DE69215253T2

DE69215253T2 - Magneto-optisches Kopfsystem

Info

Publication number: DE69215253T2
Application number: DE69215253T
Authority: DE
Inventors: Ryuichi Katayama
Original assignee: NEC Corp; Nippon Electric Co Ltd
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1991-02-19
Filing date: 1992-02-19
Publication date: 1997-03-13
Anticipated expiration: 2012-02-20
Also published as: EP0504604A1; DE69215253D1; JP2705326B2; US5426626A; EP0504604B1; JPH04263150A

Description

Magneto-optisches Kopfsystem

Diese Erfindung betrifft ein magneto-optisches Kopfsystem und insbesondere ein magneto-optisches Kopfsystem zum Aufzeichnen (Schreiben), Lesen und Löschen von Daten auf eine magnetooptische Platte oder von ihr.
Ein erstes herkömmliches magneto-optisches Kopfsystem ist in dem Text 29p-N-2 des "Extended Abstracts" (51. Herbsttagung 1990): Japanische Gesellschaft für Angewandte Physik beschneben worden. Das erste herkömmliche magneto-optische Kopfsystem weist einen Halbleiterlaser, ein optisches System mit einer Kollimatorlinse und einer Objektivlinse zum Fokussieren des Laserlichts auf eine magneto-optische Platte, einen Strahlteiler, ein Lambda-Halbe-Blättchen, einen polarisierenden Strahlteiler und einen Photodetektor auf.
Im Betrieb wird ein von dem Halbleiterlaser ausgestrahltes Laserlicht durch ein optisches System geleitet, das aus einem Strahlteiler und der Kollimator- und Objektivlinse besteht, um auf eine magneto-optische Platte fokussiert zu werden. Ein Reflexionslicht des an der magneto-optischen Platte reflektierten Laserlichts erreicht den Strahlteiler, an dem das Reflexionslicht seine Richtung zu dem Lambda-Halbe-Blättchen hin ändert. Das Lambda-Halbe-Blättchen dreht die Polarisationsebene des Reflexionslichts um 45 Grad, um das Reflexionslicht in P- polarisiertes und S-polarisiertes Licht, die senkrecht zueinander liegende Polarisationsrichtungen besitzen, räumlich zu trennen. Das P-polarisierte und S-polarisierte Licht werden über den polarisierenden Strahlteiler von dem Photodetektor getrennt nachgewiesen.
Der Photodetektor des ersten herkömmlichen magneto-optischen Kopfsystems weist eine durch Epitaxie auf einem N&spplus;- Siliziumsubstrat gewachsene N-Schicht und zwei innerhalb der N- Schicht ausgebildete P-Schichten auf. Die beiden P-Schichten bestehen aus zwei isolierten Segmentbereichen, um das P-polarisierte bzw. S-polarisierte Licht nachzuweisen. Jeder isolierte Segmentbereich besteht aus mehreren lichtnachweisenden Segmenten.
Das erste herkömmliche magneto-optische Kopfsystem weist eine Signalnachweisschaltung auf, um ein Informationssignal sowie ein Fokussierungs- und Spurfehlersignal der magneto-optischen Platte nachzuweisen. Bei der Signalnachweisschaltung besteht jedes der lichtnachweisenden Segmente des Photodetektors aus einer Photodiode mit einer Kathode, die einer Elektrode einer Oberseite entspricht, und einer Anode, die einer Elektrode einer Unterseite entspricht. Die Kathoden der lichtnachweisenden Segmente sind gemeinsam mit einer Vorspannungsquelle verbunden, durch die an die Signalnachweisschaltung eine Vorspannung angelegt wird. Niederfrequenzkomponenten der von den Anoden der lichtnachweisenden Segmente zugeführten Signale ergeben jeweils das Fokussierungs- und Spurfehlersignal. Andererseits ergeben Hochfrequenzkomponenten der von ihren Anoden zugeführten Signale das Informationssignal, durch das die auf der magneto-optischen Platte aufgezeichneten Daten wiedergegeben werden können.
Ein zweites herkömmliches magneto-optisches Kopfsystem ist in dem Text 30a-G-5 des "Extented Abstracts" (37. Herbsttagung, 1990): Japanische Gesellschaft für Angewandte Physik beschne ben worden. Das zweite herkömmliche magneto-optische Kopf System weist einen Halbleiterlaser, eine Kollimatorlinse, eine Objektivlinse, einen Strahlteiler, eine Linse, ein holographisches Element und einen Photodetektor auf.
Im Betrieb wird ein von dem Halbleiterlaser ausgestrahltes Laserlicht durch ein optisches System geleitet, das aus der Kollimatorlinse, dem Strahlteiler und der Objektivlinse besteht, um auf eine magneto-optische Platte fokussiert zu werden Ein Reflexionglicht des an der magneto-optischen Platte reflektierten Laserlichts erreicht den Strahlteiler, an dem das Reflexionslicht durch die Linse und das holographische Element seine Richtung zu dem Photodetektor hin ändert. Das Reflexionslicht wird durch das holographische Element in drei Lichtstrahlen aufgeteilt, wobei der erste nichtgebeugtes Licht (Beugungslicht nullter Ordnung) ist, dessen Polarisationsrichtung zu einer optischen Achse eines das holographische Element bildenden Kristalls senkrecht steht, und der zweite und dritte Lichtstrahl Beugungslicht ±1-ter Ordnung sind, deren Polarisationsrichtungen parallel zu der optischen Achse des Kristalls sind. Diese drei Lichtstrahlen werden von dem Photodetektor nachgewiesen.
Der Photodetektor des zweiten herkömmlichen magneto-optischen Kopfsystems weist eine durch Epitaxie auf einem N&spplus;- Siliziumsubstrat gewachsene N-Schicht und drei innerhalb der N- Schicht ausgebildete P-Schichten auf. Die drei P-Schichten bestehen aus drei isolierten Segmentbereichen, um das Beugungslicht nullter bzw. ±1-ter Ordnung nachzuweisen. Jeder isolierte Segmentbereich besteht aus mehreren lichtnachweisenden Segmenten.
Das zweite herkömmliche magneto-optische Kopfsystem weist eine Signalnachweisschaltung auf, um ein Informationssignal sowie ein Fokussierungs- und Spurfehlersignal der magneto-optischen Platte nachzuweisen. Bei der Signalnachweisschaltung besteht jedes der lichtnachweisenden Segmente des Photodetektors aus einer Photodiode mit einer Kathode, die einer Elektrode einer Oberseite entspricht, und einer Anode, die einer Elektrode einer Unterseite entspricht. Die Kathoden der lichtnachweisenden Segmente sind gemeinsam mit einer vorspannungs quelle verbunden, durch die an die Signalnachweisschaltung eine Vorspannung angelegt wird. Niederf requenzkomponenten der von den Anoden der lichtnachweisenden Segmente zugeführten Signale ergeben jeweils das Fokussierungs- und Spurfehlersignal. Andererseits ergeben Hochf requenzkomponenten der von ihren Anoden zugeführten Signale das Informationssignal.
