
Also published as: WO1997035334A1; DE69703771D1; EP0827627A1; JPH11506271A; US5798138A; EP0827627B1

Description

Verfahren zur selektiven Metallbeschichtung einer inneren, elektrisch isolierenden Oberfläche eines offenen Körpers und nach diesem Verfahren hergestellter Abtastgeschwindigkeitsmodulator
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur selektiven Metallisierung einer inneren, elektrisch isolierenden Oberfläche eines offenen Körpers. Die Erfindung bezieht sich weiterhin auf einen Abtastgeschwindigkeitsmodulator (SVM) mit einem offenen, im Wesentlichen zylinderförmigen, elektrisch isolierenden Gehäuse mit einer inneren zylinderförmigen Oberfläche, die einen profilierten Satz metallischer schleifen aufweist.
Der Ausdruck "offener Körper" soll in diesem Zusammenhang verstanden werden als sich auf dreidimensionale Körper mit einer inneren und einer äußeren Oberfläche beziehend, wobei keine dieser Oberflächen mathematisch geschlossen ist. Eine innere Oberfläche eines derartigen Körpers kann flach oder gekrümmt sein, im letzteren Fall kann die Krümmung dieser Oberfläche beispielsweise zylindrisch oder kegelig sein. Beispiele derartiger Körper umfassen Gegenstände, wie offene Rohre, Durchführungen, Schleifen, Büchsen, Dosen und andere Gehäuse.
Ein Problem bei der Metallisierung innerer Oberflächen ist, dass sie im Allgemeinen nicht frei zugänglich sind für die metallische Ablagerungsflüsse bei solchen Techniken wie Vakuumablagerung, Zerstäubung oder Laserablagerung. Andererseits ist, obschon CVD ein geeigneter Kandidat in Termen einer verbesserten Zugänglichkeit ist, die hohe Prozesstemperatur eine Hemmung für den Gebrauch vieler elektrisch isolierender Materialien als Substrat. Außerdem kann eine beschränkte Zugänglichkeit zu inneren Oberflächen die Verwendung von Masken beschränken bei Versuchen einer strukturierten Metallisierung.
Ein Verfahren der eingangs erwähnten Art und ein SVM, wie in dem zweiten Abschnitt beschrieben, und erhalten unter Anwendung des genannten Verfahrens sind aus der Europäischen Patentanmeldung EP 0 592 038 bekannt. Nach dem bekannten Verfahren wird auf (wenigstens) einer Seite einer biegsamen Folie aus elektrisch isolierendem Material ein flaches metallisches Muster vorgesehen und diese Folie wird danach aufgewickelt und an der zylindrischen Innenfläche einer hohlen Schleife befestigt. Ein derartiges metallisches Muster kann beispielsweise durch Ablagerung einer Metallschicht auf (wenigstens) einer Seite einer glasfaserverstärkten Epoxyharzfolie vorgesehen werden (beispielsweise unter Anwendung Ablagerung aus der Dampfphase aus einer metallischen Quelle, oder von einer katalytischen Schicht in Kombination mit einem stromlosen Cu-Bad) wobei danach eine selektive Maskierungs- und Ätztechnik (beispielsweise Lithographie) angewandt wird zum Entfernen aller Teile des Metallfilms außerhalb den Konturen eines vorselektierten Musters. Die resultierende Folie (oder die resultierenden Folien) können danach laminiert, verleimt oder verzweckt werden, und zwar auf jedem gewünschten Teil der inneren Oberfläche oder Oberflächen eines offenen Körpers.
Im Falle des bekannten SVM hat das metallische Muster die Form zweier Sätze ineinanderpassender rechteckiger Schleifen, die nebeneinander liegend vorgesehen sind (siehe Fig. 4 in EP 0 592 038). Die Folie mit diesem Muster wird aufgewickelt und in einer zylindrischen Hülse vorgesehen, so dass die zwei Reihen ineinanderpassender Schleifen einander diametral gegenüberliegen. Nach der Anordnung der elektrischen Kontakte an den Schleifen, kann die Hülse um den hals einer Elektronenstrahlröhre vorgesehen werden, wobei die genannten Schleifen benutzt werden können zum Erzeugen einer bestimmten Magnetfeldkonfiguration.
Ein Nachteil des bekannten Verfahrens ist, dass es abhängig ist von dem Gebrauch einer Trägerfolie, deren Vorbereitung zusätzliche Verfahrensschritte erfordert, was zusätzliche Kosten mit sich bringt. Da nicht alle Materialien sich zum Herstellen biegsamer Folien eignen, kann eine derartige Folie Eigenschaften haben, die mit den Anforderungen einer bestimmten Anwendung nicht ganz kompatibel sind; so kann beispielsweise eine Fehlanpassung der Ausdehnungskoeffizienten der Folie und der unterliegenden Oberfläche zu einem Quellen oder zu einer Rissbildung der Folie fuhren, die Folie kann einen unakzeptierbar niedrigen Schmelzpunkt haben oder sie kann eine ungeeignete Dielektrizitätskonstante haben. Außerdem soll die Dicke der Folie berücksichtigt werden, bei der Herstellung sowie bei der nachfolgenden Anwendung.
