DE69016641T2

DE69016641T2 - Regelungssystem für die Ausgangsenergie einer Pulslichtquelle.

Info

Publication number: DE69016641T2
Application number: DE69016641T
Authority: DE
Inventors: Tadaaki Miki; Mutsumi Mimasu; Yasuhiro Shimada; Koichi Wani
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1990-03-27
Filing date: 1990-09-18
Publication date: 1995-05-24
Anticipated expiration: 2010-09-19
Also published as: US5134273A; CA2025579C; EP0448776A3; EP0448776A2; DE69016641D1; JPH03276782A; EP0448776B1; CA2025579A1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft Pulslichtquellen wie ein Impulslaser-Lichterzeugungsgerät und insbesondere die Steuerung der Ausgangsenergie solcher Pulslichtquellen.
In letzter Zeit ziehen Lasergeräte mit einer Oszillationsfrequenz in dem ultravioletten Bereich als Pulslichtquellen für eine Feinbearbeitung die Aufmerksamkeit auf sich. Von diesen Lasergeräten kann ein Excimerlaser starke Oszillationsstrahlen mit mehreren Wellenlängen in einem Bereich von 353 nm bis 193 nm erzeugen, wobei Halogengas wie Fluor und Chlor mit einem Edelgas wie Krypton und Xenon, welches ein Lasermedium ist, kombiniert werden. Dieser Excimerlaser ist einer von Impulslasern und so angeordnet, daß das Gas, welches das Lasermedium ist, erregt wird, indem eine Ladung in einem Kondensator oder desgleichen schnell entladen wird, um Laserlicht zu erzeugen. Allgemein beträgt die Dauer des Laserlichts mehrere 10 Nanosekunden und tritt die Oszillation wiederholt mit einer Periode von mehreren Millisekunden bis zu mehreren Malen von 10 Millisekunden auf. Zur Verwendung einer solchen Excimerlichtquelle, die eine Pulslichtquelle ist, in Feinbearbeitungsbereichen, besteht ein wichtiges Problem darin, die Emissionsenergie für einen Puls auf einen adäquaten Wert zu steuern. In Fällen, in denen die Energie pro Impuls unterhalb einer vorgegebenen Schwelle liegt, wird das zu bearbeitende Material unabhängig von einer kontinuierlichen Beleuchtung des Laserstrahls überhaupt nicht verändert, so daß der Bearbeitungseffekt nicht auftritt. Wenn andererseits die Pulsenergie einen vorgegebenen Wert überschreitet, werden auch andere Bereiche als der lichtempfangende Bereich in unerwünschter Weise einer Deforxnation, Zersetzung und Beschädigung ausgesetzt.
Insbesondere in dem Fall einer Bearbeitung mit der Lithographietechnik, Musterlinien einer super LSI-Einrichtung oder dergleichen, deren Breite unterhalb von 0,5 Mikrometern liegt, was im wesentlichen gleich der Wellenlänge des Lichts von der Lichtquelle ist, ist es erforderlich, die Pulsenergie des Laserlichts auf einen optimalen Wert festzulegen. Außerdem hat der Excimerlaser eine Eigenschaft, daß die Ausgangsenergie monoton bei einem Langzeitbetrieb wegen der Beschädigung des Gases, welches das Lasermedium darstellt, absinkt und die Effizienz für eine relative kurze Zeit wegen der Erzeugung von Unreinheiten und anderen Dingen schwankt. Dies erfordert ein Mittel, um die Pulsintensität auf einem vorgegebenen Wert durch die Einstellung der Ausgangsspannung einer Hochspannungsenergiequelle stets zu halten.
In herkömmlicher Weise ist eine Pulslichtquelle allgemein so angeordnet, daß die auftretende Pulsstärke konstant wird, indem der Durchschnittsausgang auf einem konstanten Wert gehalten wird, wie es in der US-A-4,611,270 offenbart ist. Eine herkömmliche Pulslichtquelle wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Fig. 1 beschrieben werden. In Fig. 1 emittiert ein lichtemittierender Abschnitt (Impulslaser) 1 intermittierend Licht in Reaktion auf eine Zufuhr von elektrischer Energie von einer Energiequelle 2. Ein Teil des von dem lichtemittierenden Abschnitt 1 emittierten Lichtes wird durch einen Halbspiegel oder eine Strahlenteilungseinrichtung 4 abgeleitet und dann einem lichtempfangenden Element (Photodetektor) 5 zugeführt. Das lichtempfangende Element 5 erzeugt ein elektrisches Signal, das der Intensität des auf es einfallenden Lichtes entspricht, und führt es durch eine Mittelschaltung 6 einem Vergleicher 7 zu. Der Vergleicher 7 vergleicht einen Bezugswert Vr mit dem Wert eines Signals, das dem Laserausgang entspricht, der in der Mittelschaltung 6 zeitgemittelt worden ist, um die Energiequelle 2 entsprechend dem Unterschied zwischen diesen zu steuern. Zweitens wird der Betrieb der herkömmlichen Pulslichtquelle nachfolgend unter Bezugnahme auf Fig. 2 beschrieben werden. In Fig. 2 oszilliert der lichtemittierende Abschnitt 1 zunächst mit einer konstanten Periode, wie es dargestellt ist. Wenn die Effizienz des lichtemittierenden Abschnitts 1 zu einem Zeitpunkt t1 verringert ist, so daß die Pulsenergie P, die seinen Ausgang darstellt, verringert wird, nimmt auch der Durchschnittsausgang Pa ab, und damit erhöht der Vergleicher 7 die Energieversorgungsspannung V, so daß der Unterschied ΔV zwischen dem Durchschnittsausgang Pa und dem Bezugswert Vr Null wird, wodurch somit der Durchschnittswert der Pulsenergie P auf einem konstanten Wert gehalten wird.
Jedoch hat eine solche herkömmliche Pulslichtquelle den Nachteil, daß Schwierigkeiten auftreten, um die Pulsenergie auf einem konstanten Wert unabhängig von einer Schwankung des Lichtemissionsintervalls zu halten. Bei der aktuellen Bearbeitung besteht die Möglichkeit, daß eine Ruhezeit, in der die Lichtemission unterbrochen ist, gemacht wird und die Lichtemissionsperiode je nach Art eines Materials verändert wird. In dem in Fig. 2 dargestellten Fall wird nach dem Zeitpunkt t2 die Lichtemission intermittierend beeinflußt, indem eine Ruhezeit gemacht wird. Wenn die Ruhezeit gemacht wird, nimmt der Durchschnittsausgang ab und daher arbeitet der Vergleicher, um dies zu kompensieren, wodurch die Pulsstärke direkt nach der Ruhezeit groß wird. In dem anderen in Fig. 2 dargestellten Fall, in dem die Lichtemissionsperiode nach t3 länger wird, weil der Durchschnittsausgang verringert wird, arbeitet der Vergleicher so, daß die Pulsenergie groß wird. Insbesondere in dem Fall der Verwendung einer solchen Pulslichtquelle in einem Lithographiegerät mit einer Halbleiterschaltung der Step-Repeat-Art ist es erforderlich, häufig die Lichtemissionperiode zu ändern. Somit bewirkt das herkömmliche System die Erzeugung von Produkten, die unter Standard liegen, weil es schwierig ist, die Pulsenergie konstant zu halten. Weiterhin ist das herkömmliche Steuersystem angeordnet, um eine Ausgangsverringerung aufgrund eines relativen Langzeitbetriebs zu kompensieren und allgemein so angeordnet, daß die Zeitkonstante der Mittelschaltung etwa mehrere zweite Ordnung annimmt. Somit führt im Fall des oben erwähnten Excimerlasers mit einer Ausgangsschwankung von mehreren zweiten Ordnungen das herkömmliche Steuerverfahren zu der Schwierigkeit, den Ausgang hinreichend konstant zu machen.
