DE19611664A1 - Ventil - Google Patents
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
- F16K7/126—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm the seat being formed on a rib perpendicular to the fluid line
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K41/00—Spindle sealings
- F16K41/10—Spindle sealings with diaphragm, e.g. shaped as bellows or tube
- F16K41/12—Spindle sealings with diaphragm, e.g. shaped as bellows or tube with approximately flat diaphragm
Description
Die Erfindung betrifft ein Ventil mit einem ein Ventilgehäuse
durchsetzenden Durchflußkanal, einem Ventilsitz im Durchflußka
nal und einem relativ zu dem Ventilsitz beweglichen Verschluß
glied, wobei zum Verschlußglied eine Membran gehört.
Solche Ventile werden insbesondere in der Prozeßindustrie, bei
spielsweise im Chemie-, Biochemie- und Petrochemiebereich einge
setzt. In diesen Bereichen wird besonderer Wert auf die Sterili
tät solcher Ventile gelegt. Dies ist gefährdet, wenn Teile des
Ventils, beispielsweise die Ventilstange, aus dem Ventilgehäuse
herausragen und in diesem Bereich durch Gleitdichtungen abge
dichtet werden müssen.
Im Stand der Technik sind Ventile bekannt, die in konventionel
ler Weise ein Ventilgehäuse mit einem diesen durchsetzenden
Durchflußkanal haben, wobei in dem Durchflußkanal ein Ventil
sitz angeordnet ist. Mit dem Ventilsitz wirkt ein Verschluß
glied - meist bestehend aus einem Ventilkegel und einer damit
verbundenen Ventilstange - zusammen, das relativ zu dem Ventil
sitz bewegbar ist, um den Volumenstrom durch das Ventil zu steu
ern (vgl. "STERIPAC"-Ventile der Firma von Rohr Armaturen AG,
Muttenz/Schweiz). Zur gehäuseseitigen Abdichtung ist eine ring
förmige Membran vorgesehen, die jeweils abdichtend außenseitig
am Ventilgehäuse und innenseitig am Verschlußglied eingespannt
ist. Aufgrund dieser Abdichtung ist der Durchflußkanal des Ven
tils auf einfache Weise sterilisierbar und bleibt auch während
des Betriebs steril, da von außen, d. h. über den Gehäuseaus
gang der Ventilstange, keine störenden Substanzen in den Durch
flußkanal eindringen können.
Wenn das bekannte Ventil bei hohen Drücken eingesetzt wird, un
terliegt die Membran hohen Belastungen, da an ihr ein entspre
chend großer Differenzdruck wirkt. Zwar ist der Raum auf der
dem Durchflußkanal abgewandten Seite der Membran nach außen
offen, so daß eventuelle Leckagen bemerkt werden können. Dies
reicht jedoch für einen sicheren Betrieb des Ventils nicht aus.
Daneben sind die klassischen Membranventile bekannt, bei denen
das Verschlußglied aus einer Ventilstange und einer an deren
unteren Ende angebrachten Membran besteht, wobei die Membran
zur Steuerung der Prozeßflüssigkeit dient. Solche Membranven
tile lassen sich wegen der großen Fläche der Membran nicht bei
hohen Drücken einsetzen. Außerdem besteht auch hier das Pro
blem, daß eine Beschädigung der Membran unbemerkt bleibt.
Ein weiteres Problem von Membranen enthaltenden Ventilen be
steht darin, daß die maximale Durchbiegung sich auf die Einspan
nungen konzentrieren. An diesen Stellen lagern sich jedoch ins
besondere bei vertikaler Einbaulage in der Regel scharfe Kri
stalle aggressiver Medien ab und führen zum frühzeitigen Ver
schleiß mit der Folge, daß die Membranen in regelmäßigen Abstän
den ausgewechselt werden müssen.
Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, ein Ventil der
eingangs genannten Art so zu gestalten, daß eine verbesserte Le
bensdauer erreicht wird.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Mem
bran zwischen ihren Einspannungen vorzugsweise mit Abstand zu
diesen ein Hohlraumsystem einschließt. Dieses Hohlraumsystem
führt zu einer veränderten Biegecharakteristik mit der Folge,
daß die Durchbiegungen in unmittelbarer Nähe der Einspannungen
auf ein Minimum reduziert werden. Entsprechend werden hierdurch
die vorbeschriebenen Verschleißprobleme gelöst. Das Ventil hat
eine erheblich längere Lebensdauer.