Gemäß des ersten und zweiten herkömmlichen magneto-optischen Kopfsystems gibt es jedoch den Nachteil, daß das Informationssignal sowie das Fokussierungs- und Spurfehlersignal gegenseitig durch Rauschen beeinträchtigt werden, das von den Schaltungen zum Nachweisen dieser Signale erzeugt wird, da diese drei Signale von den gemeinsamen Anoden der lichtnachweisenden Segmente des Photodetektors nachgewiesen werden. Folglich wird die Qualität der Signale verschlechtert.
JP-A-60 113 334, das die Präambel von Patentanspruch 1 widerspiegelt, beschreibt eine optische Platteneinrichtung, bei der von Lichtdetektoren nachgewiesene Servosignale durch entsprechende Verstärker zu einer Fokus- und Spurkorrektursteuer Schaltung gesendet werden. Um nachteilige Beeinflussungen zu verhindern, die auf das Servosignal sogar dann ausgeübt werden, wenn die Eingangsimpedanz sehr niedrig gehalten wird, um einen hohen Rauschabstand für einen Verstärker für ein Hauptsignal zu erhalten, indem ein Photodetektor als Konstantstromquelle betrieben wird, werden das Servo-System und das Hauptsignalsystem durch lichtnachweisende Elemente getrennt. Somit werden die Servosignale nicht von der Hauptsignalseite her beeinflußt.
EP-A-0 304 560 beschreibt ein Lichtnachweissystem mit einem ersten und einem zweiten Photodetektor. Die Photodetektoren werden geeignet elektrisch vorgespannt und zum Empfangen eines Lichtstrahls oder zweier Lichtstrahlen angeordnet. Eine Ausgangsschaltung ist mit der Anoden- und Kathodenverbindung zwischen den beiden Photodioden elektrisch verbunden, um ein elektrisches Ausgangssignal mit niedriger oder keiner Gleichtaktstörung zu liefern.
EP-A-0 075 192 beschreibt einen optischen Kopf, bei dem Laserstrahlen durch eine Objektivlinse gebündelt werden und auf eine lichtempfangende Oberfläche einer optischen Platte gerichtet werden. Nur der Laserstrahl, der durch einen Bereich läuft, der in der Richtung angeordnet ist, in der sich eine Spurführung von einer gemeinsamen optischen Achse aus erstreckt, wird durch eine lichtabschirmende Platte aufgenommen. Ein Teil dieses Laserstrahls wird durch eine konvexe Linse und eine Zylinderlinse gebündelt, wobei die Grundlinie parallel zu der Richtung ist, und wird auf eine lichtempfangende Oberfläche des Photodetektors gerichtet. Die lichtempfangende Oberfläche liegt in dem entfernten Brennpunkt, der durch die konvexe Linse und die Zylinderlinse bestimmt wird. Wenn die Objektivlinse gerade scharf eingestellt ist, wird auf der lichtempfangenden Ober fläche ein verlängertes Bild des Strahlmittelteils auf der lichtempfangenden Oberfläche gebildet. Wenn die Objektivlinse nicht scharf eingestellt ist, wird ein Teil des Laserstrahis durch die lichtabschirmende Platte abgelenkt und ein größeres, verformtes Muster wird auf einem Bereich der lichtempfangenden Oberfläche gebildet, der in einer zu der Ausdehnungsrichtung der Spurführung parallelen Richtung versetzt ist. Das Rauschen kann mittels einer Vertiefung zwischen den lichtempfindlichen Bereichen des Photodetektors abgeschwächt werden.
Folglich ist es eine Aufgabe der Erfindung, ein magnetooptisches Kopfsystem bereitzustellen, bei dem die hohe Qualität eines Informationssignals sowie eines Fokussierungs- und Spurfehlersignals erhalten werden kann, indem die Beeinflussung dieser Signale aufgrund von Rauschen, das durch Schaltungen zum Nachweisen dieser Signale erzeugt wird, vermieden wird. Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen der Patentansprüche gelöst.
Die Erfindung wird in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen detaillierter beschrieben werden; es zeigen:
Fig. 1 eine Prinzipskizze, die ein erstes herkömmliches magneto-optisches Kopfsystem veranschaulicht;
die Fign. 2A bis 2C erläuternde Drauf sichten, die Lichtpunkte auflichtnachweisenden Segmenten eines Photodetektors des in Fig. 1 gezeigten ersten herkömmlichen magneto-optischen Kopfsystems veranschaulichen;
Fig. 3 eine Querschnittsansicht, die den Photodetektor des in Fig. 1 gezeigten ersten herkömmlichen magneto-optischen Kopfsystems veranschaulicht;
Fig. 4 ein Blockdiagramm einer Signalnachweisschaltung des in Fig. 1 gezeigten ersten herkömmlichen magneto-optischen Kopfsystems;
Fig. 5 eine Prinzipskizze, die ein zweites herkömmliches magneto-optisches Kopfsystem veranschaulicht;
Fig. 6 eine erläuternde Draufsicht, die ein holographisches Element des in Fig. 5 gezeigten zweiten herkömmlichen magneto-optischen Kopfsystems veranschaulicht;
Fig. 7 eine Querschnittsansicht, die das holographische Element des in Fig. 5 gezeigten zweiten herkömmlichen magnetooptischen Kopfsystems veranschaulicht;
die Fign. 8A bis 8C erläuternde Draufsichten, die Lichtpunkte auflichtnachweisenden Segmenten eines Photodetektors des in Fig. 5 gezeigten zweiten herkömmlichen magneto-optischen Kopfsystems veranschaulichen;
Fig. 9 eine Querschnittsansicht, die den Photodetektor des in Fig. 5 gezeigten zweiten herkömmlichen magneto-optischen Kopfsystems veranschaulicht;
Fig. 10 ein Blockdiagramm einer Signalnachweisschaltung des in Fig. 5 gezeigten zweiten herkömmlichen magneto-optischen Kopfsystems;
Fig. 11 eine Querschnittsansicht, die einen Photodetektor eines magneto-optischen Kopfsystems in einer ersten bevorzugten Ausführungsform gemäß der Erfindung veranschaulicht;
Fig. 12 ein Blockdiagramm einer Signalnachweisschaltung des magneto-optischen Kopfsystems in der ersten bevorzugten Ausführungsform gemäß der Erfindung;
Fig. 13 eine Querschnittsansicht, die einen Photodetektor eines magneto-optischen Kopfsystems in einer zweiten bevorzugten Ausführungsform gemäß der Erfindung veranschaulicht;
Fig. 14 ein Blockdiagramm einer Signalnachweisschaltung des magneto-optischen Kopfsystems in der zweiten bevorzugten Ausführungsform gemäß der Erfindung;
