DE69027857T2

DE69027857T2 - Flüssigkeitspumpvorrichtung sowie leckprüfsystem und leckeindämmung

Info

Publication number: DE69027857T2
Application number: DE69027857T
Authority: DE
Inventors: Byron Cady; Jerry Nichols; Carl Story
Original assignee: Systems Chemistry Inc
Current assignee: Systems Chemistry Inc
Priority date: 1989-08-11
Filing date: 1990-08-10
Publication date: 1996-11-28
Anticipated expiration: 2010-08-11
Also published as: EP0486618A4; US5062770A; KR960003386B1; EP0486618A1; EP0486618B1; JPH04504747A; ATE140519T1; WO1991002161A1; DE69027857D1

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Pumpen von Fluid gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Eine Vorrichtung der vorstehend genannten Art ist aus dem Dokument DE-A-26 20 228 bekannt.
Die Erfindung betrifft insbesondere ein verbessertes Pumpensystem mit einer doppelt-wirkenden Pumpe, die Doppelmembran-Pumpkammern mit Leckdetektormitteln umfaßt, um ultrareine Fluide zu pumpen, und die so eingerichtet ist, daß eine Verunreinigung der Fluide im Falle eines Ausfalls einer Membran erkannt und verhindert wird.
In der Halbleiterindustrie werden verschiedene korrosive und ätzende Materialien eingesetzt, mit denen sorgfältig umgegangen werden muß, um eine Beschädigung von mechanischen Einrichtungen und eine Beeinträchtigung der Umwelt sowie der in der Produktion tätigen Mitarbeiter zu vermeiden. Darüber hinaus müssen die für die Verfahren eingesetzten Chemikalien, Lösungsmittel sowie entionisiertes Wasser während aller Phasen ihres Einsatzes und ihrer Bereitstellung so rein wie möglich erhalten werden, weil jede Berührung des fließenden Stromes mit einer Verunreinigung sich in Defekten der hergestellten Erzeugnisse niederschlagen kann. Defekte dieser Art sind häufig nicht feststellbar, bis der Herstellungsprozess abgeschlossen ist. Um derartige Schäden und Beeinträchtigungen sowie Verunreinigungen der zum Verfahren erforderlichen Fluide zu verhindern, sind bereits Anstrengungen unternommen worden, um Vorrichtungen zur Verfügung zu stellen, bei denen alle mit Flüssigkeiten befeuchteten Oberflächen aus einem inerten Kunststoff hergestellt oder damit beschichtet sind. So hat z.B. die mit einer gegenläuf igen Doppelmembran ausgestattete Pumpe, die von der American Pump Company, Inc. aus Springfield, Massachussetts, hergestellt wird, im wesentlichen Teile, die aus massivem Teflon oder Polyproylen hergestellt sind. Diese Pumpe wird mit Druckluft betrieben, die alternierend die Innenseite einer Membran einer ersten einzelnen Membrankammer unter Druck setzt, wohingegen gleichzeitig die innere Kammer einer zweiten einzelnen Membrankammer abgeblasen wird. Die beiden Membranen sind über eine gemeinsame Stange miteinander verbunden, so daß dann, wenn die Innenseite der einen Membrankammer unter Druck gesetzt wird, um die Membran während des Entladehubes nach außen zu bewegen, die entgegengesetzte Membran während ihres Saughubes nach innen gezogen wird. Wenn die Membranen sich dem Ende eines Hubes nähern, schiebt ein Luftschalter Druckluft in die entgegengesetzte Kammer und bläst die zuvor unter Druck stehende Kammer ab. Diese Hin- und Her-Bewegung der Membranen bewirkt eine alternierende Saugwirkung bzw. Entladewirkung in den beiden äußeren Membrankammern.
Obwohl es auf den ersten Blick so scheint, als ergebe dieser Konstruktionsansatz eine arbeitsfähige Lösung des Problems, wird aber nicht auf das Problem eingegangen, eine Verunreinigung mit für ein Verfahren eingesetzten Flüssigkeiten zu verhindern, wenn eine Membran oder ein anderes Dichtungselement ausfüllt, das in der Vorrichtung eingesetzt wird, um eine Flüssigkeit durch ein Verfahrenssystem hindurch zu pumpen.
Das eingangs erwähnte Dokument DE-A-26 20 228 beschreibt eine Kolben-Membran-Pumpe. Die Membran ist als Sandwich ausgebildet, wobei ein erstes und ein zweites, jeweils kontinuierlich durchgehendes Membranglied die Oberflächen der Membran bilden und sich ein geschlitztes Membranglied zwischen diesen beiden befindet. Die Schlitze des geschlitzten Membrangliedes bilden Kammern zwischen den beiden äußeren Membrangliedern. Die Kammern sind an einen hydraulischen Schaltkreis angeschlossen. Eine Leitung des hydraulischen Schaltkreises dient zum Befüllen der Kammern mit einem hydraulischen Fluid. Eine zweite Leitung verbindet die Kammern in dem geschlitzten Membranglied mit einem druckgesteuerten elektrischen Schalter oder anderen Schaltoder Anzeigeelementen. Falls ein mit dem gepumpten Fluid benetztes äußeres Membranglied ausfällt, dringt gepumptes Fluid in die Kammer des geschlitzten mittleren Membrangliedes ein, so daß während eines Pumphubes der Innendruck in der Kammer ansteigt. Als Folge davon wird der Druckschalter aktiviert und löst einen entsprechenden Alarm oder ein Abschalten der gesamten Pumpe aus.