Es ist daher u. a. eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein alternatives Verfahren zur selektiven Metallisierung einer inneren elektrisch isolierenden Oberfläche Si eines offenen Körpers zu schaffen.
Diese Aufgabe wird erzielt mit einem Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass es die nachfolgenden Verfahrensschritte umfasst:
(a) das Schaffen einer Rolle mit einer nachgiebigen Außenfläche So;
(b) das Anbringen einer Schicht einer ausreichend nassen Farbe auf der Oberfläche So entsprechend einem bestimmten Muster;
(c) dafür sorgen, dass die Rolle über die Oberfläche Si rollt zum Auftragen einer gemusterten Schicht aus nasser Farbe von der Oberfläche So auf die Oberfläche Si;
(d) die Möglichkeit bieten, dass die gemusterte Schicht aus nasser Farbe auf der Oberfläche Si sich trocknet;
(e) das selektive Ablagern metallischen Materials auf der auf diese Art und Weise erhaltenen gemusterten Schicht trockner Farbe.
Die in den Verfahrensschritten (a), (b) und (c) durchgeführte Prozedur wird meistens als "Tamponeren" bezeichnet und die Prozedur nach dem Verfahrensschritt (e) kann als "hinzugefügte Metallisierung" bezeichnet werden.
Weil das Verfahren nach der vorliegenden Erfindung eine selektive Metallisierung unmittelbar auf der Innenfläche selber schafft, ohne Verwendung einer biegsamen Zwischenfolie, vermeidet dieses Verfahren die oben beschriebenen Nachteile der bekannten Verfahren. Außerdem ermöglicht die Verwendung einer oder mehrerer Rollen das Anbringen ziemlich komplizierter Muster auf der Innenfläche. Da die verwendete Rolle nicht groß zu sein braucht, kann eine Musterung auf Innenflächen stattfinden, die mit Hilfe herkömmlicher Maskierungsplatten nicht auf einfache Art und Weise zugänglich wären. Außerdem ist die Metallisierung nach der vorliegenden Erfindung additiv statt subtraktiv, so dass es einen minimalen Materialverlust gibt.
Bei einer besonderen Ausführungsform des Verfahrens nach der vorliegenden Erfindung enthält die Farbe einen Katalysator, der die stromlose Ablagerung von Metallen fördert und der Verfahrfensschritt (e) erfolgt unter Anwendung einer stromlosen Prozedur. Ein Beispiel einer derartigen geeigneten Farbe ist ein Epoxyharz oder ein Acrylatharz, in dem ein Palladiumkomplex (wie Palladiumacetat oder Palladiumchlorid) einverleibt wurden ist. Die stromlose Ablagerungsprozedur erfolgt beispielsweise durch Eintauchen der mit dem Farbmuster versehenen Oberfläche in ein Bad mit Wasser, EDTA, NaOH, Formaldehyd und einem Cu-Salz (wie CuSO&sub4;). In einem derartigen Bad erfolgt additive Metallisierung des Trockenfarbe-Musters typischerweise mit einer Rate der Größenordnung von 2-5 min der Stunde.
Eine alternative Ausführungsform des Verfahrens nach der vorliegenden Erfindung weist das Kennzeichen auf, dass die Farbe elektrisch leitend ist, und dass der Verfahrensschritt (e) durchgeführt wird unter Anwendung einer galvanischen Prozedur. Ein geeignetes Beispiel einer derartigen Farbe ist ein Epoxyharz mit einer metallischen Substanz (wie mikroskopischen Silber "Filter" Teilchen). Die erforderliche galvanische Ablagerung kann beispielsweise in einem Elektrolyten mit einem Cu- Salz (wie CuSO&sub4;) erfolgen.
Im Allgemeinen haben die Erfinder gefunden, dass eine strimlose Prozedur dazu neigt, eine höhere Metallisierungsqualität zu liefern als eine galvanische Prozedur, beispielsweise in Termen der Anzahl unerwünschter Poren und feiner Risse, und in Termen der erzielten Einheitlichkeit der Dicke der Metallschicht.
Eine bevorzugte Ausführungsform des Verfahrens nach der vorliegenden Erfindung weist das Kennzeichen auf, dass die Oberfläche So, der Rolle aus Gummi besteht. Der allgemeine Ausdruck "Gummi" umfasst in dieswem Fall insbesondere Substanzen wie Silikonkautschuk, Fluorinsilikonkautschuk, Guttapercha, usw. Alternative Materialien, deren Oberfläche So, benutzbar wäre, sind beispielsweise Filz und Vinyl. Im Allgemeinen werden die Außenflächen So, der Rolle zylindrisch sein, ungeachtet der Form der Oberfläche S.. Aber gewünschtenfalls kann die Oberfläche So, ebenfalls eine andere Form haben. Diese kann beispielsweise kegelförmig sein, insbesondere wenn die Oberfläche Si ebenfalls kegelförmig ist.
