DE69207482T2 - Werkstoff für Lochmaske mit hoher Schärfe und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents

Werkstoff für Lochmaske mit hoher Schärfe und Verfahren zu seiner Herstellung

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Description

  • Die Erfindung betrifft Fe-Ni-Legierungen für eine Abdeckmaske mit hoher Feinheit und insbesondere ein Material für eine Abdeckmaske mit ausgezeichneten Heißbearbeitungseigenschaften sowie verbesserten Ätzeigenschaften. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen Materials.
  • Neuerdings wird Invar-Stahl (eine Fe-36ni-Legierung) mit niedrigen thermischen Ausdehnungseigenschaften mit steigender Popularität anstelle des herkömmlichen aluminiumberuhigten Stahls (AK-Stahl) für solche Anwendungszwecke, wie Teile von Fernsehapparaten, Displays mit hoher Feinheit und dergleichen, verwendet. Es ist aber bekannt, daß Fe-Ni-Legierungen, obgleich sie ausgezeichnete niedrige thermische Ausdehnungselgenschaften haben, schlechte Heißbearbeitungseigenschaften besitzen, und daß sie hinsichtlich der Ätzeigenschaften AK-Stahl unterlegen sind.
  • Zur Verbesserung der Heißbearbeitungseigenschaften von Fe- Ni-Legierungen ist schon beispielsweise in den JP-OSen Nrn. 159157/85, 101116/90, 182828/90 und 54744/90 der Zusatz von Bor zu den Legierungen vorgeschlagen worden. Da das in den Legierungen enthaltene Bor den Ätzvorgang stört, wurde die Entfernung von Bor aus den Legierungen durch eine Glühbehandlung in feuchtem Wasserstoffgas in der JP-PS Nr. 38658/90 vorgeschlagen.
  • Was die Ätzeigenschaften betrifft, so ist es bekannt, daß im Falle von Feinätzen, z.B. einem Ätzen für Abdeckmasken, schon geringfügige geometrische Schwankungen der Ätzlöcher (eine Schwankung der Ätzlöcher im Durchmesser, eine Ungleichheit der Ätzoberfläche, etc.) die Qualität der gebildeten Maske beeinträchtigen kann und zu Defekten im Aussehen, wie Maskenungleichmäßigkeit, führen kann. Zur Überwindung dieses Problems ist in den JP-PS Nrn. 32859/84 (entsprechend der US-PS Nr. 4 528 246) und 9655/90 schon vorgeschlagen worden, die Kristallorientierung des Materials so zu regulieren, daß durch Photoätzen die gleichförmige Bildung von feinen Löchern mit hoher Dichte und hoher Präzision möglich ist.
  • Bor ist tatsächlich dazu wirksam, wie oben beschrieben, die Heißbearbeitungseigenschaften zu verbessern. Im Falle einer Abdeckmaske mit hoher Feinheit, bei der eine Präzisionsätzung erforderlich ist, tritt aber, wenn Bor, wie in den oben beschriebenen japanischen Patentanmeldungen vorgeschlagen, zugegeben wird, das Problem auf, daß die geätzte Oberfläche ungleichmäßig wird, wodurch Maskenungleichmäßigkeiten durch den Effekt eines chemischen Interkornresists bewirkt werden, der durch die Schrägabscheidung von Bor an den Korngrenzen erzeugt wird.
  • Zur Überwindung dieses Problems ist in der JP-PS Nr. 38658/90 vorgeschlagen worden, das Bor dadurch zu entfernen, daß man eine Glühbehandlung in feuchtem Wasserstoffgas, wie oben beschrieben, durchführt. Da diese Entboronisierungsbehandlung eine Diffusionsbehandlung ist, sind aber hohe Temperaturen und lange Zeiten für die Behandlung erforderlich, was im Hinblick auf die Energieeinsparung ungünstig ist. Diese Behandlung bringt auch verschiedene andere Probleme mit sich. So kann beispielsweise die Naterialoberfläche durch eine geringe O&sub2;-Menge, die in der Glühatmosphäre vorhanden ist, oxidiert werden, wodurch die Maskierungs- und Ätzvorgänge beeinträchtigt werden.
  • In den JP-PS Nrn. 32859/84 und 9655/90 wird ein Legierungsblech mit niedriger thermischer Ausdehnung beschrieben, bei dem mehr als 35% der {100}-Seite auf der Blechoberfläche zusammengestellt sind.
