DE69629756T2 - Laserbearbeitung von Materialen aus Glaskeramik - Google Patents

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Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Glaskeramikkuppel gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1. Ein solches Verfahren ist aus der US-A-4,304,603 bekannt.
  • Glaskeramikmaterialien sind eine gut bekannte Klasse von Hybridwerkstoffen, welche in einer Vielfalt von Anwendungen eingesetzt werden. Die Glaskeramikwerkstoffe sind bei erhöhten. Temperaturen fest, sind hart und gegen Erosion widerstandsfähig, haben gute Widerstandsfähigkeit gegen thermischen Schock und sind gegen die Ausbreitung von Sprüngen oder Brüchen resistent. Sie zeigen auch gute Übertragungseigenschaften für elektromagnetische Wellen, was von besonderer Wichtigkeit bei ihrer Verwendung im Kuppeln für Raketen und für andere Anwendungsfälle in schnell fliegenden Fahrzeugen ist.
  • Glaskeramikwerkstoffe werden in brauchbare Gegenstände geformt, indem zuerst das Glaskeramikmaterial bei erhöhter Temperatur in eine Form gegossen wird. Das gegossene Material, welches fakultativ wärmebehandelt werden kann, wird als Rohling bezeichnet. Für viele Anwendungsfälle wird der Rohling danach bearbeitet, um seine Oberflächenschichten zu entfernen. Wenn der fertige Gegenstand eine Kuppel oder eine andere Struktur ist, welche mit hoher Geschwindigkeit strömender Luft ausgesetzt wird, dann muß die nach außen weisende Oberfläche sehr glatt und präzise geformt sein.
  • Im allgemeinen konisch geformte Kuppeln für Anwendungen bei hoher Geschwindigkeit sind seit über 30 Jahren aus Glaskeramikmaterialien gefertigt worden. Während dieser Zeit wurden gut durchdachte Bearbeitungstechniken entwickelt, um insgesamt etwa 0,100 Zoll (0,254 cm) von der inneren Oberfläche und der äußeren Oberfläche des Kuppelrohlings zu entfernen, um den präzise geformten fertigen Artikel zu erzeugen. Diese Bearbeitungstechniken basierten auf einer Materialabtragung durch mechanisches Schleifen der Oberflächen. In einem typischen Falle wird das Schleifen unter Verwendung eines Karborund- oder Diamant-Schleifrades durchgeführt, um etwa 0,005 Zoll (0,013 cm) je Durchlauf mit einer Zustellrate zu entfernen, welche zu einem Materialabtrag je Minute von etwa 0,8 cm3 führt.
  • Das Bearbeiten des Glaskeramikrohlings durch Schleifen ist verhältnismäßig langsam, erfordert eine Kühlung des Werkstückes und ist arbeitsintensiv. Während diese Lösung gangbar ist, besteht ein Bedarf an einer Verbesserung der Wirtschaftlichkeit des Verfahrens durch Vermindern der Arbeitszeit und der Kosten zur Erzeugung von Glaskeramikgegenständen, beispielsweise Kuppeln. Die vorliegende Erfindung genügt diesem Bedarf und bietet weitere zugehörige Vorteile.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung schafft ein Verfahren zur Herstellung von Glaskeramikkuppeln gemäß dem Anspruch 1.
  • Das Verfahren ergibt Artikel guter Qualität zu einem Preis von etwa der Hälfte desjenigen der herkömmlichen Schleiftechnik. Das Verfahren ist berührungsfrei, erfordert keine Kühlung des Werkstückes und ist nicht arbeitsintensiv.
  • Gemäß der Erfindung umfaßt ein Verfahren zur Herstellung einer Glaskeramikkuppel das Bereitstellen eines Kuppelrohlings, der aus Glaskeramikmaterial hergestellt ist und eine Längsachse aufweist. Eine Schicht des Glaskeramikmaterials wird von einer Grobbearbeitungsoberfläche der Kuppel aus unter Verwendung eines Hochleistungslasers grob bearbeitet, während der Rohling um seine Längsachse gedreht wird, wobei ein Einwirkpunkt des Laserstrahls sich längs des Kuppelrohlings im wesentlichen parallel zu dessen Längsachse bewegt. Die Grobbearbeitungsoberfläche kann sowohl die Innenoberfläche als auch die Außenoberfläche des Kuppelrohlings sein. Nach der Grobbearbeitung wird das Glaskeramikmaterial von der Grobbearbeitungsoberfläche aus durch eine Feinbearbeitungstechnik fein bearbeitet, vorzugsweise durch mechanisches Schleifen oder Abschleifen von mindestens 0,002 Zoll (0,005 cm) des Materials von der grob bearbeiteten Oberfläche weg.
