DE69026824T2

DE69026824T2 - Fluidsteuerungsventil mit leckprüfung

Info

Publication number: DE69026824T2
Application number: DE69026824T
Authority: DE
Inventors: Byron Cady; Jerry Nichols; Carl Story
Original assignee: Systems Chemistry Inc
Current assignee: Systems Chemistry Inc
Priority date: 1989-06-15
Filing date: 1990-06-15
Publication date: 1996-12-05
Anticipated expiration: 2010-06-16
Also published as: US4901751A; EP0477304A4; WO1990015977A1; DE69026824D1; EP0477304A1; JPH05500414A; KR920702772A; KR960001999B1; JP2552957B2; EP0477304B1; ATE137578T1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Ventilvorrichtung zur Verwendung in einem Fluidsteuersystem mit Ventilsteuermitteln, mit:
Mitteln, die eine Einlaßöffnung, eine Auslaßöffnung und einen Ventilsitz bilden;
Verschlußmitteln zum Ineingriffgelangen mit dem Ventilsitz, um eine Strömung durch die Ventilvorrichtung von der Einlaßöffnung zu der Auslaßöffnung zu beenden;
einer ersten und einer zweiten Membranvorrichtung;
einer Gehäusevorrichtung, die mit der ersten und der zweiten Membranvorrichtung zusammenwirkt, um eine geschlossene Eingrenzungskammer zu bilden;
Leckdetektormitteln, die so angeordnet sind, daß sie auf abgedichtete Weise mit der Kammer in Verbindung stehen, um die Anwesenheit eines Fluides zu detektieren, das in die Kammer eintritt; und
Betätigungsmitteln, die mit der ersten und der zweiten Membranvorrichtung verbunden sind und sich durch die Kammer erstrecken, um es zu ermöglichen, daß die Verschlußmittel zwischen einem offenen Zustand und einem geschlossenen Zustand bewegt werden, wobei die Betatigungsmittel derart wirken, daß sie die Ventilvorrichtung schließen, um eine durch diese hindurch gehende Fluidströmung zu beenden.
Ein solches Ventil ist aus dem US-Patent Nr. 4,010,769 bekannt
Die vorliegende Erfindung betrifft generell Fluidströmungs- Steuerventile und betrifft insbesondere eine verbesserte Ventilanordnung, die Leckdetektormittel und Vorkehrungen zur Leckeingrenzung aufweist.
Es gibt verschiedene Anwendungen der Steuerung von Fluidströmungen&sub1; bei denen korrodierende, kaustische oder chemisch reine Flüssigkeitsströme zu steuern sind, und es sind bislang verschiedene Versuche unternommen worden, zu diesem Zweck geeignete pneumatische und elektrisch betatigte Ventile zu schaffen. Ein solches Ventil ist Gegenstand des US-Patentes Nr. 4,010,769 von De Lorenzo et al., das oben erwähnt wurde und ein Ventil offenbart, das einen durch eine Betätigungseinrichtung wie ein Magnetventil, ein Luftventil oder eine andere Einrichtung bewegbaren Tauchkolben aufweist, um ein Verschlußelement auf einen Ventilsitz zu und von diesem weg zu bewegen. Die Fluidhandhabungsposition des Ventils ist gegenüber der Betätigungseinrichtung durch sekundäre Membranen, O-Ringe oder andere Arten von Abdichtstrukturen abgedichtet, um ein Leck hinter die primäre Membran oder Abdichtung und insbesondere ein Leck in die Betätigungseinrichtung sicher zu verhindern. In dem Fall eines Lecks hinter die erste Abdichteinrichtung bzw. an dieser vorbei verursacht eine Flüssigkeitsströmung in den Raum zwischen der ersten und der zweiten Abdichteinrichtung die Strömung von Fluid nach außen durch einen Entlüftungskanal, wodurch eine Anzeige eines Lecks hinter die erste Abdichteinrichtung geschaffen wird, so daß das Leck bemerkt werden wird und die erste Abdichteinrichtung ersetzt werden kann, bevor die Betätigungseinrichtung oder das System selbst eine Beschädigung erfährt.