  • Memoires et Etudes Scientifiques Revue de Métallurgie, Nov. 90, S. 691, Tabelle I, beschreibt eine Fe-Ni36%- Legierung, die als S10BN5 bezeichnet wird, und die 36,9% Ni, 0,0005% B, 0,0011% S, Rest, abgesehen von geringfügigen Verunreinigungen an N und C, Fe enthält. Dieses Dokument beschreibt aber nicht die Verwendung der genannten Legierung zur Herstellung eines Abdeckmaskenmaterials mit hoher Feinheit, noch legt es diese nahe.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Verwendung einer Legierung zur Herstellung eines Abdeckmaskenmaterials mit hoher Feinheit bereitzustellen, das ausgezeichnete Heißbearbeitungseigenschaften und Ätzeigenschaften hat. Es soll auch ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen Materials bereitgestellt werden.
  • Mit dem Ziel, beiden Erfordernissen der Heißbearbeitungseigenschaften und der Ätzeigenschaften von Fe-Ni36-Legierungen zu genügen, haben die benannten Erfinder Untersuchungen hinsichtlich des Effekts der Zugabe von nicht nur Bor, sondern auch von anderen Elementen, wie Titan und Magnesium, des Effekts der Verunreinigungselementen wie Schwefel und Aluminium, der kristallographischen Orientierung und anderen Faktoren, durchgeführt. Als Ergebnis haben sie die optimalen Komponenten und Eigenschaften für ein Abdeckmaskenmaterial mit hoher Feinheit, und auch ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen Materials gefunden. Die Erfindung baut sich auf der Basis dieser neuen Auffindungen auf.
  • Hinsichtlich der Zusammensetzung wurde gefunden, daß Titan und Magnesium einen Zugabeeffekt ähnlich von Bor haben, und daß es durch Begrenzung der Gehalte von Schwefel und Aluminium auf nicht mehr als 0,0020% bzw. nicht mehr als 0,020%, möglich wird, den Verbesserungseffekt auf die Heißbearbeitungseigenschaften selbst dann aufrechtzuerhalten, wenn die Gesamtzugabemenge von Bor, Magnesium und Titan, die einen nachteiligen Effekt auf die Ätzeigenschaften ausübt, als "quid pro quo" zur Verleihung einer Korrosionsbeständigkeit auf etwa 0,0001%, wie in Fig. 1 gezeigt wird, vermindert wird. Es wurde weiterhin gefunden, daß der nachteilige Effekt von Bor, Magnesium und Titan auf die Ätzeigenschaften (was zu Unregelmäßigkeiten der Maske führt) verschwindet, wenn die Gesamtzugabemenge der genannten Elemente auf der kleineren Wertseite der Grenzlinie von 0,0015-0,0001% liegt. (In Fig. 1 wird die kritische Zugabemenge dieser Elemente als 0,0015% angegeben.) Kurz gesagt, es wurde gefunden, daß beiden Erfordernissen, nämlich der Heißbearbeitungseigenschaften und der Ätzeigenschaften, zur gleichen Zeit genügt werden könnte, wenn man die Gehalte von Schwefel und Aluminium auf weniger als die angegebenen Werte begrenzt.
  • Die benannten Erfinder haben weiterhin als Ergebnis von ausgedehnten Untersuchungen der Anisotropie der Form der Ätzlöcher in Beziehung zu dem {100}-Orientierungsintegrationsgrad der gewalzten Oberfläche und dem später beschriebenen Ätzfaktor gefunden, daß durch Begrenzung des {100}-Orientierungsintegrationsgrads innerhalb eines geeigneten Bereichs die Anisotropie der Form der Ätzlöcher eliminiert werden kann, der Ätzfaktor verbessert werden kann, und daß daher die Ätzeigenschaften in ausgeprägter Weise verbessert werden können. Genauer gesagt, es wurde gefunden, daß wenn der {100}-Orientierungsintegrationsgrad (%) der gewalzten Oberfläche im Bereich von 50-95% definiert wird, daß dann die Anisotropie der Form jedes Ätzlochs verschwindet und daß ein Ätzfaktor (EF) von 2 oder größer erhalten wird, wie in Fig. 2 gezeigt wird. In diesem Fall ist zu beachten, daß wenn der Gesamtgehalt von Bor, Titan und Magnesium auf weniger als 0,0015% eingestellt wird, wo keinerlei nachteiliger Effekt auf die Ätzeigenschaften, insbesondere Maskenunregelmäßigkeiten be wirkt werden, der Integrationsgrad dann nur aufgrund der Kaltreduktion festgelegt werden kann, ungeachtet des Gesamtgehalts von Bor, Magnesium und Titan. Das heißt zur Festlegung des genannten Integrationsgrades braucht lediglich die Kaltreduktion innerhalb eines speziellen Bereiches eingestellt zu werden und es besteht keine Notwendigkeit, diesem Gehalt irgendwelche Aufmerksamkeit zu schenken. Diese Tatsache kann die Bestimmung der Produktionsbedingungen vereinfachen. Die Regulierung des {100}-Orientierungsintegrationsgrades (%) der gewalzten Oberfläche gemäß der Erfindung wird daher von beiden Aspekten der Anisotropie der Form der Ätzlöcher und des Ätzfaktors bestimmt. Hier wird der Ätzfaktor (EF) wie folgt definiert: EF = D/S, wobei D und S wie in Fig. 4 bezeichnet sind (Querschnittsschema des Ätzvorgangs).