Das Dokument US-A-2,323,950 beschreibt eine Proportionalzufuhreinrichtung mit einer Membranpumpe, die zwei parallele Membranglieder aufweist, die wiederum zwischen sich eine Kammer einschließen, die mit Atmosphäre verbunden ist, und die ferner einen Fluid-Detektor in der Kammer umfaßt.
Die Dokumente US-A-3,131,638 und DE-A-25 02 566 beschreiben beide Membranpumpen mit zwei axial voneinander beabstandeten Membrangliedern, die zwischen sich eine Kammer einschließen. Die Kammer ist an eine Fluidleitung angeschlossen, die wiederum mit einem Rezipienten verbunden ist, der durchsichtig sein kann, so daß im Fall des Ausfalls einer Membran das gepumpte Fluid in den Rezipienten eintreten und dort optisch detektiert werden kann.
Der vorliegenden Erfindung liegt daher die wesentliche Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Pumpen eines Fluids zur Verfügung zu stellen, die Mittel umfaßt, mit denen eine Verunreinigung des gepumpten Fluids verhindert werden kann, wenn die Pumpe ausfällt.
Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine verbesserte doppelt-wirkende Pumpe zur Verfügung zu stellen, bei der alle benetzten Oberflächen aus einem chemisch inerten Material bestehen und die Mittel umfaßt, um einen Kontakt zwischen dem gepumpten Fluid mit irgendeiner verunreinigenden Oberfläche in der Pumpe zu verhindern, falls eine Dichtung ausfällt.
Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine doppelt-wirkende Mernbranpumpe der beschriebenen Art zur Verfügung zu stellen, die doppelte Membranen in jeder Pumpeneinheit umfaßt, die voneinander beabstandet sind, um eine Einschließungskammer zu bilden, mit der die Pumpkammer gegenüber dem Antriebsmechanismus isoliert wird.
Noch eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eien Vorrichtung der beschriebenen Art zur Verfügung zu stellen, die Mittel umfaßt, mit denen das Eindringen eines Fluids in die Einschließungskammer schnell erkannt werden kann.
Noch eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Pumpsystem zur Verfügung zu stellen, das eine Pumpe der beschriebenen Art einschließt, die ein Mittel umfaßt, das auf Sensoren anspricht, die in Einschließungskammern angeordnet sind, um die Pumpenanordnung abzuschalten, im Fall daß Fluid in einer der Einschließungskammern detektiert wird.
Im Rahmen der vorliegenden Erfindung werden diese Aufgaben durch eine Vorrichtung der eingangs genannten Art gelöst, die zusätzlich die Merkmale des kennzeichnenden Teils des Anspruchs 1 umfaßt.
Kurz gesagt umfaßt ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung eine doppelt-wirkende Membranpumpen- Anordnung, wobei jede Pumpeneinheit ein Paar von zueinander beabstandeten Membranen umfaßt, die eine Einschließungskammer definieren, wobei alle in der Pumpkammer und in der Einschließungskammer offenliegenden Oberflächen aus einem chemisch inerten Material hergestellt sind, wobei sich ein Sensor für ein Fluid in jede der Einschließungskammern hinein erstreckt, um die Anwesenheit eines unerwünschten Fluids darin zu erkennen, und wobei ein Regelsystem für die Pumpe vorgesehen ist, um die Pumpvorrichtung zu aktivieren und um auf ein von einem der Sensoren erzeugtes Signal zu reagieren, um die Pumpenvorrichtung abzuschalten, im Fall einer Leckage von Fluid in eine der Einsch ießungskammern.
Ein wichtiger Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß im Fall eines primären Ausfalls einer Membran eine Leckage in die benachbarte Einschließungskammer sofort erkannt wird und das Pumpensystem abgeschaltet wird. Ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß selbst im Fall eines Ausfalls einer Primär-Membran das Fluid, das durch die Membran leckt, nicht in Kontakt mit einer verunreinigenden Oberfläche gelangt.
Diese und weitere Aufgaben und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden zweifellos für Durchschnittsfachleute nach dem Lesen der folgenden detaillierten Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels erkennbar, das in mehreren Figuren der Zeichnung dargestellt ist.