Obwohl dieses Ventil dazu geeignet ist, einen Membranausfall zu erfassen, ist es nicht auf Anwendungen ausgerichtet, bei denen die Korrosion oder Kontamination des Betatigungsmechanismus oder des Fluides selbst stark eingeschränkt werden muß. Beispielsweise müssen die in der Halbleiterherstellungsindustrie zugeführten Verarbeitungschemikalien und das zugeführte entjonisierte Wasser so rein möglich gehalten werden, da selbst ein flüchtiger Kontakt der Strömung mit einer kontaminierenden Oberfläche zu einem katastrophalen Vorfall führen kann. Obwohl angegeben ist, daß das in Fig. 1 von De Lorenzo gezeigte Ventilverschlußelement aus Teflon besteht, erscheint es, als ob das dieses umgebende Ventilgehäuse und zugeordnete Teile aus Metall bestehen und daher für Anwendungen nicht geeignet wären, bei denen ein Membranausfall wahrscheinlich nahezu sofort eine Kontamination des gesteuerten Fluides verursacht. Darüber hinaus geht die Stoßrichtung von De Lorenzo dahin, den Betätigungsmechanismus davor zu schützen, daß er unbeabsichtigt dem gesteuerten Fluid ausgesetzt wird, und ist nicht darauf gerichtet, eine Kontamination des Fluides zu verhindern. Weiterhin ist die Ventilvorrichtung an sich ein Absperrschieberventil eines Typs, der für gewisse Anwendungen nicht geeignet ist, bei denen Rückströmungsdrücke den Schieber vom Sitz abheben können oder möglicherweise dessen Verschluß verhindern können. Schließlich ist keine Einrichtung vorgesehen, um automatisch einen Membranausfall zu detekieren.
Ein weiteres mit Ventilen des von De Lorenzo et al. offenbarten Typs einhergehendes Problem besteht darin, daß der Reibeingriff der Abdichtflächen die nutzbare Lebensdauer des Ventils nachteilig beeinflußt, und die Tendenz der Abdichtflächen, daß diese nach ihrem Verschluß für ausgedehnte Zeitspannen eine Restverformung aufweisen, kann die Abdichtfähigkeit der Vorrichtung einschränken. Die US-Patente 4,538,638 von Stack, 3,407,838 von Botelar, 3,154,286 von McFarland und 3,451,423 von Priese offenbaren Ventile vom Wehrtyp, die für solche Anwendungen geeigneter sind. Diese Vorrichtungen sind jedoch nicht dazu ausgelegt worden, das Problem einer Fluidkontamination als Ergebnis eines Lecks zu lösen und die Notwendigkeit einer sofortigen und automatischen Detektion eines Membranausfalls zu erkennen.
Es ist im Hinblick hierauf eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die eingangs erwähnte Ventilvorrichtung derart zu verbessern, daß die oben angegebenen Nachteile vermieden werden.
Gemäß der eingangs erwähnten Ventilvorrichtung wird diese Aufgabe dadurch erzielt, daß
die erste Membranvorrichtung ein Membrantrageteil umfaßt, das in der Kammer und neben der ersten Membranvorrichtung angeordnet ist, wobei das Trageteil mit Öffnungen versehen ist, um es zu ermöglichen, daß beliebiges, durch die erste Membranvorrichtung hindurchgehendes Fluid in die Kammer gelangt, und
die Verschlußmittel durch die erste Membranvorrichtung gebildet sind, wobei die Leckdetektormittel derart wirken, daß sie ein Leckdetektionssignal erzeugen, das verwendet werden kann, um für eine unverzügliche Anzeige eines Lecks in die Kammer zu sorgen, und daß die Betatigungsmittel auf das Leckdetektionssignal ansprechen, um zu verhindern, daß eine Kontamination in der Kammer in die Fluidströmung gelangt.
