DE691947C - Vorrichtung zur Beleuchtung abzubildender Objekte mit auffallendem Licht - Google Patents

Vorrichtung zur Beleuchtung abzubildender Objekte mit auffallendem Licht

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DE691947C
DE691947C DE1937Z0023931 DEZ0023931D DE691947C DE 691947 C DE691947 C DE 691947C DE 1937Z0023931 DE1937Z0023931 DE 1937Z0023931 DE Z0023931 D DEZ0023931 D DE Z0023931D DE 691947 C DE691947 C DE 691947C
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light
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Expired
Application number
DE1937Z0023931
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English (en)
Inventor
Dr Phil Otto Eppenstein
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/06Means for illuminating specimens
    • G02B21/08Condensers
    • G02B21/082Condensers for incident illumination only

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Description

  • Vorrichtung zur Beleuchtung abzubildender Objekte mit auffallendem Licht Bei den bekannten Einrichtungen zur Abbildung undurchsichtiger Objekte zeit Hilfe eines Mikroskops oder Projektionsgerätes wird zur Zuführung des Lichtes vielfach eine schräg im Strahlengang angeordnete Glasplatte benutzt, die von den Abbildungsstrahlen durchsetzt wird, während die Beleuchtungsstrahlen, die von der Seite kommen, an der Glasplatte in die Richtung der Abbildungs, strahlen abgelenkt werden. Mit. dieser Beleuchtungsart sind Nachteile verbunden. Die Güte der Abbildung wird dadurch nachteilig beeinflußt, daß die Glasplatte Astigmatismus verursacht. Außerdem bewirkt die Glasplatte, daß die Vergrößerung des erzeugten Bildes in zwei zueinander verschiedenen Schnitten verschieden ist, wenn die Hauptstrahlen der Abbildungsstrahlenbüschel nicht parallel zueinander sind. Diese letztere Bedingung ist jedoch meist nicht erfüllt. Auch die Anordnung der Glasplatte vor dem abbildenden System, wo die Hauptstrahlen gelegentlich aus anderen Gründen parallel gemacht sind, ergibt keine .einwandfreie Abbildung.
  • Die genannten Nachteile können jedoch vermieden werden, indem man die schräg im Strahlengang angeordnete Glasplatte nach der Erfindung so zwischen der Lichtquelle und dem Objekt anordnet, daß die auf das Objekt fallenden Beleuchtungsstrahlen die Glasplatte durchsetzen, während die vom Objekt ausgehenden, ein Bild desselben erzeugenden Strahlen an der dem Objekt zugekehrten Oben flache- der Glasplatte reflektiert. werden. Die Abbildtuigsstrahlen, die hierbei keiner Brechung, sondern lediglich der Spiegelung unterliegen, sind frei von den genannten Bildfehlern. Daß die Beleuchtungsstrahlen beim Durchsetzen der Glasplatte deren Einfluß unterliegen, hat dagegen im allgemeinen keine Bedeutung. Man -benutzt zweckmäßig die den: Objekt zugekehrte Oberfläche der Glasplatte?' zur Bilderzeugung, weil die an der anderen h Oberfläche gespiegelten Strahlen die Glasplatte durchsetzen müssen. Da jedoch ein Teil der Abbildungsstrahlen auch dann in die Glasplatte eindringt, wenn man zur Verstärkung der Reflexion die dem Objekt zugekehrte Oberfläche der Glasplatte mit einer durchlässigen Spiegelschicht belegt, muß dafür gesorgt werden, daß .die nunmehr an der Rückseite der Glasplatte gespiegelten Strahlen sich nicht zu einem fehlerhaften Bild des Objektes in schädlicher Nähe des fehlerfreien Bildes vereinigen. Das ist jedoch meist ohne Schwierigkeit möglich, wenn man beispiel5; weise die Dicke der Glasplatte entsprechend wählt oder die Glasplatte keilförmig macht.