In besonders bevorzugter Ausbildung wird das Hohlraumsystem er
findungsgemäß für eine Leckanzeige benutzt. Hierzu ist das Hohl
raumsystem mit einer Leckanzeigevorrichtung verbunden. Bei
einer Beschädigung der Membran auf der Seite des Durchflußka
nals dringt Prozeßflüssigkeit in das Hohlraumsystem ein, wobei
dies durch die Leckanzeigeeinrichtung von außen bemerkbar ge
macht wird. Auf diese Weise ist ein Membranbruch bzw. eine Mem
branbeschädigung frühzeitig von außen feststellbar, so daß Ge
genmaßnahmen, beispielsweise der Austausch der Membran, getrof
fen werden können.
Die Leckanzeigeeinrichtung kann als Schauglas ausgebildet sein,
das Verbindung mit dem Hohlraumsystem hat. Statt dessen kann
aber auch ein mit dem Hohlraumsystem pneumatisch in Verbindung
stehender Drucksensor vorgesehen sein, der mit der Leckanzeige
einrichtung gekoppelt ist. Alternativ oder in Kombination dazu
kann auch ein mit dem Hohlraumsystem in Verbindung stehender
Feuchtesensor vorgesehen sein, der mit der Leckanzeigeeinrich
tung verbunden ist.
Zur Herstellung des Hohlraumsystems kann die Membran aus zwei
aufeinanderliegenden Membranscheiben bestehen, die beabstandete
Bereiche aufweisen. Dabei kann eine der beiden Membranscheiben
innenseitig ausgenommen ausgebildet sein, und zwar vorzugsweise
die weniger beanspruchte stützhohlraumseitige Membranscheibe.
Zur Beabstandung der Membranscheiben ist es möglich, innen- und/oder
außenseitig Abstandhalter vorzusehen, die das Hohlraum
system begrenzen. Alternativ oder in Kombination dazu können
aber auch in dem Hohlraumsystem Abstandhalter vorhanden sein.
Das Hohlraumsystem kann als ein einziger Hohlraum ausgebildet
sein. Es kann aber auch aus miteinander in Verbindung stehenden
Kanälen bestehen, die sich beispielsweise als Ringnuten in Um
fangsrichtung und/oder sternförmig, d. h. radial erstrecken.
Die Erfindung ist auf alle Ventilarten anwendbar, die eine Mem
bran aufweisen, welche dem Prozeßmedium ausgesetzt ist. Hierzu
zählen insbesondere die klassischen Membranventile, aber auch
solche, bei denen die Membran außenseitig am Ventilgehäuse und
innenseitig am Verschlußglied eingespannt ist. Die Erfindung
ist besonders vorteilhaft dann anzuwenden, wenn auf der dem
Durchflußkanal abgewandten Seite der Membran eine Dichtung zwi
schen Verschlußglied und Ventilgehäuse angeordnet ist, die mit
der Membran einen geschlossenen Stützhohlraum einschließt, wel
cher mit einem inkompressiblen, verformbaren Stützmedium ge
füllt ist, wobei das Verschlußglied auf der dem Durchflußkanal
abgewandten Seite der Membran eine solche Formgebung hat, daß
das Volumen des Stützhohlraums bei Bewegung des Verschlußglieds
im wesentlichen konstant bleibt. In diesem Fall wird nämlich
eine Beschädigung der Membran auch auf der Rückseite angezeigt,
da dann das Stützmedium in das Hohlraumsystem eindringt und zu
einer Anzeige durch die Leckanzeigeeinrichtung führt.
In der Zeichnung ist die Erfindung anhand eines Ausführungsbei
spiels näher veranschaulicht. Es zeigen:
Fig. 1 einen Vertikalschnitt durch den unteren Teil
eines erfindungsgemäßen Ventils;
Fig. 2 einen Ausschnitt der Darstellung gemäß Fig. 1
mit durchflußkanalseitiger Beschädigung der
Membran;
Fig. 3 den Ausschnitt gemäß Fig. 2 mit stützhohlraum
seitiger Beschädigung der Membran;
Fig. 4 einen Längsschnitt durch ein Membranventil und
Fig. 5 einen Querschnitt durch das Membranventil gemäß
Fig. 4.