Fig. 15 eine Querschnittsansicht, die einen Photodetektor eines magneto-optischen Kopfsystems in einer dritten bevorzugten Ausführungsform gemäß der Erfindung veranschaulicht; und
Fig. 16 eine Querschnittsansicht, die einen Photodetektor eines magneto-optischen Kopfsystems in einer vierten bevorzugten Ausführungsform gemäß der Erfindung veranschaulicht. Bevor ein magneto-optisches Kopfsystem in bevorzugten Ausführungsformen gemäß der Erfindung beschrieben wird, werden die vorstehend beschriebenen herkömmlichen magneto-optischen Kopfsysteme in Verbindung mit den Fign. 1 bis 10 erläutert werden.
Fig. 1 zeigt ein erstes herkömmliches magneto-optisches Kopfsystem. Das magneto-optische Kopfsystem weist einen Halbleiterlaser 1, eine Kollimatorlinse 2, eine Objektivlinse 3, einen Strahlteiler 5, ein Lambda-Halbe-Blättchen 6, einen polarisierenden Strahlteiler 7 und einen Photodetektor 11 auf.
Im Betrieb wird ein von dem Halbleiterlaser 1 ausgestrahl tes Laserlicht durch den Strahlteiler 5 geleitet und erreicht die Kollimatorlinse 2. Das Laserlicht wird an der Kollimatorlinse 2 zu parallelem Licht und erreicht dann die Objektivlinse 3. Das parallele Licht wird durch die Objektivlinse 3 fokussiert und einer magneto-optischen Platte 4 zugeführt. Ein Reflexionslicht des an der magneto-optischen Platte 4 reflektierten Laserlichts wird durch die Objektivlinse 3 und die Kollimatorlinse 2 geleitet und erreicht den Strahlteiler 5. Das Reflexionslicht reflektiert an dem Strahlteiler 5, um seine Richtung zu dem Lambda-Halbe-Blättchen 6 hin zu ändern. Das Lambda-Halbe-Blättchen 6 dreht die Polarisationsebene des Reflexionslichts um 45 Grad, um das Reflexionslicht in P-polarisiertes und S-polarisiertes Licht, die senkrecht zueinander liegende Polarisationsrichtungen besitzen, räumlich zu trennen. Das P-polarisierte Licht wird durch eine Vorderfläche 7a des polarisierenden Strahlteilers 7 geleitet und erreicht eine Totalreflexionsfläche 7b auf ihm. Das P-polarisierte Licht reflektiert an der Totalreflexionsfläche 7b und wird durch die Vorderfläche 7a geleitet, an der das P-polarisierte Licht die Richtung zu dem Photodetektor 11 hin ändert, um nachgewiesen zu werden. Das S-polarisierte Licht reflektiert direkt an der Vorderfläche 7a und ändert die Richtung zu dem Photodetektor 11 hin, um nachgewiesen zu werden.
Die Fign. 2A bis 2C zeigen Lichtpunkte des P-polarisierten und S-polarisierten Lichts auf dem Photodetektormuster des Photodetektors 11. Der Photodetektor 11 weist zwei isolierte Segmentbereiche 30a und 30b auf. Der isolierte Segmentbereich 30a zum Nachweisen des P-polarisierten Lichts besteht aus lichtnachweisenden Segmenten 31 bis 36, während der isolierte Segmentbereich 30b zum Nachweisen des S-polarisierten Lichts aus lichtnachweisenden Segmenten 37 bis 42 besteht. Zwei Lichtpunkte 20 und 21, die dem P-polarisierten und dem S-polarisierten Licht entsprechen, werden jeweils auf die isolierten Segmentbereiche 30a und 30b fokussiert.
Die Größe der Lichtpunkte 20 und 21 ändert sich in Übereinstimmung mit der Änderung des Fokussierzustands auf der magneto-optischen Platte 4. Die beiden Lichtpunkte 20 und 21 besitzen nahezu die gleiche Größe, wenn die Platte 4 in der Fokussierstellung ist, wie in Fig. 28 gezeigt ist. Jedoch wird der Lichtpunkt 20 größer als der Lichtpunkt 21, wenn sich die Platte 4 oberhalb der Fokussierstellung befindet, wie in Fig. 2A gezeigt ist. Andererseits wird der Lichtpunkt 20 kleiner als der Lichtpunkt 21, wenn sich die Platte 4 unterhalb der Fokussierstellung befindet, wie in Fig. 2C gezeigt ist.
Deshalb ergeben geeignete Kombinationen der Ausgangssignale der lichtnachweisenden Segmente 31 bis 42 ein Fokussierungsfehlersignal, ein Spurfehlersignal und ein Informationssignal. Das Fokussierungsfehlersignal ist gemäß des Punktgrößennachweisverfahrens durch (V(31) + V(32) + V(35) + V(36) + V(39) + V(40)) - (V(33) + V(34) + V(37) + V(38) + V(41) + V(42)) gegeben, wobei V(31) bis V(42) jeweils Ausgangssignale der lichtnachweisenden Segmente 31 bis 42 sind. Das Spurfehlersignal ist gemäß des Gegentaktverfahrens jeweils durch (V(31) + V(33) + V(35) ) (V(32) + V(34) + V(36) ) und (V(37) + V(39) + V(41)) (V(38) + V(40) + V(42)) oder eine Summe davon gegeben. Das Informationssignal ist durch eine Differenz der optischen Leistung zwischen den beiden Lichtpunkten 20 und 21 gegeben, das heißt durch (V(31) + V(32) + V(33) + V(34) + V(35) + V(36)) - (V(37) + V(38) + V(39) + V(40) + V(41) + V(42).
Fig. 3 zeigt einen Querschnitt des Photodetektors 11. Der Photodetektor 11 weist eine N-Schicht 56, die eine leitende Schicht ist und durch Epitaxie auf einem N&spplus;-Siliziumsubstrat 63 gewachsen ist, und P-Schichten 51 und 52 auf, die innerhalb der N-Schicht 56 in der Nähe deren Oberfläche ausgebildet sind. Die P-Schichten 51 und 52 entsprechen jeweils den isolierten Segmentbereichen 30a und 30b.
Fig. 4 zeigt eine Signalnachweisschaltung zum Nachweisen des Jnformationssignals sowie des Fokussierungs- und Spurfehlersignals bei dem ersten herkömmlichen magneto-optischen Kopfsystem. Bei der Signalnachweisschaltung besteht jedes der lichtnachweisenden Segmente 31 bis 42 aus einer Photodiode mit einer Kathode, die einer Elektrode einer Oberseite entspricht, und einer Anode, die einer Elektrode einer Unterseite entspricht. Die Kathoden der lichtnachweisenden Segmente 31 bis 42 sind gemeinsam mit einem positiven Anschluß einer Vorspannungsquelle 77 verbunden, durch die an die Signalnachweisschaltung eine Vorspannung angelegt wird. Die Anoden der lichtnachweisenden Segmente 31, 32, 35, 36, 39 und 40 sind jeweils über Widerstände 96 bis 101 mit den Eingangsanschlüssen eines Addierers 78 verbunden. Die Anoden der lichtnachweisenden Segmente 33, 34, 37, 38, 41 und 42 sind jeweils über Widerstände 102 bis 107 mit den Eingangsanschlüssen eines Addierers 79 verbunden. Die Anoden der lichtnachweisenden Segmente 31, 33, 35, 37, 39 und 41 sind jeweils über Widerstände 108 bis 113 mit den Eingangsanschlüssen eines Addierers 80 verbunden. Die Anoden der lichtnachweisenden Segmente 32, 34, 36, 38, 40 und 42 sind jeweils über Widerstände 