DE69219247T2 - Paneel mit gerichtetem Luftauslass für Reinraumlüftungssysteme - Google Patents

Paneel mit gerichtetem Luftauslass für Reinraumlüftungssysteme

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Description

  • Diese Erfindung betrifft Diffusionsgeräte zum Reduzieren von Luftflußturbulenz und, genauer gesagt, für Diffusorkonsolen zur Verwendung mit Reinraumdeckenfilterplatten.
  • Zusatzlich zu dem Filtereffekt, bereitgestellt von Reinraumventilationssystemen, sind solche Systeme im allgemeinen dazu ausgestaltet, Turbulenz durch Liefern eines im allgemeinen laminaren Luftflußmusters zu reduzieren. In einem Reinraum mit laminarem Fluß fließt Luft typischerweise von der Decken zu dem Boden nach unten, so daß ein Kontaminationspartikel, wie er von einem Arbeiter verschüttet werden kann, direkt nach unten gezogen werden würde, um von einem Filter entfernt zu werden. Somit würde sich ein Partikel nicht mehr als ein paar Sekunden in dem Reinraum aufhalten. Wenn der Luftfluß turbulent ist, existieren Wirbel, die lokalisierte, nach oben gerichtete Luftflußströme erzeugen. Ein Kontaminationspartikel könnte in solch einem Wirbel für mehrere Minuten eingefangen werden. Demgemäß führt turbulenter Luftstrom im allgemeinen zu einer höheren Konzentration an Kontaminationen während einer gegebenen Zeit und erzeugt eine größere Wahrscheinlichkeit dafür, daß solche Kontaminationen sich auf empfindlichen Geräten oder Materialien absetzt.
  • Perforierte Diffusorkonsolen werden normalerweise in Reinraumdecken verwendet, um Turbulenz zu reduzieren und einen im allgemeinen laminaren Luftfluß zu liefern. Solche Diffusorkonsolen sind typischerweise unter an Decken angebrachten Filterelementen angeordnet, vorzugsweise mit zumindest einem kleinen
  • Zwischenraum dazwischen. Obwohl Luft das Filterelement mit ungleichmäßigen Drücken über das Element verlassen kann, erzeugt die Diffusorkonsole einen kleinen Gegendruck, der den Luftdruck in dem Raum oberhalb der Konsole ausgleicht. Die Luft tritt dann durch Perforationen hindurch in die Diffusorkonsole, wobei die Perforationen als Punktquellen agieren, die im allgemeinen gleiche Flußraten aufweisen. Obwohl Turbulenz unmittelbar unterhalb der Diffusorkonsole aufgrund des "Düseneffekts" der Perforationen auftritt, wird solch eine Turbulenz dissipiert. Typischerweise wird solch eine Turbulenz mit einem Abstand unterhalb der Diffusorkonsole vernachlässigbar, der einem Vielfachen des Durchmessers der Perforationen entspricht.
  • Jedoch sind Reinraumventilationssysteme, obwohl eine einzige Diffusorkonsole einen effektiven laminaren Luftfluß weg von Grenzen oder Hindernissen bereitstellen kann, typischerweise mit Mehrfachfilterelementen aufgebaut, die in einem Gittersystem angebracht sind, um modulares Herstellen und Zusammenbauen zu ermöglichen. In solch einem System ist jedes Filterelement von den benachbarten Filterelementen durch eine "Totzone" getrennt, die von einem Gitterstrukturelement eingenommen wird, erzeugend ein Hindernis für den Luftfluß mit einer entsprechenden Luftflußtotzone unmittelbar darunter. Als ein Resultat neigt Luft, die von der Peripherie eines Filterelements nach unten fließt, dazu, in die Lufttotzone gezogen zu werden und einen Turbulenzwirbel zu bilden, der einen nach oben gerichtet Luftfluß unterhalb des Gitterelements aufweist. Eine Faustregel sagt vorher, daß eine Turbulenzzone sich stromabwärts eines Hindernisses in einem Abstand erstreckt, der ungefähr viermal der Breite des Hindernisses entspricht. Somit kann die Turbulenz in typischen Systemen, die ein Rahmen- oder Gitterelement mit einer Breite von zwei bis drei Inch aufweisen, sich zwölf Inch unterhalb der Deckenoberfläche erstrecken, was die Reinraumfunktion erheblich beeinträchtigt.