Ein Hauptvorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein verbessertes Fluidströmungs-Steuersystem anzugeben, wobei die neue Ventilvorrichtung dazu verwendet wird, im Falle eines Ventilausfalls eine Kontamination des gesteuerten Fluids zu vermeiden.
Ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Gerät des beschriebenen Typs zu schaffen, das Mittel aufweist, um für eine unverzügliche Anzeige eines Membranausfalls zu sorgen.
Ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Gerät des beschriebenen Typs zu schaffen, das Merkmale zur Leckeingrenzung aufweist.
Schließlich ist es ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung, ein Gerät des beschriebenen Typs zu schaffen, das Abdichtflächen aufweist, die ohne wesentlichen Reibkontakt zueinander passen.
Kurz gesagt umfaßt eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ein Fluidhandhabungssystem mit einer oder mehreren Strömungssteuergeräten, die eine Betatigungseinrichtung, ein Wehrventil und ein zugeordnetes Ventilgehäuse, sowie ein Paar von voneinander beabstandeten Membranen aufweisen, von denen eine als Verschlußelement für das Wehrventil dient und von denen das andere eine Sekundärabdichtung bereitstellt, die die Grenzen einer Eingrenzungskammer definiert, um gleichzeitig eine Kontamination des gesteuerten Fluids zu verhindern, den Betätigungsmechanismus zu schützen und eine unverzügliche Erfassung bzw. Anzeige eines Ventilverschlußausfalles zu gestatten. Ein innerhalb der Kammer angeordnetes Kolbenelement ist mit den zwei Membranen gekoppelt, und eine Fluiddetektionsvorrichtung ist so angeordnet, daß sie mit der abgedichteten Eingrenzungskammer in Verbindung steht, die zwischen den zwei Membranen ausgebildet ist. Das System umfaßt eine elektronische Steuervorrichtung, die auf die Detektionsvorrichtung anspricht und betriebsbereit ist, das System im Falle eines detektierten Ausfalls sofort außer Betrieb zu setzen.
Ein wichtiger Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß selbst in dem Falle eines Membranausfalls keine Kontamination auftreten wird, da alle benetzten Oberflächen von Komponenten des Ventils als auch der Eingrenzungskammer aus einem chemisch inerten Material konstruiert sind oder mit einem solchen beschichtet sind.
Ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß im Falle eines Membranausfalls das Membranleck innerhalb des Raumes zwischen den zwei Membranen eingegrenzt wird.
Schließlich besteht ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung darin, daß Mittel vorgesehen sind, um einen Membranausfall sofort zu detektieren, so daß das Fluidzuführsystem unverzüglich außer Betrieb gesetzt werden kann.
Diese und weitere Aufgaben und Vorteile der vorliegenden Erfindung ergeben sich Fachleuten zweifelsfrei aus der folgenden detaillierten Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform, die in den verschiedenen Figuren der Zeichnung beschrieben ist.
Fig. 1 ist eine teilweise ausgebrochene Seitenansicht eines Fluidsteuersystems mit einer Ventilvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung.
Fig. 2 ist eine perspektivische Explosionsdarstellung, die die Komponenten der in Fig. 1 gezeigten Ausführungsform darstellt.
