DE69004732T2 - Wärmetintenstrahldruckknopf mit Blasen erzeugenden Heizelementen. - Google Patents

Wärmetintenstrahldruckknopf mit Blasen erzeugenden Heizelementen.

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  • Recording Measured Values (AREA)

Description

  • Diese Erfindung betrifft Wärmetintenstrahldruckeinrichtungen und insbesondere Wärmetintenstrahldruckköpfe mit Blasen erzeugenden Heizelementen.
  • Obgleich Wärmetintenstrahldrucken entweder von der Art mit einem fortlaufenden Strom oder einer Art vom Tröpfchen-auf- Anforderungs-Typ sein kann, ist seine häufigste Art die vom Typ
  • der Tröpfchen-auf-Anforderung. Als Einrichtung vom Tröpfchen-auf-Anforderungstyp verwendet es Wärmeenergie, um eine Dampfblase in einem tintengefüllten Kanal zu erzeugen, um ein Tintentröpfchen aus dem Kanal auszustoßen. Ein Wärmeenergiegenerator oder Heizelement, üblicherweise ein Widerstand, ist in jedem einer Mehrzahl von Kanälen nahe einer Düse an dem Kanalende angeordnet. Jeder Widerstand wird einzeln mit einem Stromimpuls angesprochen, um momentan Tinte zu verdampfen und eine Blase zu erzeugen, die ein Tintentröpfchen ausstößt. Wenn die Blase wächst, wölbt sich die Tinte aus der Düse heraus und wird durch die Oberflächenspannung der Tinte als ein Meniskus gehalten. Wenn die Blase beginnt, zusammenzubrechen, beginnt die noch in dem Kanal zwischen der Düse und der Blase vorhandene Tinte sich in Richtung zu der zusammenbrechenden Blase zu bewegen, wodurch ein volumenmäßiges Zusammenziehen der Tinte bei der Düse hervorgerufen wird und eine Trennung der vorwölbenden Tinte als ein Tröpfchen ergibt. Die Beschleunigung der Tinte aus der Düse heraus, während die Blase wächst, liefert den Impuls und die Geschwindigkeit des Tröpfchens in einer im wesentlichen geradlinigen Richtung in Richtung zu einem Aufzeichnungsmedium, wie Papier.
  • Das Umfeld des Heizelementes während des Tröpfchenausstoßvorganges besteht aus hohen Temperaturen, einer frequenzbezogenen Wärmespannung, einem großen elektrischen Feld und einer beträchtlichen Kavitationsspannung. Die von der zusammenbrechenden Dampfblase in der Passivierungsschicht über den Heizelementen erzeugten, mechanischen Spannungen sind schwerwiegend genug, einen Spannungsbruch und in Verbindung mit ionischen Tinten einen Errosions/Korrosions-Angriff des Passivierungsmaterials zu ergeben. Die sich addierende Beschädigung und Materialentfernung der Passivierungsschicht und der Heizelemente ergibt die Bildung heißer Flecken und ein Heizversagen. Demgemäß wird eine Schutzschicht, wie Tantal (Ta) im allgemeinen auf den Heizelementen oder Widerständen und ihrer Passivierungsschicht vorgesehen, um den Kavitationsschaden zu verringern. Bei der Seitenausstoßausgestaltung eines Wärmetintenstrahldruckkopfes sind die Strömungsrichtung der Tinte zu der Düse und die Bahn des ausgestoßenen Tröpfchens dieselbe und diese Richtung ist parallel zu der Oberfläche der Widerstände. Die vorliegende Erfindung betrifft diese Ausgestaltung und auch die Dachvorsprungsausgestaltung (roof shooter configuration), bei der die Tröpfchen in einer zu den Heizelementen senkrechten Richtung von allgemein darüber ausgerichteten Düsen ausgestoßen werden.