In den Patent Abstracts of Japan, Vol. 12, Nr. 273 (E-639) [3120] ist ein Halbleiterlaser offenbart, der eine Photodiode aufweist, die das optische Eingangssignal des Halbleiterlasers erfaßt. Die erfaßte Photospannung wird einem Vergleicher zugeführt, der sie mit einer Bezugsspannung vergleicht. Das von dem Vergleicher ausgegebene Signal ist über einen Schalter mit einem Energieverstärker verbunden, und das verstärkte Signal wird dem Halbleiterlaser mittels eines Addierers zurückgeführt. Daher wird die Versorgungsspannung des Halbleiterlasers in Reaktion auf die Niveauänderung des Photodiodensignals hinsichtlich der Bezugsspannung verändert, um ein stabiles optisches Ausgangssignal zu erreichen.
In den Patent Abstracts of Japan, Vol. 12, Nr. 196 (E-618) [3034] ist eine Steuerschaltung für eine Laserdiode offenbart, die einen Vergleicher umfaßt, der ein Spitzenwertausgangserfassungssignal des Laserausgangsstrahls mit einer Bezugsspannung vergleicht und dadurch eine Stromsteuerschaltung steuert, welche die Laserdiode versorgt. Dadurch werden Schwierigkeiten in dem optischen Ausgang beseitigt.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Pulslichtquelle anzugeben, die mit hoher Reaktion und Stabilität steuerbar ist.
Gemäß der vorliegenden Erfindung, ist angegeben eine Pulslichtquelle mit:
einem lichtemittierenden Mittel zum Emittieren von Licht in Pulsform;
einem Energieversorgungsmittel zum Zuführen einer elektrischen Energie zu dem lichtemittierenden Mittel, wobei die Stärke der elektrischen Energie in Reaktion auf ein Steuersignal veränderbar ist;
einem lichtempfangenden Mittel, das auf Licht von dem lichtemittierenden Mittel reagiert, um ein elektrisches Signal zu erzeugen, welches der Intensität des Empfangslichtes entspricht;
einem Vergleichsmittel das mit dem lichtempfangenden Mittel gekoppelt ist, um das elektrische Signal von diesem mit einem Bezugssignal zu vergleichen und ein Signal, das proportional zu der Differenz zwischen dem elektrischen Signal und dem Bezugssignal ist, auszugeben, wobei die Verstärkung desVergleichermittels unter Einheit liegt und entsprechend einer Änderung des Lichtes, welches von dem lichtemittierenden Mittel ausgesendet wird, veränderbar ist, so daß die Verstärkung auf einen kleinen Wert gesetzt wird, wenn die Änderung der Ausgangspulsenergie groß ist und auf einen großen Wert gesetzt wird, wenn die Änderung der Ausgangspulsenergie klein ist;
einem Steuermittel, welches auf das Ausgangssignal des Vergleichermittels reagiert, um das Steuersignal zu erzeugen, welches dem Energieversorgungsmittel zugeführt wird, um die von dem Energieversorgungsmittel zu dem lichtemittierenden Mittel abgegebene elektrische Energie zu steueren; und
einem Schaltmittel, das das Vergleichermittel und das Steuermittel miteinander koppelt und durch das Ausgangssignal des Vergleichermittels mit dem Steuermittel verbunden und von diesem unterbrochen wird, wobei das Schaltmittel angeordnet ist, um den verbundenen Zustand für eine vorgegebene Zeitdauer synchron zu der Emission des lichtemittierenden Mittels herzustellen.
Gemäß der vorliegenden Erfindung ist weiter vorgesehen eine Pulslichtquelle mit:
einem lichtemittierenden Mittel zum Emittieren von Licht in Pulsform;
einem Energieversorgungsmittel zum Zuführen einer elektrischen Energie zu dem lichtemittierenden Mittel, wobei das Energieversorgungsmittel gemäß einem digitalen Steuersignal steuerbar ist;
einem lichtempfangenden Mittel, das auf das Licht, welches von dem lichtemittierenden Mittel emittiert wird, reagiert, um ein elektrisches Signal entsprechend der Intensität des Empfangslichts von diesem zu erzeugen;
einem Vergleichermittel, das mit dem lichtempfangenden Mittel gekoppelt ist, um das Ausgangssignal von dem lichtempfangenden Mittel mit einem Bezugssignal zu vergleichen, um ein Signal entsprechend dem Unterschied zwischen diesen zu erzeugen, wobei die Verstärkung des Vergleichermittels unter Einheit liegt und entsprechend einer Änderung des Lichtes, welches von dem lichtemittierenden Mittel emittiert wird, veränderbar ist, so daß die Verstärkung auf einen kleinen Wert gesetzt wird, wenn die Änderung der Ausgangspulsenergie groß ist, und auf einen kleinen Wert gesetzt wird, wenn die Änderung der Ausgangspulsenergie klein ist; und
einem Steuermittel, das mit dem Vergleichermittel gekoppelt ist, um das Ausgangssignal des Vergleichermittels zu digitalisieren und das digitale Signal zu einem vorgegebenen digitalen Signal zu addieren, wobei die Digitalisierung und Addierung jedesmal in Synchronisation mit jeder Lichtemission durch das lichtemittierende Mittel erfolgt, wodurch das digitale Steuersignal erzeugt wird, welches dem Energiemittel zugeführt werden soll.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Die Aufgabe und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden stärker aus der nachfolgenden detaillierten Beschreibung von bevorzugten Ausführungsformen deutlich, die in Verbindung mit den beiliegenden Zeichnungen erfolgt, in denen:
Fig. 1 ein Blockdiagramm ist, das eine herkömmliche Pulslichtquelle zeigt;
Fig. 2 eine graphische Darstellung ist, um die herkömmliche Pulslichtquelle aus Fig. 1 zu beschreiben;
Fig. 3 ein Blockdiagramm ist, das eine Pulslichtquelle gemäß einer ersten Ausführungsform
-- mit einigen Merkmalen der vorliegenden Erfindung zeigt;
Fig. 4 eine graphische Darstellung ist, um den Betrieb der Pulslichtquelle aus Fig. 3 zu beschreiben;
Fig. 5 ein Blockdiagramm ist, das eine Pulslichtquelle gemäß einer zweiten Ausführungsform mit einigen Merkmalen von dieser Erfindung zeigt;
Fig. 6 eine graphische Darstellung ist, um den Betrieb der Pulslichtquelle aus Fig. 5 zu beschreiben; und
Fig. 7 ein Blockdiagramm ist, das eine Pulslichtquelle gemäß einer dritten Ausführungsform mit allen Merkmalen dieser Erfindung zeigt.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG

Bezugnehmend auf Fig. 3 ist dort eine Pulslichtquelle gemäß einer ersten Ausführungsform dargestellt. In Fig. 3 umfaßt die Pulslichtquelle einen lichtemittierenden Abschnitt (Laser) 1, der Licht in einer Pulsform in Reaktion auf eine Zuführung von einer Energie von einer Hochspannungsenergiequelle 2 aussendet. Ein Teil des ausgesendeten Lichtes des lichtemittierenden Abschnitts 1 wird durch eine Strahlenteilungseinrichtung 4 abgeleitet und mittels eines Photodetektors 5 empfangen. Der Photodetektor 5 erzeugt ein elektrisches Signal, das der Energie des empfangenen Lichtes entspricht, und gibt es an einen Spitzenwertdetektor 8 ab. Der Ausgang des Spitzenwertdetektors 8 wird einem Vergleicher 7 zugeführt, der die Ausgangsspannung des Spitzenwertdetektors 8 mit einem vorgegebenen Bezugswert Vr vergleicht, um ein Differenzsignal ΔV entsprechend dem Vergleichsergebnis, das heißt in Übereinstimmung mit der Differenz zwischen diesen, zu erzeugen. Das Ausgangssignal des Vergleichers 7 wird einem Teiler 20 zugeführt, um das Differenzsignal ΔV zu einem kleinen Signal Δs zu regulieren, welches proportional zu diesem ist. Das Ausgangssignal Δs des Teilers 20 wird durch einen Schalter 21 zu einer Integrierschaltung 9 geführt. Der Schalter 21 ist angeordnet, um mittels einer Synchronschaltung 3 für eine vorgegebene Zeitdauer ts nach der Emission durch den lichtemittierenden Abschnitt 1 geschlossen zu werden. Die Integrierschaltung 9 addiert das kleine Signal Δs zu ihrer Ausgangsspannung V0. Die Energiequelle 2 versorgt den lichtemittierenden Abschnitt 1 mit einer Spannung V, die proportional zu der Ausgangsspannung V0 der Integrierschaltung 9 ist.
Es soll nun angenommen werden, daß die Pulsenergie abzunehmen beginnt, während der lichtemittierende Abschnitt 1 kontinuierlich arbeitet, um Licht in einer Pulsform zu emittieren. In Reaktion auf einen Teil des ausgesendeten Lichtes des lichtemittierenden Abschnitts 1 erzeugt der Photodetektor 5 ein Spannungssignal, welches proportional zu der Energie des van diesem empfangenen Lichtes ist. Wenn das Spannungssignal mit der Bezugsspannung Vr verglichen wird, welches ein Gleichstromspannungssignal ist, tritt wegen der Pulsform ein großer Fehler während einer Zeit auf, in welcher der lichtemittierende Abschnitt 1 das Licht nicht aussendet. Somit hält in dieser Ausführungsform der Spitzenwertdetektor 8 die Spannung proportional zu der Empfangspulsenergie des Photodektors 5 bis zu der nächsten Pulsemission des lichtemittierenden Abschnitts 1 und erzeugt ein Gleichstromsignal Vdc, welches dieser entspricht. Der Vergleicher 7 vergleicht das Gleichstromsignal Vdc mit dem Bezugssignal Vr, um das Differenzsignal ΔV = Vr - Vdc auszugeben. Die Integrierschaltung 9 erzeugt das Signal V0 durch eine Ladung, die in einem Kondensator 91 gespeichert ist. Das kleine Signal As, welches durch Teilung des Differenzsignals ΔV mittels des Teilers 20 erzeugt wird, wird zu der Spannung des Kondensators 91 nur für eine vorgegebene Zeit ts addiert, wodurch die Ausgangsspannung V der Energiequelle 2 sich in der Richtung ändert, daß der Pulsausgang zu einem vorgegebenen Wert zurückkehrt.
Beispielsweise ändert sich in Fällen, in denen der lichtemittierende Abschnitt 1 ein Pulslaser wie ein Excimerlaser ist, die Energie des ausgesendeten Lichtes bei jeder Emission. Wenn der lichtemittierende Abschnitt 1 eine solche Eigenschaft hat, dient der Teiler 20 dem Zweck, daß keine Verstärkung der Änderung unter der Energiesteuerung auftritt. Das heißt, daß der Vergleicher 7 erfordert, daß die Ausgangsspannung der Energiequelle 2 durch ΔV1 zum Zeitpunkt der nächsten Emission erhöht wird. In dem Fall jedoch, daß der Ausgang des lichtemittierenden Abschnitts 1 schwankt, wird die Ausgangsenergie nicht notwendigerweise einen vorgegebenen Wert annehmen, selbst wenn die Ausgangsspannung der Energiequelle 2 um ΔV1 erhöht wird. Nach Experimenten durch die Erfinder führt ein Anwachsen der Ausgangsspannung der Energiequelle 2 vielmehr dazu, daß die Ausgangsschwankungen größer werden. Wenn in diesem Fall die Ausgangsspannung um ΔV1 x n durch den Teiler 20 erhöht wird, wobei n eine Zahl kleiner als 1 ist, nimmt die Spannung der Ausgangsenergie kaum zu. Als ein Ergebnis der Verwendung eines solchen Steuerverfahrens müssen Emissionen, deren Zahl einige Male bis einige zehn Male ist, die Ausgangsenergie zu dem vorgegebenen Wert zurückführen. In dem Fall eines Impulslasers wie eines Excimerlasers ist es allgemein der Fall, daß der Ausgang zu dem vorgegebenen Wert innerhalb etwa einer Sekunde zurückkehrt, da die Emissionen von einigen Malen von 10 mal pro Sekunde wiederholt durchgeführt werden.
In den Kondensator 91 wird eine Ladung proportional zu einer Menge, die durch Multiplizierung des kleinen Signals Δs mit einer Zeit ts, in welcher sich der Schalter 21 in dem geschlossenen Zustand befindet, eingeführt. Wenn der Schalter 21 nicht vorgesehen ist, ist die Zeit ts gleich der Zeitdauer der Emission. Da die dem Kondensator 91 zusätzlich zugeführte Ladung nicht nur proportional zu dem Differenzsignal sondern auch proportional zu der Emissionsperiode ist, ändert sich die gesteuerte Menge gemäß der Emissionsperiode, wenn sich das Emissionsintervall ändert. In dem Fall, daß die Zeit ts durch den Schalter 21 konstant gehalten wird, ist es möglich, die Energie auf einen kostanten Wert unabhängig von der Emissionsperiode zu steuern.