ZEICHNUNG

Fig. 1 ist eine teilweise aufgebrochene Seitenansicht zur Darstellung einer doppelt-wirkenden Pumpenanordnung sowie eines Fluß-Regelsystems, gemäß der vorliegenden Erfindung.
Fig. 2 ist ein Diagramm, das schematisch die zum Betätigen dienende Luftversorgungs-Anordnung für die Pumpenvorrichtung gemäß Fig. 1 darstellt.
Fig. 3 ist ein teilweise aufgebrochener Querschnitt, der eine alternative Membran-Baugruppe gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.

BESCHREIBUNG DES BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELS

In Fig. 1 der Zeichnung ist eine doppelt-wirkende Pumpenanordnung mit Regelsystem für ein Fluid gemäß der vorliegenden Erfindung dargestellt. Die Vorrichtung umfaßt eine erste Pumpeneinheit 10, eine zweite Pumpeneinheit 12, ein Pumpen- Trägerchassis 14 sowie zugehörige verbindende Leitungsstrukturen, und eine Unter-Baugruppe 16 für die Betätigungsluft-Regelung. Ein Fluid wird einem Pumpeneinlaß 18 aus einer Fluid-Quelle 20 zugeführt und wird einem Fluid-Verbraucher 22 über einen Auslaß 24 zugeleitet. Der Betrieb der Pumpe oder der Pumpenanordnung wird selbsttätig durch die Unter-Baugruppe 16 in Abhängigkeit einer Druckluft bewirkt, die ihr von einer Luftversorgung 26 über eine Regelventil-Baugruppe 28 zugeführt wird. Die Ventil-Baugruppe 28 wird ihrerseits über eine Systemsteuerung 30 gesteuert, die außer auf externe Eingänge auch auf Leckerkennungssignale anspricht, die ihr über Leitungen 32 und 34 zugeführt werden. Die Steuerung 30 kann ferner Ausgangssignale auf einer Leitung 36 erzeugen, um die Fluid-Quelle 20 einzuschalten oder auszuschalten.
Die Pumpeneinheiten 10 und 12 sind identisch ausgeführte Einheiten, von denen eine jede ein Eingangs-Kontrollventil 38 (39), ein Ausgangs-Kontrollventil 40 (41), eine Buchsen- und Stopfen-Baugruppe 42, eine Primärmembran 44, eine Sekundärmembran-Baugruppe 46 mit einer Sekundärmembran 48, eine Membranaussteifung 50 und ein Stützglied 52 umfaßt. Um Längskräfte gleichförmig auf die Membran zu verteilen, sind ferner innere Platten 53 vorgesehen. Die Buchsenbaugruppen und die Membranglieder sind an gegenüberliegenden Enden einer Welle 54 befestigt, und zwar durch geeignete Schrauben und Flansche, so daß die Betriebfolge der Pumpeneinheit 10 immer um 180º gegenphasig zur Pumpeneinheit 12 ist.
Wie man leicht sieht, bilden die Gehäuse 56 mit den Primärmembranen 44 definierte Pumpkammern 58 und 60, und die Membranen 44 und 48 bilden mit Abstandsringen 62 definierte Einschließungskammern 64 und 66. Darüber hinaus bilden die Gehäuserückwand-Platten 68 zusammen mit den Stützgliedern 52 definierte Betitigungskammern 70 bzw. 72.
An der Unterseite eines jeden Ringes 62 ist eine Öffnung 63 vorgesehen, um einen entsprechenden Sensor 73 zum Erfassen von Leckspuren aufzunehmen, der in der Lage ist, jedwedes Fluid zu erfassen, das in die zugehörige Einschließungskammer 64 eindringt. Die Sensoren 73 bilden gleichzeitig Verschlüsse für die Kammern 64 und 66.