  • Bei Heizelementen nach dem Stand der Technik gibt es einen Temperaturunterschied bis zu 100ºC zwischen der Temperatur in der Mitte und an den Rändern eines 45 bis 50 Mikrometer weiten Heizelementes. Die Temperatur fällt auch an den Enden in der Längsrichtung (das heißt längs der Länge des Tintenkanals) ab, weil die Heizelementlänge in dieser Richtung beträchtlich länger als die aktive Länge ist. Unter "aktive Länge" wird der Abschnitt des Widerstandsmaterials verstanden, der verwendet wird, um die Blase zu bilden, der grob der Abschnitt unter der freien Tantal-Schutzschicht oder - Vertiefung ist, wenn eine Dickschicht verwendet wird, wie es in US-Patent 4, 638, 337 von Torpey u. a. (siehe Fig. 3) verwendet wird. Einige Energie geht in diesem nichtaktiven Abschnitt der Elektrodengrenzschicht verloren und dieser Verlust kann durch Verkürzen der Länge des Heizelementes in dieser Richtung verringert werden. Jedoch bleibt die Schwierigkeit der Ungleichförmigkeit in der Querrichtung selbst für ein gekürztes Heizelement. Bei der Schwellenenergieeingabe erreicht nur die Mitte der Heizelementoberfläche die Keimbildungstemperatur. Die Ränder des Heizelementes sind auf beträchtlich niedereren Temperaturen. Die Blasenbildung ist in dieser Situation nicht stark und stabil genug, um brauchbare Tintentröpfchen zu erzeugen. Deshalb ist es erforderlich, die Energieeingabe zu dem Heizelement zu erhöhen, so daß ein größerer Abschnitt der Heizelementoberfläche die Keimbildungstemperatur überschreitet und der Druckkopf fähig ist, große und schnelle Tintentröpfchen zu erzeugen und auszustoßen. Die Erfahrung hat gezeigt, daß eine Energieerhöhung bis zu 20% oberhalb der Schwellenenergie erforderlich ist, um dieses Ziel zu erreichen. Wegen der größeren Energieeingabe zu dem Heizelement überschreitet die Temperatur in dem Mittelbereich des Heizelementes die Keimbildungstemperatur. Es wird auf Fig. 5 bezug genommen. Diese Energieerhöhung ist erforderlich, um eine ausreichend große Blase zu erzeugen, um ein Tröpfchen geeigneter Größe auszustoßen. Somit müssen die Heizelemente auf höhere Temperaturen gebracht werden, als erforderlich wäre, wenn das Temperaturprofil in Querrichtung gleichförmig wäre. Die Abhängigkeit der Tropfengröße von der Energie ist wahrscheinlich ein Ergebnis der ungleichförmigen Quertemperatur über die Weite des Heizelementes.
  • Die Tintenstrahlindustrie hat erkannt, daß die Betriebslebensdauer von Tintenstrahldruckköpfen unmittelbar auf die Anzahl der erzeugten und zusammengebrochenen Zyklen oder Blasen bezogen ist, die das Heizelement vor dem Versagen aushalten kann. Verschiedene Ansätze und Heizelementkonstruktionen sind in den folgenden Patenten geoffenbart, wobei keines von ihnen die Schwierigkeit einer ungleichförmigen Temperaturverteilung über die Weite des Heizelements in einer zu der Tröpfchenbahn querverlaufenden Richtung gelöst hat.
  • US 4,725, 859 von Shibata u. a. offenbart einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf, der einen elektrothermischen Wandler umfaßt, der eine wärmeerzeugende Widerstandsschicht und ein mit der Schicht verbundenes Elektrodenpaar aufweist, so daß ein wärmeerzeugender Abschnitt zwischen den Elektroden vorgesehen wird. Die Elektroden sind in der Nähe des wärmeerzeugenden Abschnittes aus dem Grund dünner gebildet, um eine Verringerung der Passivierungsschicht an den Ecken der Stufe auszuschließen, die durch die gegenüberliegenden Ränder der Elektroden nahe dem wärmeerzeugenden Abschnitt der Widerstandsschicht gebildet werden.