  • Gegenstand der Erfindung ist daher die Verwendung einer Legierung, bestehend aus 33 bis 40 Gew.-% Ni, 0,0001 bis 0,0015 Gew.-% von einem oder mehreren von Bor, Magnesium und Titan, Rest Fe, wobei die Gehalte an Schwefel und Aluminium auf nicht mehr als 0,0020% bzw. nicht mehr als 0,020% begrenzt sind, zur Herstellung einer Abdeckmaske mit hoher Feinheit.
  • Eine bevorzugte Ausführungsform ist dadurch gekennzeichnet, daß die Legierung eine gewalzte Oberfläche hat, deren {100}-Orientierungsintegrationsgrad 70 bis 95% beträgt.
  • Ein weiterer Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung einer Abdeckmaske mit hoher Feinheit, umfassend die Heißbearbeitung eines Materials für eine Abdeckmaske mit hoher Feinheit, bestehend aus der Legierung nach Anspruch 1, und anschließendes Kaltwalzen bei einer Reduktion von 50 bis 95% und mindestens einem Glühbehandlunglauf bei 600 bis 900ºC, um den Grad der {100}-Orientierungsintegration der gewalzten Oberfläche auf 70 bis 95% einzustellen.
    • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Fig. 1 ist ein Diagramm, das die Beziehung zwischen den Gehalten an Bor, Magnesium, Titan und Aluminium und den Heißbearbeitungseigenschaften und Ätzeigenschaften zeigt.
  • Fig. 2 ist ein Diagramm, das die Beziehung zwischen der {100}-Kristallorientierung und den Ätzeigenschaften und den Gehalten an Bor, Magnesium und Titan zeigt.
  • Fig. 3 ist eine schematische Illustration der Anisotropie des Ätzens.
  • Fig. 4 ist ein Schema, das den Ätzfaktor (EF) zeigt.
  • Die Definitionen der erfindungsgemäßen Zahlenwerte bauen sich auf folgenden Gründen auf.
  • Was den Ni-Gehalt betrifft, so wird, wenn dieser weniger als 33 Gew.-% ist, die Austenitstruktur instabil. Wenn andererseits der Gehalt über 40 Gew.-% hinausgeht, dann nimmt der Koeffizient der thermischen Ausdehnung der Zusammensetzung zu, wodurch es unmöglich gemacht wird, dem Erfordernis für niedrige thermische Ausdehnungseigenschaften zu genügen. Aus diesen Gründen wird der Ni-Gehalt als im Bereich von 33 bis 40 Gew.-% liegend definiert.
  • Bor, Magnesium und Titan sind Elemente, die die Heißbearbeitungseigenschaften verbessern. Wenn aber die zusammengenommene Menge von Bor, Magnesium und/oder Titan weniger als 0,0001 Gew.-% beträgt, dann wird kein Verbesserungseffekt der Heißbearbeitungseigenschaften erzielt. Wenn umgekehrt die genannte Menge über 0,0015% hinausgeht, dann wird die chemische Zwischenkornbeständigkeit der Kristalle erhöht, wodurch ein gleichförmiges Fortschreiten des Ätzens mittels einer FeCl&sub3;-Lösung oder dergleichen behindert wird. In diesem Fall werden Unregelmäßigkeiten der Maske bewirkt, die von einer Ungleichmäßigkeit der Ätzoberfläche aufgrund schlechter Ätzeigenschaften herrühren. Die zusammengenommene Menge von Bor, Magnesium und/oder Titan wird daher als 0,0001 bis 0,0015 Gew.-% definiert. Der optimale Bereich dieser Elemente beträgt 0,0001 bis 0,0010 Gew. -%. Die oben angegebene Zugabe von Bor, Magnesium und/oder Titan kann fast perfekt das Risiko der Bewirkung von Maskenunregelmäßigkeiten eliminieren.