114 bis 119 mit den Eingangsanschlüssen eines Addierers 81 verbunden. Die Ausgangsanschlüsse der Addierer 78 und 79 sind mit den Eingangsanschlüssen eines Differential verstärkers 84 verbunden. Die Ausgangsanschlüsse der Addierer 80 und 81 sind mit den Eingangsanschlüssen eines Differentialverstärkers 85 verbunden. Die Anoden der lichtnachweisenden Segmente 31 bis 36 sind jeweils über Kondensatoren 126 bis 131 mit einem der beiden Eingangsanschlüsse eines Differential verstärkers 86 verbunden. Die Anoden der lichtnachweisenden Segmente 37 bis 42 sind jeweils über Kondensatoren 132 bis 137 mit dem anderen der beiden Eingangsanschlüsse des Differentialverstärkers 86 verbunden. Die Niederfrequenzkomponenten der Ausgangssignale der Differentialverstärker 84 und 85 ergeben jeweils das Fokussierungs- und Spurfehlersignal. Andererseits ergeben die Hochf requenzkomponenten der Ausgangssignale des Differentialverstärkers 86 das Informationssignal.
Fig. 5 zeigt ein zweites herkömmliches magneto-optisches Kopfsystem. Das magneto-optische Kopfsystem weist einen Halbleiterlaser 1, eine Kollimatorlinse 2, eine Objektivlinse 3, einen Strahlteiler 8, eine Linse 9, ein holographisches Element und einen Photodetektor 12 auf.
Im Betrieb wird ein von dem Halbleiterlaser 1 ausgestrahltes Laserlicht an der Kollimatorlinse 2 zu parallelem Licht und dann durch den Strahlteiler 8 geleitet. Das parallele Licht wird durch die Objektivlinse 3 fokussiert und einer magnetooptischen Platte 4 zugeführt. Ein Reflexionslicht des an der magneto-optischen Platte 4 reflektierten Laserlichts wird durch die Objektivlinse 3 geleitet und erreicht den Strahlteiler 8. Das Reflexionslicht reflektiert an dem Strahlteiler 8, um die Richtung zu der Linse 9 hin zu ändern, und erreicht durch die Linse 9 das holographische Element 10. Das holographische Element 10 besteht aus einem doppeibrechenden Kristall, dessen optische Achse einen Winkel von 90 Grad mit der polarisationsrichtung eines von außerhalb eingestrahlten polarisierten Lichts bildet, so daß das Reflexionslicht in drei Lichtstrahlen aufgeteilt wird, wobei der erste nichtgebeugtes Licht (Beugungslicht nullter Ordnung) ist, dessen polarisationsrichtung senkrecht zu der optischen Achse des Kristalls steht, und der zweite und dritte Lichtstrahl Beugungslicht ±1-ter Ordnung sind, deren polarisationsrichtungen parallel zu der optischen Achse des Kristalls sind. Diese drei Lichtstrahlen werden von dem Photodetektor 12 nachgewiesen.
Fig. 6 zeigt eine Draufsicht des holographischen Elements 10. Das holographische Element 10 ist in vier Bereiche 13 bis 16 unterteilt, so daß das von dem holographischen Element 10 erzeugte Beugungslicht ±1-ter Ordnung in vier Strahlen unterteilt wird, von denen jeder jeweils den Bereichen 13 bis 16 entspricht. Die Bereiche 13 und 14 werden durch eine zu der Spurrichtung der magneto-optischen Platte 4 senkrechte Linie unterteilt. Die Bereiche 15 und 16, die jeweils einen bootähnlichen Bereich darstellen, werden zu der Spur der magneto-op tischen Platte 4 symmetrisch zueinander angeordnet.
Fig. 7 zeigt einen Querschnitt des holographischen Elements 10. Das holographische Element 10 weist mehrere protonenausgetauschte Bereiche 18, die innerhalb eines aus einem doppelbrechenden Kristall bestehenden Lithiumniobatsubstrats 17 in der Nähe dessen Oberfläche periodisch ausgebildet sind, und Phasenkompensationsfilme 19 auf, die auf jedem der protonenausgetauschten Bereiche 18 ausgebildet sind.
Wenn ein ordentlicher Strahl, dessen Polarisationsrichtung senkrecht zu der optischen Achse des Lithiumniobatsubstrats 17 des holographischen Elements 10 steht, auf das holographische Element 10 gestrahlt wird, wird der ordentliche Strahl an ihm nicht gebeugt werden und darin ein Beugungslicht nullter Ordnung werden, da eine Phasendifferenz zwischen dem Licht, das durch eine Fläche in dem holographischen Element 10 ein schließlich der protonenausgetauschten Bereiche 18 geleitet wird, und dem Licht, das durch eine Fläche in ihm ohne die protonenausgetauschten Bereiche 18 geleitet wird, 0º beträgt Wenn andererseits ein außerordentlicher Strahl, dessen Polarisationsrichtung parallel zu der optischen Achse des Lithiumniobatsubstrats 17 des holographischen Elements 10 ist, auf das holographische Element 10 gestrahlt wird, wird der außerordentliche Strahl vollständig an ihm gebeugt werden und Beugungslicht ±1-ter Ordnung werden.
Die Fign. 8A bis 8C zeigen Lichtpunkte des Beugungslichts nullter und ±1-ter Ordnung auf den Photodetektormustern des Photodetektors 12. Der Photodetektor 12 weist drei isolierte Segmentbereiche 12a bis 12c auf. Der isolierte Segmentbereich 12a zum Nachweisen des Beugungslichts ±1-ter Ordnung besteht aus lichtnachweisenden Segmenten 43 bis 48, der isolierte Segmentbereich 12b zum Nachweisen des Beugungslichts nullter Ordnung besteht aus einem lichtnachweisenden Segment 49 und der isolierte Segmentbereich 12c zum Nachweisen des Beugungslichts -1-ter Ordnung besteht aus einem lichtnachweisenden Segment 50. Ein Lichtpunkt 22 auf dem isolierten Segmentbereich 12b entspricht dem Beugungslicht nullter Ordnung, die Lichtpunkte 23 bis 26 auf dem isolierten Segmentbereich 12a entsprechen dem Beugungslicht ±1-ter Ordnung, das durch die Bereiche 13 bis 16 des holographischen Elements 10 geleitet wird, und die Lichtpunkte 27 bis 30 auf dem isolierten Segmentbereich 12c entsprechen dem Beugungslicht -1-ter Ordnung, das durch die Bereiche 13 bis 16 des holographischen Elements 10 geleitet wird.
