DE69119019T2 - Polarisationsunabhängige optische Schalter/Modulatoren - Google Patents

Polarisationsunabhängige optische Schalter/Modulatoren

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Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf polarisationsunabhängige optische Schalter/Modulatoren und Verfahren zum Herstellen derselben.
  • Optische Schalter, die auf dem Gebiet der optischen Nachrichtentechnik und optischen Übertragung zum Schalten von optischen Pfaden verwendet werden, werden grob in die zwei Kategorien mechanischer Schalter, welche optische Pfade durch elektromechanische Bewegungen mikrooptischer Elemente schalten, und Wellenleiterschalter unterteilt, welche optische Pfade in den Substraten unter Verwendung des elektrooptischen Effektes oder ähnlichem schalten. Die erste Kategorie zeichnet sich im allgemeinen durch eine niedrige Einfügungsdämpfung aus, gute Übersprechcharakteristika und relative Unempfindlichkeit gegenüber Wellenlänge oder Polarisation. Jedoch leiden sie unter dem schwerwiegenden Nachteil, daß sie sich nicht gut für die Konstruktion großer und komplexer Schaltfelder eignen, weil sie langsam arbeiten und groß sind. Andererseits birgt die zweite Kategorie Breitbandpotential, so daß Wellenleiterschalter und Modulatoren gegenwärtig intensiv entwickelt werden.
  • Optische Wellenleiterschalter und optische Modulatoren, welche als Substrat einen elektrooptischen Kristall mit optischer Anisotropie, wie etwa LiNbO&sub3;, verwenden, weisen Polarisationsabhängigkeit auf, und deshalb ist es erforderlich, nur TM polarisiertes Licht oder TE polarisiertes Licht zu verwenden, oder sowohl TM polarisiertes Licht als auch TE polarisiertes Licht durch Anlegen einer hohen Ansteuerspannung zu steuern. Demgemäß besteht ein Bedarf für optische Schalter und optische Modulatoren, die polarisationsunabhängig sind und mit einer niedrigen Spannung angesteuert werden können.
  • Optische Wellenleiterschalter und Modulatoren, welche die Schwierigkeit der Polarisationsabhängigkeit durch die Verwendung optischer Wellenleiterschalter und Modulatoren, deren Substrat aus einem elektrooptischen Kristall gebildet ist, überwinden, sind in US-4,291,939 offenbart. Die polarisationsunabhängigen optischen Schalter und Modulatoren, die in dem obigen Patent offenbart sind, sind durch die Elektrodenkonfigurationen charakterisiert. Elektrodensätze zum Steuern von TE polarisiertem Licht sind auf beiden Seiten der optischen Wellenleiter angeordnet, und die anderen Elektrodensätze zum Steuern von TM polarisiertem Licht sind auf den Wellenleitern montiert. Durch Anlegen unabhängiger Spannungen an jeden Elektrodensatz werden TE polarisiertes Licht und TM polarisiertes Licht individuell gesteuert und dadurch werden polarisationsunabhängige optische Schalter und optische Modulatoren realisiert.
  • Jedoch sind die Elektroden zum Steuern von TE polarisiertem Licht und Elektroden zum Steuern von TM polarisiertem Licht der optischen Wellenleiterschalter und Modulatoren, die in dem oben beschriebenen US-Patent offenbart sind, auf derselben Ebene angeordnet. Deshalb besteht ein Problem, daß die Länge des Abschnittes paralleler optischer Wellenleiter nicht effektiv genutzt wird, und der Ansteuerschaltkreis komplex wird. Im Fall von Elektrodenkonfigurationen, in welchem zur Vereinfachung des Ansteuerschaltkreises jeweils ein Elektrodensatz zum Steuern von TE polarisiertem Licht und ein Elektrodensatz zum Steuern von TM polarisiertem Licht angeordnet sind, ist jeder Elektrodensatz in verschiedenen Gebieten des parallelen optischen Wellenleiterabschnittes angeordnet. Deshalb können die Elektroden zum Steuern von TE polarisiertem Licht nicht speziell länger gebildet werden, was in einem Problem resultiert, daß eine hohe Ansteuerspannung erforderlich ist.
  • Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen polarisationsunabhängigen optischen Schalter/Modulator vorzusehen, welcher in der Lage ist, den Ansteuerschaltkreis zu vereinfachen und die Ansteuerspannung durch geeignete Elektrodenkonfigurationen zu verringern.
  • Es ist eine andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zum Herstellen polarisationsunabhängiger optischer Schalter/Modulatoren vorzusehen, welche in der Lage sind, den Ansteuerschaltkreis zu vereinfachen und die Ansteuerspannung zu verringern.
  • Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein polarisationsunabhängiger optischer Schalter/Modulator vorgesehen, mit: einem Paar von auf einem Substrat gebildeten, optischen Wellenleitern, wobei die optischen Wellenleiter zueinander parallele Abschnitte aufweisen, die in einer Entfernung voneinander beabstandet sind, welche eine Richtkopplung dazwischen erlaubt; einem ersten Satz von Elektroden, die in dem Substrat in der Umgebung beider Seiten der parallelen Abschnitte der optischen Wellenleiter eingebettet sind, zum Steuern von polarisiertem Licht, dessen elektrische Feldkomponente in der Richtung parallel zur Oberfläche des Substrates ist; und einem zweiten Satz von Elektroden, die auf den parallelen Abschnitten der optischen Wellenleiter montiert sind, zum Steuern in Kooperation mit den eingebetteten Elektroden von polarisiertem Licht, dessen elektrische Feldkomponente in der Richtung senkrecht zur Oberfläche des Substrats ist.
  • Bevorzugt sind die Längen der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode eingestellt, dazwischen ein vorbestimmtes Verhältnis zu haben, und die ersten und zweiten Elektroden sind mit einer gemeinsamen Leistungsquelle verbunden.
  • Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum Herstellen eines polarisationsunabhängigen optischen Schalters/Modulators vorgesehen, mit den Schritten: Bilden von Rillen in einem Substrat aus einem elektrooptischen Material an beiden Seiten von Abschnitten, wo Wellenleiter zu bilden sind; Bilden einer SiO&sub2;-Schicht auf dem Inneren der Rillen und auf dem Substrat; Bilden einer Si- Schicht über der SiO&sub2;-Schicht und Auffüllen der Rillen mit Si; Entfernen der Si-Schicht und SiO&sub2;-Schicht über dem Substrat, um dadurch die Oberfläche des Substrates freizulegen; Bilden einer Ti-Schicht über den Rillen und den Abschnitten, wo Wellenleiter zu bilden sind; Bilden optischer Wellenleiter durch thermische Diffusion der Ti-Schicht und gleichzeitig Bilden von Ti-Silizid in den Rillen; Entfernen von Resten der Ti-Schicht und dann Bilden einer SiO&sub2;- Pufferschicht auf dem Substrat; und Bilden von Elektroden auf den optischen Wellenleitern mit der SiO&sub2;-Pufferschicht dazwischen.
