DE3854059T2 - Optische Wellenleitervorrichtung. - Google Patents

Optische Wellenleitervorrichtung.

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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ganz allgemein optische Wellenleitereinrichtungen.
  • Es ist bekannt, daß optische Vorrichtungen, wie z.B. Modulatoren, Richtkoppler, Polarisationseinrichtungen usw., in einer gemeinsamen Schicht aus einem optischen Material, das hier als Substrat bezeichnet wird, integriert werden können. Eine geeignete Schicht eines optischen Materials weist bei einer gewünschten optischen Wellenlänge normalerweise eine Übertragungsdämpfung von weniger als 10 dB pro cm (dB/cm) auf. Die Dämpfung ist typischerweise geringer als einige Zehntel dB pro cm. Bei einer Integration elektrooptischer Vorrichtungen, wie z.B. von Modulatoren, wird das Material üblicherweise so gewählt, daß es elektrooptische Eigenschaften aufweist. Zu diesem Zweck wird überlicherweise, z.B. Lithiumniobat (LiNbO&sub3;) verwendet. Da, wo keine elektrooptischen Eigenschaften erforderlich sind, können auch andere Materialien, einschließlich Glas, verwendet werden. Bei jeder optischen Vorrichtung werden sowohl für die Herstellung als auch für die Verbindung der optischen Bauelemente auf einem gemeinsamen Substrat integrierte optische Wellenleiter verwendet. Für die Bildung eines optischen Wellenleiters in einem Substrat läßt man unter Verwendung eines üblichen Verfahrens an den Stellen in dem Substrat, an denen ein Wellenleiter entstehen soll, selektiv Titan in das Substrat diffundieren. Diese Wellenleiter weisen entlang gerader Abschnitte des Wellenleiters typischerweise eine sehr geringe Übertragungsdämpfung (typischerweise einige Zehntel dB/cm) auf. Bei einer Veränderung in der Richtung des Wellenleiters (eine Biegung oder Krümmung) nimmt die Dämpfung jedoch in Abhängigkeit von dem Krümmungsradius deutlich zu. Diese Dämpfungen werden in dem Artikel "Improved Relations Describing Directional Control in Electromagnetic Wave Guidance" von Marcatili und Miller (Bell System Technical Journal, Band 48, Nr. 7, Seiten 2161-2188, September 1969) diskutiert. Zusammenfassend läßt sich sagen, daß die Dämpfung durch zwei Mechanismen entsteht: Eine Strahlungsdämpfung, die durch die Energieverteilung (Gauss- Verteilung) des Lichtes in dem Wellenleiter hervorgerufen wird, die in einem Bereich außerhalb des Wellenleiters, der für die Ausbreitung einer elektromagnetischen Welle geeignet ist, ungleich Null ist und eine Dämpfung infolge einer Modenumwandlung des Lichtes, dessen Moden bei einer Richtungsänderung mit verlustbehafteten Moden höherer Ordnung gekoppelt werden. Durch diese Dämpfung wird der Krümmungsradius eines integrierten, gekrümmten optischen Wellenleiters bei einem vorgegebenen Dämpfungsmaß begrenzt, so daß optische Bauelemente und ihre Verbindungen auf dem Substrat physisch groß ausgebildet sein müssen. Hierdurch wird die Anzahl der Bauelemente, die bei einer vorgegebenen Substratgröße auf dem Substrat gebildet werden können, begrenzt. Ein Verfahren, das zur Verringerung der Krümmungsdämpfung verwendet werden kann, wird in dem Artikel "Dielectric Optical Waveguide Tilts With Reduced Losses" von E.G.: Neumann offenbart, der in den Proceedings of the Seventh European Conference on Optical Communication (Seiten 9.3-1 bis 9.3-4, 8.-11. September 1981) veröffentlicht wurde. Bei diesem Verfahren wird der Brechungsindex in dem Teil des Substrates, der eine Kurve (Neigung) eines in dem Substrat gebildeten Wellenleiters umgibt, so verändert, daß die sich in dem Wellenleiter ausbreitende Energie um die Krümmung gebrochen wird. Wie in Fig. 1d dargestellt ist, wird der Brechungsindex des in Kontakt mit der Außenseite einer Wellenleiterkrümmung stehenden Substrates so modifiziert, daß er geringer ist als der Brechungsindex des restlichen Substrates, so daß die Ausbreitung von Energie außerhalb des Wellenleiters beschleunigt wird. Ein anderes Verfahren zur Verringerung der Krümmungsdämpfung wird in dem Artikel "Greatly Reduced Losses for Small-Radius Bends in Ti:LiNbO&sub3; Waveguide" von S.K. Korotky et al. offenbart, der in den Proceedings for the Third European Conference on Integrated Optics (Seiten 207-209, 6.-8. Mai 1985) veröffentlicht wurde. Bei diesem Verfahren, das als Crowning bezeichnet und bei gekrümmten Wellenleitern in einem Substrat angewendet wird, wird der Brechungsindex innerhalb des Wellenleiters durch mehrere dielektrische Prismen verändert, um die Ausbreitungsrichtung des Lichtes örtlich zu beeinflussen. Für die Bildung der Prismen ist jedoch ein extra Diffusionsschritt erforderlich. Zudem erhöhen sich die Streuverluste durch das Einbringen von Teilen (Prismen) in den Wellenleiter. Das Verfahren ist zudem wellenlängenabhängig.