  • US 4, 567, 493 und US 4, 686, 544, jeweils von Ikeda u. a. offenbaren einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf mit einem elektrothermischen Wandler, der ein Elektrodenpaar umfaßt, das mit einer Widerstandsschicht verbunden ist, um einen wärmeerzeugenden Bereich festzulegen. US 4, 567, 493 offenbart eine Passivierungsschicht 208, die ein Kurzschließen der Elektroden verhindert, und eine zweite Passivierungsschicht 209 verhindert das Eindringen von Tinte und verstärkt die Flüssigkeitswiderstandsfähigkeit der Elektrodenpassivierungsschichten. Eine dritte Schicht 210 schützt den wärmeerzeugenden Bereich gegenüber Kavitationskräften. US 4, 686, 544 offenbart eine gemeinsame Rückführelektrode, die die gesamte Oberfläche des Substrats 206 überdeckt und auf einer Isolierschicht 207 aufliegt, die die Mehrzahl von Wandlern mit Öffnungen darin zur Anordnung der wärmeerzeugenden Bereiche enthält.
  • US 4, 339, 762 von Shirato u. a. offenbart einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf, in dem der wärmeerzeugende Bereich des Wandlers eine solche Konstruktion aufweist, daß die zugeführte Wärmemenge unterschiedlich von Stelle zu Stelle auf der Heizoberfläche zu dem Zweck ist, das Volumen der momentan erzeugten Blasen zu ändern, um eine Gradation bei gedruckten Informationen zu erzielen.
  • US 4, 370, 668 von Hara u. a. offenbart einen Tintenstrahlaufzeichnungsvorgang, der einen elektrothermischen Wandler verwendet, der eine auf einem Substrat unter Einschluß einer Widerstandsschicht und Adressierelektroden- Schichtstruktur aufweist. Eine Signalspannung wird an die Widerstandsschicht gelegt, während eine zweite Spannung von ungefähr der Hälfte der Signalspannung an eine Tantal- Schutzschicht gelegt wird, die durch eine Passivierungsschicht elektrisch von dem Wandler isoliert ist. Eine solche Anordnung erhöht die elektrische Durchbruchspannung und erhöht die Lebensdauer des Aufzeichnungskopfes.
  • US-4, 532, 530 von Hawkins offenbart einen Wärmetintenstrahldruckkopf mit aus dotiertem polykristallinem Silizium erzeugten Heizelementen. Glas-Tafelflächen isolieren thermisch den aktiven Bereich des Heizelementes von dem Silizium tragenden Substrat und von den Elektrodenverbindungspunkten.
  • Es ist eine Zielsetzung der vorliegenden Erfindung, einen Wärmetintenstrahldruckkopf bereitzustellen, der ein Heizelement aufweist, das eine im wesentlichen gleichförmige Temperatur quer zu seiner Weite und in einer zu der Bahn der ausgestoßenen Tintentröpfchen querverlaufenden Richtung bereitstellen kann, wodurch die zum Ausstoßen eines Tröpfchen erforderliche Leistung verringert und die Abhängigkeit der Tröpfchengröße von der elektrischen Signalernergie ausgeschlossen werden kann.
  • Die vorliegende Erfindung schafft einen Wärmetintenstrahldruckkopt, der eine Mehrzahl von Heizelementen in Tintenkanälen aufweist, die selektiv durch elektrische Signale adressierbar sind, um Tintentröpfchen aus an einem Ende der Tintenkanäle angeordneten Düsen auf Anforderung auszustoßen.
  • Jedes der Heizelemente weist eine passivierte Schicht aus Widerstandsmaterial auf, die einen ungleichförmigen flächigen Widerstand in eine zu der Richtung der Tintenkanäle querverlaufenden Richtung aufweist. Der ungleichförmige flächige Widerstand liefert eine im wesentlichen gleichförmige Temperatur über die Weite der Widerstandsschicht.
  • In beispielhafter Weise wird nun eine Ausführungform der Erfindung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen beschrieben, in denen gleiche Teile die gleichen Bezugszeichen aufweisen. In den Zeichnungen zeigt:
  • Fig. 1 eine schematische, teilweise isometrische Ansicht eines Druckkopfes gemäß der vorliegenden Erfindung.