In Fig. 1 der Zeichnung sind ein Fluidströmungs-Steuersystem und eine Steuerventilvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung gezeigt. Wie es schematisch in Form eines Blockdiagramms angedeutet ist, steuert die Ventilanordnung 10 die Strömung eines in Form einer Flüssigkeit oder eines Gases vorliegenden Fluides, das von einer Pumpe 12 von einer Fluidquelle 14 zu einem Fluidnutzer 16 gepumpt wird. Die Betatigungssteuerung für die Ventilanordnung 10 und die Pumpe 12 wird von einer Steuereinrichtung 18 bereitgestellt und ein Detektor 20 reagiert auf Lecks innerhalb der Ventilanordnung 10 und gibt Signale an die Steuereinrichtung 18 aus, die unverzüglich veranlassen, daß das Pumpsystem außer Betrieb gesetzt wird. Zusätzlich kann das System ein zwischengeschaltetes Filter aufweisen, wie es durch die gestrichelten Linien 21 dargestellt ist, einschließlich eines geeigneten Druck- oder Kontaminationsdetektors, der auf ähnliche Weise in der Lage ist, Signale an die Steuereinrichtung 18 abzugeben.
Es ist zu erkennen, daß die Komponenten der Anordnung 10 ein Wehrventil 22, einen Betätigungsmechanismus 24 und ein Gehäuse 26 für den Mechanismus umfassen, das die Betatigungsanordnung physikalisch mit dem Ventilkörper koppelt und eine Eingrenzungskammer 27 bildet.
Der Betätigungmechanismus 24 kann jede geeignete Art von elektrischer, hydraulischer oder pneumatischer Linearbetätigungseinrichtung sein und umfaßt eine Armatur 28, die mittels einer Betätigungsstange 32 an einem Kolben 30 angebracht ist. Eine mit einem Gewinde versehene Verlängerung 34 der Armatur 28 erstreckt sich durch eine Öffnung 35 in einer Membran 36 und greift gewindemäßig an dem oberen Ende der Betätigungsstange 32 an, die wiederum gewindemäßig mit dem Kolben 30 gekoppelt ist. Die Membran 36 ist vorzugsweise aus einem inerten, flexiblen Kunststoffmaterial wie Polytetrafluorethylen (PTFE) hergestellt und weist einen geformten zentralen Abschnitt 37 auf, der die Axialbewegung der Armatur 28 und des Betatigungsstabes 32 aufnimmt. Der Betätigungsstab 32 ist vorzugsweise aus einem rostfreien, mit Polyfluoraloxyl (PFA) beschichteten Stahl vom Typ 304 hergestellt und weist an seinem oberen Ende eine Gewindebohrung auf, um das mit einem Gewinde versehene Ende 34 der Armatur 28 aufzunehmen. Das untere Ende ist mit einem Außengewinde versehen, wie es bei 38 gezeigt ist, und ist dazu ausgelegt, durch einen Abdichtring 40 aus PTFE zu verlaufen und in die Axialdurchgangsbohrung des Kolbens 30 geschraubt zu werden, was nachstehend genauer beschrieben wird.
Der Kolben 30 ist generell ein zylindrischer Körper mit einer abgerundeten unteren Fläche und ist zwischen der gezeigten Ventilverschlußposition und der durch die gestrichelten Linien 30' gezeigten Ventilöffnungsposition bewegbar. Von gegenüberliegenden Seiten des Kolbens 30 erstrecken sich Führungsrippen 44, die an (in Fig. 2 gezeigten) Schlitzen angreifen, die in der Innenwand 46 des Gehäuses 26 ausgebildet sind, um eine Rotation des Kolbens 30 zu verhindern, wenn dieser auf und ab bewegt wird.
Das Gehäuse 26 ist als ein generell rechteckförmiger Körper ausgebildet, der entweder aus einem geformten inerten Kunststoffmaterial oder aus einem rostfreien, mit PFA beschichteten Stahl vom Typ 304 hergestellt ist und weist eine zylindrisch ausgebildete Axialbohrung 46 auf, die sich durch das Gehäuse erstreckt. Die Bohrung 46 ist mit Schlitzen versehen (wie gezeigt), die auf gegenüberliegenden Seiten der Bohrung ausgebildet sind und die die Rippen 44 des Kolbens 30 aufnehmen und dazu dienen, den Kolben 30 zu führen und dessen Rotation zu verhindern, wenn dieser sich longitudinal innerhalb der Bohrung 46 bewegt. Das Gehäuse 26 ist darüber hinaus mit einer Gewindebohrung 50 versehen, die sich quer in die Bohrung 46 hinein erstreckt, so daß sie mit dieser in Verbindung steht. Die Bohrung so ist dazu ausgelegt, das mit einem Gewinde versehene Ende eines geeigneten Leckspuren-Detektionsfühlers 52 aufzunehmen.