  • Ein existierender Ansatz zum Reduzieren der Turbulenz zwischen Filterelement ist, eine V-förmige Wirbelwand unterhalb des Gitterelements auszubreiten. Solch eine Wirbelwand ist normalerweise in der Form einer "Tränentropfen"-Fluoreszenzbeleuchtungsamaturabdeckung und funktioniert wie die Flügelhinterkante eines Flugzeuges, erlaubend den laminaren Flußbereichen von Nachbarfilterelementen glatter mit reduzierter Turbulenz wieder zusammenzugehen. Dieser Ansatz reduziert typischerweise die Turbulenzzone bis zu innerhalb von ungefähr 7 Inch von der Deckenoberfläche, eine Verbesserung, jedoch immer noch problematisch. Zusätzlich haben die Tränentropfen-Beleuchtungsamaturen den Nachteil des weiteren Reduzierens einer Deckenhöhe, die typischerweise sehr gesucht ist aufgrund der erheblichen Führungen und Geräte, die oberhalb der Decke benötigt werden. Auch erzeugen solche Beleuchtungsamaturen ein Hindernis für modulare Sub-Unterteilungswände, die vorzugsweise direkt unterhalb der Deckenfläche ohne einen erheblichen Zwischenraum reichen. Weitere Anordnungen sind in JP-A- 62138635 und JP-A-60241212 beschrieben, die darauf zielen, den Totraum unterhalb von Filterstützgliedern in Reinräumen zu minimieren oder zu eliminieren.
  • Aus dem Vorangegangenen wird zu verstehen sein, daß es eine Nachfrage nach einer Luftdiffusorkonsole gibt, die diese Nachteile des Stands der Technik überwindet.
  • Demgemäß liefert ein Aspekt der gegenwärtigen Erfindung eine Luftdiffusorkonsole mit den Merkmalen von Anspruch 1.
  • Bei einem anderen Aspekt liefert die Erfindung ein Reinraumluftdiffusionssystem mit den Merkmalen für Anspruch 8.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt liefert die Erfindung ein Reinraumluftdiffusionssystem mit den Merkmalen von Anspruch 16.
  • Die gegenwärtige Erfindung bietet einen erhöhten oder gerichteten Luftfluß an der Peripherie von Diffusorkonsolen, um den Totraum unterhalb der Strukturelemente zu füllen und einen ausbalancierten Nettoluftfluß zu erzeugen, der im allgemeinen laminar innerhalb naher Näher zu der Deckenfläche wird.
  • Damit die gegenwärtige Erfindung einfacher verstanden werden kann, werden Ausführungsformen derselben nun, beispielhaft, mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben werden, wobei:
  • Figur 1 eine Seitenschnittansicht eines Reinraumsystems ist, das die gegenwärtige Erfindung verkörpert;
  • Figur 2 eine vergrößerte Seitenschnittansicht der Gitterelementverbindung zwischen benachbarten Filterelementen in dem System von Figur 1 ist, zeigend alternative Filter- und Diffusorkonfigurationen;
  • Figur 2a eine vergrößerte Fragmentansicht einer Diffusorkonsole von Figur 2 ist;
  • Figur 2b eine vergrößerte Fragmentansicht einer alternativen Diffusorkonsole von Figur 2 ist;
  • Figur 3 eine vergrößerte Seitenschnittansicht einer Gitterelementverbindung zwischen benachbarten Filterelementen in dem System von Figur 1 ist, zeigend zusätzliche alternative Filter- und Diffusorkonfigurationen;
  • Figur 4 eine vergrößerte Seitenschnittansicht einer Gitterelementverbindung zwischen benachbarten Filterelernenten in dem System von Figur 1 ist, zeigend weitere alternative Filter- und Diffusorkonfigurationen; und
  • Figur 5 eine vergrößerte Seitenschnittansicht einer Verbindung zwischen einem Filterelement und einer Diffusorkonsole gemäß einer Ausführungsform der gegenwärtigen Erfindung ist.