Der Sensor 73 zum Erfassen einer Leckspur schließt vorzugsweise einen optischen Sensor ein, der an einen faseroptischen Leiter 75 angeschlossen ist, der zu einem optischen Detektor 77 führt und eine kegelig ausgebildete Spitze aufweist, die zu der Kammer 64 (66) weist. Die Spitze hat einen Refraktionsindex und weist, wenn sie von Luft umgeben ist, einen hohen Grad von Selbstreflexion auf. Wenn sie sich hingegen in Berührung mit einer Flüssigkeit befindet, nimmt sie eine im wesentlichen andere Reflexions-Charakteristik ein. Als Folge davon nimmt der Pegel desjenigen Lichtes, das der Spitze durch eine oder mehrere der Fasern des Leiters 75 zugeleitet und das dann zurück in andere Empfangsfasern reflektiert wurde, bis unter einen Detektions-Schwellwert ab und es wird ein Leck angezeigt.
Alternativ könnte auch eine resistive, kapazitive oder andere geeignete Art eines Sensors als Ersatz für den optischen Sensor zur Leckspurerkennung eingesetzt werden, wie er hier mit 73 bezeichnet ist.
Im bevorzugten Ausführungsbeispiel bestehen alle starren Teile, die mit dem gepumpten Fluid in Kontakt stehende Oberflächen darstellen, aus Polyfluoraloxyl (PFA) oder Polytetrafluorethylen (PTFE) oder einem anderen geeigneten Material, oder sind mit diesen oberf lächenbeschichtet. Die Membranen 44 und 48 sowie die Stützglieder 52 bestehen aus Teflon; die Membranaussteifungen 50 sind aus Viton hergestellt. Darüber hinaus ist dafür Sorge getragen, sicherzustellen, daß die Sekundärmembran 48 mit ihrer Mittelöffnung entweder gut auf der Welle 54 abgedichtet ist oder daß der Umfang dieser Öffnung (durch die mittlere öffnung in der Aussteifung 50) auf dem Umfang des Stützgliedes 52 abgedichtet ist, so daß im Fall eines Reißens einer Primärmembran das in die Kammer 64 eintretende Fluid nicht in Kontakt mit dem Viton-Material gerät.
In der dargestellten Konfiguration ist die Pumpeneinheit 10 in einem Zustand dargestellt, in dem sie ihren Einlaßhub beginnt, wodurch das Kontrollventil 38 geöffnet und das Kontrollventil 40 geschlossen wird, so daß Fluid in die Kammer 58 durch den Einlaß 18 angesaugt wird, wenn sich die Membran-Baugruppe nach rechts bewegt. Gleichzeitig beginnt die Pumpeneinheit 12 ihren Purnphub, wobei das Kontroliventil 39 den Einlaß-Durchlaß verschließt und das Kontrollventil 41 geöffnet wird, damit das in der Kammer 60 befindliche Fluid durch den Auslaß 24 zum Verbraucher 22 herausgedrückt wird.
Nachdem die Membran-Baugruppen und die Welle 54 sich vollständig in die äußerste rechte Position bewegt haben, wird ihre Bewegung umgekehrt. Dies bewirkt, daß das Kontrollventil 39 öffnet, so daß Fluid aus der Quelle 20 durch den Einlaß 18 in die Pumpkammer 60 eingesaugt werden kann. Gleichzeitig wird das Kontroliventil 38 geschlossen und das Kontrollventil 40 öffnet sich, so daß das in der Pumpkammer 58 enthaltene Fluid durch den Auslaß 24 zum Verbraucher 22 herausgedrückt wird. Dieser Zyklus wird dann kontinuierlich unter der Kontrolle der Unter-Baugruppe 16 und der Systemsteuerung 30 wiederholt.