Bei einer speziellen Ausführungsform des Verfahrens nach der vorliegenden Erfindung ist die Oberfläche So der Rolle nahezu glatt und einheitlich und der Verfahrensschritt (b) erfolgt dadurch, dass die Oberfläche So, über eine Oberfläche P einer Prozessplatte (Druckblock) gerollt wird, wobei die Oberfläche P örtliche Vertiefungen aufweist, die nasse Farbe enthalten und entsprechend dem genannten Muster geformt und positioniert sind. Eine derartige Prozessplatte kann beispielsweise aus Metall oder Kunststoff hergestellt sein und gute Resultate werden erzielt wenn die örtlichen Vertiefungen eine Tiefe haben in der Größenordnung von 10-70 m. Solche Vertiefungen können beispielsweise unter Anwendung einer lithographischen oder Siebdruckprozedur in Kombination mit einer Ätztechnik erzeugt werden.
Bei einer alternativen Ausführungsform des Verfahrens nach der vorliegenden Erfindung wird die Oberfläche So, der Rolle gemäß dem genannten Muster geprägt, und der Verfahrensschritt (b) erfolgt dadurch, dass die Oberfläche So, über ein Kissen gerollt wird, das mit nasser Farbe imprägniert ist, oder über eine Platte, die mit einer Schicht nasser Farbe bedeckt ist. Ein derartiges Kissen kann ein absorbierendes Material enthalten, wie Filz oder Musselin, während eine derartige Platte beispielsweise aus Kunststoff, Keramik oder Metall hergestellt sein kann. Das gewünschte eingeprägte Muster kann beispielsweise im Spritzgussverfahren oder durch selektive Bearbeitung oder Ätzung einer geprägten Rollenfläche erhalten werden.
Es sei bemerkt, dass bei jeder spezifischen Rollbewegung der Rolle gegenüber einem bestimmten Gegenstand (insbesondere der genannten Innenfläche, der Prozessplatte, dem Farbkissen oder der Farbplatte) der Gegenstand ortsfest sein kann und die Rolle beweglich, oder aber die Rolle ortsfest und der Gegenstand beweglich sein kann, oder gewünschtenfalls die Rolle sowie der Gegenstand beweglich sein können. Es erübrigt sich zu erwähnen, dass die erforderliche Rollbewegung von Hand oder mit Hilfe einer Maschine erfolgen kann.
Nach der vorliegenden Erfindung kann die Oberfläche Si aus einer Vielzahl von Materialien bestehen. Besondere Beispiele, mit denen die Erfindung gute Ergebnisse erzielt haben sind beispielsweise: Polycarbonat (PC), Polybutylterephthalat (PBT), Polyphenylenoxid (PPO), Polyetherimid (PEI), Polysmin (PA) und Polyethersulfon (PES). Im Falle einer Farbe auf Harzbasis, verwendet in Kombination mit solchen Trägermaterialien haben die Erfinder gefunden, dass die Oberfläche Si keine Vorbehandlung mit irgendeiner Form eines Adhäsion fördernden Mittels braucht. Es sei bemerkt, dass nur die Oberfläche Si elektrisch isolierend sein soll: der restliche Teil des offenen Körpers außerhalb der Oberfläche Si kann beispielsweise metallisch sein, oder kann ein Material anders als das der Oberfläche Si enthalten.
Die Erfindung bezieht sich ebenfalls auf einen SVM, wie im zweiten Abschnitt spezifiziert, mit dem Kennzeichen, dass der gemusterte Satz metallischer Schleifen unmittelbar auf der zylinderförmigen Oberfläche des Gehäuses vorgesehen ist, ohne Hinzufügung einer Zwischenfolie. Weitere Einzelheiten der Konstruktion eines derartigen SVM werden in den nachfolgenden Ausführungsformen gegeben.
Nebst dem Gebrauch bei der Herstellung eines SVM hat das Verfahren nach der vorliegenden Erfindung viele andere mögliche Anwendungsbereiche. So kann es beispielsweise angewandt werden bei der Herstellung allgemeiner "Moulded Interconnection Devices" (MIDs), zum Erzeugen rein dekorativer Metallisierungen oder zum Anbringen von Typennummern und Hersteller-Codes auf der Innenfläche vieler Gehäuse und anderer Erzeugnisse.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im Folgenden näher beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 eine schaubildliche Darstellung einer Kunststoffhülse mit einer Innenfläche, die selektiv metallisiert werden soll,
Fig. 2 eine schaubildliche Darstellung einer Rolle und einer Prozessplatte, geeignet zum Gebrauch bei dem Verfahrensschritt (b) bei dem Verfahren nach der vorliegenden Erfindung,
Fig. 3 eine Draufsicht des Gegenstandes nach Fig. 1 während der Durchführung des Verfahrensschrittes (c) nach dem Verfahren nach der vorliegenden Erfindung,
Fig. 4 eine Draufsicht eines Abtastgeschwindigkeitsmodulators nach der vorliegenden Erfindung und eine Darstellung des Gegenstandes nach Fig. 3 nach Durchführung der Verfahrensschritte (c), (d) und (e) nach der vorliegenden Erfindung.