  • Was Schwefel und Aluminium betrifft, so vermindern diese, wenn ihre Gehalte über 0,002% bzw. 0,02% hinausgehen, den die Heißbearbeitungseigenschaften verbessernden Effekt des Bors etc. In diesem Fall können auch Unregelmäßigkeiten der Maske bewirkt werden, wodurch die Ätzeigenschaften, wie in Fig. 1 gezeigt, verschlechtert werden. Demgemäß sollten ihre Gehalte weniger als 0,020% bzw. 0,002% sein.
  • Die zusammengenommenen Gehalte von Bor, Magnesium und/oder Titan und die Gehalte an Schwefel und Aluminium sind wegen ihrer komplementären Beziehung auf einen Wert innerhalb des schraffierten Gebiets des Diagramms der Fig. 1 beschränkt.
  • Wenn die Kaltreduktion nach dem Heißverwalzen weniger als 50% ist, dann ist der Fortschritt der {100}-Orientierung langsam ({100} < 70%), und es wird auch unmöglich, einen Nachglüh-Ätzfaktor (EF) von 2 oder mehr als 2 zu erhalten. Dieser ist ein Index für die verschiedenen Elemente bei der Herstellung der Abdeckmaske, wie dem Verhältnis der gegenseitigen Intervalle der Löcher zu der Dicke des Blechs. Wenn andererseits die Kaltreduktion über 95% hinausgeht, dann ist die {100}-Seite stark zu einem Integrationsgrad von mehr als 95% orientiert, wodurch eine außerordentliche Anisotropie der Form der Ätzlöcher bewirkt wird. Somit wird in diesem Fall die Form der Ätzlöcher kein echter Kreis. Die Kaltreduktion wird deshalb als im Bereich von 50 bis 95% liegend definiert, während der {100}-Orientierungsintegrationsgrad als im Bereich von 70 bis 95% liegend definiert wird.
  • Die Fig. 3A und 3B sind schematische Darstellungen der Anisotropie der Form der Ätzlöcher. Wie aus diesen Schemata hervorgeht, wird, wenn die Kaltreduktion und der {100}- Orientierungsintegrationsgrad beider über 95% hinausgehen, die Anisotropie der Form der Ätzlöcher deutlich sichtbar.
  • Wenn die Glühtemperatur nach dem Kaltwalzen unterhalb von 600ºC liegt, dann ist die Rekristallisation ungenügend, und das Wachstum der {100}-Seite ist träge, so daß die faserartige Struktur, die zum Zeitpunkt des Walzens gebildet wird, teilweise zurückbleibt und die gewünschte Form der Ätzlöcher nicht erhalten werden kann. Wenn die Glühtemperatur oberhalb von 900ºC liegt, dann erfolgt ein zu starkes Wachsen der Kristallkörner, und den Enden der Ätzlöcher fehlt die Schärfe. Die Glühbehandlungstemperatur wird daher als im Bereich von 600 bis 900ºC liegend definiert.
  • Die Glühbehandlungszeit ist vorzugsweise nicht weniger als 60 Sekunden, da ansonsten die Tendenz besteht, daß die Nichtgleichförmigkeit der Rekristallisation zunimmt. Es wird aber darauf hingewiesen, daß eine unnötig verlängerte Glühbehandlungszeit zu einer Verminderung der Massenproduktivität führt. Die Anzahl der Glühbehandlungen nach dem Walzen wird von der Kaltreduktion bestimmt. Nach dem Entglühen kann ein Walzen zur Temperung und eine Spannungsminderungstemperung durchgeführt werden.
  • Wie oben beschrieben, betrifft die erste Ausführungsform der Erfindung ein Abdeckmaskenmaterial mit hoher Feinheit mit verbesserten Heißbearbeitungseigenschaften, bei dem die nachteiligen Effekte von Bor, Magnesium und Titan auf die Ätzeigenschaften beseitigt worden sind, indem die Mengen von Bor, Magnesium und Titan, die den Ätzeigenschaften gegenüber nachteilig sind, vermindert werden. Gleichzeitig werden die Gehalte an Schwefel und Aluminium innerhalb spezieller Bereiche liegend definiert. Die zweite Ausführungsform der Erfindung betrifft auch ein wirtschaftliches und qualitativ hochwertiges Material für eine Abdeckmaske mit nicht vorhergesehenen ausgezeichneten Eigenschaften hinsichtlich der Heißbearbeitungseigenschaften und der Ätzeigenschaften. Diese Verbesserung wird durch spezielle Walz- und Glühbehandlungsverfahrensweisen, die die dritte Ausführungsform der Erfindung darstellen, erzielt.