Das sich insbesondere aus Fig. 1 ergebende Ventil 1 hat ein
Ventilgehäuse 2, das von einem Durchflußkanal 3 durchsetzt
wird. Der Durchflußkanal 3 wird von einem untenseitig vorstehen
den, vertikalen Einlaßstutzen 4, einem Ventilsitz 5, einem Ven
tilhohlraum 6 und einem sich daran waagerecht anschließenden
Auslaßstutzen 7 gebildet.
Das Ventilgehäuse 2 ist in ein Gehäuseunterteil 8 und ein Gehäu
seoberteil 9 aufgeteilt, wobei Gehäuseunterteil 8 und Gehäuse
oberteil 9 an der Trennfläche 10 aufeinanderliegenden und über
mehrere Zylinderschrauben 11, welche über den Umfang verteilt
sind, miteinander verspannt sind. Im Gehäuseoberteil 9 ist ein
im Querschnitt zylindrischer Führungsraum 12 eingeformt, in dem
ein Verschlußglied 13 geführt ist.
Das Verschlußglied 13 weist einen untenseitig in den Ventilraum
6 hineinragenden Ventilkörper 14 und einen darüber angeordneten
Differentialkolben 15 sowie eine Ventilstange 16 auf. Die Ven
tilstange 16 ragt bis in den Ventilkörper 14 hinein und ist
dort über ein Gewinde 17 derart verschraubt, daß der Ventilkör
per 14 gegen den Differentialkolben 15 und dieser wiederum
gegen einen Absatz 18 an der Ventilstange 16 in Bereiche des
oberen Endes des Differentialkolbens 15 verspannt werden. Die
Ventilstange 16 durchsetzt einen Gehäusehals 19 und ist dort in
einer Führungshülse 20 geführt. Ihr außenseitig vorstehendes
Ende ist mit einem Anschlußgewinde 21 versehen, über das die
Ventilstange 16 beispielsweise mit einem Membranantrieb
verbunden werden kann.
Die Ventilstange 16 ist in diesem Bereich von einem Ventiljoch
22 umgeben, welches auf einer Basisplatte 22a aufgeschweißt
ist. Diese ist mittels einer Nutmutter 22b gegen die Oberseite
des Gehäuseoberteils 9 verspannt. Ein Faltenbalg 23 schützt den
Austritt der Ventilstange 16 aus dem Gehäusehals 19 gegen Ein
dringen von Verunreinigungen.
In die Wandung des Führungsraums 12 ist eine Ringnut einge
formt, in der ein als Quadring ausgebildeter Gleitdichtring 24
eingesetzt ist. Er liegt an der Außenseite des Differentialkol
bens 15 an. Ein weiterer Gleitdichtring 25 liegt an der Außen
seite der Ventilstange 16 an und ist in einer Ringnut im Gehäu
sehals 19 angeordnet. Beide Gleitdichtringe 24, 25 schließen
den Führungsraum 12 ein, der Verbindung zu einem Kontrollkanal
26 hat, der zur Außenseite hin mittels einer Verschlußschraube
27 gesperrt ist. Über den Kontrollkanal 26 kann nach Entfernen
der Verschlußschraube 27 geprüft werden, ob Flüssigkeit in den
Führungsraum 12 eingedrungen ist.
Der Ventilraum 6 wird obenseitig durch einen Membranring 28 ab
geschlossen. Dieser ist innenseitig zwischen Ventilkörper 14
und Differentialkolben 15 sowie außenseitig zwischen Gehäuseun
terteil 8 und Gehäuseoberteil 9 jeweils abdichtend eingespannt,
Der Membranring 28 ist biegsam und elastisch, so daß die Verti
kalbeweglichkeit des Verschlußglieds 13 hierdurch nicht wesent
lich beeinflußt wird.