Die Größe und die Position der Lichtpunkte 22 bis 30 än dem sich in Übereinstimmung mit der Änderung des Fokussierzustands der magneto-optischen Platte 4. Wenn die Platte 4 in der Fokussierstellung ist, liegt der Lichtpunkt 22 in der Mitte des lichtnachweisenden Segments 49 (des isolierten Segmentbereichs 12b), der Lichtpunkt 23 liegt auf der Linie, die die lichtnachweisenden Segmente 43 und 44 trennt, der Lichtpunkt 24 liegt auf der Linie, die die lichtnachweisenden Segmente 45 und 46 trennt, die Lichtpunkte 25 und 26 liegen jeweils in der Mitte der lichtnachweisenden Segmente 47 und 48 und die Lichtpunkte 27 bis 30 liegen innerhalb des lichtnachweisenden Seg ments 50 (des isolierten Segmentbereichs 12c) und alle Lichtpunkte 22 bis 30 besitzen enge Punktbereiche, wie in Fig. 8B gezeigt ist. Wenn die Platte 4 über der Fokussierstellung ist, werden die Lichtpunkte größer. Der Lichtpunkt 22 wird ein scheibenförmiger Punkt, jeder der Lichtpunkte 23, 24, 27 und 28 wird ein halbmondf örmiger Punkt und jeder der Lichtpunkte 25, 26, 29 und 30 wird ein ovalförmiger Punkt, wie in Fig. 8A gezeigt ist. Die Lichtpunkte 22 und 25 bis 30 verbleiben innerhalb der entsprechenden lichtnachweisenden Segmente, wie sie in Fig. 5B sind, jedoch die Lichtpunkte 23 und 24 verschieben sich, um sich jeweils innerhalb der lichtnachweisenden Segmente 44 und 46 anzuordnen. Wenn die Platte 4 unterhalb der Fokussierstellung ist, besitzt jeder der Lichtpunkte 22 bis 30 die gleiche Form wie in Fig. 8A, jedoch ändern die Lichtpunkte 23, 24, 27 und 28 ihre Positionen, wie in Fig. 8C gezeigt ist. Die Lichtpunkte 27 und 28 verbleiben innerhalb des lichtnachweisenden Segments 50, jedoch die Lichtpunkte 23 und 24 bewegen sich jeweils von den lichtnachweisenden Segmenten 44 und 46 zu den lichtnachweisenden Segmenten 43 und 45.
Deshalb ist das Fokussierungsfehlersignal gemäß des Foucaultschen Verfahrens durch (V(43) + V(45)) - (V(44) + V(46)) gegeben. Das Spurfehlersignal ist gemäß des Gegentaktverf ahrens durch V(47) - V(48) gegeben. Das Informationssignal ist durch eine Differenz der optischen Leistung zwischen den Lichtpunkten 22 und einer Summe der Lichtpunkte 23 bis 30 gegeben, das heißt durch V(49) - (V(43) + V(44) + V(45) + V(46) + V(47) + V(48) + V(50)), wobei V(43) bis V(50) jeweils Ausgangssignale der lichtnachweisenden Segmente 43 bis 50 sind.
Fig. 9 zeigt einen Querschnitt des Photodetektors 12. Der Photodetektor 12 weist eine N-Schicht 57, die eine leitende Schicht ist und durch Epitaxie auf einem N&spplus;-Siliziumsubstrat 64 gewachsen ist, und P-Schichten 53 bis 55 auf, die innerhalb der N-Schicht 57 in der Nähe deren Oberfläche ausgebildet sind. Die P-Schichten 53 bis 55 entsprechen jeweils den isolierten Segmentbereichen 12a bis 12c.
Fig. 10 zeigt eine Signalnachweisschaltung des zweiten herkömmlichen magneto-optischen Kopfsystems. Bei der Signalnachweisschaltung besteht jedes der lichtnachweisenden Segmente 43 bis 50 aus einer Photodiode mit einer Kathode, die einer Elektrode einer Oberseite entspricht, und einer Anode, die einer Elektrode einer Unterseite entspricht. Die Kathoden der lichtnachweisenden Segmente 43 bis 50 sind gemeinsam mit einer Vorspannungsquelle 77 verbunden, durch die an die Signalnachweisschaltung eine Vorspannung angelegt wird. Die Anoden der lichtnachweisenden Segmente 43 und 45 sind jeweils über Widerstände 120 und 121 mit den Eingangsanschlüssen eines Ad dierers 82 verbunden. Die Anoden der lichtnachweisenden Segmente 44 und 46 sind jeweils über Widerstände 122 und 123 mit den Eingangsanschlüssen eines Addierers 83 verbunden. Die Ausgangsanschlüsse der Addierer 82 und 83 sind mit den Eingangsanschlüssen eines Differentialverstärkers 87 verbunden. Die Anoden der lichtnachweisenden Segmente 47 und 48 sind jeweils über Widerstände 124 und 125 mit den Eingangsanschlüssen eines Differentialverstärkers 88 verbunden. Die Anoden der lichtnachweisenden Segmente 43 bis 48 und 50 sind jeweils über Kondensatoren 143 bis 138 und 145 mit einem der beiden Eingangsanschlüsse eines Differentialverstärkers 89 verbunden. Eine Anode des lichtnachweisenden Segments 49 ist über einen Kondensator 144 mit dem anderen der beiden Eingangsanschlüsse des Differentialverstärkers 89 verbunden. Die Anoden der lichtnachweisenden Segmente 49 und 50 sind jeweils über Widerstände 90 und 91 mit der Erde verbunden. Die Niederf requenzkomponenten der Ausgangssignale der Differentialverstärker 87 und 88 ergeben jeweils das Fokussierungs- und Spurfehlersignal. Andererseits ergeben die Hochf requenzkomponenten der Ausgangssignale des Differentialverstärkers 89 das Informationssignal.
Als nächstes wird ein magneto-optisches Kopfsystem in einer ersten bevorzugten Ausführungsform erläutert werden. Die Grundstruktur des magneto-optischen Kopfsystems in der ersten bevorzugten Ausführungsform ist die gleiche wie diejenige des in Fig. 1 gezeigten ersten herkömmlichen magneto-optischen Kopfsystems, außer daß die Struktur eines Photodetektors in der ersten bevorzugten Ausführungsform von derjenigen in dem ersten herkömmlichen magneto-optischen Kopfsystem verschieden ist.
Fig. 11 zeigt einen Querschnitt des Photodetektors des magneto-optischen Kopfsystems in der ersten bevorzugten Ausführungsform. Der Photodetektor weist N-Schichten 58 und 59 auf, die durch Epitaxie auf einem Polysiliziumsubstrat 70 gewachsen sind, das ein Isolationsmaterial ist. Die N-Schichten 58 und 59 werden durch eine Isolierungsvertiefung 74 voneinander isoliert, deren unterer Teil tiefin der Mitte des Polysiliziumsubstrats 70 angeordnet ist. Die P-Schichten 51 und 52 sind jeweils innerhalb der N-Schichten 58 und 59 in der Nähe deren Oberfläche ausgebildet. Die P-Schichten 51 und 52 ent sprechen den isolierten Segmentbereichen 30a und 3db des Photodetektors 11, die jeweils in den Fign. 2A bis 2C gezeigt sind.
Der Photodetektor weist zwei isolierte Segmentbereiche 30a und 3db auf, die aus den lichtnachweisenden Segmenten 31 bis 36 bzw. 37 bis 42 bestehen, der der gleiche wie der Photodetektor 11 des ersten herkömmlichen magneto-optischen Kopfsystems ist, der in den Fign. 2A bis 2C gezeigt ist. Die Abbildungen der Lichtpunkte des aus dem Halbleiterlaser 1 ausgestrahlten Laserlichts sind die gleichen wie diejenigen, die in den Fign. 2A bis 2C gezeigt sind, und die Größe der Lichtpunkte ändert sich in Übereinstimmung mit der Änderung des Fokussierzustands auf der magneto-optischen Platte 4, genauso wie bei dem ersten herkömmlichen magneto-optischen Kopfsystem, so daß die Erläuterung nicht nochmals wiederholt werden wird.