  • Der Laser ist vorzugsweise ein Nd : YAG-Laser, der mit einer Ausgangswellenlänge von 1,06 μm arbeitet. Der Laser kann im Dauerstrichmodus vorzugsweise bei einem durchschnittlichen Leistungspegel von etwa 500 bis etwa 2000 Watt arbeiten. Der Laser kann auch im Impulswellenmodus arbeiten, vorzugsweise mit einem Rechteckwellenimpuls mit einer Impulsdauer von etwa 0,3 bis etwa 3 Millisekunden, einer Impulsfrequenz von etwa 50 bis etwa 500 Impulsen je Sekunde und einer Impulsintensität von mindestens etwa 3 × 104 Watt je Quadratzentimeter. Der Laser kann Material mit Schnitt-Tiefen von etwa 0,020 Zoll (0,051 cm) bis etwa 0,100 Zoll (0,254 cm) entfernen, was die Entfernung von 0,100 Zoll (0,254 cm) von Material insgesamt in 1–5 Schnitten ermöglicht. Mehr als 1 cm3 von Glaskeramikmaterial je Minute kann durch diese Technik entfernt werden.
  • Die Laserbearbeitungstechnik kann für bestimmte Glaskeramikartikel eingesetzt werden, ohne daß eine weitere Bearbeitung notwendig ist. Im Fall von Kuppeln jedoch hinterläßt die Laserbearbeitung eine vom Laser angegriffene Oberflächenschicht, welche durch einen Feinbearbeitungsvorgang entfernt wird. Die Endbearbeitung oder Feinbearbeitung wird vorzugsweise durch Abschleifen von mindestens etwa 0,002 Zoll (0,005 cm) von der laserbearbeiteten rauhen Oberfläche durchgeführt.
  • Die gegenwärtig bevorzugte Lösung der Laserbearbeitung unter optimaler Steuerung der Laserbearbeitungsparameter resultiert in einer Wirtschaftlichkeit des Verfahrens, welche gegenüber derjenigen der herkömmlichen Lösung verbessert ist, während ein akzeptabler fertiger Artikel erzeugt werden kann. Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden detaillierteren Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform in Verbindung mit den begleitenden Zeichnungen, in welchen die Grundsätze der Erfindung beispielsweise dargestellt sind.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist eine Schnittansicht eines Teiles eines Rohlings für eine Glaskeramik-Raketenkuppel;
  • 2 ist die Ansicht einer Mikrostruktur des Glaskeramikmaterials, welches in dem Kuppelrohling von 1 verwendet wird, im Bereich 2-2;
  • 3 ist ein Blocksymbole enthaltendes Diagramm eines Verfahrens zur Herstellung der Kuppel;
  • 4 ist eine schematische Darstellung der Laser-Grobbearbeitung einer Außenoberfläche des Kuppelrohlings;
  • 5 ist eine schematische Darstellung der Laser-Grobbearbeitung einer Innenoberfläche des Kuppelrohlings;
  • 6 ist eine schematische vergrößerte Schnittansicht der Oberflächenbereiche eines laserbearbeiteten Glaskeramik-Kuppelrohlings;
  • 7 ist eine schematische Darstellung der Endbearbeitung oder Feinbearbeitung durch Schleifen der Außenoberfläche des Kuppelrohlings;
  • 8 ist ein Diagramm der Materialentfernung als Funktion der Laserenergiedichte, wobei auch die Materialabtragsraten angezeigt sind; und
  • 9 ist eine graphische Darstellung der Schnitt-Tiefe als Funktion der Laserenergiedichte für drei Arten von Nd : YAG-Lasern.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • 1 zeigt einen Glaskeramikgegenstand, im vorliegenden Falle bevorzugtermaßen einen Kuppelrohling 20. Der Kuppelrohling 20 ist aus Glaskeramikmaterial, beispielsweise PyroceramTM gegossen, das durch Firma Corning Glass hergestellt wird. Ein Glaskeramikmaterial ist eine bestimmte Art von Material, welche ein Hybrid von keramischen und glasartigen Phasen ist, jedoch in seiner Zusammensetzung, Struktur und im Verhalten sowohl von reiner Keramik als auch von reinem Glas verschieden ist. 2 zeigt die idealisierte Mikrostruktur eines typischen Glaskeramikmaterials 22. Das Glaskeramikmaterial enthält Körner 24 von kristalliner Phase und Bereiche 26 einer amorphen Phase. Die kristallinen Körper 24 machen typischerweise etwa 90 Vol.