  • Für eine praktische Anwendung müssen die optischen Bauelemente auf dem gemeinsamen Substrat mit der "Außenwelt" gekoppelt werden. Bei üblichen Verfahren werden Lichtleitfasern verwendet, um die optische Energie, die zu den integrierten optischen Bauelementen fließt bzw. von diesen kommt, anzukoppeln. Durch eine Lichtleitfaser wird beispielsweise aus einem externen Laser stammendes Licht an das Substrat angekoppelt, in dem es von einem in dem Substrat gebildeten Modulator moduliert wird, um anschließend von einer zweiten Lichtleitfaser an einen entfernten optischen Empfänger angekoppelt zu werden. Bei integrierten optischen Wellenleitern, aus denen der beispielhafte Modulator gebildet ist, weist die Mode der sich ausbreitenden optischen Energie typischerweise eine ovalförmige Gestalt auf. Die Mode der sich in der Lichtleitfaser ausbreitenden optischen Energie ist jedoch typischerweise kreisförmig. Da die Moden bei den verschiedenen Arten von Wellenleitern (integrierte optische Wellenleiter und Lichtleitfasern) an der Grenzfläche zwischen den zwei Wellenleitern im wesentlichen nicht übereinstimmen, findet zwischen den Wellenleitern keine vollständige Übertragung der optischen Energie statt. Diese, auf einer Modenfehlanpassung beruhende Ineffizienz bei der Übertragung optischer Energie zwischen einer Lichtleitfaser und einem integrierten optischen Wellenleiter wird durch die Kopplungsdämpfung oder durch die Kopplungsverluste erfaßt. E.G. Neumann offenbart in "Dielectric Optical Waveguide Tilts with Reduced Losses" (European Conference on Optical Communication, Electromagnetic Institute, Technical University of Denmark) eine Wellenleiteranordnung mit einem in einer Schicht eines optischen Materials gebildeten Wellenleiter, der zum Ankoppeln der optischen Energie an einen externen Wellenleiter unter einem bestimmten Winkel verwendet wird, so daß die Kopplungsverluste verringert werden.
  • Erfindungsgemäß wird eine Wellenleitereinrichtung gemäß Anspruch 1 geschaffen.
  • Es wurde eine Einrichtung zur Verringerung der Kopplungsverluste zwischen einem integrierten optischen Wellenleiter und einer externen Lichtleitfaser erfunden. Der in einem Substrat angeordnete integrierte optische Wellenleiter weist hierbei zumindest eine Nut oder Furche auf, die auf einer Seite des optischen Wellenleiters in Längsrichtung angeordnet ist, um die Mode der sich in dem Wellenleiter ausbreitenden optischen Energie so eingrenzen, daß sie annähernd der Mode in dem externen optischen Wellenleiter entspricht.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Fig. 1 zeigt eine Einrichtung, um die Dämpfung der optischen Energie an Krümmungen in einem integrierten optischen Wellenleiter zu verringern.
  • Fig. 2 zeigt ein Diagramm, in dem die Verteilung der optischen Energie (Mode) in einem in einem Substrat gebildeten, gekrümmten optischen Wellenleiter und der Einfluß einer sich benachbart zu dem Wellenleiter befindenden Nut oder Furche auf die Verteilung dargestellt ist.
  • Fig. 3 zeigt einen Querschnitt des Wellenleiters gemäß Fig. 1.
  • Fig. 4 zeigt eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung, mit der sich die Kopplungsverluste zwischen einem integrierten optischen Wellenleiter und einem externen optischen Wellenleiter, wie z.B. einer Lichtleitfaser, verringern lassen.