Die Energiesteuerung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf Fig. 4 beschrieben werden. Unter der Annahme, daß die Effizienz des lichtemittierenden Abschnitts 1 von dem Zeitpunkt t1 an abzunehmen beginnt und um klar den Effekt der Erfindung zu zeigen, wird in Fig. 4 die Steuerung, um die Energie konstant zu machen, nicht bis zu der Zeit t2 durchgeführt, wodurch sich die Pulsenergie ändert und der Durchschnittswert von dieser entsprechend einer Abnahme in der Effizienz abnimmt. Nach der Zeit t2 wird die Pulsenergiesteuerung gestartet. Somit vergleicht der Vergleicher 7 das Bezugssignal Vr mit dem Gleichstromsignal Vdc, welches proportional zu der Pulsenergie direkt vor dem Zeitpunkt t2 ist, um das kleine Signal Δs an die Integrierschaltung 9 abzugeben. Die Integrierschaltung 9 steuert die Energiequelle 2, so daß der Unterschied ausgeglichen werden kann, das heißt, wenn das Signal Δs positiv ist, wird die Ausgangsspannung V der Energiequelle 2 so gesteuert, daß sie zunimmt, und wenn Δs negativ ist, wird V verringert. Daher nähert sich an dem Zeitpunkt der nächsten Emission die Pulsenergie dem vorgegebenen Wert. Danach wird die Pulsstärke so gesteuert, daß sie auf den vorgegebenen Wert bei jeder Emission gerichtet ist und daher ist der Durchschnittswert der Pulsenergien auf den vorgegebenen Wert gerichtet. In der Fig. 4 wird die Emissionsperiode nach dem Zeitpunkt t3 größer. Aufgrund des Betriebs des Schalters 21 ist jedoch die Zeit ts, während der das kleine Signal Δs der Integrierschaltung 9 zugeführt wird, unabhängig von der Emissionsperiode, und daher kann die Pulsenergie genauso wie vor dem Zeitpunkt t3 konstant gehalten werden.
Obwohl in dieser Ausführungsform der Spitzenwert der Pulsstärke gehalten wird, ist es auch geeignet, den integrierten Wert der Pulswellenform zu halten. Weiterhin ist es geeignet, eine Abtast-Halte-Schaltung, die eine allgemeine IC-Schaltung ist, anstelle des Spitzenwertdetektors 8 zu verwenden. Außerdem ist der Teiler 20 nicht notwendigerweise unabhängig vorgesehen und es ist auch geeignet, die Verstärkung des Spitzenwertdetektors 8 oder des Vergleichers 7 zu verringern. Außerdem ist die Synchronschaltung 3 nicht auf die Beschreibung beschränkt. Es ist auch geeignet, die Emission in Verbindung mit der Energiequelle 2, dem lichtemittierenden Abschnitt 1 und dem Photodektor 5 zu erfassen.
Eine zweite Ausführungsform wird nachfolgend unter Bezugnahme auf Fig. 5 beschrieben werden. In Fig. 5 umfaßt eine Pulslichtquelle dieser Ausführungsform in ähnlicher Weise einen lichtemittierenden Abschnitt (Laser) 1, der Licht in einer Pulsform in Reaktion auf eine Zufuhr von einer Energie von einer Hochspannungsenergiequelle 2 ausgibt. Ein Teil des von dem lichtemittierenden Abschnitt 1 ausgesendeten Lichtes wird durch eine Strahlenteilungseinrichtung 4 abgeleitet und mittels eines Photodetektors 5 empfangen. Der Photodetektor 5 erzeugt ein elektrisches Signal, das der Energie des empfangenen Lichtes entspricht, und gibt es an einen Spitzenwertdetektor 8 ab. Der Ausgang des Spitzenwertdetektors 8 wird einem Vergleicher 7 zugeführt, der die Ausgangsspannung des Spitzenwertdetektors 8 mit einem vorgegebenen Bezugswert Vr vergleicht, um ein Differenzsignal ΔV entsprechend dem Vergleichsergebnis, das heißt in Übereinstimmung mit der Differenz zwischen diesen, zu erzeugen. Das Ausgangssignal des Vergleichers wird einem Teiler 20 zugeführt, um das Differenzsignal ΔV zu einem kleinen Signal Δs zu regulieren, welches proportional zu diesem ist. Das Ausgangssignal Δs des Teilers 20 wird einem Analog/Digital(A/D)-Wandler 11 zugeführt, dessen Ausgang einem Addierer 12 zugeführt wird, um die Summe des Ausgangs des A/D-Wandlers 11 und eine Spannung [V0] zu verwenden, um den Ausgang der Energiequelle 2 vorzugeben. Das Summensignal wird einem Schalter 13 zugeführt. Hier ist die Spannung [V0] eine digitale Spannung, die durch eine Analog/Digital-Wandlung der Spannung V0 erhalten wird. Der Ausgang des Schalters 13 wird einem Digital/Analog-Wandler (D/A) 14 zugeführt, um eine Ausgangsvorgabespannung V0 zu werden. Die Betätigungszeitpunkte des A/D-Wandlers 11 und des Schalters 13 werden in Übereinstimmung mit Signalen von der Synchronschaltung 3 bestimmt.