  • Die obigen und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Weise, sie zu realisieren, wird deutlicher, und die Erfindung selbst ist am besten verständlich aus dem Studium der folgenden Beschreibung und der Ansprüche unter Bezugnahme auf die begleitenden Zeichnungen, welche zeigen:
  • Figur 1 ist eine Aufsicht eines optischen Wellenleiterschalters gemäß einen Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
  • Figur 2 ist ein Querschnitt entlang der Linie II-II der Figur 1;
  • Figur 3 ist ein Graph, welcher die Beziehung zwischen optischer Ausgabe zur angelegten Spannung zeigt;
  • Figur 4 ist eine Aufsicht eines optischen Modulators gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
  • Figur 5(a) bis Figur 5(h) sind Diagramme, welche ein Beispiel eines Herstellungsprozesses eines optischen Schalters der vorliegenden Erfindung zeigen;
  • Figur 6 ist eine Aufsicht eines optischen Wellenleiterschalters gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung; und
  • Figur 7 ist eine Aufsicht eines optischen Modulators gemäß noch einem weiteren Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
  • Figur 1 ist eine Aufsicht eines Richtkopplerschalters 10 gemäß dem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Figur 2 zeigt einen Querschnitt entlang der Linie II-II der Figur 1. Bezugsziffer 11 bezeichnet ein Z-geschnittenes LiNbO&sub3;-Substrat (im folgenden kurz "LN-Substrat" genannt), dessen optische Achse in der Richtung der Z-Achse verläuft, und es sind zwei Wellenleiter 12 und 14 auf dem Substrat 11 gebildet. Die Wellenleiter 12 und 14 schließen sehr nahe aneinander angeordnete, parallele Wellenleiterabschnitte 12a bzw. 14a ein. Der Wellenleiter 12 hat einen Eingangsport "a" und einen Ausgangsport "c", und der Wellenleiter 14 hat einen Eingangsport "b" und einen Ausgangsport "d".
  • Es sind eingebettete Elektroden 16, 18 und 20 parallel zu den parallelen Wellenleiterabschnitten 12a und 14a angeordnet, wobei jeder der parallelen Wellenleiterabschnitte zwischen zwei Elektroden angeordnet ist, um Licht zu steuern, dessen elektrischer Feldvektor in der Richtung parallel zur Oberfläche des LN-Substrates 11 ist (TE polarisiertes Licht). Ferner sind auf den parallelen Wellenleiterabschnitten 12a und 14a Elektroden 22 bzw. 24 montiert, um Licht zu steuern, dessen elektrischer Feldvektor in der Richtung rechtwinklig zur Substratoberfläche ist (TM polarisiertes Licht). Die eingebetteten Elektroden 16, 18 und 20 zum Steuern von TE polarisiertem Licht und die Elektroden 22 und 24 zum Steuern von TM polarisiertem Licht sind mit einer gemeinsamen Signalquelle 26 verbunden. Die eingebetteten Elektroden 16, 18 und 20 sind beispielsweise aus Ti-Silizid (hauptsächlich TiSi&sub2; und daneben auch Ti&sub5;Si&sub3;) gebildet.
  • Die Beziehungen zwischen optischen Ausgaben von einem Richtkopplerschalter für TM polarisiertes Licht und TE polarisiertes Licht zu den an den optischen Schalter angelegten Spannungen sind in Figur 3 gezeigt, aus welcher sich ergibt, daß die Minimalspannung, um TE polarisiertes Licht auszulöschen, ungefähr das Dreifache der Minimalspannung ist, welche TM polarisiertes Licht löscht. Deshalb wird es unter Darstellung des Verhältnisses durch N durch Einstellen der Länge der eingebetteten Elektroden 16, 18 und 20 zum Steuern von TE polarisiertem Licht ungefähr gleich der Länge der parallelen Wellenleiterabschnitte 12a und 14a und Einstellen der Länge der Elektroden 22 und 24 zum Steuern TM polarisiertem Licht auf 1/N dieser Länge möglich, den optischen Schalter 10 sowohl für TE polarisiertes Licht als auch TM polarisiertes Licht mit derselben Spannung von der gemeinsamen Signalquelle 26, die an beide Sätze der Steuerelektroden angelegt ist, wie in Figur 1 gezeigt ist, anzusteuern.