  • Figur 1 zeigt ein Reinraumsystem 10 zum Bereitstellen eines nicht kontaminierten, nach unten gerichteten laminaren Luftflusses in einer geschlossenen Kammer 12. Die Kammer enthält einen perforierten Boden 14 mit einem Unterraurn 16 unterhalb des Bodens 14. Ein Gebläse 20 bläst Luft durch eine Führung 22 in Wechselwirkung mit dem Unterraum 16 und treibt sie mit einem höheren Druck in ein Plenum 26 oberhalb der Kammer 12.
  • Eine Decke 30 trennt das Plenum 26 von der Kammer 12. Die Decke 30 enthält im allgemeinen eine steife Gitterstruktur, ausgebildet aus Gitterelementen 32, wobei die Gitterelemente orthogonal angeordnet sind, um eine Matrix aus rechteckigen Räumen festzulegen. Ein Satz von rechteckigen Filterelementen 34 wird von den Gitterelementen 32 getragen, wobei jedes Filterelement einen rechteckigen Zwischenraum einnimmt, der durch die Gitterelemente ausgebildet wird. Jedes Filterelement 34 ist gegenüber dem Gitter abgedichtet, um Luftfluß zwischen dem Plenum 26 und der Reinraumkammer 12 vor einem Umlaufdurchlüften der Filter an ihren Kanten zu bewahren. Ein Satz von Diffusorkonsolen 36 ist an die Decke 30 angebracht, wobei jede Diffusorkonsole 36 unter und im allgemeinen sich mit einem Filterelement 34 zusammen ausbreitend angeordnet ist. Jede Diffusorkonsole 36 ist vorzugsweise eine steife, perforierte Lage zum Bereitstellen eines nicht turbulenten, laminaren Luftflusses, wenn die Luft von einem Volumen mit höherem Druck oberhalb der Lage durch sie gezwungen wird.
  • Alternativerweise kann die Diffusorkonsole eine starr getragene, luftpermeable Membran (nicht gezeigt) sein, ausgebildet aus flachen Filterpapiermedien, wie eine Langstrangpolyesterfaserlage. Solch eine Lage kann in Zusammenarbeit mit einer perforierten Konsole, wie oben diskutiert, installiert werden und gefaltet sowie ausgebildet sein durch Biegen der Peripheriebereiche um einen Winkel, so daß Luft, die senkrecht durch Peripheriebereiche der Lage hindurch tritt, nach außen gerichtet wird. Die gewünschte höhere Volumenperipherieflußrate kann durch Herstellen einer Verbundmembrane aus einem Material mit höherer Permeabilität in den Peripheriebereichen als in den Zentralbereichen bereitgestellt werden. Alternativerweise kann eine einzige Membran an ihrer Peripherie perforiert sein, um erhöhten Luftfluß bereitzustellen.