-% des Materials 22 aus, während die amorphen Bereiche 26 den Rest bilden. Das Glaskeramikmaterial 26 hat eine Zusammensetzung, das einen Glasbildner, beispielsweise ein Silikat, enthält und typischerweise ein modifiziertes MgAl-Silikat ist. Das bevorzugte Material PyroceramTM 9606 hat eine Zusammensetzung in Gewichtsprozenten von 56% SiO2, 20 Gewichtsprozenten Al2O3, 15% MgO und 9% TiO. Wenn das Glaskeramikmaterial verdampft, wird typischerweise wenig, wenn überhaupt irgendeine gasförmige Phase erzeugt, welche ein Plasma über dem festen Stoff bildet. Der Kuppelrohling 20 ist annähernd zylindersymmetrisch um eine Längsachse 28. Eine Außenoberfläche 30 des als Gußteil vorliegenden Kuppelrohlings 20 hat im wesentlichen eine gute Oberflächenglätte, Gestalt und Symmetrie, typischerweise aber nicht die Vollkommenheit, die für eine aerodynamisch vorausfliegende Spitze und die Außenoberfläche der fertigen Kuppel erforderlich ist. Eine Innenoberfläche 32 des Kuppelrohlings 20 hat im wesentlichen gute Gestalt und Symmetrie, jedoch auch nicht die Vollkommenheit, die für die Innenoberfläche der fertigen Kuppel benötigt wird. Die Außenoberfläche 30 und die Innenoberfläche 32 können auch Bereiche von unregelmäßig strukturiertem Glaskeramikmaterial enthalten, welche von dem Gießvorgang herrühren. Ein Radar- Sender/-Empfänger wird durch die fertige Kuppel umschlossen, welche auf die Nase der Rakete gesetzt wird. Die fertigen Innen- und Außenoberflächen der Kuppel sowie ihre Materialzusammensetzung und Struktur, müssen in hohem Maße vollkommen sein, um ein verzerrungsfreies Aussenden und Empfangen von Radarsignalen zu ermöglichen und um ein aerodynamisch annehmbares Verhalten bezüglich der Außenoberfläche zu gewährleisten. Um den erforderlichen Grad von Vollkommenheit zu erreichen, ist es übliche Praxis, eine äußere Oberflächenschicht 34 und eine innere Oberflächenschicht 36, jeweils etwa 0,100 Zoll (0,254 cm) dick, während der Herstellung zu entfernen. Die bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung betrifft die Entfernung dieser oberflächlichen Schichten 34 und 36.
  • 3 zeigt ein bevorzugtes Verfahren für die entsprechenden Bearbeitungsvorgänge bei der Herstellung. Ein Rohling des Gegenstandes wird bereitgestellt (Bezugszahl 40), welcher aus Glaskeramikmaterial gefertigt ist. Im bevorzugten Falle ist der Rohling des Gegenstandes der Kuppelrohling 20 von 1.
  • Es wird ein Hochleistungslaser bereitgestellt (Bezugszahl 42). Der Laser arbeitet vorzugsweise mit kohärentem Lichtausfall von 1,06 μm und ist, besonders bevorzugt, ein Nd : YAG-Laser. (Diese Bezeichnung der Laserart folgt Vereinbarungen des Industriestandards. Ein "Nd : YAG"-Laser ist ein solcher, der mit einem Feststoff-Laserelement aus Yttrium-Aluminium-Granat gebildet ist, das mit Neodym (Nd) dotiert ist.) Während der Entwicklung der vorliegenden Erfindung sind verschiedene Laser eingesetzt worden, wobei der Nd : YAG-Laser, der bei 1,06 μm arbeitet, sich als derjenige herausgestellt hat, der die besten Ergebnisse bei den hohen Leistungspegeln liefert, die für eine wirtschaftliche Laserbearbeitung dieser Glaskeramikarten erforderlich sind.