  • Wenn unter Bezugnahme auf Figur 2 an die eingebetteten Elektroden 16, 18 und 20 Spannungen mit den dargestellten Polaritäten angelegt werden, werden elektrische Felder in den Horizontalrichtungen erzeugt, wie durch Pfeile A angedeutet ist. Somit kann TE polarisiertes Licht, dessen elektrischer Feldvektor in der Richtung parallel zur Substratoberfläche ist, durch Anlegen einer geeigneten Spannung an die eingebetteten Elektroden 16, 18 und 20 gesteuert werden. Zwischen der auf dem Wellenleiter 12a montierten Elektrode 22 und der eingebetteten Elektrode 16 und zwischen der auf dem Wellenleiter 14a montierten Elektrode 24 und der eingebetteten Elektrode 18 werden elektrische Felder erzeugt, wie sie durch Pfeile B angedeutet sind, und diese elektrischen Felder ergeben sich mehr oder weniger rechtwinklig zu den Wellenleitern an den parallelen Wellenleiterabschnitten 12a und 14a. Somit kann TM polarisiertes Licht, dessen elektrischer Feldvektor in der Richtung rechtwinklig zur Substratoberfläche ist, durch Anlegen einer geeigneten Spannung an die eingebetteten Elektroden 16, 18 und die Elektroden 22, 24 gesteuert werden.
  • Nun sei angenommen, daß die parallelen Wellenleiterabschnitte 12a und 14a kürzer gebildet sind als die komplette Kopplungslänge für das sich ausbreitende Licht vorbestimmter Wellenlänge. Dann wird in den Eingangsport "a" des Wellenleiters 12, an den keine Spannung angelegt ist, eingegebenes Signallicht von dem Ausgangsport "c" desselben Wellenleiters 12 ausgegeben, ohne mit dem Wellenleiter 14 zu koppeln. Wenn eine Spannung an die eingebetteten Elektroden 16, 18 und 20 und Elektroden 22 und 24 von der Signalquelle 26 angelegt wird, ändern sich die Brechungsindices der parallelen Wellenleiterabschnitte 12a und 14a. Wenn die parallelen Wellenleiterabschnitte 12a und 14a mit den wie oben beschrieben veränderten Brechungsindices dieser Abschnitte die vollständige Kopplungslänge für jedes polarisierte Licht erreichen, wird das durch den Wellenleiter 12 laufende Signallicht vollständig an den parallelen Wellenleiterabschnitt 14a zu dem Wellenleiter 14 gekoppelt und von dem Ausgangsport "d" ausgegeben. Das heißt, somit wird eine optische Schaltfunktion erzielt. In gleicher Weise kann durch Anlegen einer geeigneten Spannung an die eingebetteten Elektroden 16, 18 und 20 und Elektroden 22 und 24 in den Eingangsport "b" des optischen Wellenleiters 14 eingegebenes Signallicht vollständig zu dem optischen Wellenleiter 12 gekoppelt werden, um von dem Ausgangsport "c" ausgegeben zu werden.
  • Bezugnehmend nun auf Figur 4 ist dort eine Aufsicht eines anderen Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung, angewendet auf einen optischen Mach-Zehnder-Modulator, gezeigt. In diesem Ausführungsbeispiel sind die Komponenten, die im wesenlichen dieselben sind wie die in dem in Figur 1 gezeigten Ausführungsbeispiel, durch entsprechende Bezugsziffern bezeichnet, und somit wird eine Beschreibung derselben ausgelassen.
  • Der optische Wellenleiter 30 wird durch eine Y-Verzweigung in parallele Wellenleiter 32 und 34 verzweigt, und die parallelen Wellenleiter werden an ihren anderen Enden durch eine ähnliche Y-Verzweigung mit einem einzelnen optischen Wellenleiter 36 verbunden. Die Elektrodenkonfigurationen des optischen Mach-Zehnder-Modulators der vorliegenden Erfindung sind ähnlich den Elektrodenkonfigurationen in dem in Figur 1 gezeigten optischen Schalter 10 vom Richtkopplertyp und aus eingebetteten Elektroden 16, 18 und 20 und montierten Elektroden 22 und 24 gebildet. Die Elektroden sind jeweils mit einer gemeinsamen Signalquelle 26 verbunden.