  • Wie in Figur 2 gezeigt, hat das Gitterelement 32 einen konstanten Querschnitt und ist vorzugsweise aus extrudiertem Aluminium ausgebildet. Das Gitterelement 32 legt ein paar nach oben zeigende Wannen 40 fest, wobei jede Wanne mit einem gelartigen Dichtmittel 44 gefüllt ist. Das Gitterelement 32 legt ferner einen großen nach unten zeigenden Kanal 42 fest, festgelegt durch sich gegenüberstehende, räumlich getrennte Gitterseitenwände 46. Der Kanal 42 ist im allgemeinen dimensioniert, um eine Fluoreszenzbeleuchtungsamatur 48 komplett darein einzupassen. Eine Lagerung 49 kann sich seitlich zu der Seitenwand 46 an ihrer unteren Kante ausbreiten, wie für die linke Seitenwand in Figur 2 gezeigt. Die Lagerung 49 liefert eine Abstützung oder einen Anbringungspunkt für das Filterelement 34a und verhindert einen Luftfluß in den Zwischenraum zwischen dem Filterelement und der Seitenwand 46.
  • Figur 2 zeigt die Filterelemente 34a, 34b in zwei alternativen Konfigurationen. Vorzugsweise würde nur eine dieser Konfigurationen ausgewählt werden und exklusiv für jede Reinrauminstallation verwendet werden. Ein Hängetypfilter 34a enthält einen Peripherieflansch 50a, nach unten von der Oberseite des Filters 34a so herunterhängen, daß ein erheblicher Teil des Filters unterhalb des Flansches hängt. Ein Filter 34a des stehenden Typs enthält einen Peripherieflansch 50b, der sich direkt nach unten von den unteren Kanten des Filters ausbreitet, wobei das komplette Filterelement oberhalb des Flansches steht.
  • Da eine glatte Deckenoberfläche aus funktionellen und ästhetischen Gründen gewünscht wird, wird ein hängender Filter 34a verwendet, wenn eine Diffusorkonsole 36a direkt an den Filter anzubringen ist; ein stehendes Filterelement 34b wird verwendet, wenn eine Diffusorkonsole 36b direkt an die untere Kante einer Gitterseitenwand 46 angebracht werden kann. Um Luftfluß vor einem Umlaufdurchlüften der Filterelmente 34 und einem Kontaminieren der Reinraumkammer 12 zu bewahren, ist jedes Element mit seinem Pheripherieflansch 50, aufgenommen in dem Geldichtmittel 44, enthaltend in den Wannen 40, installiert.
  • Im allgemeinen ist jede Diffusorkonsole 36 vorzugsweise eine perforierte Metallage mit Perforationen 54, die von gleicher Größe, räumlich gleich voneinander getrennt und über den Großteil der Konsolenfläche in ihrem Zentralbereich verteilt sind. Bei der bevorzugten Ausführungsform beträgt der Gesamtbereich der Perforationen ungefähr 20% der Konsolenfläche. Dieser Prozentsatz ist bekannt als der freie Bereich der Konsole. Die Konsole 36 kann mit einem freien Bereich irgendwo innnerhalb eines breiten Bereichs nutzvoll sein. Ein freier Bereich von weniger als 10% ist geeignet, wenn ein hoher Gegendruck und Flußwiderstand gewünscht wird; ein freier Bereich von mehr als 90%, wie durch eine Bienenwabenkonsole bereitgestellt, ist nützlich, wenn erheblicher Gegendruck nicht notwendig ist. Die Konsole 36 muß einen ausreichenden Gegendruck bereitstellen, um einen lateralen Luftfluß zu erzeugen, der Differenzen zwischen Hochdruckzonen und Niedrigdruckzonen unterhalb des Filters 34 ausgleicht. Um diesen Lateralfluß zu erlauben, ist der Diffusor 36 vorzugsweise räumlich unterhalb des Filterelements 34 angeordnet, obwohl der Diffusor benachbart zu der unteren Fläche eines Filters, das einen lateralen Luftfluß in sich selbst erlaubt, angebracht sein kann.