Es soll nun angenommen werden, daß die Pulsenergie P abzunehmen beginnt, während der lichtemittierende Abschnitt 1 kontinuierlich arbeitet, um Licht in einer Pulsform zu emittieren. In Reaktion auf einen Teil des ausgesendeten Lichtes von dem lichtemittierenden Abschnitt 1 erzeugt der Photodektor 5 ein Spannungssignal, das proportional zu der Energie des von diesem einpfangenen Lichtes ist. Wenn das Spannungssignal mit der Bezugsspannung Vr verglichen wird, die ein Gleichstromspannungssignal ist, tritt wegen der Pulsform ein großer Fehler während einer Zeit auf, in der der lichtemittierende Abschnitt 1 nicht das Licht aussendet. Somit hält in dieser Ausführungsform der Spitzenwertdetektor 8 die Spannung proportional zu der Empfangspulsenergie des Photodetektors 5 bis zu der nächsten Pulsemission des lichtemittierenden Abschnitts 1 und erzeugt ein Gleichstromsignal Vdc entsprechend dieser. Der Vergleicher 7 vergleicht das Gleichstromsignal Vdc mit dem Bezugssignal Vr, um das Differenzsignal ΔV = Vr - Vdc auszugeben. Der Teiler 20 teilt das Differenzsignal ΔV, um das kleine Signal Δs zu erzeugen. Das kleine Signal Δs wird in dem A/D-Wandler 11 in ein digitales Signal umgewandelt und dann zu der vorherigen Ausgangsvorgabespannung [V0] addiert, um ein Signal [V0] + [Δs] zu erzeugen, welches wiederum dem Schalter 13 zugeführt wird. Der Schalter 13 schreibt den Inhalt von [V0] zu [V0] + [Δs] bei jeder Emission wieder, wodurch die Ausgangsspannung der Energiequelle 2 in Übereinstimmung mit der Abweichung der vorherigen Emissionsenergie zum Zeitpunkt der nächsten Emission reguliert wird. Somit versorgt die Synchronschaltung (Trägerschaltung) 3 den A/D-Wandler 11 mit einem Verzögerungssignal s1 synchron mit der Beendigung der Emission und versorgt den Schalter 13 weiterhin mit einem Verzögerungssignal s2 synchron mit der Beendigung der Analog/Digital-Wandlung, so daß ein Timing erfolgt, um ein Abweichungssignal an der nächsten Ausgangsvorgabespannung V0 zu reflektieren.
Beispielsweise ändert sich in Fällen, wo der lichtemittierende Abschnitt 1 ein Impulslaser wie ein Excimerlaser ist, die Energie des ausgesendeten Lichtes bei jeder Emission, wie bereits im Zusammenhang mit der Ausführungsform beschrieben worden ist. Wenn der lichtemittierende Abschnitt 1 eine solche Charakteristik hat, dient der Teiler 20 dem Zweck, daß keine Verstärkung der Änderung unter der Energiesteuerung auftritt. Das heißt, daß der Vergleicher 7 fordert, daß die Ausgangsspannung der Energiequelle 2 um ΔV1 zum Zeitpunkt der nächsten Emission erhöht wird. In dem Fall jedoch, daß der Ausgang des lichtemittierenden Abschnitts 1 schwankt, selbst wenn die Ausgangsspannung der Energiequelle 2 um ΔV1 erhöht wird, nimmt die Ausgangsenergie nicht notwendigerweise einen vorgegebenen Wert an. Nach Experimenten durch die Erfinder führt ein Anwachsen der Ausgangs spannung der Energiequelle 2 vielmehr dazu, daß die Ausgangsschwankung größer wird. Wenn in diesem Fall die Ausgangsspannung um ΔV1 x n durch den Teiler 20 erhöht wird, wobei n eine Zahl kleiner als 1 ist, nimmt die Schwankung der Ausgangsenergie kaum zu. Als ein Ergebnis der Verwendung eines solchen Steuerverfahrens müssen Emissionen, deren Zahl mehrere Male bis mehrere 10 Male ist, die Ausgangsenergie zu einem vorgegebenen Wert zurückführen. In dem Fall eines Impulslasers wie eines Excimerlasers ist es allgemein der Fall, daß der Ausgang zu dem vorgegebenen Wert innerhalb etwa einer Sekunde zurückführt, da die Emissionen von mehreren Malen von 10 Malen pro Sekunde wiederholt durchgeführt werden.
Der A/D-Wandler 11 arbeitet, um die Pulsenergie unabhängig von einer Änderung der Emissionsperiode des lichtemitterenden Abschnitts 1 konstant zu halten. Das heißt, daß der Addierer 12 das kleine Signal Δs zu dem Ausgangsvorgabewert V0 nur einmal bei jeder Emission addiert, wodurch die gesteuerte Höhe der Ausgangsspannung der Energiequelle 2 unabhängig von der Emissionsperiode konstant wird. Wenn weiterhin in Fällen, in denen die Ausgangsvorgabespannung V0 in einer analogen Form mittels eines Kondensators oder dergleichen gehalten wird, die Emission für eine lange Zeit unterbrochen wird, nimmt die Spannung V0 aufgrund des Entladens des Kondensators ab und es wird damit unmöglich, eine erwünschte Pulsenergie beim Wiederbeginn der Emission zu erhalten. Da gemäß dieser Ausführungsform die Ausgangsvorgabespannung V0 digitalisiert und dann in dem Schalter 13 gehalten wird, ist es möglich, die Ausgangsspannung der Energiequelle 2 auf dem zuvor festgelegten Wert unabhängig von einer langzeitigen Emissionsunterbrechung zu halten. Damit nimmt die Pulsenergie zum Zeitpunkt eines Wiederbeginns der Emission einen gewünschten Wert an.
Die Energiesteuerung dieser Ausführungsform wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Fig. 6 beschrieben werden. In Fig. 6 sei nun angenommen, daß die Effizienz des lichtemittierenden Abschnitts von dem Zeitpunkt t1 beginnt abzunehmen, und, um klar den Effekt dieser Erfindung zu zeigen, daß die Steuerung, um die Energie konstant zu machen, nicht bis zum Zeitpunkt t2 durchgeführt wird, wodurch die Pulsenergie sich ändert und deren Durchschnittswert mit einem Abnehmen in der Effizienz abnimmt. Nach dem Zeitpunkt t2 wird die Pulsenergiesteuerung gestartet. Somit vergleicht der Vergleicher 7 das Bezugssignal Vr mit dem Gleichstromsignal Vdc, welches proportional zu der Pulsenergie direkt vor dem Zeitpunkt t2 ist, und der Addierer 12 steuert die Energiequelle 2 so, daß der Unterschied ausgeglichen werden kann, das heißt, wenn das kleine Signal Δs positiv ist, wird die Ausgangsspannung V der Energiequelle 2 so gesteuert, daß sie zunimmt und wenn Δs negativ ist, wird V verringert. Daher nähert sich zum Zeitpunkt der nächsten Emission die Pulsenergie dem vorgegebenen Wert. Anschließend wird die Pulsstärke gesteuert, um bei jeder Emission zu dem vorgegebenen Wert zu weisen, und daher ist der Durchschnittswert der Pulsenergien auf einen vorgegebenen Wert gerichtet. In Fig. 6 wird die Emission für eine Zeitperiode von dem Zeitpunkt t3 bis zu dem Zeitpunkt t4 unterbrochen. Da das Ausgangsssteuerungssignal V0 durch den Schalter 13 konstant gehalten wird, wenn die Emission wieder begonnen wird, kann der gewünschte Wert von dem Anfangsimpuls erhalten werden. In Fig. 6 zeigt eine durchbrochene Linie, daß die Energiequellenspannung V während des Anhaltens in dem Fall verringert wird, daß das Ausgangssteuersignal in einer analogen Form mittels eines Kondensators oder dergleichen gehalten wird.