  • Fig. 2 eine Querschnittsansicht des Druckkopfes, wenn man längs der Sichtlinie 2-2 der Fig. 1 betrachtet.
  • Fig. 3 eine vergrößerte Querschnittsansicht des Heizelementes des Druckkopfes in derselben Ausrichtung, wie es in Fig. 2 gezeigt ist.
  • Fig. 4 eine vergrößerte Draufsicht der Widerstandsschicht des Heizelementes, wobei die Verbindungselektroden mit gestrichelten Linien gezeigt sind.
  • Fig. 5 eine Kurve der Temperatur über die Weite bei einem Heizelement nach dem Stand der Technik.
  • Fig. 6 eine Kurve der Temperatur über die die Weite des Heizelementes der Fig. 3 und 4.
  • Fig. 7 eine Kurve, die die Temperaturen über die Weite eines Heizelementes nach dem Stand der Technik und des Heizelementes der Fig. 3 und 4 vergleicht.
  • In Fig. 1 ist eine schematische Darstellung eines Heizelements 18 enthaltenden Wärmetintenstrahlkopfes 10 teilweise in isometrischer Ansicht gezeigt, wobei die Tintentröpfchenbahnen 11 mit gestrichelter Linie für Tröpfchen 12 gezeigt ist, die auf Anforderung aus den Öffnungen oder Düsen 14 ausgestoßen worden sind. Der Druckkopf umfaßt eine Kanalplatte oder Kanalsubstrat 13, das dauerhaft mit der Heizplatte oder dem Heizsubstrat 15 mit einer dazwischen geschichteten, isolierenden Dickschicht 40 verbunden ist, wie es in US-Patent 4, 638, 337 von Torpey u. a. geoffenbart ist. Das Material der Kanalplatte ist Silizium und die Heizplatte 15 kann irgendein dielektrisches Material oder Halbleitermaterial sein. Wenn ein Halbleitermaterial für die Heizplatte verwendet wird, dann muß eine isolierende Schicht (nicht gezeigt) zwischen ihr und den Elektroden 17 und 19 verwendet werden, wie es später erörtert wird. Vorzugsweise ist das Material beider Substrate Silizium wegen der geringen Kosten und der Möglichkeit der Massenherstellung.
  • Eine Oberfläche der Kanalplatte 13 enthält eine durchgeätzte Ausnehmung 20 mit offenem Boden 25, der mit unterbrochenen Linien gezeigt ist, die, wenn sie auf die Heizplatte 15 aufgepaßt ist, ein Tintenbehältnis oder Tintenverzweigung bildet. Eine Mehrzahl identischer, paralleler Nuten 22, die mit unterbrochenen Linien gezeigt sind und dreieckförmige Querschnitte aufweisen, sind in dieselbe Oberfläche der Kanalplatte geätzt, wobei eines ihrer Enden den Rand 16 der Kanalplatte durchdringt. Dieser Rand 16 wird auch als Düsenseite bezeichnet. Die anderen Nutenenden öffnen in die Ausnehmung oder Verteilung 20. Wenn die Kanalplatte und die Heizplatte aneinander gepaßt sind, erzeugen die Nutendurchdringungen durch den Rand 16 die Düsen 14 und die Nuten 22 dienen als Tintenkanäle, die die Verteilung mit den Düsen verbinden. Der offene Boden 25 in der Kanalplatte liefert eine Einlaßeinrichtung, um einen Tintenvorrat in der Verteilung von einer Tintenvorratsquelle (nicht gezeigt) aufrechtzuerhalten.