Das Ventil 22 ist vom Wehrtyp, der generell in den verschiedenen, oben erwähnten Patenten des Standes der Technik offenbart ist, umfaßt einen aus PFA hergestellten, geformten Ventilkörper 56 und weist eine Einlaßöffnung 58 bzw. eine Auslaßöffnung 60, die quer ausgerichtet sind, und ein inneres Wehr 62 auf, dessen oberer Abschnitt einen Ventilschlitz bildet. Die primäre Membrananordnung 64 umfaßt tatsächlich zwei Membranelemente 65 und 66. Das Element 65 ist ein geformtes, aus PTFE hergestelltes Element und bildet die primäre Verschlußmembran des Ventils. Wie es bei 67 gezeigt ist, umfaßt es eine einstückig hiermit ausgebildete Rippe 67, die auf dichtende Weise mit der oberen Fläche des Wehrs 62 in Eingriff gelangt, wenn sich das Ventil in seinem geschlossenen Zustand befindet. Direkt neben und über der Membran 64 ist die Membrantrageanordnung 66 angeordnet, die aus einer geklebten Kompositkonstruktion besteht und drei Schichten 66, 68 und 70 aufweist, die aus PTFE, Viton bzw. PTFE hergestellt sind, und die einen geformten zentralen Abschnitt 72 aufweist, der an dem Kolben 30 angebracht ist, was nachstehend beschrieben wird. Die Anordnung 66 ist mit einer Vielzahl von Öffnungen 71 versehen, die sich durch die Anordnung erstrecken, um einen Durchgang für Fluid in die Kammer 27 für den Fall zu schaffen, daß die Membran ausfällt. Die oben beschriebene Anordnung aus Ventil- und Betätigungseinrichtung wird durch eine Halteplatte 80 und vier Haltebolzen 82 zusammengehalten, die sich durch Öffnungen in dem Ventilkörper 56, den Membranen 65 und 66, dem Gehäuse 26 und der Membran 36 erstrecken und in Gewindebohrungen zu schrauben sind, die in dem unteren Teil der Betätigungsanordnung 24 vorgesehen sind.
Der Leckspuren-Detektionsfühler 52 umfaßt vorzugsweise einen optischen Detektor, der mit einem Glasfaserleiter 53 gekoppelt ist und eine konisch ausgebildete Spitze 51 aufweist, die in die durch die Bohrung 46 gebildete Kammer 27 zeigt. Die Spitze 51 hat einen Brechungsindex, der in Umgebung von Luft einen hohen Wert interner Reflexion aufweist, in Kontakt mit einer Flüssigkeit jedoch eine materiell unterschiedliche Reflexionscharakteristik annimmt. Demzufolge fällt der zu der Spitze 51 durch eine oder mehrere der Fasern des Leiters 53 und in andere, Empfangsfasern zurückgeflektierte Lichtpegel unter eine Detektionsschwelle, und es wird ein Leck signalisiert.
Alternativerweise könnte der vorliegend bei 52 dargestellte optische Leckspuren-Fühler durch einen geeigneten Widerstands-, Kapazitäts oder einen anderen geeigneten Typ von Fühler ersetzt werden.