  • Ausführliche Beschreibung
  • Fig. 1 zeigt einen S-förmigen optischen Wellenleiter 11 in einem Substrat 10, anhand dessen die Verringerung der Krümmungsdämpfung veranschaulicht wird. Der Ausdruck "Wellenleiter" bezeichnet hierbei einen selektiv ausgebildeten Bereich eines optischen Materials, in dem sich optische Energie ausbreiten kann. Der Wellenleiter weist bei einer gewünschten optischen Wellenlänge eine Übertragungsdämpfung von weniger als 10 dB pro cm (dB/cm) auf. Die Form des Wellenleiters 11 dient hierbei als Vergleichsparameter beim Vergleich verschiedener Verfahren zur Verringerung der Krümmungsdämpfung; das vorliegende Verfahren zur Verringerung der Krümmungsdämpfung kann bei beliebigen Krümmungsformen eines Wellenleiters verwendet werden. Der Wellenleiter 11 ist in dem Substrat 10 so ausgebildet, daß die Kurve, die er beschreibt, durch die Gleichung
  • Y(X) =HX/L-H[sin(2Xπ/L)]/2π
  • gegeben ist, wobei H die Übergangshöhe ist und L die Übergangslänge, während die X- und Y-Richtung durch die Achse 12 festgelegt sind. Der Wellenleiter 11 kann durch eine Reihe von Verfahren in oder auf dem Substrat gebildet werden. Bei einem beispielhaften Verfahren läßt man Titan (oder Nickel oder Vanadium) in ein Einkristall aus Lithiumniobat (Ti:LiNbO&sub3;), bei dem es sich um ein doppelbrechendes elektrooptisches Material handelt, selektiv eindiffundieren und erhöht unter Verwendung eines photolithographischen Verfahrens selektiv den Brechungsindex in dem Substrat.
  • Es sei jedoch bemerkt, daß auch andere Verfahren zur Bildung optischer Wellenleiter und auch andere Substrate verwendet werden können. Beispielhafte andere Substrate mit elektrooptischen Eigenschaften umfassen Strontiumbariumniobat (Sr0.64Ba0.36Nb&sub2;&sub0;&sub6;) und Lithiumtantalat (LiTaO&sub3;). Wenn keine elektrooptischen Eigenschaften erforderlich sind, können auch andere Substrate, einschließlich Glas, verwendet werden. Die optische Energie breitet sich in dem Wellenleiter 11 in der durch den Pfeil 14 angedeuteten Richtung aus. Es sei jedoch bemerkt, daß die Ausbreitungsrichtung der optischen Energie lediglich zur Veranschaulichung dient, und daß die Ausbreitung, alternativ hierzu, auch in entgegengesetzter Richtung erfolgen kann. Durch zwei Begrenzungseinrichtungen, wie z.B. die Nuten oder Furchen 16, die entlang der Außenfläche des S-förmigen Wellenleiters 11 gebildet sind, wird die Dämpfung infolge einer Ausstrahlung an den Krümmungen des Wellenleiters 11 verringert. Es sei bemerkt, daß die Tiefe der Nuten 16 in dem Substrat nur so tief sein müssen, wie die Tiefe des optischen Energiefeldes, das außerhalb des Wellenleiters 11 begrenzt werden soll. In der Praxis sind die Nuten 16 jedoch typischerweise tiefer als der Wellenleiter 11. Die Nuten 16 können mittels eines Laserätzverfahrens, wie es in dem amerikanischen Patent 4,598,039 mit dem Titel "Formation of Features in Optical Material" offenbart wird, gebildet werden. Das am 1. Juli 1986 ausgegebene Patent wurde auf die AT&T Bell Laboratories übertragen. Es sei bemerkt, daß auch andere Nutenbildungsverfahren, einschließlich des reaktiven Ionenätzens, zur Bildung der Nuten 16 verwendet werden können.