Wenden wir uns nun Fig. 2 der Zeichnung zu, so sollen nunmehr die funktionellen Einzelheiten der Unter-Baugruppe 16 für die Betätigungs-Luftregelung unter Bezug auf eine verallgemeinerte bildliche Darstellung erläutert werden. Wie bereits angedeutet, wird Luftdruck von einer Luftversorgung 26 (Fig. 1) einem Luftdruckeinlaß 71 zugeführt und dann über ein Wechselventil 74 entweder der Druckkammer 60 der Pumpeneinheit 10 oder der Druckkammer 70 der Pumpeneinheit 12 zugeführt. Wenn die in der unter Druck stehenden Kammer befindliche Luft ihre Membran in deren Endstellung ausgelenkt hat, greift ein von der Welle 54 getragener Schalthebel 76 an einem Knopf 79 einer Betätigungseinheit 78 für ein Knopf-Luftventil an, das seinerseits Luft vom Einlaß 72 über eine Luftleitung 80 zu einer Betätigungsvorrichtung 82 für ein pneumatisches Wechselventil leitet, das dann das Wechselventil 74 nach rechts bewegt, um den am Einlaß anstehenden Luftdruck dem Auslaß 84 zuzuleiten, was wiederum bewirkt, daß die Druckkammer 70 unter Druck gesetzt wird und die Antriebswelle 54 nach links bewegt, usw. Die Wirkungsweise einer derartigen Vorrichtung ist Durchschnittsfachleuten wohlbekannt
Bei einem alternativen Ausführungsbeispiel, wie dies in Fig. 3 dargestellt ist, ist ein torusförmiger Abstandshalter 90 zwischen der Primärmembran 44 und der Sekundärmembran 46 angeordnet, um das Einwirken von Antriebskräften auf die Primärmembran abzupuffern und die Verformung der Primärmembran sowie der Sekundärmembran während deren Bewegungen nach rechts und links zu vergleichmäßigen. Auf diese Weise wird die Lebensdauer der Membranen verlängert. Er dient weiter dem Ziel, den Raum zwischen den beiden Membranen auszufüllen und das durch ein Leck ausfüllbare Volumen der Einschließungskammer zu vermindern. Der Abstandshalter 90 besteht aus einem Kern 92 aus Viton-Material mit einer äußeren Beschichtung 94 aus Teflon.
Es wird somit erkennbar, daß gemäß der vorliegenden Erfindung ein Pumpensystem zur Verfügung gestellt wird, bei dem ein Ausfall einer der Primärrnembranen sofort mittels der Sensoren 73 erkannt wird, wobei das entsprechende Signal der Systemsteuerung 30 übermittelt wird. Als Antwort auf ein solches Signal veranlaßt die Steuerung 30 das Kontrollventil 28, zu schließen, so daß auf diese Weise der Luftstrom zur Baugruppe 16 für die Betätigung des Luftschalters unterbrochen wird. Weil danach den Kammern 70 oder 72 keine Luft mehr zugeführt wird, wird die gesamte Versorgungsleitung des Fluids abgeschaltet. Die Steuerung 30 kann ferner einen akustischen Alarm auslösen, der anzeigt, daß die ausgefallene Membran einer Reparatur bedarf.
Darüber hinaus tritt keine Verunreinigung des fließenden Stroms von Fluid als Ergebnis des Ausfalls der Membran ein, weil die Sekundärmembran 48 wahrscheinlich intakt geblieben ist und alle benetzten Oberflächen in der Einschließungskammer 64 (66) inert sind. Die Pumpe kann dann repariert werden, damit anschließend die Benutzung der Leitung wieder aufgenommen werden kann.
Obwohl die vorliegende Erfindung vorstehend unter Bezug auf zwei bevorzugter Ausführungsbeispiele beschrieben wurde, muß beachtet werden, daß alternative Merkmale, Abwandlungen und Änderungen derselben für den Durchschnittsfachmann offensichtlich sind. So kann man z.B. für geeignete Anwendungsfälle die Betätigung der Membranen auch auf elektrischem oder hydraulischem Wege ausführen. In entsprechender Weise kann auch eine Pumpe mit nur einer Pumpeneinheit verwendet werden. Ferner kann für Anwendungsfälle, bei denen eine größere Gleichmäßigkeit der Fließgeschwindigkeit und des Drucks erforderlich ist, drei oder mehr Pumpeinheiten miteinander in einer gemeinsamen Pumpenanordnung verkoppelt werden.