0bwohl in dieser Ausführungsform der Spitzenwert der Pulsstärke gehalten wird, ist es auch geeignet, den integrierten Wert der Pulswellenform zu halten. Weiterhin ist es geeignet, eine Abtast-Halte-Schaltung, die im allgemeinen eine IC-Schaltung ist, anstelle des Spitzenwertdetektors 8 zu verwenden. Außerdem braucht der Teiler 20 nicht notwendigerweise unabhängig vorgesehen zu sein, und es ist auch geeignet, die Verstärkung des Spitzenwertdetektors 8 oder des Vergleichers 7 zu verringern. Weiterhin ist die Synchronschaltung 3 nicht auf die Beschreibung begrenzt. Es ist auch geeignet, die Emission in Verbindung mit der Energiequelle 2, dem lichtemittierenden Abschnitt 1 und dem Photodetektor 5 zu erfassen, um die Verzögerungssignale s1 und s2 zu erhalten.
Gemäß dieser Ausführungsform kann die Pulslichtquelle die Pulsstärke unabhängig von der Emissionsperiode, einer Emissionsunterbrechung und anderen Dingen konstant gehalten werden.
Eine dritte Ausftihrungsform, die alle Merkmale dieser Erfindung aufweist, wird nachfolgend unter Bezugnahme auf Fig. 7 beschrieben werden. In Fig. 7 umfaßt eine Lichtquelle dieser Erfindung in ähnlicher Weise einen lichtemittierenden Abschnitt (Laser) 1, der Licht in einer Pulsform in Reaktion auf eine Zufuhr einer Energie von einer Hochspannungsenergiequelle 2 aussendet. Ein Teil des ausgesendeten Lichtes des lichtemittierenden Abschnitts 1 wird durch eine Strahlenteilungseinrichtung 4 abgeleitet und mittels eines Photodetektors 5 empfangen. Der Photodetektor 5 erzeugt ein elektrisches Signal, das der Energie des Empfangslichtes entspricht, und gibt es an einen Spitzenwertdetektor 8 aus. Der Ausgang des Spitzenwertdetektors 8 wird einem Vergleicher 7 zugeführt, der die Ausgangsspannung des Spitzenwertdetektors 8 mit einem vorgegebenen Bezugswert Vr vergleicht, um ein Differenzsignal ΔV in Übereinstimmung mit dem Vergleichsergebnis, das heißt in Übereinstimmung mit dem Unterschied zwischen diesen, zu erzeugen. Die Verstärkung des Vergleichers 7 wird durch die Änderungsmeßschaltung 30 gesteuert, die mit dem Photodetektor 5 verbunden ist. Das Ausgangssignal des Vergleichers 7 wird einem Teiler 20 zugeführt, um das Differenzsignal ΔV auf ein kleines Signal Δs zu regulieren, welches proportional zu diesem ist. Das Ausgangssignal Δs des Teilers 20 wird einem Analog/Digital-(A/D)-Wandler 11 zugeführt, dessen Ausgang einem Addierer 12 zugeführt wird, um die Summe des Ausgangs des A/D-Wandlers 11 und einer Spannung [V0] zum Festlegen des Ausgangs der Energiequelle 2 zu nehmen. Das Summensignal wird einem Schalter 13 zugeführt. Hier ist die Spannung [V0] eine digitale Spannung, die durch eine Analog-Digital-Wandlung der Spannung V0 erhalten wird. Der Ausgang des Schalters 13 wird einen Digital/Analog-Wandler (A/D) 14 zugeführt, um eine Ausgangsvorgabespannung V0 zu werden. Die Arbeitszeitpunkte des A/D-Wandlers 11 und des Schalters 13 werden entsprechend Signalen von der Synchron-Schaltung 3 bestimmt.
Es sei nun angenommen, daß die Pulsenergie abzunehmen beginnt, während der lichtemittierende Abschnitt 1 kontinuierlich arbeitet, um Licht in einer Pulsform zu emittieren. In Reaktion auf einen Teil des von dem lichtemittierenden Abschnitt 1 ausgesendeten Lichtes erzeugt der Photodetektor 5 ein Spannungssignal, welches proportional zu der Energie des Empfangslichtes von diesem ist. Wie in der Beschreibung der ersten und zweiten Ausführungsformen beschrieben worden ist, tritt wegen der Pulsform, wenn das Spannungssignal mit der Bezugsspannung Vr, welche ein Gleichstromspannungssignal ist, verglichen wird, ein großer Fehler während der Zeit auf, in der der lichtemittierende Abschnitt 1 nicht das Licht aussendet. Somit hält in dieser Ausführungsform der Spitzenwertdetektor 8 die Spannung proportional zu der Empfangspulsenergie des Photodetektors 5 bis zur nächsten Pulsemission des lichtemittierenden Abschnitts 1 und erzeugt ein Gleichstromsignal Vdc, welches diesem entspricht. Der Vergleicher 7 vergleicht das Direktstromsignal Vdc mit dem Bezugsignal Vr, um das Differenzsignal ΔV = Vr - Vdc auszugeben.