  • Figur 2a zeigt eine erste, alternativ, perforierte Konsole 36a, geeignet zum Anbringen an das Filterelernent 34a. Die Konsole enthält einen Zentralbereich 56a, bevölkert von einer Vielzahl von Zentralperforationen 54a, die gleichmäßig räumlich voneinander getrennt sind und gleiche Abmessungen aufweisen. Ein Peripheriebereich 58a umgibt den Zentralbereich 56a auf allen Seiten und definiert ein Feld von Peripherieperforation 60a. Die Peripherieperforationen 60a sind größer und näher aneinander angeordnet als die Zentralperforationen 54a. Demgemäß hat der Peripheriebereich einen erheblich größeren Prozentsatz an freiem Bereich als der Zentralbereich 56a und wird eine größere Luftflußrate pro Einheitsfläche als der Zentralbereich erlauben. Der Peripheriebereich 58a ist nach oben von dem Zentralbereich 56a abgewinkelt, so daß Luft, die senkrecht dadurch hindurchtritt, von dem Zentralbereich peripherisch weggeführt werden wird. Dieser Ablenkungswinkel beträgt vorzugsweise ungefähr 30º, obwohl der Winkel bis zu 90º reichen kann, oder komplett beseitigt sein kann. Die Diffusorkonsole 36a ist vorzugsweise durch einen Kantenflansch 62a abgeschlossen, der parallel zu dem Zentralbereich 56a und anbringbar an die Kante des Filterelements 34a ist. Alternativerweise kann der Kantenflansch 62a auf der Gitterlagerung 49 ruhen.
  • Figur 2b zeigt eine alternative Diffusorkonsole 36b, geeignet zum Anbringen direkt an die Gitterseitenwand 46 in Zusammenarbeit mit dem Filterelement 34b des stehenden Typs. Die Konsole 36b ist senkrecht an ihrer Peripherie umgebogen, um einen gerundeten Peripheriebereich 58b zu erzeugen, der von Peripherieperforationen 60b populiert ist. Eine Vielzahl von Zentralperforationen 54b populieren die Konsole und sind erheblich kleiner als die Peripherieperforationen bemessen. Dies erlaubt der Diffusorkonsole 36b, den gleichen erhöhten Peripherieluftfluß zu erreichen, wie der, der durch die Diffusorkonsole 36a bereitgestellt ist. Ähnlich wird der Peripherieluftfluß von dem Zentrum der Diffusorkonsole 36b weggerichtet, da die Peripherieperforationen 60b ungefähr an dem Mittelpunkt der abgerundeten Biegung der Konsole zentriert sind, so daß sie nach außen zeigen.
  • Figur 3 zeigt eine alternative Diffusorkonsole 36c, die uniform von Zentralperforationen 54c über ihre komplette Fläche bevölkert ist. Die Konsole 36c ist räumlich getrennt unterhalb des Filterelements 34a angeordnet, so daß Luft seitlich unterhalb der Kante der Diffusorkonsole 36c, und unterhalb von oder neben der unteren Kante der Gitterseitenwand 46, entweichen kann. Der Raum ist so bemessen, daß ein höheres Flußvolumen in dem Seitenluftstrom als durch die Zenralperforationen 54c erzeugt wird. Die Konsole kann direkt an die untere Kante des Filterelements 34a durch Abstandspfosten 64 oder andere geeignete Mittel angebracht werden. Die gleiche Diffusorkonsole 36c kann in Zusammenarbeit mit einem stehenden Filterelement 34b, wie auf der rechten Seite von Figur 3 gezeigt, verwendete werden, wobei die Konsole an die Gitterseitenwand 46 angebracht und unterhalb der unteren Kante derselben angeordnet ist. Bei beiden Ausführungsformen von Figur 3 legt jede Konsole 36c und entsprechende Gitterseitenwand einen Seitenzwischenraum 65 fest, der einen effektiven Freibereich von 100% aufweist.