Fig. 12 zeigt eine Signalnachweisschaltung des magneto-optischen Kopfsystems in der ersten bevorzugten Ausführungsform Die Kathoden der lichtnachweisenden Segmente 31 bis 36 sind gemeinsam sowohl mit einem ersten Anschluß eines Widerstands 92 als auch mit einem ersten Eingangsanschluß eines Differentialverstärkers 86 verbunden, während die Kathoden der lichtnachweisenden Segmente 37 bis 42 gemeinsam sowohl mit einem ersten Anschluß eines Widerstands 93 als auch mit einem zweiten Anschluß des Differentialverstärkers 86 verbunden sind. Die zweiten Anschlüsse der Widerstände 92 und 93 sind mit einem positiven Anschluß einer Vorspannungsquelle 77 verbunden, durch die an die Signalnachweisschaltung eine Vorspannung angelegt wird. Die Anoden der lichtnachweisenden Segmente 31, 32, 35, 36, 39 und 40 sind mit den Eingangsanschlüssen eines Addierers 78 verbunden, die Anoden der lichtnachweisenden Segmente 33, 34, 37, 38, 41 und 42 sind mit den Eingangsanschlüssen eines Addierers 79 verbunden, die Anoden der lichtnachweisenden Segmente 31, 33, 35, 37, 39 und 41 sind mit den Eingangsanschlüssen eines Addierers 80 verbunden und die Anoden der lichtnachweisenden Segmente 32, 34, 36, 38, 40 und 42 sind mit den Eingangsanschlüssen eines Addierers 81 verbunden. Die Ausgangsanschlüsse der Addierer 78 und 79 sind mit den Eingangsanschlüssen eines Differentialverstärkers 84 verbunden und die Ausgangsanschlüsse der Addierer 80 und 81 sind mit den Eingangsanschlüssen eines Differentialverstärkers 35 verbunden. Die Ausgangssignale der Differentialverstärker 84 und 85 ergeben jeweils das Fokussierungs- und Spurfehlersignal. Anderer- Seits ergibt ein Ausgangssignal des Differentialverstärkers 86 das Informationssignal.
Bei dem magneto-optischen Kopfsystem in der ersten bevorzugten Ausführungsform sind die N-Schichten 58 und 59 des Photodetektors, von denen jede einer Kathode der den Photodetektor bildenden Photodiode entspricht, durch die Isolierungsvertiefung 74 voneinander isoliert, und die N-Schichten 58 und 59 sind auf dem Polysiliziumsubstrat 70 ausgebildet, das ein Isolationsmaterial ist, so daß Signale von den isolierten Segmentbereichen 30a und 3db vollständig voneinander getrennt werden. Folglich ist es möglich, das Informationssignal aus den Kathoden der lichtnachweisenden Segmente 31 bis 42 zu erhalten, indem eine Differenz aus einer Summe der Signale von den Kathoden 31 bis 36 und einer Summe der Signale von den Kathoden 37 bis 42 verstärkt wird, wie in Fig. 12 gezeigt ist. Das Fokussierungs- und Spurfehlersignal werden von den Anoden der lichtnachweisenden Segmente 31 bis 42 übergeben, die die gleichen wie bei dem herkömmlichen magneto-optischen Kopfsystem sind, so daß Beeinflussungen des Informationssignals und der Fokussierungs- und Spurfehlersignale aufgrund von Rauschen, das durch die Schaltungen zum Nachweisen dieser Signale erzeugt wird, verhindert werden.
Als nächstes wird ein magneto-optisches Kopfsystem in einer zweiten bevorzugten Ausführungsform erläutert werden. Die Grundstruktur des magneto-optischen Kopfsystems in der zweiten bevorzugten Ausführungsform ist die gleiche wie diejenige des in Fig. 5 gezeigten zweiten herkömmlichen magneto-optischen Kopfsystems, außer daß die Struktur eines Photodetektors in der zweiten bevorzugten Ausführungsform von derjenigen in dem zweiten herkömmlichen magneto-optischen Kopfsystem verschieden ist.
Fig. 13 zeigt einen Querschnitt des Photodetektors des magneto-optischen Kopfsystems in der zweiten bevorzugten Ausführungsform. Der Photodetektor weist N-Schichten 60 bis 62 auf, die durch Epitaxie auf einem Polysiliziumsubstrat 71 gewachsen sind, das ein Isolationsmaterial ist. Die N-Schichten 6D bis 62 sind durch Isolierungsvertiefungen 75 und 76 voneinander isoliert, deren untere Teile tiefin der Mitte des Polysiliziumsubstrats 71 angeordnet sind. Die P-Schichten 53 bis 55 sind jeweils innerhalb der N-Schichten 60 bis 62 in der Nähe deren Oberfläche ausgebildet. Die P-Schichten 53 bis 55 entsprechen jeweils den isolierten Segmentbereichen 12a bis 12c des in den Fign. 8A bis 8C gezeigten Photodetektors 11.
Der Photodetektor weist drei isolierte Segmentbereiche 12a bis 12c auf, die jeweils aus lichtnachweisenden Segmenten 43 bis 48, 49 und 50 bestehen, der der gleiche wie der Photodetektor 12 des zweiten herkömmlichen magneto-optischen Kopfsystems ist, der in den Fign. 8A bis 8C gezeigt ist. Die Abbildungen der Lichtpunkte des von einem Halbleiterlaser 1 ausgestrahlten Laserlichts sind die gleichen wie diejenigen, die in den Fign. 8A bis 80 gezeigt sind. Die Größe, die Form und die Position der Lichtpunkte ändern sich in Übereinstimmung mit der Änderung des Fokussierzustands auf der magneto-optischen Platte 4 genauso wie bei dem zweiten herkömmlichen magneto-optischen Kopfsystem. Deshalb wird die Erläuterung nicht nochmals wiederholt werden.
Fig. 14 zeigt eine Signalnachweisschaltung des magneto-optischen Kopfsystems in der zweiten bevorzugten Ausführungsform. Die Kathoden der lichtnachweisenden Segmente 43 bis 48 und 50 sind gemeinsam sowohl mit einem ersten Anschluß eines Widerstands 94 als auch mit einem ersten Eingangsanschluß eines Differentialverstärkers 89 verbunden, während eine Kathode des lichtnachweisenden Segrnents 49 sowohl mit einem ersten Anschluß eines Widerstands 95 als auch mit einem zweiten Eingangsanschluß des Differentialverstärkers 89 verbunden ist. Die zweiten Anschlüsse der Widerstände 94 und 95 sind mit einem positiven Anschluß einer Vorspannungsquelle 77 verbunden, durch die an die Signalnachweisschaltung eine Vorspannung angelegt wird. Die Anoden der lichtnachweisenden Segmente 43 und 45 sind mit den Eingangsanschlüssen eines Addierers 82 verbunden und die Anoden der lichtnachweisenden Segmente 44 und 46 sind mit den Eingangsanschlüssen eines Addierers 83 verbunden. Die Ausgangsanschlüsse der Addierer 82 und 83 sind mit den Eingangsanschlüssen eines Differentialverstärkers 87 verbunden. Die Anoden der lichtnachweisenden Segmente 47 und 48 sind mit den Eingangsanschlüssen eines Differentialverstärkers 88 verbunden. Die Anoden der lichtnachweisenden Segmente 49 und 50 sind jeweils über Widerstände 90 und 91 mit der Erde verbunden. Die Ausgangssignale der Differentialverstärker 87 und 88 ergeben jeweils das Fokussierungs- und Spurfehlersignal. Andererseits ergibt ein Ausgangssignal des Differentialverstärkers 89 das Informationssignal.