Claims

1. Fluid-Pumpvorrichtung mit Mitteln zum Erkennen und Verhindern einer Verunreinigung der Fluide im Falle eines Ausfalls einer Membran, mit:

- einem Pumpengehäuse (56), das einen Einlaß (18) und einen Auslaß (24) umfaßt;

- einer ersten Pumpeneinheit (10), die in dem Gehäuse (56) ausgebildet und dafür eingerichtet ist, um Fluid in den Einlaß (18) anzusaugen und Fluid aus dem Auslaß (24) herauszudrücken, wobei die erste Pumpeneinheit (10) eine erste Membran (44) umfaßt, die zusammen mit dem Gehäuse (56) eine erste, mit dem Einlaß (18) und dem Auslaß (24) in Verbindung stehende Pumpkammer (58) bildet, sowie eine zweite Membran (48), die mittels eines ersten Abstandshalters (62) im Abstand zur ersten Membran (44) gehalten ist und zusammen mit der ersten Membran (44) sowie dem Abstandshalter (62) eine erste Kammer (64) bildet;

- einem ersten Sensor (73) zum Erkennen eines Vorhandenseins von unerwünschtem, in der ersten Kammer (64) auftretendem Fluid als Folge eines Ausfalls der ersten Membran (44) und zum Erzeugen eines entsprechenden ersten Ausgangssignais zur Weiterleitung an eine entfernte Anzeigeeinheit;