  • U m eine möglichst große Helligkeit des erzeugten Bildes zu erzielen, ist es angebracht, zur Herstellung der Spiegelschicht einen Stoff zu benutzen, der ein möglichst hohes Reflexionsvermögen aufweist und eine möglichst geringe Absorption hat. Ein solclher zur Verspiegelung geeigneter Stoff ist Zinksulfid, mit dem man bei entsprechend sorgfältiger Erzeugung eines Spiegels in bekannter Weise eine Lichtausbeute erreichen kann, bei der nur ungefähr 10/6 .des auffallenden Lichtes durch Absorption in der Spiegelschicht verlorengeht.
  • In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung schematisch dargestellt. Das abzubildende Objekt ist a. Es wird von oben her von einer Lichtquelle b aus beleuchtet, wobei die Beleuchtungsstrahlen eine unter 45° geneigte, planparallele Glasplatte c. durchsetzen. Der Achsenstrahl d des Beleuchtungsstrahlenbündels wird dabei infolge der Brechung in der Glasplatte c parallel zu sich selbst verschoben. Die dem Objekt a zugekehrte Oberfläche der Glasplatte c ist mit einer durchlässigen Spiegelschicht e aus Zinksulfid bedeckt. An dieser Spiegelschicht e wird ein Teil der vom Objekt a entgegen der Richtung des .einfallenden Lichtes ausgesandten Abbildungsstrahlen um einen rechten Winkel in die Richtung der Achse/ ein.es.abbildenden optischen Systems g ,abgelenkt. Das abbildende System g vereinigt das Abbildungsstrahlenbündel in einer Ebene h zu einem Bilde des Objektes a.
  • Die Dicke der Spiegelschicht e aus Zinksulfid ist so gewählt, daß 32% des auffallenden Lichtes reflektiert werden, während 670/0 dieses Lichtes die Spiegelschicht e durchsetzen. Läßt man die in der Glasplatte c absorbierte Lichtmenge außer Betracht, dann werden /o der zur Verfügung stehenden Lichtmenge f das Objekt a fallen. Unter der Vorausssetzung vollkommener Reflexion an diesem. Objekt a gelangen infolge der Spiegelung an der Schicht e 32 # o,67 = z i 0!o der verfügbaren Lichtmenge in das abbildende System g und tragen zur. Abbildung des Objektes a in der Ebene h bei. Unter gleichen Verhältnissen würde eine Schichte aus Silber nur 30 # 0,30 = 9% der verfügbaren Lichtmenge ztnr Bilderzeugung liefern.
  • Derjenige Teil der Abbildungsstrahlen des Objektes a, welcher durch die Spiegelschicht e in die Glasplatte c eindringt, verläßt diese zum Teil in der Richtung auf die Lichtquelle b und wird zum anderen Teil an der dem Objekten abgewandten Oberfläche der Plattec zurückgeworfen. Ein Teil von diesem zurückgeworfenen Licht tritt parallel zur Achsei des abbildenden Systems o- aus, wird jedoch bei entsprechender Bemessung der Dicke der Plattee nicht die Abbildung in der Ebene h stören können. Die zur Vereinigung im Bilde des Objektes a nach 1a gelangenden Abbildungsstrahlen werden außer durch das abbildende System g lediglich durch die Spiegelung an der Schichte beeinflußt; sie sindalso nicht mit Abbildungsfehlern behaftet, diebeim Durchsetzen einer schräg im Strahlengang angeordneten Glasplatte entstehen würden.

Claims (1)

  1. l-'ATLPJTAN SPRÜCHE: i. Mit einer schräg im Strahlengange angeordneten Glasplatte versehene Vorrichtung zur Beleuchtung abzubildender Objekte mit auffallendem Licht, dadurch gekennzeichnet, daß die Glasplatte so zwischen der Lichtquelle und dem Objekt angeordnet ist, daß die auf das Objekt fallenden Beleuchtungsstrahlen die Glasplatte durchsetzen, während die vom Objekt ausgehenden, ein Bild desselben erzeugenden Strahlen an der dem Objekt zugekehrten Oberfläche der Glasplatte reflektiert werden. z. Vorrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die dem Objekt zugekehrte. Oberfläche der Glasplatte mit einer durchlässigen Spiegelschicht versehen ist. 3. Vorrichtung nach Anspruch z, dadurch gekennzeichnet, daß die Spiegelschicht aus Zinksulfid besteht.
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