    • Beispiele
  • Legierungen mit den Zusammensetzungen gemäß Tabelle 1 wurden in einem Vakuum-Induktionsschmelzofen aufgeschmolzen. Die Schmelzen wurden sodann geschmiedet und bei 1100 bis 1150ºC heißbearbeitet, um heißgewalzte Spulen mit vorbestimmter Dicke zu bilden. Nach dem Beizen und Polieren der Oberfläche wurden die Spulen einem Kaltwalzen und einer Glühbehandlung bei den Kaltreduktionen und Temperaturen gemäß Tabelle 2 unterworfen, wodurch Blechprobekörper mit einer Dicke von 0,15 mm erhalten wurden. Die Heißbearbeitungseigenschaften und die Testergebnisse der genannten Probekörper sind in Tabelle 2 zusammengestellt. Tabelle 1 Zusammensetzung (Gew -%) Bemerkungen Materialien gemäß der zweiten Ausführungsform Zwischenmaterialien gemäß der ersten Ausführungsform Zusammensetzung (Gew -%) Bemerkungen Vergleichsmaterialien Tabelle 2 Ätzeigenschaften Nr. Heißbearbeitungseigenschaften Kaltreduktion (%) Glühbehandlungstemperatur (ºC) {100}-System (%) E.F. Anisotropie der Lochform Gleichförmigkeit der Maske Bemerkungen ausgezeichnet keine gut Material gemäß der zweiten Ausführungsform beobachtet schlecht Zwischenmaterialien gemäß der ersten Ausführungsform Ätzeigenschaften Nr. Heißbearbeitungseigenschaften Kaltreduktion (%) Glühbehandlungstemperatur (ºC) {100}-System (%) E.F. Anisotropie der Lochform Gleichförmigkeit der Maske Bemerkungen beobachtet schlecht keine Vergleichsmaterialien ausgezeichnetDie Heißwalzeigenschaften wurden durch das Vorhandensein oder die Abwesenheit von Rissen in dem Walzblock bewertet. Der {100}-Orientierungsintegrationsgrad wurde anhand der folgenden Formel (1) auf der Basis der relativen Intensität I im Röntgenbeugungsspektrum der Hauptorientierung der {111}-, {100}-, {110}- und {311}-Ebenen bestimmt:
  • Die Ätzeigenschaften wurden durch Messung des Ätzfaktors (EF) und durch Untersuchung der Anwesenheit oder Abwesenheit einer Anisotropie der Form der Ätzlöcher nach dem Heißentfetten des 0,15 mm dicken blanken Blechs, durch Unterwerfung einer Photoresistmaskierung mit vorbestimmtem Muster und durch Sprühätzen mit einer FeCl&sub3;-Lösung bestimmt. Die Maskengleichförmigkeit (Qualität) wurde durch visuelle Beobachtung bewertet.
  • Aus Tabelle 2 wird ersichtlich, daß die Legierungsproben 1 bis 19 gemäß der Erfindung alle ausgezeichnete Heißbearbeitungseigenschaften hatten, da sie ein oder mehrere der Elemente Bor, Magnesium und Titan in den richtigen Mengen enthielten. Auch ihre Schwefel- und Aluminiumgehalte waren vermindert. Von diesen Proben hatten die Nrn. 1 bis 11, die auf einen {100}-Orientierungsintegrationsgrad von 70 bis 95% eingestellt worden waren, indem die Kaltreduktions- und Glühbehandlungsbedingungen eingestellt wurden, einen EF-Wert von 2 oder größer, und sie waren von einer Anisotropie der Form der Ätzlöcher sowie von überschüssigen Unregelmäßigkeiten der Masse frei. Sie wurden auch hinsichtlich der Ätzeigenschaften als gut oder ausgezeichnet bewertet.
  • Die Proben Nr. 1, 3, 4 und 11, bei denen der Gesamtgehalt an Bor, Magnesium und Titan weniger als 0,0010% betrug, hatten eine ausgezeichnete Gleichförmigkeit der Maske.