Bei dem magneto-optischen Kopfsystem in der zweiten bevorzugten Ausführungsform ist es möglich, das Informationssignal aus den Kathoden der lichtnachweisenden Segmente 43 bis 50 zu erhalten, indem eine Differenz aus einem Signal von der Kathode des lichtnachweisenden Segments 49 und einer Summe der Signale von den Kathoden der lichtnachweisenden Segmente 43 bis 48 und 50 verstärkt wird, wie in Fig. 14 gezeigt ist. Das Fokussierungs- und Spurfehlersignal werden von den Anoden der lichtnachweisenden Segmente 43 bis 50 übergeben, so daß Beeinflussungen des Informationssignals und des Fokussierungs- und Spurfehlersignals aufgrund von Rauschen, das durch die Schaltungen zum Nachweisen dieser Signale erzeugt wird, verhindert werden, genauso wie in der ersten bevorzugten Ausführungsform Als nächstes wird ein magneto-optisches Kopfsystem in einer dritten bevorzugten Ausführungsform erläutert werden. Die Grundstruktur des magneto-optischen Kopfsystems in der dritten bevorzugten Ausführungsform ist die gleiche wie diejenige in der ersten bevorzugten Ausführungsform, außer daß die Struktur eines Photodetektors in der dritten bevorzugten Ausführungsform von derjenigen in der ersten bevorzugten Ausführungsform verschieden ist.
Fig. 15 zeigt einen Querschnitt des Photodetektors des magneto-optischen Kopfsystems in der dritten bevorzugten Ausführungsform. Der Photodetektor weist N-Schichten 58 und 59 auf, die durch Epitaxie jeweils auf N&spplus;-Siliziumsubstraten 65 und 66 gewachsen sind. Die P-Schichten 51 und 52 sind jeweils innerhalb der N-Schichten 58 und 59 in der Nähe deren Oberfläche ausgebildet. Die P-Schichten 51 und 52 entsprechen jeweils den isolierten Segmentbereichen 30a und 3db des in den ign. 2A bis 20 gezeigten Photodetektors 11. Die N&spplus;-Siliziumsubstrate 65 und 66 sind auf einem keramischen Hilfsträger 72 befestigt, der ein Isolationsmaterial ist. Ein Block, der aus der N-Schicht 58 und dem N&spplus;-Siliziumsubstrat 65 besteht, ist von dem anderen Block, der aus der N-Schicht 59 und dem N&spplus;- Siliziumsubstrat 66 besteht, durch eine Isolierungsvertiefung 74 isoliert, deren unterer Teil tiefin der Mitte des keramischen Hilfsträgers 72 angeordnet ist.
Der Photodetektor weist zwei isolierte Segmentbereiche 30a und 3db auf, die aus lichtnachweisenden Segmenten 31 bis 36 bzw. 37 bis 42 bestehen, der der gleiche wie der Photodetektor 11 des ersten herkömmlichen magneto-optischen Kopfsystems ist, der in den Fign. 2A bis 2C gezeigt ist. Die Abbildungen der Lichtpunkte des von einem Halbleiterlaser 1 ausgestrahlten Laserlichts sind die gleichen wie diejenigen, die in den Fign. 2A bis 2C gezeigt sind. Die Größe der Lichtpunkte ändert sich in Übereinstimmung mit der Änderung der Fokussierstellung auf der magneto-optischen Platte 4, genauso wie bei dem ersten herkömmlichen magneto-optischen Kopfsystem. Deshalb wird die Erläuterung nicht nochmals wiederholt werden.
Die Signalnachweisschaltung des magneto-optischen Kopf- Systems in der dritten bevorzugten Ausführungsform ist die gleiche wie diejenige in Fig. 12, so daß eine weitere Erläuterung hier nicht durchgeführt werden wird.
Als nächstes wird ein magneto-optisches Kopfsystem in einer vierten bevorzugten Ausführungsform erläutert werden. Die Grundstruktur des magneto-optischen Kopfsystems in der vierten bevorzugten Ausführungsform ist die gleiche wie diejenige in der zweiten bevorzugten Ausführungsform, außer daß die Struktur eines Photodetektors in der vierten bevorzugten Ausführungsform von derjenigen in der zweiten bevorzugten Ausführungsform verschieden ist.
Fig. 16 zeigt einen Querschnitt des Photodetektors des magneto- optischen Kopfsystems in der vierten bevorzugten Ausführungsform. Der Photodetektor weist N-Schichten 60 bis 62 auf, die durch Epitaxie jeweils auf N&spplus;-Siliziumsubstraten 67 bis 69 gewachsen sind. Die P-Schichten 53 bis 55 sind jeweils innerhalb der N-Schichten 60 bis 62 in der Nähe deren Oberfläche ausgebildet Die P-Schichten 53 bis 55 entsprechen jeweils den isolierten Segmentbereichen 12a bis 12c des Photodetektors 12, der in den Fign. 8A bis 8C gezeigt ist. Die N&spplus;- Siliziurnsubstrate 67 bis 69 sind auf einem keramischen Hilfsträger 73 befestigt, der ein Isolationsmaterial ist. Drei Blökke, von denen der erste aus der N-Schicht 60 und dem N&spplus;-Siliziumsubstrat 67 besteht, von denen der zweite aus der N-Schicht 61 und dem N&spplus;-Siliziumsubstrat 68 besteht, und von denen der dritte aus der N-Schicht 62 und dem N&spplus;-Siliziurnsubstrat 69 besteht, werden durch Isolierungsvertiefungen 75 und 76 voneinander isoliert, deren untere Teile tiefin der Mitte des keramischen Hilfsträgers 73 angeordnet sind.
Der Photodetektor weist drei isolierte Segmentbereiche 12a bis 12c auf, die jeweils aus lichtnachweisenden Segmenten 43 bis 48, 49 bis 50 bestehen, der der gleiche ist wie der Photodetektor 12 des zweiten herkömmlichen magneto-optischen Kopfsystems, der in den Fign. 8A bis 8C gezeigt ist. Die Abbildungen der Lichtpunkte des von einem Halbleiterlaser 1 ausgestrahlten Laserlichts sind die gleichen wie diejenigen, die in den Fign. 8A bis 8C gezeigt sind. Die Größe, die Form und die Position der Lichtpunkte ändern sich in Übereinstimmung mit der Änderung des Fokussierzustands auf der magneto-optischen Platte 4, genauso wie bei dem zweiten herkömmlichen magnetooptischen Kopfsystem. Deshalb wird die Erläuterung nicht nochmals wiederholt werden.
Die Signalnachweisschaltung des magneto-optischen Kopfsystems in der vierten bevorzugten Ausführungsform ist die gleiche wie diejenige in Fig. 14, so daß eine weitere Erläuterung hier nicht durchgeführt werden wird.