  • Der Laser wird gemäß einer Gruppe von Betriebsparametern betätigt. Der Laser kann ein Dauerstrichlaser (CW-Laser) oder ein gepulster Laser sein. In jedem Falle ist die Energie, die auf die zu bearbeitende Oberfläche hin abgegeben wird, mindestens etwa 1850 Joule je Quadratzentimeter. Wenn ein Dauerstrichlaser verwendet wird, dann liegt die mittlere Leistung des Lasers im Bereich von etwa 500 bis etwa 2000 Watt.
  • Wenn ein gepulster Laser verwendet wird, dann ist der Impuls vorzugsweise ein Rechteckwellenimpuls mit einer Impulsdauer von etwa 0,3 bis etwa 3 Millisekunden, einer Impulsfrequenz von etwa 50 bis etwa 100 Impulsen je Sekunde und einer Laser-Impulsintensität von mindestens etwa 3 × 104 Watt je Quadratzentimeter. Der Rechteckwellenimpuls ist zu bevorzugen, um einen langgestreckten Nachlaufbereich des Impulses zu vermeiden, von dem festgestellt wurde, daß er in einer zu starken unerwünschten Oberflächenaufschmelzung resultiert. Die Impulsdauer von etwa 0,3 bis etwa 3 Millisekunden gestattet es, daß ein hoher Leistungspegel zu der zu bearbeitenden Oberfläche hin abgegeben wird und stellt eine wichtige Unterscheidung zwischen bestimmten Techniken für die Laserbearbeitung von Keramik (im Unterschied zur Glaskeramik) dar. Beispielsweise lehrt das US-Patent 5,138,130, daß Keramiken, welche flüchtige Bestandteile enthalten, die verdampfen, um ein Plasma zu erzeugen, mit einem gütegeschalteten Laser oder Excimer-Laser bearbeitet werden müssen, welcher Impulse bedeutend geringerer Dauer im Mikrosekundenbereich oder Nanosekundenbereich hat, wodurch die Leistung, die auf die zu bearbeitende Oberfläche abgegeben wird, beschränkt wird.
  • Der Laser und der Rohling des Gegenstandes werden relativ zueinander bewegt (siehe Bezugszahl 44). Die Art und Weise der Erzeugung einer Relativbewegung hängt von der Art des Rohlings des Gegenstandes ab. Die 4 und 5 zeigen die bevorzugte Handhabung für einen Laser 60 und den Kuppelrohling 20, wobei 4 sich auf die Bearbeitung der Außenoberfläche 30 bezieht und 5 sich auf die Bearbeitung der Innenoberfläche 32 bezieht. In jedem Falle wird der Kuppelrohling, welcher mindestens annähernd konische Gestalt und Symmetrie hat, um seine Längsachse 28 gedreht und wird gleichzeitig parallel zu der Längsachse 28 durch einen Support und eine Einspannung (nicht dargestellt) bewegt. Für die äußere Bearbeitung gemäß 4 wird der Laser 60 so positioniert, daß ein Laserstrahl 62, der durch den Laser 60 erzeugt wird, annähernd senkrecht auf die Außenoberfläche 30 trifft. Der Laser 60 ist von der Außenoberfläche 30 über einen Abstand entfernt, der durch die Brennweite der Laseroptik bestimmt wird, welche bei einer von den Erfindern verwendeten bevorzugten Ausführungsform etwa 4,5 Zoll (11,4 cm) war. Der Laser 60 ist auf einem Schlitten (nicht dargestellt) montiert, der es gestattet, daß er relativ zu der Außenoberfläche 30 nach einwärts und nach auswärts bewegt werden kann, um den gewünschten Abstand aufrecht zu erhalten. Im Falle der Laserbearbeitung der Innenoberfläche 32 ist ein Laser 64 außerhalb des Innenraumes des Kuppelrohlings 20 aufgestellt und die Energie des Lasers wird auf die Innenseite des Kuppelrohlings 20 durch eine Reihe von Spiegeln und Linsen, oder, wie dargestelt, eine Lichtleitung oder ein optisches Faserbündel 66 übertragen, das an einem (nicht dargestellten) Support abgestützt ist, der es ermöglicht, daß das Faserbündel 66 an die gewünschte Stelle in der Nachbarschaft zur Innenoberfläche 32 bewegt wird. Die Energie wird vorzugsweise senkrecht auf die Innenoberfläche 32 gerichtet. Es ist wünschenswert, wenn die Bewegungen des Supports des Kuppelrohlings und der Laser-Supportschlitten durch einen nicht dargestellten Steuermechanismus koordiniert werden, um eine steuerbare Zustellrate für die Laserbearbeitung aufrecht zu erhalten.