  • Andererseits hatten die Materialien gemäß der ersten Aus führungsform der Erfindung alle ausgezeichnete Heißbearbeitungseigenschaften, doch hatten die Proben Nr. 12 und 16, bei denen die Kaltreduktion absichtlich auf einen überschüssig hohen Wert von 98% erhöht worden war, einen {100}-Orientierungsintegrationsgrad von 97% bzw. 98%. Daher war in diesem Fall die Anisotropie der Form der Ätzlöcher erkennbar und die Maskengleichförmigkeit war bei diesen Proben schlecht. Auch hatten die Proben Nr. 13 und 17, bei denen die Kaltreduktion absichtlich auf 45% vermindert worden war, und die Proben Nr. 14 und 18, bei denen die Glühbehandlungstemperatur auf 550ºC abgesenkt worden war, alle einen niedrigen {100}-Orientierungsintegrationsgrad von 65%, 66%, 67% bzw. 67%, und demgemäß war ihr Ätzfaktor (EF) niedrig (1,8 bis 1,9). Auch war ihre Maskengleichförmigkeit schlecht. Weiterhin war bei den Proben Nr. 15 und 19, bei denen die Glühbehandlungstemperatur zu stark erhöht worden war, die Maskengleichförmigkeit schlecht, und die Enden der Ätzlöcher wurden aufgrund eines überschüssigen Wachstums der Kristallkörner nicht scharf.
  • Die Proben Nr. 20 bis 29 der Vergleichsmaterialien hatten alle schlechte Ätzeigenschaften aufgrund einer Unregelmäßigkeit der Maske, weil der Gehalt an mindestens einem der Elemente B, Mg, Ti, S und Al höher war als erfindungsgemäß vorgeschrieben. Auch die Proben Nr. 21, 22, 24 und 26 bis 29, die hinsichtlich des Gehalts an S und/oder Al außerhalb des erfindungsgemäß angegebenen speziellen Bereichs lagen, hatten auch schlechte Heißbearbeitungseigenschaften.
  • Wie oben bereits zum Ausdruck gebracht wurde, haben die Materialien gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung verbesserte Heißbearbeitungseigenschaften trotz einer Verminderung der kombinierten Menge von B, Mg und Ti, die Elemente sind, welche die Heißbearbeitungseigenschaften verbessern. Dies ist auf eine Begrenzung der Gehalte an S und Al innerhalb der angegebenen Bereiche zurückzuführen. Diese Materialien sind daher als Zwischenmaterialien für Abdeckmasken mit hoher Feinheit mit ausgezeichneten Ätzeigenschaften geeignet. Die Materialien gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung sind Abdeckmaskenmaterialien mit hoher Feinheit und extrem hoher Qualität, die mit ausgezeichneten Ätzeigenschaften versehen sind, während der {100}-Orientierungsintegrationsgrad im richtigen Bereich gehalten wird. Diese Materialien werden dadurch erhalten, daß die Materialien der ersten Ausführungsform den Walzund Glühbehandlungen bei den richtigen Bedingungen gemäß der dritten Ausführungsform unterworfen werden. Daher haben die Ausführungsformen gemäß der vorliegenden Erfindung einen großen technischen Effekt.

Claims (5)

1. Verwendung einer Legierung, bestehend aus 33 bis 40 Gew.-% Ni, 0,0001 bis 0,0015 Gew.-% von einem oder mehreren von Bor, Magnesium und Titan, Rest Fe, wobei die Gehalte an Schwefel und Aluminium auf nicht mehr als 0,0020% bzw. nicht mehr als 0,020% begrenzt sind, zur Herstellung einer Abdeckmaske mit hoher Feinheit.
2. Verwendung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Gesamtmenge von einem oder mehreren von Bor, Magnesium und Titan weniger als 0,0010 Gew.-% ist.
3. Verwendung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Legierung eine gewalzte Oberfläche hat, deren {100}-Orientierungsintegration 70 bis 95% beträgt.
4. Verwendung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Gesamtmenge von einem oder mehreren von Bor, Magnesium und Titan weniger als 0,0010 Gew.-% ist.
5. Verfahren zur Herstellung einer Abdeckmaske mit hoher Feinheit, umfassend die Heißbearbeitung eines Materials für eine Abdeckmaske mit hoher Feinheit, bestehend aus der Legierung nach Anspruch 1, und anschließendes Kaitwalzen bei einer Reduktion von 50 bis 95% und mindestens einem Glühbehandlungslauf bei 600 bis 900ºC, um den Grad der {100}-Orientierungsintegration der gewalzten Oberfläche auf 70 bis 95% einzustellen.
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