- einem ersten Betätigungsmittel zum Hin- und Her-Bewegen der ersten Membran (44), um Fluid durch die erste Pumpkammer (58) zu pumpen,

dadurch gekennzeichnet, daß der erste Abstandshalter (62) von im wesentlichen ringförmiger Gestalt ist und eine darin ausgebildete erste Öffnung (63) umfaßt, die sich radial durch eine seiner Seiten erstreckt, daß der erste Sensor (73) sich in diese Öffnung (63) erstreckt und an seinem freien Ende eine in der Öffnung (63) befindliche Fläche aufweist, die einen Verschluß für die erste Kammer (64) bildet, daß die Kammer (64) eine von jeglichen Fluiden freie Einschließungskammer ist, daß die erste Membran (44), die zweite Membran (48) und alle die erste Pumpkammer (58) sowie die erste Einschließungskammer (64) bildenden, inneren Oberflächen aus einem inerten Material bestehen, derart, daß jeder Ausfall der ersten Membran (44), der ein Eindringen von gepumptem, ultra-reinem Fluid in die erste Einschließungskammer (64) zur Folge hat, bewirkt, daß das eingedrungene Fluid vollständig abgeschlossen wird und keine Verunreinigung verursacht, daß der Ausfall mittels des ersten Sensors (73) sofort erkannt wird und daß der Ausfall durch das erste Ausgangssignal gemeldet wird.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Membran (44) und die zweite Membran (48) aus Teflon-Material hergestellt sind.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Membran (48) ein elastisches erstes Aussteifungsglied (50) umfaßt, das an einer ihrer Oberflächen befestigt ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Aussteifungsglied (50) mit einer Lage aus inertem Material überdeckt ist, das mit der zweiten Membran (48) zusammenwirkt, um das erste Aussteifungsglied (50) einzukapseln.

5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Membran (48) zusammen mit dem Pumpengehäuse (56) eine erste Druckkammer (70) definiert, der Druckluft zuführbar und von der Druckluft abnehmbar ist, so daß die erste Membran (44) und die zweite Membran (48) sich hin und her bewegen und eine Pumpwirkung in der ersten Pumpkammer (58) erzeugen.

6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Betätigungsmittel eine erste Druckkammer (70) umfaßt, die zwischen einer Innenwand des Gehäuses (56) und der zweiten Membran (48) ausgebildet ist, derart, daß die Zufuhr und die Abfuhr von Druckluft zur ersten Druckkammer (70) bewirkt, daß die erste Membran (44) und die zweite Membran (48) sich hin und her bewegen und eine Pumpwirkung in der ersten Pumpkammer (58) erzeugen.

7. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch Puffermittel (90-94), die in der ersten Einschließungskammer (64) angeordnet sind und an der ersten Membran (44) angreifen, um Betätigungskräfte gleichförmiger über deren zentralen Bereich zu verteilen.

8. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch:

- eine zweite Pumpeneinheit (12), die in dem Gehäuse (56) ausgebildet und eingerichtet ist, um Fluid in den Einlaß (18) anzusaugen und Fluid aus dem Auslaß (24) herauszudrücken, wobei die zweite Pumpeneinheit (12) eine dritte Membran umfaßt, die mit dem Gehäuse (56) eine zweite Pumpkammer (60) bildet, die in Verbindung mit dem Einlaß (18) und dem Auslaß (24) steht, wobei ferner ein zweiter, im wesentlichen ringförmiger Abstandshalter eine darin ausgebildete zweite Öffnung aufweist, die sich radial durch eine seiner Seiten hindurch erstreckt, und eine vierte Membran in beabstandeter Anordnung von der dritten Membran mittels eines zweiten Abstandshalters gehalten wird und zusammen mit der dritten Membran und dem zweiten Abstandshalter eine zweite Einschließungskammer (66) bildet, wobei schließlich die dritte und die vierte Membran sowie diejenigen Innenoberflächen, die die zweite Pumpkammer und die zweite Einschließungskammer bilden, aus einem inerten Material hergestellt sind;