Die Verstärkung des Vergleichers 7 ist variabel, und entsprechend dem Ausgang der Änderungsmeßschaltung 30 wird die Verstärkung auf einen kleinen Wert gesetzt, wenn die Änderung der Ausgangspulsenergie des lichtemittierenden Abschnitts 1 groß ist, und andererseits wird der Gewinn auf einen großen Wert gesetzt, wenn die Änderung von diesem klein ist. Der Teiler 20 teilt das Differenzsignal DV, um das kleine Signal Δs zu erzeugen. Das kleine Signal Δs wird in dem A/D-Wandler 11 in ein digitales Signal umgewandelt und dann zu der vorherigen Ausgangsvorgabespannung [V0] addiert, um ein Signal [V0] + [Δs] zu erzeugen, welches wiederum dem Schalter 13 zugeführt wird. Der Schalter 13 schreibt den Inhalt von [V0] um in [V0] + [Δs] bei jeder Emission, wodurch die Ausgangsspannung der Energiequelle 2 entsprechend der Abweichung der vorherigen Emissionsenergie an dem Zeitpunkt der nächsten Emission reguliert wird. Somit versorgt die Synchronschaltung (Triggerschaltung) 3 den A/D-Wandler 11 mit einem Verzögerungssignal s1 synchron mit der Beendigung der Emission und versorgt weiterhin den Schalter 13 mit einem Verzögerungssignal s2 synchron mit der Beendigung der Analog/Digital-Wandlung, so daß ein Timing erhalten wird, um ein Abweichungssignal zu dem nächsten Ausgangsvorgabesignal V0 zu reflektieren.
Beispielsweise ändert sich in Fällen, wo der lichtemittierende Abschnitt 1 ein Impulslaser wie ein Excimerlaser ist, die Energie des ausgesendeten Lichtes bei jeder Emission. Wenn der lichtemittierende Abschnitt 1 eine solche Charakteristik hat, dienen der Teiler 20 und die Änderungsmeßschaltung 30 zu dem Zweck, daß keine Verstärkung der Änderung unter der Energiesteuerung auftritt. Das heißt, daß angenommen werden soll, daß der Vergleicher 7 fordert, daß die Ausgangsspannung der Energiequelle 2 um ΔV1 zum Zeitpunkt der nächsten Emission erhöht wird. In dem Fall jedoch, daß der Ausgang des lichtemittierenden Abschnitts 1 schwankt, selbst wenn die Ausgangsspannung der Energiequelle 2 um ΔV1 erhöht wird, nimmt die Ausgangsenergie nicht notwendigerweise einen vorgegebenen Wert an. Nach Experimenten durch die Erfinder führt ein Anwachsen der Ausgangsspannung der Energiequelle 2 vielmehr dazu, daß die Ausgangsschwankung größer wird. Wenn in diesem Fall die Ausgangsspannung um ΔV1 x n durch den Vergleicher 7 und den Teiler 20 erhöht wird, nimmt die Änderung der Ausgangsenergie kaum zu. Hier bezeichnet der Buchstabe n eine Zahl kleiner als eins und ist auf kleinen Wert gesetzt, wenn die Ausgangsenergieänderung groß ist, und ist auf einen großen Wert gesetzt, wenn die Ausgangsenergieänderung klein ist, wodurch der Effekt erlaubt wird, daß die Ausgangsenergie ohne eine Erhöhung der Schwankung der Ausgangsenergie erhöht werden kann. Als ein Ergebnis der Verwendung eines solchen Steuerverfahrens sind Emissionen, deren Zahl mehrere Male bis mehrere zehn Male beträgt, erforderlich, um die Ausgangsenergie auf einen vorgegebenen Wert zurückkehren zu lassen. In dem Fall eines Impulslasers wie eines Excimerlasers kehrt der Ausgang zu dem vorgegebenen Wert innerhalb einer Sekunde zurück und ist die Zeit, die hierfür erforderlich ist, unabhängig von der Ausgangsänderung, da die Emissionen von mindestens mehreren Malen von zehn Malen pro Sekunden wiederholt durchgeführt werden.
Der A/D-Wandler 11 arbeitet, um die Pulsenergie unabhängig von einer Änderung der Emissionsperiode des lichtemittierenden Abschnitts 1 konstant zu halten. Das heißt, daß der Addierer 12 das kleine Signal As zu der Ausgangsvorgabespannung V0 nur einmal pro Emission in Reaktion auf das Verzögerungssignal s2 addiert, wodurch die gesteuerte Stärke der Ausgangsspannung der Energiequelle 2 unabhängig von der Emissionsperiode konstant wird. Wenn weiterhin in Fällen, in denen die Ausgangsvorgabespannung V0 in einer analogen Form durch einen Kondensator oder dergleichen gehalten wird, die Emission für eine lange Zeit unterbrochen wird, nimmt die Spannung V0 aufgrund einer Entladung des Kondensators ab, und es wird damit unmöglich, eine gewünschte Pulsenergie zum Zeitpunkt eines Wiederbeginns der Emission zu erhalten. Da gemäß dieser Ausführungsform jedoch die Ausgangsvorgabespannung V0 digitalisiert wird und dann in dem Schalter 13 gehalten wird, ist es möglich, die Ausgangsspannung der Energieguelle 2 auf dem zuvor festgelegten Wert unabhängig von einer langzeitigen Emissionsunterbrechung zu halten. Das heißt, daß die Pulsenergie zum Zeitpunkt eines Wiederbeginns der Emission einen gewünschten Wert annimmt.
Obwohl in dieser Ausführungsform der Spitzenwert der Pulsstärke gehalten wird, ist es auch möglich, den integrierten Wert der Pulswellenform zu halten. Weiterhin ist es geeignet, eine Abtast-Halte-Schaltung, welche allgemein eine IC-Schaltung ist, anstelle des Spitzenwertdetektors 8 zu verwenden. Außerdem ist der Teiler 20 nicht notwendigerweise unabhängig vorgesehen und ist es auch geeignet, die Verstärkung des Spitzenwertdetektors 8 oder des Vergleichers 7 zu verringern. Weiterhin ist die Synchronschaltung 3 nicht auf die Beschreibung beschränkt. Es ist auch geeignet, die Emission in Verbindung mit der Energiequelle 2, dem lichtemittierenden Abschnitt 1 und dem Photodetektor 5 zu erfassen, um die Verzögerungssignale s1 und s2 zu erzeugen.
Gemäß dieser Ausführungsform kann die Pulslichtquelle die Pulsstärke unabhängig von der Emissionsperiode, der Emissionsunterbrechung und anderen Dingen konstant halten.
Es sollte verstanden werden, daß die voranstehenden Ausführungen nur bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung betreffen, und daß sie alle Änderungen und Modifikationen der Ausführungsformen der Erfindung abdecken sollen, die keine Abweichungen von dem Schutzumfang der Erfindung darstellen, wie sie in den Ansprüchen definiert ist.