  • Fig. 2 ist eine vergrößerte Querschnittsansicht des Druckknopfes, wenn man längs der Sichtlinie 2-2 der Fig. 1 betrachtet, und zeigt ein Heizelement 18, eine einzelne Adressierelektrode 17 mit Anschluß 21 und eine gemeinsame Rückführelektrode 19. Die Heizelemente weisen auf der Oberfläche 23 der Heizplatte 15 gemusterte Widerstandsschichten auf, eine für jeden Tintenkanal in einer Art, wie es in dem obengenannten Patent von Hawkins u. a. beschrieben ist, und dann werden die Elektroden 17 und die gemeinsame Rückführelektrode 19 darauf abgelagert. Die Adressierelektroden und die Rückführelektrode sind mit entsprechenden Anschlüssen 21 nahe den Rändern der Heizplatte mit Ausnahme des Randes 24 verbunden, der mit dem die Düsen 14 enthaltenden Kanalplattenrand 16 koplanar ist (siehe Fig. 1). Die auf Masse liegende, gemeinsame Rückführleitung 19, die besser in Fig. 1 zu sehen ist, beabstandet notwendigerweise die Heizelemente 18 von dem Heizplattenrand 24 und somit den Düsen 14. Die Adressierelektroden und die Heizelemente befinden sich beide in den Tintenkanälen, wobei sie eine von kleinen Löchern freie Passivierung verlangen, woimmer die Tinte sie berühren kann. Die Dickschicht 40 liefert den zusätzlichen notwendigen Schutz, um die Passivierungsganzheit zu verbessern und schließt Überlegungen wegen kleiner Löcher in der Passivierungsschicht 28 (in Fig. 3 gezeigt) aus. Die Anschlüsse 21 werden zur Drahtverbindung (nicht gezeigt) der Adressierelektroden und einer gemeinsamen Rückführleitung zu einer Spannungsversorgungseinheit verwendet, die selektiv die Heizelemente mit einem elektrischen Impuls adressieren kann, der eine digitalisierte Date darstellt, wobei jeder Impuls ein Tröpfchen aus dem Druckkopf ausstößt und es längs Bahnen 11 zu einem Aufzeichnungsmedium (nicht gezeigt) durch die Bildung, das Wachsen und das Zusammenbrechen der Blase 26 vorwärtstreibt.
  • Wie es in US-Patent 4, 532, 530 von Hawkins geoffenbart ist, beginnt die Arbeitsfolge des Blasenstrahlsystems mit einem elektrischen Impuls durch das Widerstandsheizelement in einem mit Tinte gefüllten Kanal. Damit der Drucker richtig arbeitet, muß die von dem Heizelement zu der Tinte übertragene Wärme eine ausreichende Menge haben, um die Tinte weit über ihren normalen Siedepunkt hinaus zu überhitzen. Bei Tinten auf Wasserbasis ist die Temperatur für die Blasenkeimbildung ungefähr 280ºC. Sobald ein Keim gebildet worden ist, isoliert die Blase oder der Wasserdampf die Tinte wärmemäßig von dem Heizelement und keine weitere Wärme kann auf die Tinte angewendet werden. Die Blase dehnt sich aus, bis alle in der Tinte gespeicherte, den normalen Siedepunkt überschreitende Wärme abfließt oder verwendet wird, um Flüssigkeit in Dampf umzuwandeln. Die Ausdehnung der Blase 26 zwingt ein Tintentröpfchen 12 aus der Düse 14 heraus. Sobald die übermäßige Wärme entfernt worden ist, bricht die Blase an dem Heizelement zusammen, wobei eine beträchtliche Kavitationsspannung erzeugt wird, die einen Spannungsbruch über die Betriebszeit ergibt. Das Heizelement wird zu diesem Zeitpunkt nicht länger erwärmt, da der elektrische Impuls vorbei ist, und gleichzeitig mit dem Blasenzusammenbruch wird das Tröpfchen bei hoher Geschwindigkeit in Richtung zu einem Aufzeichnungsmedium vorwärtsgetrieben. Die gesamte Blasenbildungs/Blasenzusammenbrech-Folge tritt in ungefähr 30 Mikrosekunden auf. Der Kanal kann, um das erneute Füllen des Kanals zu ermöglichen und damit die dynamischen Faktoren des erneuten Füllens etwas abgedämpft werden können, nach 100-500 Mikrosekunden minimaler Ruhezeit wieder aktiviert werden.