  • Der Kuppelrohling 20 wird unter Verwendung des Lasers einer Grobbearbeitung unterzogen (Bezugszahl 46). Die Zustellrate des Kuppelrohlings 20 beträgt vorzugsweise etwa 100 Zoll je Minute (0,042 m/s) bis etwa 800 Zoll je Minute (0,339 m/s). Die Tiefe des Laserschnittes, also die Materialtiefe, die bei jedem Durchgang entfernt wird, beträgt vorzugsweise etwa 0,020 Zoll (0,051 cm) bis etwa 0,100 Zoll (0,25 cm). Der Laserstrahl bewegt sich längs der zu bearbeitenden Oberfläche in einem spiraligen Muster, wobei die Vorschubrate den Grad der Überlappung benachbarter Durchläufe bestimmt.
  • 6 zeigt schematisch das Glaskeramikmaterial nahe seiner Oberfläche 68 nach der Laser-Grobbearbeitung. Die Oberfläche 68 zeigt eine gewissen Oberflächenrauhigkeit. Zusätzlich findet sich an der Oberfläche 68 ein modifizierter Bereich 70. Der Bereich 70 ist in zwei Weisen modifiziert. Zum einen zeigt ein Teil des Bereiches einen höheren Anteil von amorphem glasigem Material als üblicherweise anzutreffen. Zum anderen findet sich in dem Bereich 70 eine chemische Änderung.
  • Der Bereich 70 hat typischerweise eine Dicke von etwa 0,002 Zoll (0,005 cm) und wird in einem Endbearbeitungsschritt oder Feinbearbeitungsschritt 48 vorzugsweise entfernt. Insbesondere wird die Oberfläche der Kuppel zur Herstellung einer aerodynamischen Glattheit durch Entfernen von etwas mehr Material, wie bei 72 angedeutet, in der Größenordnung von etwa 0,010 Zoll (0,025 cm) in dem Endbearbeitungsschritt bearbeitet.
  • Die Endbearbeitung 48 geschieht durch eine Technik, welche von der Hochleistungs-Laserbearbeitung verschieden ist, wie sie für den Grobbearbeitungsschritt 46 eingesetzt wird. Vorzugsweise geschieht die Endbearbeitung des Kuppelrohlings 20 durch Schleifen unter Verwendung eines Karborund- oder Diamant-Schleifrades 74, das durch einen Motor 76 angetrieben wird. Bei der. Endbearbeitung wird der Kuppelrohling um die Längsachse 28 gedreht und parallel zur Längsachse 28 verschoben und das Schleifrad und der Motor werden so verschoben, daß die gewünschte Positionierung relativ zu dem Kuppelrohling aufrechterhalten wird. Die Entfernung von Material durch Schleifen in diesem Endbearbeitungsschritt geht schnell vor sich, da sehr wenig Material entfernt wird, und führt zu einer aerodynamisch glatten Oberfläche mit derselben Struktur und Zusammensetzung, wie sie das Glaskeramikmaterial innerhalb der Kuppel aufweist.
  • Die vorliegende Erfindung wurde mit einer Kuppel in die Praxis umgesetzt, wie sie an Standardraketen und Prüfproben verwendet wird. 8 zeigt die Materialabtragung in Kubikzentimetern als Funktion der Energiedichte des Laserstrahls von einem Lumonics MW2000-Multiwave-Laser von 2 kW. 9 ist ein Diagramm der Schnitt-Tiefe in Zoll (1 Zoll = 2,54 cm) als Funktion der Energiedichte für drei unterschiedliche Laserarten, welche zur Bearbeitung des Glaskeramikmaterials verwendet wurden, nämlich der Lumonics MW2000-Multiwave-Laser von 2 kW (mwave), ein Lumonics JK704-Laser von 400 W (lumo), und ein Raytheon-Laser von 400 W von EB Tech (EB). Die Daten sind im wesentlichen linear abhängig von der Energiedichte, unabhängig von der Verwendung der drei Arten von Lasern.