  • In dem vorliegenden Ausführungsbeispiel werden, um es als optischer Modulator zu betreiben, die Phasen von TE polarisiertem Licht und TM polarisiertem Licht durch die angelegte Spannung gesteuert, und eingegebenes Licht wird dadurch moduliert, um an den einzelnen optischen Wellenleiter 36 ausgegeben zu werden. Weil die Steuerung des TE polarisierten Lichtes und TM polarisierten Lichtes durch die angelegte Spannung im wesentlichen dieselbe ist wie in dem in Figur 1 gezeigten Ausführungsbeispiel, wird eine Erläuterung derselben ausgelassen.
  • Nun wird unter Bezugnahme auf Figur 5 ein Beispiel des Herstellungsprozesses eines optischen Schalters gemäß dem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung beschrieben.
  • Zuerst werden, wie in Figur 5(a) gezeigt, Rillen 44 durch Ätzen oder ähnliches in einem Z-geschnittenen LN-Substrat 40 auf beiden Seiten eines Abschnittes 42 gebildet, wo ein Wellenleiter zu bilden ist. Als nächstes wird, wie in Figur 5(b) gezeigt, eine SiO&sub2;-Schicht 46, die als Pufferschicht dient, auf dem Inneren der Rillen 44 und dem Substrat durch Verdampfung gebildet, und dann wird über demselben, wie in Figur 5(c) gezeigt, eine Si-Schicht 48 durch Verdampfung gebildet, und das Innere der Rillen wird mit Si aufgefüllt. Als nächstes werden, wie in Figur 5(d) gezeigt, die Si- Schicht 48 und die SiO&sub2;-Schicht 46 über dem LN-Substrat 40 durch Schleifen oder Ätzen entfernt, und dann wird, wie in Figur 5(e) gezeigt, eine Ti-Schicht 50 über den Rillenabschnitten 44 und dem Abschnitt 42 gebildet, wo ein Wellenleiter beispielsweise mittels eines Abhebeverfahrens (Lift-Off) zu bilden ist.
  • Als nächstes wird, wie in Figur 5(f) gezeigt, ein Wellenleiter 52 durch thermische Diffusion der Ti-Schicht 50 und gleichzeitig Ti-Silizid 54 in den Rillenabschnitten 44 gebildet. Nachdem der Rest 50' der Ti-Schicht entfernt worden ist, wird eine SiO&sub2;-Schicht 56 als Pufferschicht durch chemische Abscheidung aus der Dampfphase auf der Substratoberfläche gebildet, wie in Figur 5(g) gezeigt ist, und dann wird eine Elektrode 58 über dem Wellenleiter 52 mit der Pufferschicht dazwischen gebildet, wie in Figur 5(h) gezeigt ist.
  • In der vorangehenden Beschreibung des ersten und zweiten Ausführungsbeispiels wurden bei der beschriebenen Elektrodenkonfiguration konzentrierte Elektroden verwendet. Jedoch kann die vorliegende Erfindung natürlich auf einen optischen Schalter und Modulator mit Wanderwellenelektroden angewendet werden.
  • Ein Ausführungsbeispiel eines optischen Schalters, welcher eine Wanderwellen-Elektrodenkonfiguration verwendet, ist in Figur 6 gezeigt, und ein Ausführungsbeispiel eines optischen Modulators, welcher eine Wanderwellen-Elektrodenkonfiguration verwendet, ist in Figur 7 gezeigt. In den in den Figuren 6 und 7 gezeigten Ausführungsbeispielen sind Komponenten, die im wesentlichen dieselben sind wie die in den in den Figuren 1 und 4 gezeigten Ausführungsbeispielen, mit entsprechenden Bezugsziffern bezeichnet, und somit wird eine Beschreibung derselben ausgelassen.