  • Eine vergrößerte, schematische Querschnittsansicht des Heizelementes der Fig. 2 ist in Fig. 3 gezeigt, wobei eine Dampfblase 26 mit unterbrochener Linie dargestellt ist. Die Heizplatte 15 kann isolierend oder halbleitend sein, beispielsweise aus Silizium. Wenn die Heizplatte aus Silizium ist, wird eine isolierende, Unterglasurschicht 27, wie Siliziumdioxyd oder Siliziumnitrid, auf der Oberfläche 23 vor dem Bilden der Heizelemente 18 gebildet. Als nächstes wird eine isolierende Schicht 30, wie beispielsweise Siliziumnitrid auf Durchgangsleiterbahnen gebildet, die darin zum elektrischen Kontakt der nachfolgend gebildeten Adressierelektroden 17 und der gemeinsamen Rückführleitung 19 vorgesehen sind. Die Passivierungsschicht 28 und die Dickschicht 40 isolieren die Elektroden und die gemeinsame Rückleitung gegen die Tinte 32, die üblicherweise eine Tinte auf Wasserbasis ist. Die Dickschicht 40 wird geätzt, um Vertiefungen 42 zu schaffen, um die Heizelemente der Tinte 32 auszusetzen. Wie es in US-Patent 4, 638, 337 von Torpey u. a. geoffenbart ist, vertieft die Vertiefung die Heizelemente, um erhöhte Tröpfchengeschwindigkeiten ohne Herausblasen der Blase und des folgenden Einziehens von Luft zu ermöglichen. Der Meniskus 33 zusammen mit einem etwas negativen Tintenzuführdruck hält die Tinte davon ab, von den Düsen abzulaufen. Obgleich das Heizelement irgendein Widerstandsmaterial 31 umfassen kann, ist dotiertes Polysilizium ein gängiges Heizelementmaterial und, wenn es verwendet wird, wird es allgemein von einer Kavitationsschutzschicht 29, wie Tantal, durch eine isolierende Schicht 30 isoliert. Eine in unterbrochener Linienführung dargestellte Blase 26 wird bei der wahlweisen Anwendung eines elektrischen Impulses an die Widerstandsschicht 31 erzeugt, der ein Tröpfchen ausstößt, wie es vorhergehend erörtert wurde.
  • Fig. 4 ist eine Draufsicht auf die Schicht aus Widerstandsmaterial 31, wie sie in Fig. 3 gezeigt ist, wobei die Adressierelektrode 17 und die gemeinsame Rückführleitung 19 in unterbrochener Linienführung gezeigt sind. Die Richtung des Tintenflusses und der Tröpfchenbahn (siehe Fig. 1) ist längs der Länge L des Widerstandsmaterials, wie es durch den Pfeil 34 angegeben worden ist. Die Leistungsverteilung über die Weite W des Widerstandsmaterials kann verändert werden, indem ein ungleichförmiger Widerstand in dem Widerstandsmaterial eingeführt wird. Da der flächige Widerstand von Polysilizium verändert werden kann, indem das Dotieren gesteuert wird oder durch Implantation, ist es möglich, das Heizelement oder das Widerstandsmaterial darin entweder physikalisch oder durch Implantation in kleine Unterabschnitte derart aufzuteilen, daß die kombinierte Wirkung aller Abschnitte eine gleichförmige Temperatur erzeugt.