  • Chemische Untersuchungen der bearbeiteten Oberfläche des Pyroceram-Glaskeramikmaterials wurden durch EDS durchgeführt. Der modifizierte Bereich 70, der durch die Grobbearbeitung 46 erzeugt wurde, zeigte eine Anreicherung von Al, Mg und Ti relativ zu dem Ausgangs-Glaskeramikmaterial. Nach einem Materialabtrag von etwa 0,02 Zoll (0,005 cm) entsprechend dem Endbearbeitungsschritt 48 war jedoch die Oberflächenzusammensetzung im wesentlichen dieselbe wie diejenige des Ausgangs-Glaskeramikmaterials.
  • Für die Verwendung bei Kuppeln darf die Laserbearbeitung nicht die dielektrischen Eigenschaften des Glaskeramikmaterials nachteilig beeinflussen, was wiederum die Eignung bei Radareinsatz nachteilig beeinflussen würde. Um die dielektrischen Eigenschaften zu bestimmen wurden zwei Stücke aus Pyroceram-Glasmaterial, jedes etwa 1 Zoll × 2 Zoll × 0,250 Zoll (2,54 cm × 5,08 cm × 0,635 cm) auf einer breiten Fläche laserbearbeitet. Die Proben wurden von den Stücken nahe des laserbearbeiteten Randes und nahe der Mitte als Vergleichsproben ausgeschnitten, wo sie nicht durch die Laserbearbeitung beeinflußt waren. Die Proben wurden in einer X-Band-Übertragungsleitung und in einem Resonanzhohlraum entweder bei 8,28 GHz oder 7,6 GHz untersucht. Die folgende Tabelle faßt die Ergebnisse der Resonanzhohlraumprüfung für die Dielektrizitätskonstante (ε) und den Verlustwinkel (tan δ) zusammen, wobei diejenigen Ergebnisse, welche nicht mit einem Stern bezeichnet sind, die Prüfung bei 8,28 GHz wiedergeben, und diejenigen, welche mit einem Stern (*) versehen sind, die Prüfergebnisse bei 7,6 GHz wiedergeben.
  • Tabelle I
    Figure 00110001
  • Die Ergebnisse für Proben, welche nahe des laserbeeinflußten Randes genommen worden waren, sind mit denjenigen für Proben nahe den Mitten vergleichbar.

Claims (11)

  1. Verfahren zur Herstellung einer Glaskeramikkuppel, welches einen Schritt der Bereitstellung eines Kuppelrohlings umfaßt, der aus Glaskeramikmaterial gefertigt ist, eine Längsachse und weiter eine Innenoberfläche und eine Außenoberfläche aufweist; dadurch gekennzeichnet, daß es weiter folgende Schritte umfaßt: Bereitstellen eines Hochleistungslasers (60, 64), welcher eine Gruppe von Betriebsparametern verwendet; Rotierenlassen des Kuppelrohlings (20) um die Längsachse mit einer Drehgeschwindigkeit, welche einer Zuführungsgeschwindigkeit entspricht; Grobbearbeiten einer Grobschnittschicht des glaskeramischen Materials von einer Grobbearbeitungsoberfläche der Kuppel unter Verwendung des Hochleistungslasers (60, 64) gleichzeitig mit dem Schritt des Rotierenlassens und mit einem Einwirkpunkt eines Laserstrahls von dem Hochleistungslaser, der längs des Kuppelrohlings im allgemeinen parallel zur Längsachse des Kuppelrohlings wandert, wobei die Grobbearbeitungsoberfläche aus der Gruppe gewählt ist, die aus der inneren Oberfläche und aus der äußeren Oberfläche des Kuppelrohlings besteht, wobei die Zuführungsgeschwindigkeit und die Gruppe von Betriebsparametern des Hochleistungslasers eine Materialabtragsgeschwindigkeit während des Schrittes der Grobbearbeitung bewirken; und Feinbearbeiten des Glaskeramikmaterials von der Grobbearbeitungsoberfläche durch eine Feinbearbeitungstechnik.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem der Schritt der Bereitstellung eines Kuppelrohlings den Schritt des Bereitstellens eines solchen Kuppelrohlings (20), welcher aus Glaskeramikmaterial gefertigt ist, enthält, welches eine Mikrostruktur aufweist, die eine Mischung von Keramikkristallen in einer Glasmatrix enthält.