Ausführungsform 1

Die Fig. 1-4 zeigen einige Aspekte des Verfahrens nach der vorliegenden Erfindung. Insbesondere zeigen die Figuren einige Verfahrensschritte der Herstellung eines Abtastgeschwindigkeitsmodulators (SVM) 1 nach der vorliegenden Erfindung. Entsprechende Elemente in den jeweiligen Figuren sind durch dieselben Bezugszeichen angegeben.
Fig. 1 zeigt eine Draufsicht eines offenen Körpers 3 mit einer inneren, elektrisch isolierenden Oberfläche S.. In dem betreffenden Fall hat der Körper 3 die Form einer hohlen zylindrischen Hülle. Die Oberfläche Si ist zylinderförmig mit einem Radius ri von etwa 20 mm und mit einer Länge (parallel zu der zylindrischen Achse) von etwa 35 mm. Der Körper 3 besteht aus Polycarbonat und die Dicke der zylindrischen Wände beträgt etwa 0,8 mm. Es ist eine Aufgabe der Erfindung in diesem Fall die Oberfläche Si mit einem bestimmten Muster aus metallischen Schleifen zu versehen, wodurch es ermöglicht wird, dass der Körper 3 als Abtastgeschwindigkeitsmodulator verwendet wird.
Fig. 2 zeigt eine glatte zylinderförmige Rolle 2 mit einer zylinderförmigen Außenfläche So. Die Rolle 2 besteht in diesem Fall aus Silikonkautschuk und kann um eine zylindrische Achse gedreht werden. Die Oberfläche 5, hat einen Radius ro = 12,5 mm.
Es ist ebenfalls eine Prozessplatte 6 mit einer Oberfläche P dargestellt, die mit örtlichen linearen Vertiefungen (Spuren) 8 versehen ist, und zwar entsprechend einem bestimmten Muster. In diesem Fall hat das Muster die Form zweier ähnlicher Sätze 10a, 1 Ob ineinander passender Schleifen, die nebeneinander liegen. Die Platte 6 besteht beispielsweise aus korrosionsfestem Stahl. Die Vertiefungen 8 können mit Hilfe eines Nassätzverfahrens (beispielsweise unter Verwendung von Eisenchlorid) in Kombination mit einer gemusterten Maske erzeugt werden. Jede Spur 8 hat eine Breite in der gleichen Ebene von etwa 450 m und eine Tiefe von etwa 40 m.
Die Vertiefungen 8 werden mit einer geeigneten nassen Farbe, wie beispielsweise OMNISHIELD PRIMER XP-8981-1 (SHIPLEY), BAYPRINT (BAYER) oder SENSUL (SENSY) gefüllt. Diese Farben enthalten ein Palladiumkomplex, wodurch sie sich für eine katalytische stromlose Metallisierung eignen. Die Vertiefungen 8 können dadurch gefüllt werden, dass über die Oberfläche P unter Verwendung einer Rakel Farbe gestrichen wird. In dem in Fig. 2 dargestellten, speziellen Fall, in dem die Vertiefungen 8 Reihen von Spuren aufweisen, die wechselweise parallel oder senkrecht zueinander stehen, erfolgt ein derartiges Rechen am besten in einer Richtung, die mit der Richtung D einen Winkel von etwa 30-60 einschließt.
Wenn die Rolle 2 über die Oberfläche P in der Richtung D (mit einer Geschwindigkeit in der Größenordnung von beispielsweise 1-5 cm/s) gerollt wird, haftet sich Farbe aus den Vertiefungen 8 an der Oberfläche So der Rolle. Wenn der Umfang der Oberfläche So ( = 2 ro) gröber ist als die externe Musterlänge de (in der Richtung D), dann wird das Muster auf der Rollenoberfläche So, ohne Überlappung mit Farbe versehen.