In Fig. 2 der Zeichnung werden weitere Details der derzeit bevorzugten Ausführungsform dargestellt. Es ist z.B. zu sehen, daß die sekundäre Membran 36 generell eine rechteckförmige Konfiguration aufweist und Öffnungen 39 in jeder Ecke umfaßt, um die Haltebolzen aufzunehmen und um zu gestatten, daß diese in die Gewindebohrungen 25 in dem Gehäuse der Betätigungsanordnung 24 geschraubt werden können. Es ist auch die zentrale Öffnung 35 zu sehen, durch die sich die mit einem Gewinde versehene Verlängerung 34 der Armatur 28 erstreckt, so daß diese in das obere Ende des Stabes 32 geschraubt werden kann, wie es zuvor beschrieben worden ist. Der mit einem Gewinde versehene Abschnitt 38 des Stabs 32 ist lang genug, um sich durch die Gewindebohrung 39 des Kolbens 30 zu erstrecken, um die Dichtscheibe 76 zwischen dem distalen Ende des Stabes 32 und einer dazu passenden Fläche 77 sandwichartig anzuordnen, die an dem zentralen Abschnitt der Oberseite der Membranordnung 64 festgelegt ist. Ein mit einem Gewinde versehener Befestigungsschaft 74 ist einstückig hiermit ausgebildet und erstreckt sich nach oben (nach rechts in Fig. 2), so daß er sich durch die Öffnung 79 in der Scheibe 76 erstreckt und dann in die Gewindebohrung 41 in dem Stab 32 geschraubt ist.
Es ist anzumerken, daß die Stimseite 27 des Gehäuses 26 mit einer Ausnehmung versehen und von einer Lippe 29 umgeben ist, die mit Kerben versehen ist, wie es bei 31 und 33 gezeigt ist, um Ausrichtungsfahnen 63 und 69 der Membranen 66 bzw. 65 aufzunehmen. Dies gewährleistet, daß die Membranen korrekt und in der richtigen Ausrichtung installiert werden, so daß die Rippe 67 übereinstimmend mit dem Wehr 62 ausgerichtet ist.
Wie es in der Zeichnung dargestellt ist, umfaßt jede der Komponenten 26, 66, 65, 56 und 80 in jeder Ecke eine Öffnung zur Aufnahme von einem der Haltebolzen 82.
Da alle Komponenten zwischen der sekundären Membran 36 und der Halteplatte 80 entweder aus einem Kunststoffmaterial oder aus einem mit einem Kunststoffmaterial beschichteten rostfreien Stahl hergestellt sind, versteht sich, daß keine dieser Flächen, die im Falle eines Membranausfalls entweder benetzt oder wahrscheinlich benetzt werden, eine Kontamination des Fluids hervorrufen wird.
der Membrantrageanordnung 66 ist herauszustellen, daß die Innenflächen der durch die gesamte Anordnung verlaufenden Öffnungen 71 mit einem Kunststoff wie PTFE beschichtet sind, um einen Kontakt des Fluids mit der Viton-Schicht 68 zu verhindern.
Sobald die Ventilanordnung 10 zusammengebaut und betriebsbereit ist, kann sie verwendet werden, um die Fluidströmung von jeglicher Quelle, wie sie bei 14 gezeigt ist, zu jeglichem Nutzer, wie es bei 16 in Fig. 1 gezeigt ist, genau zu steuern. Für den Fall, daß die primäre Membran 65 aus irgendeinem Grund ausfallen sollte, wird das hierdurch leckende Fluid sofort durch die Öffnung 71 in der Membrantrageanordnung 66 und in die Kammer 27 hineinströmen, wo es das Ende 51 des Fühlers 52 berühren und den Detektor 20 veranlassen wird, das Vorhandensein des Lecks zu erfassen und an die Steuereinrichtung 18 ein Signal abzugeben, um sowohl die Pumpe außer Betrieb zu setzen als auch zu veranlassen, daß der Kolben 30 nach unten abgesenkt wird, um die Fluidströmung durch das System zu beenden. Da das obere Ende der Kammer 27 durch die sekundäre Membran 36 abgedichtet ist, wird das Leck in der Kammer eingegrenzt, und da alle Oberflächen innerhalb der Kammer 27 entweder aus einem inerten Kunststoff hergestellt oder mit einem solchen bes chichtet sind, wird eine Kontamination des Fluids nicht auftreten. Um zu gewährleisten, daß die sekundäre Membran 36 nicht vor der primären Membran 65 ausfällt, wird bei deren Konstruktion dafür Sorge getragen, daß deren Lebensdauer die der Membran 65 wesentlich überschreitet.