Der Membranring 28 und der untere Gleitdichtring 24 schließen
einen Stützhohlraum 29 ein, der vollständig mit einer inkompres
siblen Stützflüssigkeit gefüllt ist. Zum Stützhohlraum 29 ge
hört auch ein Befüllkanal 30, der nach außen hin durch eine Ver
schlußschraube 31 gesperrt ist. Die Stützflüssigkeit bildet ein
Gegenpolster zu der Prozeßflüssigkeit, die im Betrieb durch den
Durchflußkanal 3 fließt, und vermeidet, daß der Membranring 28
ausgebeult und damit hohen Zugbeanspruchungen ausgesetzt wird.
Infolgedessen kann das Ventil 1 auch in Prozessen mit hohen Be
triebsdrücken verwendet werden. Die Stützflüssigkeit besteht
vorzugsweise aus einer indifferenten Substanz, wobei sie ein
physiologisch unbedenkliches Schmiermittel enthalten kann. Dies
sorgt für eine hohe Lebensdauer des unteren Gleitdichtrings 24.
Die besondere Formgebung des Differentialkolbens 15 hat zur Fol
ge, daß das Volumen des Stützhohlraums 29 bei der Vertikalbewe
gung des Verschlußglieds 13 konstant bleibt. Hierfür weist der
Differentialkolben 15 einen Absatz 32 auf, über den sich der
Querschnitt des Differentialkolbens 15 zum Membranring 28 hin
verringert. Bei einer Bewegung des Verschlußglieds 13 in Öff
nungsrichtung, also nach oben, verringert sich der in den Stütz
hohlraum 29 hineinragende Volumenanteil des Differentialkolbens
15 oberhalb des Absatzes 18, so daß sich im oberen Bereich des
Stützhohlraums 29 eine Volumenvergrößerung ergibt, die der Volu
menverringerung durch das Anheben des Membranrings 28 ent
spricht. Bei einer Abwärtsbewegung des Verschlußglieds 13 in
Schließrichtung kompensiert die Verdrängungswirkung, die durch
das Einfahren des oberen Teils des Differentialkolbens 15 in
den Stützhohlraum 29 entsteht, die Volumenvergrößerung infolge
der Abwärtsbewegung des Membranrings 28.
Der Membranring 28 ist zweiteilig aufgebaut, d. h. er besteht
aus zwei aufeinanderliegenden Membranscheiben 33, 34, welche
den gleichen Innen- und Außendurchmesser haben. Die obere Mem
branscheibe 33 ist in dem Bereich zwischen Ventilgehäuse 2 und
Verschlußglied 13 ausgenommen, so daß ein Ringhohlraum 35 gebil
det wird. Damit er unter Druckbeanspruchung nicht zusammenge
preßt wird, sind in dem Ringhohlraum 35 Abstandhalter - bei
spielhaft mit 36 bezeichnet - angeordnet. Es kann sich dabei um
Metallelemente oder -drähte handeln.
Der Ringhohlraum 35 geht in dieser Ansicht links bis in die Ein
spannung zwischen Gehäuseunterteil 8 und Gehäuseoberteil 9 und
hat dort Verbindung zu ,einem Leckagekanal 37. Dieser setzt sich
im Gehäuseoberteil 9 bis in ein Sackloch 38 fort, in das eine
Leckageschraube 39 eingeschraubt ist. Diese wird von einem Ver
tikalkanal 40 durchsetzt, der Verbindung mit dem Leckagekanal
37 hat und obenseitig in einem Hohlraum mündet, der von einem
Schauglas 41 umschlossen ist. Das Schauglas 41 ist mit Hilfe
einer Hutmutter 42 auf der Leckageschraube 39 befestigt.
In Fig. 2 ist erkennbar, daß die untere Membranscheibe 34 eine
Beschädigung 43 aufweist. Aufgrund dieser Beschädigung 43
dringt die den Durchflußkanal 3 durchsetzende Prozeßflüssigkeit
in den Ringhohlraum 35 ein. Sie fließt über den Leckagekanal
37, das Sackloch 38 und den Vertikalkanal 40 in den vom Schau
glas 41 umschlossenen Hohlraum. Auf diese Weise kann von außen
beobachtet werden, ob der Membranring 28 beschädigt ist.