Fig. 3 zeigt einen nachfolgenden Prozessschritt, durchgeführt während die Farbe auf der Rollenoberfläche So, noch nass ist. Die Oberfläche So, wird mit der Innenfläche Si des Körpers 3 in Kontakt gebracht, und zwar derart, dass die Zylinderachsen der Rolle 2 und des Körpers 3 sich parallel zu einander erstrecken. Dieser Kontakt erfolgt an einer vorselektierten Stelle auf der Oberfläche Si und die Rolle wird ebenfalls derart vorgerollt, dass das nassfarbige Muster auf der Oberfläche So, die gewünschte Startlage gegenüber der Oberfläche Si hat. Wenn einmal der Kontakt hergestellt ist, wird die Rolle 2 über die Oberfläche Si gerollt (in nur einer Richtung und in einer einzigen Umdrehung), so dass das nassfarbige Muster von der Oberfläche So auf die Oberfläche Si an der gewünschten Stelle übertragen wird.
In diesem Fall ist es die Absicht, dass das auf die Oberfläche Si übertragene Muster derart ist, dass innerhalb der Hülse 3 der ineinander passende Schleifensatz 10a diametral gegenüber dem ineinander passenden Schleifensatz I Ob liegt. Anhand der Fig. 2 soll der Abstand dc (parallel zu der Richtung D) zwischen den betreffenden Mitten der Sätze 10a und 10b gleich der Hälfte des Umfangs der Oberfläche Si sein, d. h. d = ri .
Fig. 4 zeigt teilweise die gewünschte Musterkonfiguration auf der Innenfläche Si der Hülse 3. Einer der Schleifensätze 10a' ist (teilweise) in der Figur sichtbar. Der andere Schleifensatz 10b' liegt diametral gegenüber dem Satz 10a' aber wird hier durch die Wand der Hülse 3 abgedeckt.
Wenn das nassfarbige Muster einmal auf der Oberfläche Si angebracht ist, kann es getrocknet (ausgehärtet) werden, entweder thermisch oder unter Anwendung von UV-Strahlung. Danach wird das trockenfarbige Muster unter Anwendung einer stromlosen Prozedur metallisiert. Dazu wird die Hülse 3 in eine Bad getaucht (45 C), das CUPOSIT 251 flüssig (SHIPLEY) enthält, wobei es sich um ein wässeriges Gemisch von CuSO&sub4; (2 g/l), Formaldehyd (3 g/l), EDTA (35 g/l) und NaOH (7,5 g/l) handelt, zusammen mit einigen Stabilisatoren und anderen Additiven (die eingeklammerten Zahlen sind ungefähre Konzentrationen). Das Ergebnis einer derartigen Eintauchung ist, dass die trockne Farbe auf der Oberfläche Si mit Cu metallisiert wird, während Teile der Oberfläche Si außerhalb des trockenfarbigen Musters nicht metallisiert werden. Typischerweise findet Metallisierung mit einer rate von etwa 3-4 min der Stunde statt.
Nach der Metallisierung bis zu einer Dicke von etwa 35 m kann die Hülse 3 aus dem Metallisierungsbad entfernt, gespült und getrocknet werden. Das Ergebnis ist der in Fig. 4 dargestellte SVM 1. In vielen Versuchsläufen haben die Erfinder feststellen können, dass ein derartiger SVM zu einem wesentlich geringeren Gestehungspreis hergestellt werden kann als die SVMs, die unter Anwendung bisheriger Techniken hergestellt worden sind.