  • Figur 4 zeigt zusätzliche Diffusorkonsolenkonfigurationen. Eine Diffusorkonsole 36d enthält vertikal orientierte Flügel 66 in dem Zentralbereich der Konsole und abgewinkelte Flügel 66a in dem Peripheriebereich der Konsole zum peripherischen Richten von Luft weg von dem Zentrum der Konsole. Die gewinkelten Flügel 66a sind von der Vertikalen in Übereinstimmung mit ihrer Nähe zu der Kante der Konsole abgewinkelt. Bei dieser Ausführungsform ist das Luftflußvolumen nicht erheblich erhöht an der Peripherie, aber der Richtungseffekt alleine füllt den Bereich unterhalb des Gitterelements adäquat, um Turbulenz erheblich zu reduzieren.
  • Eine weitere alternative Diffusorkonsole 36e ist auf der rechten Seite von Figur 4 gezeigt. Bei der Ausführungsform hat eine Diffusorkonsole 36e einen Peripherieflansch 68e, der nach oben und innen mit einem spitzen Winkel gebogen ist, um einen Peripheriezwischenraum 70 zwischen der Konsole 36e und der Gitterseitenwand 46 zu lassen, wodurch erhöhter Luftfluß an der Peripherie ermöglicht wird. Der Biegewinkel des Flansches dient auch dazu, Luft in den Bereich unterhalb des Gitterelements 32 zu führen, agierend als ein Flügel oder ein Trichter.
  • Figur 5 illustriert eine Filterkonfiguration, die die entfernbare Anbringung der Diffusorkonsole 36a von unten und ohne die Notwendigkeit des Entfernens des Filterelements 34a erlaubt. Das Filterelement 34a hat einen extrudierten Aluminiumfilterrahmen 74, der peripherisch eine Masse eines Filtermaterials 76 umgibt. Der Rahmen 74 enthält eine Rahmenseitenwand 78 mit einer unteren Rahmenlagerung 80, angebracht an eine untere Kante davon und sich senkrecht nach innen in Richtung des Zentrums der Filterkonsole erstreckend. Eine geeignete Wand 82 ist an die Innenkante der unteren Rahmenlagerung 80 angebracht, wobei die geneigte Wand sich nach unten und peripherisch nach außen ausbreitet, um Luftfluß zu erlauben, sich darunter nach außen auszubreiten. Ein Anbringungsflansch 84 ist an das untere Ende der geneigten Wand 82 angebracht und erstreckt sich peripherisch davon nach außen, um unterhalb der unteren Rahmenlagerung 80 angeordnet zu sein. Der Anbringungsflansch 84 ist integral mit dem Filterrahmen 74, so daß er sich um die komplette Peripherie des Filterelements 34a erstreckt. Der Anbringungsflansch 84 ist komplett unterhalb des Filterrahmens 74 angeordnet, so daß er sich nicht peripherisch nach außen an dem Rahmenelement vorbei erstreckt, um mit der Gitterseitenwand 46 des Gitterelements 32 zu interferieren.
  • Die Diffusorkonsole 36a kann zur Anbringung an das Filterelement 34a durch Positionieren des Diffusorkonsolenkantenflansches 62a gegen den Anbringungsflansch 84 positioniert sein. Eine U-förmige Klemme 88 definiert einen Zwischenraum zum Aufnehmen des Anbringungsflansches 84 und des Kantenflansches 62a, um die Flansche zum Befestigen der Diffusorkonsole 36a an dem Filterelement 34a zusammen unter Spannung zu setzen. Die Klemme 88 kann aus Federstahl oder extrudiertem Aluminium ausgebildet sein, wobei eine Klemme sich über die komplette Länge jeder Seite der Diffusorkonsole erstreckt.
  • Als ein Resultat des Anbringungssystems, das in Figur 5 gezeigt ist, kann die Diffusorkonsole von unten entfernt und wieder angebracht werden. Es ist nicht notwendig, das Filterelement zu entfernen oder zu stören, in das Plenum 26 einzutreten oder das Reinraumsystem zu verschließen, um solch einen Betrieb durchzuführen. Die Klemme 88 hat den zugefügten ästhetischen Vorteil über herkömmliche Schrauben und Nieten dadurch, daß keine gebohrten Löcher oder sichtbare Befestigungsmittel benötigt werden.