Claims

1. Eine Pulslichtquelle mit:

- einem lichtemittierenden Mittel (1) zum Emittieren von Licht in Pulsform;

- einem Energieversorgungsmittel (2) zum Zuführen einer elektrischen Energie zu dem lichtemittierenden Mittel, wobei die Stärke der elektrischen Energie in Reaktion auf ein Steuersignal veränderbar ist;

- einem lichtempfangenden Mittel (5), das auf Licht von dem lichtemittierenden Mittel reagiert, um ein elektrisches Signal zu erzeugen, welches der Intensität des Empfangslichtes entspricht;

- einem Vergleichermittel (7), das mit dem lichtempfangenden Mittel gekoppelt ist, um das elektrische Signal von diesem mit einem Bezugssignal zu vergleichen und ein Signal, das proportional zu der Differenz zwischen dem elektrischen Signal und dem Bezugssignal ist, aus zugeben, wobei die Verstärkung des Vergleichermittels unter Einheit liegt und entsprechend einer Änderung des Lichtes, welches von dem lichtemittierenden Mittel ausgesendet wird, veränderbar ist, so daß die Verstärkung auf einen kleinen Wert gesetzt wird, wenn die Änderung der Ausgangspulsenergie groß ist, und auf einen großen Wert gesetzt wird, wenn die Änderung der Ausgangspulsenergie klein ist;

- einem Steuermittel (9), welches auf das Ausgangssignal des Vergleichermittels reagiert, um das Steuersignal zu erzeugen, welches dem Energieversorgungsmittel zugeführt wird, um die von dem Energieversorgungsmittel zu dem lichtemittierenden Mittel abgegebene elektrische Energie zu steuern; und

- einem Schaltmittel (21), das das Vergleichermittel und das Steuermittel miteinander koppelt und durch das das Ausgangssignal des Vergleichermittels mit dem Steuermittel verbunden und von diesem unterbrochen wird, wobei das Schaltmittel angeordnet ist, um den verbundenen Zustand für eine vorgegebene Zeitdauer synchron zu der Emission des lichtemittierenden Mittels herzustellen.

2. Eine Pulslichtguelle wie in Anspruch 1 beansprucht, worin das Steuermittel umfaßt:

- ein Mittel (9) zum Addieren eines Signalwertes, der proportional zu dem Ausgangssignal des Vergleichers ist, zu einem vorherigen Wert des Steuersignals für jede Pulsemission durch das lichtemittierende Mittel.

3. Eine Pulslichtquelle wie in Anspruch 1 oder 2 beansprucht, worin das Mittel zum Addieren eines Signalwertes proportional zu dem Ausgangssignal des Vergleichers umf aßt:

- eine analoge Integratorschaltung (9); und

- das Schaltmittel (21), das durch das Signal in Synchronisation mit dem gepulsten emittierten Licht angetrieben wird, um den Signalwert, der proportional zu dem Ausgangssignal des Vergleichers (7) ist, einem Eingang der analogen Integratorschaltung für eine vorgegebene Zeitdauer für jede Emission von Licht zuzuführen.

4. Eine Pulslichtquelle mit:

- einem lichtemittierenden Mittel (1) zum Emittieren von Licht in Pulsform;

- einem Energieversorgungsmittel (2) zum Zuführen einer elektrischen Energie zu dem lichtemittierenden Mittel,

wobei das Energieversorgungsmittel gemäß einem digitalen Steuersignal steuerbar ist;

- einem lichtempfangenden Mittel (5), das auf das Licht, welches von dem lichtemittierenden Mittel emittiert wird, reagiert, um ein elektrisches Signal entsprechend der Intensität des Empfangslichts von diesem zu erzeugen;

- einem Vergleichermittel (7), das mit dem lichtempfangenden Mittel gekoppelt ist, um das Ausgangssignal von dem lichtempfangenden Mittel mit einem Bezugssignal zu vergleichen, um ein Signal entsprechend dem Unterschied zwischen diesen zu erzeugen, wobei die Verstärkung des Vergleichermittels unter Einheit liegt und entsprechend einer Änderung des Lichtes, welches von dem lichtemittierenden Mittel emittiert wird, veränderbar ist, so daß die Verstärkung auf einen kleinen Wert gesetzt wird, wenn die Änderung der Ausgangspulsenergie groß ist, und auf einen großen Wert gesetzt wird, wenn die Änderung der Ausgangspulsenergie klein ist; und

- einem Steuermittel (11 - 13), das mit dem Vergleichermittel gekoppelt ist, um das Ausgangssignal des Vergleichermittels zu digitalisieren und das digitale Signal zu einem vorgegebenen digitalen Signal zu addieren, wobei die Digitalisierung und Addierung jedesmal in Synchronisation mit jeder Lichtemission durch das lichtemittierende Mittel erfolgt, wodurch das digitale Steuersignal erzeugt wird, welches dem Energiemittel zugeführt werden soll.

5. Eine Pulslichtquelle wie in Anspruch 4 beansprucht, worin das Steuermittel umfaßt:

- einen Analog/Digital-Wandler (11), der auf ein Signal proportional zu dem Ausgang der Vergleicherschaltung reagiert;

- einem digitalen Addierer (12) mit zwei Eingängen, worin einer der Eingänge digitale Werte von dem Analog/Digital-Wandler erhält; und

- einem Schalter (13), der mit dem Ausgang des Addierers zum Halten eines Ausgangswertes gekoppelt ist, wobei der Ausgang des Schalters den zweiten Eingang des digitalen Addierers bildet;

worin der Betrieb des Analog/Digital-Wandlers, des digitalen Addierers und des Schalters durch ein Signal in Synchronisation mit dem gepulsten emittierten Licht angetrieben wird, so daß der Addierer den laufenden digitalen Wert, der proportional zu dem Ausgangssignal des Komparators ist, zu einem vorherigen Wert des Steuersignals, welches durch das Schaltmittel gehalten wird, addiert.

6. Eine Pulslichtquelle wie in einem der vorhergehenden Ansprüche beansprucht, worin die Pulslichtquelle einen Gasentladungslaser, insbesondere einen Excimerlaser, umfaßt.