  • Bei der bevorzugten Ausführungsform sind nur drei Streifen zur Energieverteilung in dem Widerstandsmaterial ausreichend, um eine gleichförmige Temperatur über die Weite W der Oberfläche des Heizelementes bereitzustellen. Zwei gleiche Randstreifen 35, die durch unterbrochene Linien gekennzeichnet sind, müssen beträchtlich mehr Leistungsdichte als der weitere Mittelstreifen 36 tragen. Dies bedeutet, daß der flächige Widerstandswert des Mittelstreifen 36 größer als der flächige Widerstandswert in den äußeren, gegenüberliegenden Randstreifen 35 sein muß. Bei einer Widerstandsmaterialschicht mit einer Länge (L) von 175 Mikrometern und einer Weite (W) von 45 Mikrometern wird die Randstreifenweite (W&sub1;) 5 Mikrometer und die Weite des Mittelstreifen 36 wird 35 Mikrometer. Diese besondere Ausgestaltung des Widerstandsmaterials mit einer Dicke von 0, 5 bis 1, 0 Mikrometer verlangt einen flächigen Widerstand für den Mittelstreifen 36 von 1,5-mal demjenigen des flächigen Widerstandswertes des Randstreifens 35, so daß die äußeren Randstreifen 50% mehr Leistungsdichte als der breitere Mittelstreifen 36 tragen. Dies liefert eine im wesentlichen gleichförmige Temperatur über die Weite des Heizelementes bei der Tantal-Schicht 29 und der Tintengrenzschicht 32, wenn der elektrische Impuls an das Heizelement angelegt wird.
  • Fig. 5 ist eine Kurve der Temperaturverteilung über die Weite eines typischen Heizelementes nach dem Stand der Technik an der Tantal-Tintengrenzschicht, wenn das Heizelement mit einer gleichförmigen Energieverteilung versorgt wird; das heißt, das Widerstandsmaterial besitzt einen gleichförmigen, flächigen Widerstand. Eine Kurve der Schwellentemperatur oder des Profils über die Weite der Heizelementoberfläche, die an die Tinte angrenzt, in einer zu dem elektrischen Stromfluß querverlaufenden Richtung, ist dargestellt, wobei sie klar einen kleinen Bereich bei der erforderlichen Keimbildungstemperatur zeigt. Um einen größeren Bereich des Heizelementes bei der Keimbildungstemperatur von 280ºC vorzusehen, muß die Oberfläche des Heizelementes auf einen Wert von 20 % oberhalb der Schwellentemperatur erwärmt werden. Die maximale Temperatur in der Mitte des Bereiches von 20 % über der Schwelle beträgt ungefähr 358ºC. Für ein Heizelement mit einem besseren Energiewirkungsgrad muß die Temperatur minimiert werden. Auch bedeuten niederere Temperaturen längere Wärmeelementlebensdauern. Fig. 6 ist eine ähnliche Kurve der Temperaturverteilung über die Weite des Heizelementes der vorliegenden Erfindung bei der Tantal- Tinte-Grenzschicht, wenn es mit einer ungleichförmigen Leistungsverteilung gemäß der Ausgestaltung in Fig. 4 versorgt wird.
  • Der Fig. 6 ist zu entnehmen, daß ein beträchtlich größerer Abschnitt der Tantaloberfläche auf einer gleichförmigen Temperatur ist, was ein größeres Tropfenvolumen und eine größere Geschwindigkeit ergibt, weil ein größerer Bereich auf der erforderlichen Keimbildungstemperatur von 280ºC ist. Vergleicht man die Fig. 5 und 6, so ist die Schwellenenergie etwas mehr als 5 % bei der verteilten Energiesituation, aber dann ist es nicht erforderlich, eine Überaktivierung von 20 % wie in dem Fall bei den Heizelementen nach dem Stand der Technik zu haben, wodurch sich eine Einsparung von 5 bis 15 % an Energieverbrauch ergibt. Dieser Vergleich der Temperaturprofile, die durch Blasen erzeugende Stromimpulse bei Heizelementen nach dem Stand der Technik und dem Heizelement der Fig. 4 erzeugt werden, ist in Fig. 7 gezeigt. Ferner werden alle anderen vorhergehend erwähnten Vorteile verwirklicht. Somit kann eine kleinere Heizelementgröße das Tröpfchen Volumen bereitstellen, das gegenwärtig mit größeren Heizelementen erhalten wird.