  • Fig. 2 dient zur Veranschaulichung der Dämpfungsmechanismen für die Strahlung und des in Fig. 1 verwendeten Verfahrens zur Verringerung der Krümmungsdämpfung. In einem Substrat 20 ist ein beispielhaft gekrümmter Wellenleiter 21 mit einem Radius R ausgebildet, in dem sich in Richtung des Pfeils 22 optische Energie ausbreitet. Es sei bemerkt, daß die dargestellte Richtung lediglich zur Veranschaulichung dient, und daß die Ausbreitung, alternativ hierzu, auch in entgegengesetzter Richtung erfolgen kann. Die Verteilung der optischen Energie in dem Wellenleiter 21 ist durch die Kurve 24 dargestellt, die im wesentlichen einer Gauss-Verteilung entspricht, bei der das transversale Feld außerhalb des Wellenleiters 21 exponentiell abnimmt. Da sich die außerhalb des Radiuses Xr ausbreitende optische Energie in Phase mit der in dem Wellenleiter 21 ausbreitenden optischen Energie befindet, muß diese Ausbreitung mit einer Geschwindigkeit erfolgen, die höher ist als die Lichtgeschwindigkeit (die Geschwindigkeit der sich in dem Wellenleiter ausbreitenden optischen Energie liegt in der Nähe der Lichtgeschwindigkeit), so daß die sich außerhalb des Radiuses Xr befindende optische Energie, wie durch den schraffierten Bereich 23 dargestellt ist, der Strahlung verlorengeht. Hierdurch wird die Krümmungsdämpfung der sich in dem Wellenleiter 21 ausbreitenden optischen Energie erhöht. Die durch Ausstrahlungsverluste verloren gegangne optische Energie breitet sich in dem Substrat 20 aus, in dem sie dissipiert wird. Zur Verringerung dieser Ausstrahlungsverluste ist benachbart zu dem Wellenleiter 21 entlang des Außendurchmessers eine Nut oder Furche 26 angeordnet, die typischerweise tiefer ist als das optische Energiefeld außerhalb des Wellenleiters 21 in dem Substrat 20 und die einen kleineren Brechungsindex als das Substrat 20 aufweist. Durch dieses Verfahren wird die Verteilung der optischen Energie außerhalb des Wellenleiters 21 begrenzt, wie durch die Verteilungskurve 28 der optischen Energie veranschaulicht wird, so daß sich die Krümmungsdämpfung verringert. Der äußere Schwanz der Verteilungskurve 28 wird im Vergleich zur Kurve 24 verkürzt, so daß die sich in dem Bereich 23 befindende optische Energie auf den Wellenleiter 21 begrenzt wird und die Ausstrahlungsverluste des gekrümmten Wellenleiters 21 wesentlich verringert werden. Das Ausmaß, in dem die Austrahlungsverluste verringert werden, wird durch die Anordnung der Nut 26 bestimmt. Je weiter die Nut 26 über den Abstand Xr hinaus von dem Wellenleiter entfernt angeordnet wird, um so mehr optische Energie geht durch die Ausstrahlung verloren.
  • Wie in Fig. 1 dargestellt ist, sind bei einer Ausführungsform der Erfindung die Enden der Nuten oder Furchen 16 von dem Wellenleiter 11 weg gebogen, so wie es beispielsweise in dem Bereich 18 dargestellt ist. Durch diese Biegung der Nut 16 wird der Einfluß von Diskontinuitäten in der Verteilung 24 der optischen Energie (Fig. 2) in der Nähe der Nut 16 verringert. Durch solche Diskontinuitäten wird das Ausmaß der Krümmungsdämpfung erhöht, da die optische Energie in dem Bereich 23 der Verteilungskurve 24 (Fig. 2) bei einem Auftreffen der optischen Energie auf die Nuten 26 (Fig. 2) gestreut wird. Die Nut ist so gekrümmt, daß sie eine exponentiell geformt ist; es können jedoch auch andere Krümmungsformen, wie z.B. quadratische Formen, verwendet werden. Bei Anwendung des oben beschriebenen Verfahrens auf einen gekrümmten, integrierten optischen Wellenleiter 11, der durch die obige Gleichung beschrieben wird und eine Länge von 1,64 mm aufweist, läßt sich die Krümmungsdämpfung des Wellenleiters von etwa 18,7 dB auf etwa 8,6 dB verringern, wenn die Enden der Nuten 16 nicht von dem Wellenleiter 11 weggekrümmt sind und sich in dem Wellenleiter optische Energie mit einer transversalen magnetischen (TM) Mode von 1,3 um ausbreitet. Die Nuten 16 sind hierbei etwa 1,5 bzw. 2 um von dem Wellenleiter 11 entfernt angeordnet.
  • Fig. 3 zeigt einen Querschnitt durch den Wellenleiter 11 und die Nut 16 entlang der Linie 3-3 in Fig. 1. Die Nut 16 ist hier benachbart zu dem Wellenleiter 11 in dem Substrat 10 dargestellt. Die Nut 16 ist tiefer als der Wellenleiter 11. Das Ende der Nut 16 ist von dem Wellenleiter 11 weggekrümmt.