- einen zweiten Sensor (73) , der sich in die zweite Öffnung erstreckt und an seinem freien Ende eine in der Öffnung befindliche Fläche aufweist, die einen Verschluß für die zweite Einschließungskammer (66) bildet, wobei der zweite Sensor (73) eingerichtet ist, um das Vorhandensein von unerwünschtem, in der zweiten Einschließungskammer (66) auftretendem Fluid als Folge des Ausfalls der dritten Membran zu erkennen und ein entsprechendes zweites Signal zur Weiterleitung an eine entfernte Anzeigeeinheit zu erzeugen; und

- einem zweiten Betätigungsmittel zum Hin- und Her- Bewegen der dritten Membran, um Fluid durch die zweite Pumpkammer (60) zu pumpen;

- wobei jeder Ausfall der dritten Membran, der ein Eindringen von gepumptern Fluid in die zweite Einschließungskammer (66) zur Folge hat, bewirkt, daß das eingedrungene Fluid vollständig abgeschlossen wird und keine Verunreinigung verursacht, daß der Ausfall mittels des zweiten Sensormittels (23) sofort erkannt wird und daß der Ausfall durch das zweite Ausgangssignal gemeldet wird.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch Mittel, die die erste Membran (44) starr mit der dritten Membran verbinden, und daran gekoppelte Mittel, die bewirken, daß das erste und das zweite Betätigungsmittel in gegenphasiger Beziehung zueinander arbeiten.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Membran (44), die zweite Membran (48), die dritte Membran und die vierte Membran aus Teflon-Material hergestellt sind.

11. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Membran (48) und die vierte Membran mit elastischen Aussteifungsgliedern (50) versehen sind, die an deren Oberflächen befestigt sind.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Aussteifungsglieder (50) jeweils mit einer Lage aus inertem Material überdeckt sind, die mit den zugehörigen Membranen (48) zusammenwirken, so daß die Aussteifungsglieder (50) dadurch eingekapselt sind.

13. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Membran (48) und die vierte Membran zusammen mit dem Gehäuse (56) eine erste Druckkammer (70) und eine zweite Druckkammer (72) bilden, denen Druckluft zugeführt und von denen Druckluft abgeführt werden kann, um zu bewirken, daß die erste Membran (44) und die dritte Membran sich hin und her bewegen und eine Pumpwirkung in der ersten Pumpkammer (58) und der zweiten Pumpkammer (60) erzeugt wird.

14. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Betätigungsmittel und das zweite Betätigungsmittel eine erste Druckkammer (70) und eine zweite Druckkammer (72) einschließen, die jeweils zwischen Innenwänden des Gehäuses (56) und der zweiten Membran (58) bzw. der vierten Membran gebildet werden, so daß die Zufuhr und die Abfuhr von unter Druck stehendem Fluid zu einer der Druckkammern (70, 72) eine Hin- und Her-Bewegung der ersten Membran (44) und der dritten Membran bewirken, um eine Pumpwirkung in beiden Pumpkammern (58, 60) zu erzeugen.

15. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch Regelmittel, die auf das erste Ausgangssignal ansprechen und so ausgebildet sind, daß sie eine Bewegung der ersten Membran (44) durch das erste Betätigungsmittel verhindern, wenn ein Ausfall der ersten Membran (44) erkannt wird.

16. Vorrichtung nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch Regelmittel, die auf das erste und das zweite Ausgangssignal ansprechen und so ausgebildet sind, daß sie das erste und das zweite Betätigungsmittel außer Betrieb setzen, wenn ein Ausfall entweder der ersten Membran (44) oder der dritten Membran erkannt wird.

17. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Sensormittel (73) einen optischen Detektor umfaßt, der in der ersten Öffnung (63) angeordnet und optisch mit einem entfernten Detektormittel (77) verbunden ist.

18. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der erste und der zweite Sensor (73) jeweils einen optischen Detektor umfassen, der in einer zugehörigen Öffnung (63) angeordnet und optisch mit einem entfernten Detektor (77) verbunden ist.