  3. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem der Schritt des Bereitstellens eines Kuppelrohlings den Schritt des Bereitstellens eines solchen Kuppelrohlings (20) umfaßt, der aus einer modifizierten MgAl-Silikat-Zusammensetzung gebildet ist.
  4. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem der Schritt des Bereitstellens eines Lasers den Schritt der Bereitstellung eines bei etwa 1,06 μm Wellenlänge arbeitenden Lasers enthält.
  5. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem der Schritt des Bereitstellens eines Lasers den Schritt des Bereitstellens eines Nd : YAG-Lasers enthält, der in einem Dauerstrichmodus arbeitet.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, bei welchem der Schritt des Bereitstellens eines Lasers den Schritt des Betreibens des Nd : YAG-Lasers bei einem durchschnittlichem Leistungsniveau von etwa 500 bis etwa 2000 Watt umfaßt.
  7. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem der Schritt der Bereitstellung eines Lasers den Schritt des Bereitstellens eines Nd : YAG-Lasers (60, 64) enthält, der in einem Impulswellenmodus mit einer Impulsdauer von etwa 0,3 bis etwa 3 ms, einer Impulsfrequenz von etwa 50 bis etwa 500 Impulsen je Sekunde und einer Impulsintensität von mindestens etwa 3 × 104 Watt je Quadratzentimeter arbeitet.
  8. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem der Schritt des Bereitstellens eines Lasers den Schritt des Bereitstellens eines Lasers (60, 64) umfaßt, der im gepulsten Wellenmodus mit Rechteckwellen-Impulsform arbeitet.
  9. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem der Schritt des Grobbearbeitens den Schritt der Grobbearbeitung der Glaskeramikschicht mit einer Materialabtragungsgeschwindigkeit von mindestens etwa 1 cm3/min enthält.
  10. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem der Schritt des Grobbearbeitens den Schritt einer Grobbearbeitung der Schruppschnittschicht bis auf eine Tiefe von etwa 0,020 Zoll (0,051 cm) bis etwa 0,100 Zoll (0,254 cm) in einem einzigen Durchgang umfaßt.
  11. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem der Schritt der Feinbearbeitung den Schritt des mechanischen Schleifens einer Feinbearbeitungsschicht mindestens auf etwa 0,002 Zoll (0,005 cm) Dicke des Glaskeramikmaterials von der Grobbearbeitungsschicht enthält.
DE69629756T 1995-06-07 1996-05-22 Laserbearbeitung von Materialen aus Glaskeramik Expired - Lifetime DE69629756T2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/487,366 US5665134A (en) 1995-06-07 1995-06-07 Laser machining of glass-ceramic materials
US487366 1995-06-07

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE112012003796B4 (de) 2011-12-14 2018-03-01 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Bearbeitungsdatenerzeugungsverfahren für kombinierte Ultrapräzisionsbearbeitungsvorrichtung und kombinierte Ultrapräzisionsbearbeitungsvorrichtung

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19833367C2 (de) * 1998-07-24 2000-11-16 Schott Glas Verfahren zur Präzisionsstrukturierung von Oberflächen sprödbrüchiger Werkstoffe
AU2002327193B2 (en) * 2001-07-02 2007-08-09 Virtek Laser Systems, Inc Method of ablating an opening in a hard, non-metallic substrate
US7767928B2 (en) * 2001-09-05 2010-08-03 Lasertec Gmbh Depth measurement and depth control or automatic depth control for a hollow to be produced by a laser processing device
WO2003076150A1 (fr) * 2002-03-12 2003-09-18 Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. Procede et systeme d'usinage d'un materiau fragile
EP1967317A1 (de) * 2007-03-07 2008-09-10 Fujitsu Limited Verfahren zur Trennung eines Werkstücks und Laserbearbeitungsvorrichtung