  • Die Elektrodenkonfigurationen und Verbindungen der Elektroden des in Figur 6 gezeigten, optischen Schalters mit Wanderwellenelektroden und des in Figur 7 gezeigten optischen Modulators mit Wanderwellenelektroden sind dieselben. Spezieller sind eine Enden der außerhalb der parallelen Wellenleiterabschnitte 12a und 14a angeordneten, eingebetteten Elektroden 16 und 20 und ein Ende der Elektrode 24 mit einem Ende einer Mikrowellensignalquelle 26' verbunden. Die anderen Enden der eingebetteten Elektroden 16 und 20 und das andere Ende der Elektrode 24 sind mit einem Ende eines Abschlußwiderstandes 60 verbunden. Ein Ende der eingebetteten Elektrode 18, die zwischen den parallelen Wellenleiterabschnitten 12a und 14a angeordnet ist, und ein Ende der Elektrode 22 sind mit dem anderen Ende der Mikrowellensignalquelle 26' verbunden, und das andere Ende der eingebetteten Elektrode 18 und das andere Ende der Elektrode 22 sind mit dem anderen Ende des Abschlußwiderstandes 60 verbunden.
  • Weil die ersten Elektroden zum Steuern von polarisierten Licht, dessen elektrische Feldkomponente in Richtung parallel zur Oberfläche des Wellenleitersubstrates ist, eingebettet angeordnet sind, können die ersten Elektroden und die zweiten Elektroden mehr oder weniger in demselben Gebiet in der Richtung die Wellenleiter kreuzend gebildet werden. Deshalb können effektive Elektrodenkonfigurationen bezüglich der Länge der parallelen Wellenleiterabschnitte realisiert werden.
  • Während die Minimalspannung zum Auslöschen des polarisierten Lichtes, dessen elektrische Feldkomponente in der Richtung parallel zur Substratoberfläche ist, und die Minimalspannung zum Auslöschen des polarisierten Lichtes, dessen elektrische Feldkomponente in der Richtung rechtwinklig zur Substratoberfläche ist, verschieden sind, wird es durch Einstellen der Längen der ersten Elektroden und der zweiten Elektroden, ein vorbestimmtes Verhältnis dazwischen aufzuweisen, möglich, beide Moden polarisierten Lichtes gleichzeitig mit einer einzelnen Spannung zu steuern.

Claims (6)

1. Polarisationsunabhängiger optischer Schalter/Modulator, mit:
einem Paar auf einem Substrat (11; 40) gebildeter, optischer Wellenleiter (12, 14; 32, 34), wobei die optischen Wellenleiter zueinander parallele Abschnitte (12a, 14a; 32, 34) aufweisen, die in einem Abstand angeordnet sind, welcher eine Richtkopplung dazwischen erlaubt;
einem ersten Satz von Elektroden (16, 18, 20), die in dem Substrat (11) in der Umgebung beider Seiten der parallelen Abschnitte (12a, 14a; 32, 34) der optischen Wellenleiter eingebettet sind, zum Steuern von polarisiertem Licht, dessen elektrische Feldkomponente in der Richtung parallel zur Oberfläche des Substrates (11; 40) ist; und
einem zweiten Satz von Elektroden (22, 24), die auf den parallelen Abschnitten (12a, 14a; 32,34) der optischen Wellenleiter montiert sind, zum Steuern in Kooperation mit den eingebetteten Elektroden (16, 18, 20) von polarisierten Licht, dessen elektrische Feldkomponente in der Richtung senkrecht zur Oberfläche des Substrates (11; 40) ist.
2. Polarisationsunabhängiger optischer Schalter/Modulator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten Elektroden aus Metallsilizid gebildet sind.
3. Polarisationsunabhängiger optischer Schalter/Modulator nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch eine gemeinsame Signalquelle (26), mit welcher die ersten und zweiten Elektroden verbunden sind, worin die Längen der ersten Elektroden und der zweiten Elektroden eingestellt sind, ein vorbestimmtes Verhältnis dazwischen aufzuweisen.