Claims (7)

1. Ein Wärmetintenstrahldruckkopf, der ein Heizelement (18) aufweist, das in einem einen Tintenfluß lenkenden Kanal (22) angeordnet ist, der mit einer Tröpfchen aussendenden Düse (14) verbunden ist, wodurch die wahlweise Anwendung elektrischer Signale an die Heizelemente bewirkt, daß Tintentröpfchen (12) von der Düse ausgestoßen und zu einem Aufzeichnungsmedium angetrieben werden, dadurch gekennzeichnet, daß
das genannte Heizelement eine Widerstandsmaterialschicht (31) aufweist, die einen ungleichförmigen flächigen Widerstand in einer Richtung quer zu der Richtung des Stromflusses aufweist, der durch die genannten elektrischen Signale durch es hindurch erzeugt wird, wobei der ungleichförmige flächige Widerstand derart ist, daß er ein im wesentlichen gleichförmiges Temperaturprofil längs der genannten Querrichtung während des Betriebes des Heizelementes liefert.
2. Ein Druckkopf, wie in Anspruch 1 beansprucht, in dem das Heizelement einen aktiven Bereich hat, der die Tinte berührt, und der Widerstand der Widerstandsmaterialschicht (31) derart ist, daß er ein im wesentlichen gleichförmiges Temperaturprofil an einer Stelle nahe dem Mittelabschnitt dieses aktiven Bereiches erzeugt.
3. Ein Druckkopf, wie in Anspruch 1 oder Anspruch 2 beansprucht, in dem die Widerstandsmaterialschicht einen niedereren flächigen Widerstand längs Streifen (35) an ihren gegenüberliegenden Außenrändern als längs des verbleibenden Streifens (36) an ihrem Mittelbereich aufweist.
4. Ein Druckkopf, wie in Anspruch 3 beansprucht, in dem die Widerstandsmaterialschicht eine Länge von 175 um aufweist, die Weite der äußeren, gegenüberliegenden Streifen 5 um ist, und in dem der Widerstand des Mittelstreifens der Schicht aus Widerstandsmaterial 1,5mal derjenige der äußeren Randstreifen ist.
5. Ein Druckkopf, wie in irgendeinem der vorhergehenden Ansprüche beansprucht, der eine Mehrzahl von einem Tintenfluß lenkenden Kanälen (22) aufweist, von denen jeder mit einer entsprechenden ein Tröpfchen aussendenden Düse (14) in Verbindung steht, und wobei in jedem ein entsprechendes Heizelement (18) angeordnet ist, wobei die Mehrzahl von Kanälen mit einer Tintenverteilung (20) in Verbindung steht.
6. Ein Druckkopf, wie in Anspruch 5 beansprucht, in dem die einen Tintenfluß lenkenden Kanäle parallel zueinander sind und mit der Tintenverteilung an einem Ende und mit den Düsen an dem anderen Ende in Verbindung stehen, wobei der Tintenfluß (34) in den Kanälen parallel zu den Oberflächen der Heizelemente und zu der Richtung des Stromflusses durch die Heizelemente ist.
7. Ein Druckkopf, wie in Anspruch 5 oder in Anspruch 6 beansprucht, wobei der Druckkopf ferner zwei Substrate (13, 15) umfaßt, die zueinander ausgerichtet und miteinander verbunden sind, wobei die Heizelemente und die zugeordneten Adressierelektroden auf einer Oberfläche von einem der Substrate als Muster vorhanden sind und die genannte Oberfläche auf eine Oberfläche des anderen Substrats gepaßt ist, die Ausnehmungen (20, 22) enthält, die als die Verteilung und die Kanäle dienen, wobei ein Ende der Kanäle offen ist, um als die Düsen zu dienen; und in dem die Heizelemente zusätzlich zu einer Widerstandsmaterialschicht eine Kavitationsschutzschicht (29) umfassen, die an die Tinte (32) grenzt, und eine isolierende Schicht (30) die die Widerstandsmaterialschicht von der Kavitationsschutzschicht trennt.
DE69004732T 1989-05-01 1990-04-25 Wärmetintenstrahldruckknopf mit Blasen erzeugenden Heizelementen. Expired - Lifetime DE69004732T2 (de)

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