Ausführungsform 2

Bei einer Ausführungsform, die sonst der Ausführungsform 1 entspricht, wird die Rolle 2 durch eine Rolle mit einer Oberfläche So ersetzt, die entsprechend dem Muster von Vertiefungen 8 aus Fig. 2 eingeprägt ist. Die Höhe der Einprägungen auf einer derartigen Rolle 2 braucht nur von der Größenordnung von 50 m zu sein.
Eine geprägte Rolle 2 dieser Art kann beispielsweise dadurch hergestellt werden, dass die Prozessplatte 6 aus Fig. 2 in eine zylinderförmige Trommel eingerollt wird (mit den Vertiefungen 8 auf der Innenseite) und dass danach diese Trommel als Spritzform für eine Spritzgussprozedur benutzt wird.
Die geprägte Oberfläche So einer derartigen Rolle kann beispielsweise dadurch mit Farbe versehen werden, dass die Rolle über ein mit Farbe imprägniertes Filzkissen oder über eine Platte (Metall oder Kunststoff) gerollt wird, die mit einer dünnen Farbschicht versehen ist.

Claims

1. Verfahren zur selektiven Metallisierung einer elektrisch isolierenden Innenfläche (S.) eines offenen Körpers (3), dadurch gekennzeichnet, dass dieses Verfahren die nachfolgenden Verfahrensschritte umfasst:

(a) das Schaffen einer Rolle (2) mit einer nachgiebigen Außenfläche (So);

(b) das Anbringen einer Schicht einer geeigneten nassen Farbe auf der genannten Außenoberfläche (So) entsprechend einem bestimmten Muster (10a, 10b);

(c) dafür sorgen, dass die Rolle über die Innenoberfläche (Si) rollt zum Auftragen einer gemusterten Schicht (10a', 10b') aus nasser Farbe von der Außenoberfläche (So) auf die Innenoberfläche (S.);

(d) die Möglichkeit bieten, dass die gemusterte Schicht aus nasser Farbe auf der Innenoberfläche (S.) sich trocknet;

(e) das selektive Ablagern metallischen Materials auf der auf diese Art und Weise erhaltenen gemusterten Schicht trockner Farbe.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Farbe einen Katalysator aufweist, der die stromlose Ablagerung von Metallen fördert, und dass der Schritt (e) unter Anwendung einer stromlosen Prozedur durchgeführt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Farbe elektrisch leitend ist und dass der Schritt (e) durchgeführt wird unter Anwendung einer galvanischen Prozedur.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-3, dadurch gekennzeichnet, dass die genannte nachgiebige Außenfläche (So) der Rolle aus Gummi besteht.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Außenfläche (So) der Rolle im Wesentlichen glatt und einheitlich ist und dass der Schritt (b) dadurch durchgeführt wird, dass die Außenfläche (So) über eine Oberfläche (P) einer Prozessplatte (6) gerollt wird, wobei die Oberfläche (P) örtliche Vertiefungen (8) aufweist, die nasse Farbe enthalten und entsprechend dem genannten Muster vorgesehen und geformt sind.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Außenfläche (So) der Rolle entsprechend dem genannten Muster geprägt ist, und dass der Schritt (b) dadurch durchgeführt wird, dass die Oberfläche (So) über ein mit nasser Farbe imprägniertes Kissen oder über eine Platte gerollt wird, die mit einer nassen Farbschicht versehen ist.

7. Abtastgeschwindigkeitsmodulator mit einem hohlen, im Wesentlichen zylinderförmigen elektrisch isolierenden Gehäuse mit einer inneren zylinderförmigen Oberfläche, die einen gemusterten Satz metallischer Schleifen aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass der gemusterte Satz metallischer Schleifen ohne Hinzufügung einer Zwischenfolie unmittelbar auf der inneren Oberfläche des Gehäuses vorgesehen ist.