  • Durch Bereitstellen eines erhöhten und gerichteten Luftflusses zum Füllen des Bereichs unterhalb des Gitterelements 32 liefert die Diffusorkonsole 36 effektiv einen Nettoluftfluß nach unten unterhalb des Gitterelements, der noch mehr dem entspricht, der durch Ersetzen der Gitterelemente durch ein unendliches, uniformes Filterelement und eine perforierte Konsole bereitgestellt werden würde. Der Luftfluß unterhalb des Gitterelements 32 hat einen ausreichenden Druck und ausreichendes Volumen, um den vertikalen Laminarflußlagen zu erlauben, von den Zentralbereichen der Konsolen zu fließen, um vertikal und laminar zu bleiben. Diese Lagen werden daher nicht nach oben in Wirbel unterhalb des Gitterelements 32 gezogen.
  • Die anfängliche Turbulenz unterhalb des Gitterelements 32 wird ferner durch Bereitstellen eines symmetrischen Luftflusses von den gegenüberliegenden Seiten des Gitterelements 32 minimiert. Somit werden die lateral gerichteten Peripherieluftströme aufeinander auftreffen, ihren Seitenfluß im wesentlichen auslöschend und zu einem erheblich weniger turbulenten, nach unten gerichteten Fluß führen. Der erhöhte Luftfluß, bereitgestellt durch die Diffusorkonsolenperipheriebereiche sollte einen Nettoluftfluß unterhalb des Gitterelements erzeugen, der im allgemeinen gleich dem Nettoluftfluß pro Einheitsluftfläche in den Zentralbereichen der Diffusorkonsole ist. Die Geschwindigkeit des Luftflusses von den Peripheriebereichen muß nicht größer als die Geschwindigkeit durch die Zentralperforationen sein. Nur die Nettoluftflußrate (z.B. der Luftvolumenfluß pro Einheitszeit durch eine Einheitshorizontalebene) des Peripheribereichs muß diejenige des Zentralbereichs übersteigen. Auch, wie oben bemerkt, kann dieses Luftflußratendifferential alleine agieren, um die Ziele der Erfindung zu erreichen, oder der Richtungseffekt alleine kann die gleichen Vorteile liefern. In der bevorzugten Ausführungsform agieren beide Prinzipien kooperativ.

Claims (16)

1. Luftdiffusorkonsole (36) für ein Reinraumluftdiffusionssystem, umfassend einen Zentralbereich (56) und einen Peripheriebereich (58), wobei der Zentralbereich Perforationen (54) aufweist, deren gesamte Fläche ein erster Bruchteil der kompletten Fläche des Zentralbereichs ist, der Peripheriebereich Perforationen (60) aufweist, deren gesamte Fläche ein zweiter Bruchteil der kompletten Fläche des Peripheriebereichs ist, und der zweite Bruchteil größer als der erste Bruchteil ist.
2. Konsole nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Peripheriebereich (58) Luft, die dadurch fließt, in eine Richtung führen kann, die von der Senkrechten zu dem Zentralbereich (56) peripherisch abgewinkelt ist.
3. Konsole nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Peripheriebereich (58) mit einem Winkel zu dem Zentralbereich (56) geneigt ist.
4. Konsole nach irgendeinem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie aus einer steifen Lage, ausgeformt mit räumlich voneinander getrennten Perforationen, ausgebildet ist.
5. Konsole nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet durch eine luftdurchlässige Membrane.
6. Konsole nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Membrane eine Langstrangfaserlage ist.
7. Konsole nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Membrane aus flachem Filterpapiermedien ausgebildet ist.