In Fig. 3 weist die obere Membranscheibe 33 eine Beschädigung
44 auf. In diesem Fall dringt die in dem Stützhohlraum 29 be
findliche Stützflüssigkeit in den Ringhohlraum 35 ein und ge
langt ebenfalls bis in den vom Schauglas 41 umschlossenen Hohl
raum. Sofern die Stützflüssigkeit eine andere Farbe hat als die
Prozeßflüssigkeit, kann anhand des Schauglases nicht nur festge
stellt werden, daß eine Beschädigung 43, 44 des Membranrings 28
vorliegt, sondern auch auf welcher Seite der Membranring 28 be
schädigt ist, d. h. ob die obere oder die untere Membranscheibe
33, 34 gebrochen ist.
Das in Fig. 4 und 5 dargestellte Ventil 51 hat den Aufbau
eines typischen Membranventils. Es hat ein Ventilgehäuse 52 mit
einem dieses im wesentlichen horizontal durchsetzenden Durch
flußkanal 53. An den beiderseitigen Enden des Durchflußkanals
53 wird das Ventilgehäuse 52 durch jeweils einen Flansch 54, 55
begrenzt. Innenseitig ist der Durchflußkanal mit einer allseiti
gen Beschichtung 56 als Korrosionsschutz versehen. In der Mitte
des Durchflußkanals 53 ragt ein Formteil 57 hoch, dessen Ober
seite eine Art Ventilsitz bildet.
Das Ventilgehäuse 52 ist in ein Gehäuseunterteil 58 und ein Ge
häuseoberteil 59 aufgeteilt. Dabei verläuft der Durchflußkanal
53 im wesentlichen im Gehäuseunterteil 58. Dieses hat in der
Mitte eine Öffnung, welche von dem haubenartigen Gehäuseober
teil 59 verschlossen ist. Zwischen Gehäuseunterteil 58 und Ge
häuseoberteil 59 ist eine Membran 60 mit ihrer Außenseite dich
tend eingespannt. Sie befindet sich in Schließstellung, d. h.
sie liegt an dem Formteil 57 an und versperrt hierdurch die bei
angehobener Membran 60 vorhandene Verbindung zwischen den bei
den Teilen des Durchflußkanals 53.
Mittig ist die Membran 60 an einer Ventilspindel 61 befestigt.
Die Ventilspindel 61 weist außenseitig ein Gewinde 62 auf. An
ihrem unteren Ende ist ein Stützkörper 63 aufgeschraubt, dessen
Unterseite an der Rückseite der Membran 60 anliegt und diese ab
stützt.
In eine obenseitige Öffnung des Gehäuseoberteils 59 ist eine
Spindelführung 64 angesetzt, welche innenseitig ein Gewinde auf
weist, in das das Gewinde 62 der Ventilspindel 61 einfaßt.
Durch Drehen der Ventilspindel 61 in die eine Richtung kann
diese zusammen mit der Membran 60 angehoben und in der anderen
Richtung abgesenkt werden. Für die Drehbewegung weist die Ven
tilspindel 61 an der Oberseite ein Handrad 65 auf, das drehfest
mit der Ventilspindel 61 verbunden ist und mittels einer Mutter
66 gegen eine Haube 67 verspannt ist. Die Haube 67 liegt über
einen Dichtungsring 68 an der Außenseite der Spindelführung 64
an und vermeidet auf diese Weise die Beaufschlagung des Gewin
des 62 mit Staub oder dergleichen.
Die Membran 60 ist mehrteilig aufgebaut, d. h. sie besteht im
wesentlichen aus zwei aufeinanderliegenden Membranscheiben 69,
70, die den gleichen Außendurchmesser haben. An der Außenseite
ist zwischen den beiden Membranscheiben 69, 70 ein Distanzring
71 eingespannt. Auch innenseitig werden die beiden Membranschei
ben 69, 70 im Bereich der Verbindung mit der Ventilspindel 61
durch einen Distanzvorsprung 72 auf Abstand gehalten. Distanz
ring 71 und Distanzvorsprung 72 sorgen dafür, daß zwischen den
beiden Membranscheiben 69, 70 ein Ringhohlraum 73 entsteht. Er
enthält zusätzlich Abstandhalter - beispielhaft mit 74 bezeich
net -, um den Abstand der beiden Membranscheiben 69, 70 auch im
mittleren Bereich des Ringhohlraums 73 konstantzuhalten, und
zwar auch unter Betriebsdruck.