Claims

1. Magneto-optisches Kopfsystem mit

einer Laserlichtquelle (1) zum Ausstrahlen eines Laserlichts;

einem optischen System (2, 3) zum Fokussieren des von der Laserlichtquelle (1) ausgestrahlten Laserlichts auf eine magneto-optische Platte (4);

Einrichtungen (5, 7) zum Trennen eines Reflexionslichts des an der magneto-optischen Platte (4) reflektierten Laserlichts in mehrere polarisierte Lichtstrahlen mit senkrecht zueinander liegenden Polarisationsrichtungen; und

einem Photodetektor zum Nachweisen mehrerer polarisierter Lichtstrahlen, wobei der Photodetektor aus mehreren lichtnachweisenden Segmenten (31 bis 42; 43 bis 50) besteht, von denen jedes aus einer Photodiode besteht, die voneinander isoliert sind;

wobei ein Informationssignal der magneto-optischen Platte (4) durch die Kathoden mehrerer lichtnachweisender Segmente (31 bis 42; 43 bis 50) nachgewiesen wird; und

ein Fokussierungs- und Spurfehlersignal der magneto-optischen Platte durch Anoden der mehreren lichtnachweisenden Segmente nachgewiesen werden; dadurch gekennzeichnet, daß

jedes der mehreren lichtnachweisenden Segmente des Photodetektors eine erste Halbleiterschicht (58, 59; 60 - 62) eines ersten leitenden Typs, die auf einem isolierenden Substrat (70; 71; 72; 73) ausgebildet ist, und eine zweite Halbleiterschicht (51, 52; 53 - 55) eines zweiten leitenden Typs aufweist, die innerhalb der ersten Halbleiterschicht (58, 59; 60 - 62) ausgebildet ist, um einen Heteroübergang zu bilden; und die mehreren lichtnachweisenden Segmente durch mindestens eine Vertiefung (74; 75, 76) mit einem unteren Teil, das tief in der Mitte des isolierenden Substrats angeordnet ist, voneinander isoliert sind.

2. Magneto-optisches Kopfsystem nach Anspruch 1, wobei das isolierende Substrat aus einem isolierenden keramischen Träger (72; 73) besteht und wobei ein leitendes Substrat (65, 66; 67 - 69) zwischen dem isolierenden keramischen Träger (72; 73) und der ersten Halbleiterschicht (58, 59; 60 - 62) angeordnet ist.