US9346130B2 (en) * 2008-12-17 2016-05-24 Electro Scientific Industries, Inc. Method for laser processing glass with a chamfered edge
US20100252959A1 (en) * 2009-03-27 2010-10-07 Electro Scientific Industries, Inc. Method for improved brittle materials processing
US8706288B2 (en) * 2009-05-21 2014-04-22 Electro Scientific Industries, Inc. Apparatus and method for non-contact sensing of transparent articles
US8389889B2 (en) 2010-04-22 2013-03-05 Lawrence Livermore National Security, Llc Method and system for laser-based formation of micro-shapes in surfaces of optical elements
JP4891445B1 (ja) * 2011-03-17 2012-03-07 パナソニック電工株式会社 超精密複合加工装置および超精密複合加工方法
WO2012135294A2 (en) 2011-03-28 2012-10-04 Corning Incorporated Antimicrobial action of cu, cuo and cu2o nanoparticles on glass surfaces and durable coatings
RU2485064C2 (ru) * 2011-07-20 2013-06-20 Учреждение Российской академии наук Институт прикладной механики Уральского отделения РАН Способ и установка для лазерной обработки поверхности ситалла
CN104136967B (zh) 2012-02-28 2018-02-16 伊雷克托科学工业股份有限公司 用于分离增强玻璃的方法及装置及由该增强玻璃生产的物品
US10357850B2 (en) 2012-09-24 2019-07-23 Electro Scientific Industries, Inc. Method and apparatus for machining a workpiece
US9828278B2 (en) 2012-02-28 2017-11-28 Electro Scientific Industries, Inc. Method and apparatus for separation of strengthened glass and articles produced thereby
JP2015516352A (ja) 2012-02-29 2015-06-11 エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド 強化ガラスを加工するための方法及び装置並びにこれにより生成された製品
DE102016111438A1 (de) 2016-06-22 2017-12-28 Schott Ag Element aus Glaskeramik mit intrinsischer Dekoration und Verfahren zu dessen Erzeugung
CN106670551B (zh) * 2016-12-14 2018-11-09 东方电气集团东方汽轮机有限公司 磁性材料冲击试验用试样加工方法
CN114309953A (zh) * 2021-12-15 2022-04-12 微刻(北京)科技有限公司 一种深腔内表面功能结构的激光加工装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3940255A (en) * 1974-08-05 1976-02-24 Ferro Corporation Process for making cordierite glass-ceramic having nucleating agent and increased percent cordierite crystallinity
US4304603A (en) * 1980-08-11 1981-12-08 Corning Glass Works Glass-ceramic compositions designed for radomes
US4785161A (en) * 1986-07-21 1988-11-15 Control Data Corporation Laser machining for producing very small parts
US4806724A (en) * 1986-08-15 1989-02-21 Kawasaki Steel Corp. Laser beam machining device
DE3718323A1 (de) * 1987-06-01 1988-12-22 Siemens Ag Verfahren zur oberflaechenbearbeitung, zum schneiden und dgl. von koerpern aus oxidwerkstoff
CA2009514C (en) * 1990-02-07 1995-04-25 Mahmud U. Islam Laser rough and finish machining of hard materials
IL105925A (en) * 1992-06-22 1997-01-10 Martin Marietta Corp Ablative process for printed circuit board technology
US5395718A (en) * 1992-11-18 1995-03-07 The Boeing Company Conformal photolithographic method and mask for manufacturing parts with patterned curved surfaces

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE112012003796B4 (de) 2011-12-14 2018-03-01 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Bearbeitungsdatenerzeugungsverfahren für kombinierte Ultrapräzisionsbearbeitungsvorrichtung und kombinierte Ultrapräzisionsbearbeitungsvorrichtung
US10052726B2 (en) 2011-12-14 2018-08-21 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Method for creating machining data for use in hybrid ultraprecision machining device, and hybrid ultraprecision machining device

Also Published As

Publication number Publication date
NO962376L (no) 1996-12-09
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CA2176610C (en) 1999-04-20
DE69629756D1 (de) 2003-10-09
US5665134A (en) 1997-09-09
KR970001274A (ko) 1997-01-24
EP0747162B1 (de) 2003-09-03
AU692088B2 (en) 1998-05-28

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