8. Reinraumluftdiffusionssystem zum Steuern eines Luftflusses, wobei das System folgendes umfaßt: ein Stützgitter, bestehend aus Gitterelementen (32), festlegend einen Konsolenzwischenraum zum Transmittieren des Luftflusses und festlegend einen Totraum unterhalb der Gitterelemente; und eine Diffusorkonsole (36) nach irgendeinem der vorangehenden Ansprüche, angebracht an das Gitter in Ausrichtung mit dem Konsolenzwischenraum, wobei der Zentralbereich (56) der Konsole einen ersten Teil des Luftflusses mit einer ersten Luftflußrate pro Einheitsfläche transmittiert und der Peripheriebereich (58) der Konsole einen zweiten Teil des Luftflusses mit einer zweiten Luftflußrate pro Einheitsfläche transmittiert, die größer als die erste Luftflußrate pro Einheitsfläche ist, wodurch Luftfluß bereitgestellt wird, der den Totraum unterhalb des Gitters auffüllt.
9. System nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Diffusorkonsole (36) eine Vielzahl von Kantenteilen umfaßt, die mit einem Winkel bezüglich einer Ebene angeordnet sind, in der der Zentralbereich positioniert ist, und daß die Diffusorkonsole horizontal angeordnet ist, wobei der Zentralbereich im allgemeinen unterhalb der Kantenteile ist.
10. System nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Peripheriebereich einen Grenzkantenflansch (62a) enthält, der an das Gitter angebracht werden kann, wobei der Zentralbereich im allgemeinen unterhalb des Kantenflanschs (62a) angeordnet ist.
11. System nach irgendeinem der Ansprüche 8 bis 9, gekennzeichnet durch eine Luftfilterkonsole (34) benachbart zu dem Gitter zum Transmittieren des Luftflusses.
12. System nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Luftfilterelement (34) ein Gestell (74) mit einem sich längs des Umfangs erstreckenden Anbringungsflansch (84) aufweist, daß die Diffusorkonsole (36) einen Kantenflansch (62a) aufweist, entsprechend dem Anbringungsflansch (84) und positionierbar in einer Sandwich-Beziehung zu demselben, und daß der Kantenflansch (62a) mit dem Anbringungsflansch (84) über eine Kantenklemme (88) befestigt ist.
13. System nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Kantenklemme (88) einen Zwischenraum zum Aufnehmen und Zusammenspannen des Kantenflanschs (62a) und des Anbringungsflansches (84) in Sandwich-Bauweise festlegt.
14. System nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Anbringungsflansch (84) unterhalb des Gestells (74) so angeordnet ist, daß sich der Anbringungsflansch (84) nicht über die Peripherie des Gestells erstreckt.
15. System nach irgendeinem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Anbringungsflansch (84) in einer im allgemeinen horizontalen Ebene angeordnet ist, wenn das Filterelement (34) horizontal orientiert ist.
16. Reinraumluftdiffusionssystem zum Steuern eines Luftflusses, wobei das System folgendes umfaßt: ein Stützgitter, bestehend aus Gitterelementen (32), festlegend einen Konsolenzwischenraum zum Transmittieren des Luftflusses und festlegend einen Totraum unterhalb der Gitterelemente; und eine Diffusorkonsole (36), angebracht an das Gitter in Ausrichtung mit dem Konsolenzwischenraum, wobei die Diffusorkonsole Perforationen aufweist und unterhalb des Konsolenzwischenraums angeordnet ist, um einen Peripheriebereich festzulegen, umfassend einen Seitenzwischenraum (65) zum Transmittieren von Luft durch den Konsolenzwischenraum in Richtung des Totraums unterhalb der Gitterelemente, wobei die Konsole einen ersten Teil des Luftflusses mit einer ersten Luftflußrate pro Einheitsfläche transmittiert und der Peripheriebereich einen zweiten Teil des Luftflusses mit einer zweiten Luftflußrate pro Einheitsfläche transmittiert, die größer als die erste Luftflußrate ist, wodurch ein Luftfluß zum Auffüllen des Totbereichs unterhalb des Gitters bereitgestellt ist.
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