Wie sich aus Fig. 5 ergibt, geht der Ringhohlraum 73 in dieser
Ansicht nach rechts bis in die Einspannung zwischen Gehäuseober
teil 59 und Gehäuseunterteil 58. Dort ist eine Hülse 75 einge
formt, welche bis zu einer Leckageschraube 76 geht. Auf diese
Leckageschraube 76 ist eine Schauglasmutter 77 aufgeschraubt,
die ein hier nicht näher dargestelltes Schauglas aufweist.
Bei einer Beschädigung der unteren Membranscheibe 70 dringt die
den Durchflußkanal 53 durchsetzende Prozeßflüssigkeit in den
Ringhohlraum 73 ein. Sie fließt dann von dort über die Hülse 75
und die Leckageschraube 76 bis zur Schauglasmutter 77. Die Fest
stellung des Vorhandenseins der Prozeßflüssigkeit in der Schau
glasmutter 77 gibt dann einen Hinweis darauf, daß die Membran
60 beschädigt und ausgewechselt werden muß.
Claims (14)
1. Ventil (1, 51) mit einem ein Ventilgehäuse (2, 52) durchset
zenden Durchflußkanal (3, 53), einem Ventilsitz (5) im Durch
flußkanal (3) und einem relativ zu dem Ventilsitz (5) beweg
lichen Verschlußglied (13, 60, 61), wobei zum Verschlußglied
eine Membran (28, 60) gehört,
dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (28, 60) zwischen
ihren Einspannungen ein Hohlraumsystem (35, 73) einschließt.
2. Ventil nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß das Hohlraumsystem (35, 73) Ab
stand zu den Einspannungen hat.
3. Ventil nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß das Hohlraumsystem (35, 73) mit
einer Leckanzeigeeinrichtung (41, 77) verbunden ist.
4. Ventil nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet, daß die Leckanzeigeeinrichtung als
Schauglas (41, 77) ausgebildet ist, das Verbindung mit dem
Hohlraumsystem (35, 73) hat.
5. Ventil nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet, daß ein mit dem Hohlraumsystem (35,
73) pneumatisch in Verbindung stehender Drucksensor vorgese
hen ist, der mit der Leckanzeigeeinrichtung gekoppelt ist.
6. Ventil nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet, daß ein mit dem Hohlraumsystem (35,
73) in Verbindung stehender Feuchtesensor vorgesehen ist,
der mit der Leckanzeigeeinrichtung verbunden ist.
7. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (28, 60) aus zwei
aufeinanderliegenden Membranscheiben (33, 34, 69, 70) be
steht, die zur Bildung des Hohlraumsystems (35, 73) beabstan
dete Bereiche aufweisen.
8. Ventil nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, daß eine der beiden Membranscheiben
(33, 34, 69, 70) innenseitig ausgenommen ist.
9. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet, daß das Hohlraumsystem (35, 73)
innen- und/oder außenseitig durch Abstandhalter (71, 72) be
grenzt ist.
10. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 9,
dadurch gekennzeichnet, daß in dem Hohlraumsystem (35, 73)
Abstandhalter (36, 74) vorhanden sind.
11. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 10,
dadurch gekennzeichnet, daß das Hohlraumsystem (35, 73) aus
miteinander in Verbindung stehenden Kanälen besteht.
12. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 11,
dadurch gekennzeichnet, daß das Ventil als Membranventil
(51) ausgebildet ist.
13. Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 11,
dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (28) außenseitig am
Ventilgehäuse (2) und innenseitig am Verschlußglied (13) be
festigt ist.
14. Ventil nach Anspruch 13,
dadurch gekennzeichnet, daß auf der dem Durchflußkanal (3)
abgewandten Seite der Membran (28) eine Dichtung (24) zwi
schen Verschlußglied (13) und Ventilgehäuse (2) angeordnet
ist, die mit der Membran (28) einen geschlossenen Stützhohl
raum (29) einschließt, welcher mit einem inkompressiblen,
verformbaren Stützmedium gefüllt ist, wobei das Verschluß
glied (13) auf der dem Durchflußkanal (3) abgewandten Seite
der Membran (28) eine solche Formgebung hat, daß das Volumen
des Stützhohlraums (29) bei Bewegung des Verschlußglieds
(13) im wesentlichen konstant bleibt.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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