4. Polarisationsunabhängiger optischer Schalter/Modulator nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Satz aus drei Elektroden (16, 18, 20) gebildet ist, und der zweite Satz aus zwei Elektroden gebildet ist, wobei eine Elektrode (18) des ersten Satzes zwischen den parallelen Abschnitten (12a, 14a) der optischen Wellenleiter angeordnet ist, und die anderen zwei Elektroden (16, 20) des ersten Satzes außerhalb der parallelen Abschnitte angeordnet sind, und die außerhalb der parallelen Abschnitte der optischen Wellenleiter angeordneten, zwei ersten Elektroden (16, 20) und eine (24) des zweiten Satzes mit einem Ende der gemeinsamen Signalquelle (26) verbunden sind, und die Elektrode (18) des ersten Satzes, die zwischen den parallelen Abschnitten angeordnet ist, und die andere (22) des zweiten Satzes mit dem anderen Ende der gemeinsamen Signalquelle (26) verbunden sind.
5. Polarisationsunabhängiger optischer Schalter/Modulator nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch einen Abschlußwiderstand (60), worin der erste Satz aus drei Elektroden (16, 18, 20) und der zweite Satz aus zwei Elektroden (22, 24) gebildet ist, wobei eine Elektrode (18) des ersten Satzes zwischen den parallelen Abschnitten der optischen Wellenleiter angeordnet sind, und die anderen zwei Elektroden (16, 20) des ersten Satzes außerhalb der parallelen Abschnitte angeordnet sind, und worin ein Ende einer jeden der zwei außerhalb der parallelen Abschnitte der optischen Wellenleiter angeordneten Elektroden (16, 20) und ein Ende einer Elektrode (24) des zweiten Satzes mit einem Ende der gemeinsamen Signalquelle (26') verbunden sind, die anderen Enden der zwei außerhalb der parallelen Abschnitte der optischen Wellenleiter angeordneten Elektroden (16, 20) und das andere Ende der einen Elektrode des zweiten Satzes mit einem Ende des Abschlußwiderstandes (60) verbunden sind, ein Ende der zwischen den parallelen Abschnitten angeordneten Elektrode (18) und ein Ende der anderen Elektrode (22) des zweiten Satzes mit dem anderen Ende der gemeinsamen Signalquelle (26') verbunden sind, und das andere Ende der zwischen den parallelen Abschnitten angeordneten Elektrode (18) des ersten Satzes und das andere Ende der anderen Elektrode (22) des zweiten Satzes mit dem anderen Ende des Abschlußwiderstandes (60) verbunden sind.
6. Verfahren zum Herstellen eines polarisationsunabhängigen optischen Schalters/Modulators, mit den Schritten:
Bilden von Rillen (44) in einem Substrat (40) aus einem elektrooptischen Material an beiden Seiten von Abschnitten, wo Wellenleiter zu bilden sind;
Bilden einer SiO&sub2;-Schicht (46) auf dem Inneren der Rillen (44) und auf dem Substrat (40);
Bilden einer Si-Schicht (48) über der SiO&sub2;-Schicht (46) und Auffüllen der Rillen mit Si;
Entfernen der Si-Schicht und SiO&sub2;-Schicht über dem Substrat (40), um dadurch die Oberfläche des Substrates freizulegen;
Bilden einer Ti-Schicht (50) über den Rillen und den Abschnitten, wo Wellenleiter zu bilden sind;
Bilden von optischen Wellenleitern (52) durch thermische Diffusion der Ti-Schicht und gleichzeitig Bilden von Ti- Silizid (54) in den Rillen;
Entfernen von Resten der Ti-Schicht und dann Bilden einer SiO&sub2;-Pufferschicht (56) auf dem Substrat (40); und
Bilden von Elektroden (58) auf den optischen Wellenleitern (52) mit der SiO&sub2;-Pufferschicht (56) dazwischen.
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