  • Fig. 4 zeigt eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Dargestellt sind zwei integrierte Wellenleiter am Rand eines Substrats zusammen mit einer dreidimensionalen Darstellung der Verteilung der optischen Energie (Moden) des Wellenleiters. Die integrierten optischen Wellenleiter 30 und 32 sind mit externen optischen Wellenleitern, wie z.B. den Lichtleitfasern 36 und 37 (die hier jeweils als Kern ohne Mantel dargestellt sind), gekoppelt, um optische Energie von den Lichtleitfasern 36 und 37 an die (nicht dargestellten) optischen Bauelemente auf dem Subtrat 35 anzukoppeln und umgekehrt. Die zwei Wellenleiter 30 und 32 wurden mittels der oben beschriebenen Materialien und Verfahren in dem Substrat 35 gebildet. Infolge des zur Bildung der Wellenleiter 30 und 32 in dem Substrat 35 verwendeten Diffusionsverfahren sind die entstehenden Wellenleiter halbkreisförmig. Durch die halbkreisförmige Ausbildung des Wellenleiters 30 weist die Mode 31 der optischen Energie des Wellenleiters 30 eine ovale Form auf. Da die Mode der optischen Energie in der externen Lichtleitfaser 36 typischerweise kreisförmig ist, führt eine Ankopplung optischer Energie zwischen dem integrierten optischen Wellenleiter 30 und der Lichtleitfaser 36 infolge der unterschiedlichen Modenformen zu Kopplungsverlusten. Bei dem Wellenleiter 32, der die gleiche Form aufweist wie der Wellenleiter 30, ist die Mode 33 der optischen Energie jedoch kreisförmiger. Bei diesem Wellenleiter ist entlang jeder Seite des Wellenleiters in einem vorbestimmten Abstand eine Nut 34 angeordnet, so daß die Verteilung 33 der optischen Energie in dem Wellenleiter 32 so eingegrenzt ist, daß sie kreisförmiger ist. Die Mode 33 und die Mode in der Lichtleitfaser sind sich somit ähnlicher, was zu geringeren Kopplungsverlusten zwischen ihnen führt. Es sei bemerkt, daß die Lichtleitfasern 36 und 37 keine kreisförmigen Moden aufweisen müssen. Zudem können auch andere externe Wellenleiter, wie z.B. integrierte optische Wellenleiter, mit einer anderen Form und mit anderen Moden als die Wellenleiter 30 und 32, mit diesen Wellenleitern gekoppelt werden. Um die Energie zwischen dem Wellenleiter 32 und dem externen Wellenleiter effizient übertragen zu können, sind die Nuten 34 so angeordnet, daß die Mode 33 etwa auf die Modenform in dem externen Wellenleiter eingegrenzt ist.
  • Die oben erwähnte Nut muß nicht mit Luft gefüllt sein. Die Nut kann zumindest teilweise mit einem Feststoff gefüllt sein, es ist jedoch wünschenswert, wenn der Brechungsindex dieses Materials geringer ist als der Brechungsindex des Substrats. Zudem ist es erwünscht, wenn die Nut in dem Substrat zumindest genauso tief ist wie der Maximalwert des optischen Energiefeldes, das außerhalb des zugehörigen Wellenleiters begrenzt werden soll. Alternativ hierzu ist es auch möglich, daß die Nut eine geringere Tiefe aufweist, was jedoch zu einer entsprechenden Verschlechterung der Funktionsweise führt. Die Tiefe der Nut beträgt typischerweise zumindest 25% der Tiefe des zugehörigen Wellenleiters, wobei sie üblicherweise tiefer ist als der Wellenleiter.

Claims (5)

1. Wellenleitereinrichtung mit einer Schicht von optischem Material (35), in welchem ein erster Wellenleiter (32) ausgebildet ist, wobei die Wellenleitereinrichtung optische Energie zwischen dem ersten Wellenleiter und einem zweiten Wellenleiter (37), der axial zum ersten Wellenleiter ausgerichtet ist, koppeln kann,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Wellenleitereinrichtung ferner wenigstens zwei Furchen (34) umfaßt, die in der Oberfläche des optischen Materials ausgebildet sind, wobei das Material in den Furchen einen niedrigeren Brechungsindex als das optische Material hat und längs entlang jeder Seite des ersten Wellenleiters bei einem vorbestimmten Abstand zu diesem angeordnet ist, wobei die Furchen dazu beitragen, die optische Energie in dem ersten Wellenleiter so zu halten, daß die optische Querschnitts-Energieverteilung (33) innerhalb des ersten Wellenleiters so ausgebildet wird, daß diejenige des zweiten Wellenleiters angenähert wird.
2. Wellenleiter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Ende jeder Furche vom ersten Wellenleiter weggebogen ist.
3. Wellenleiter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Ende der Furche sich exponentiell vom ersten Wellenleiter wegbiegt.
4. Wellenleiter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Tiefe der Furche im optischen Material die Tiefe des ersten Wellenleiters im optischen Material überschreitet.
5. Wellenleiter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Wellenleiter eine optische Faser ist.
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