Claims

1. Ventilvorrichtung (10) zur Verwendung in einem Fluidsteuersystem mit Ventilsteuermitteln (18), mit:

Mitteln, die eine Einlaßöffnung (58), eine Auslaßöffnung (60) sowie einen Ventilsitz (62) bilden;

Verschlußmitteln (64, 65) zum Ineingriffgelangen mit dem Ventilsitz (62), um eine Strömung durch die Ventilvorrichtung (10) von der Einlaßöffnung (58) zu der Auslaßöffnung (60) zu beenden;

einer ersten und einer zweiten Membranvorrichtung (64, 65, 36);

einer Gehäusevorrichtung (26), die mit der ersten und der zweiten Membranvorrichtung (64, 65, 36) zusammenwirkt, um eine geschlossene Eingrenzungskammer (27) zu bilden;

Leckdetektormitteln (52), die so angeordnet sind, daß sie auf abgedichtete Weise mit der Kammer (27) in Verbindung stehen, um die Anwesenheit eines Fluides zu detektieren, das in die Kammer (27) eintritt; und

Betatigungsmitteln (24), die mit der ersten und der zweiten Membranvorrichtung (64, 65, 36) verbunden sind und sich durch die Kammer (27) erstrecken, um es zu ermöglichen, daß die Verschlußmittel (64, 65) zwischen einem offenen Zustand und einem geschlossenen Zustand bewegt werden, wobei die Betätigungsmittel (24) derart wirken, daß sie die Ventilvorrichtung (10) schließen, um eine durch diese hindurchgehende Fluidströmung zu beenden,

dadurch gekennzeichnet, daß

- die erste Membranvorrichtung (64, 65) ein Membrantrageteil (66, 68, 70) umfaßt, das in der Kammer (27) und neben der ersten Membranvorrichtung (64, 65) angeordnet ist, wobei das Trageteil (66, 68, 70) mit Öffnungen versehen ist, um es zu ermöglichen, daß beliebiges, durch die erste Membranvorrichtung (64, 65) hindurchgehendes Fluid in die Kammer (27) gelangt, und daß

- die Verschlußmittel (64, 65) durch die erste Membranvorrichtung (64, 65) gebildet sind, wobei die Leckdetektormittel (52) derart wirken, daß sie ein Leckdetektionssignal erzeugen, das verwendet werden kann, um für eine unverzügliche Anzeige eines Lecks in die Kammer (27) zu sorgen, und daß die Betatigungsmittel (24) auf das Leckdetektionssignal ansprechen, um zu verhindern, daß eine Kontamination in der Kammer (27) in die Fluidströmung gelangt.

2. Ventilvorrichtung (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie ein Wehr (62) beinhaltet und die Verschlußmittel (64, 65) eine Rippe (67) umfassen, die in einer Oberfläche der ersten Membranvorrichtung (64, 65) ausgebildet und dazu angepaßt ist, mit einer Oberfläche des Wehrs (62) in Eingriff zu gelangen, um einen Verschluß des Fluidströmungspfades durch die Ventilvorrichtung (10) zu bewirken.

3. Ventilvorrichtung (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Leckdetektormittel (52) ein optischer Sensor sind, der sich durch eine Öffnung (50) in einer Wand des Gehäuses (26) erstreckt und dazu angepaßt ist, die Anwesenheit von beliebigem Fluid in der Kammer (27) optisch zu detektieren.

4. Ventilvorrichtung (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß alle Oberflächen, die die Kammer (27) bilden oder in dieser angeordnet sind, mit einem inerten Plastikmaterial überzogen sind, um so eine Kontamination eines in die Kammer (27) leckenden Fluids zu verhindern.

5. Ventilvorrichtung (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Trageteil (66, 68, 70) eine mehrlagige Membrananordnung ist, die ein erstes, relativ flexibles inertes Plastikmaterial (66) sowie ein zweites, relativ flexibles inertes Material (70) umfaßt, das an beiden Seiten eines Blattes (68) aus relativ undehnbarem Material befestigt ist, wobei die Membranordnung einen relativ steifen aber flexiblen Träger für die erste Membranvorrichtung (64, 65) bildet.

6. Membranvorrichtung (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Ventilsitz (62) durch die Oberseite eines Wehres (62) gebildet ist und die Verschlußmittel (64, 65) eine Rippe (67) umfassen, die in einer Oberfläche der ersten Membranvorrichtung (64, 65) ausgebildet ist und sich langs eines Durchmessers dieser ersten Membranvorrichtung (64, 65) so erstreckt, daß im wesentlichen gleiche Oberflächenbereiche der ersten Membranvorrichtung (64, 65) auf gegenüberliegenden Seiten des Wehres (62) angeordnet sind, wobei die Rippe (67) dazu angepaßt ist, mit dem Ventilsitz (62) in Eingriff zu gelangen, um den Verschluß des Fluidflußpfades durch die Ventilvorrichtung (10) zu bewirken.

7. Ventilvorrichtung (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß sie elektrisch betätigbar ist.