DE68927065T2

DE68927065T2 - Fokussierungseinrichtung für Elektronenmikroskop

Info

Publication number: DE68927065T2
Application number: DE68927065T
Authority: DE
Inventors: Susumu Ozasa; Junichiro Tomizawa
Original assignee: Hitachi Ltd; Hitachi Naka Seiki Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Hitachi Naka Seiki Ltd
Priority date: 1988-03-09
Filing date: 1989-03-07
Publication date: 1997-04-03
Anticipated expiration: 2009-03-08
Also published as: JPH0756786B2; EP0332140B1; EP0332140A2; EP0332140A3; DE68927065D1; US4933553A; JPH01231251A

Description

Hintergrund der Erfindung

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Fokussiereinrichtung eines Elektronenmikroskops und genauer gesagt, eine Fokussiereinrichtung eines Elektronenmikroskops, die die Astigmatismuskorrektur automatisch durchführt.
In U.S.P. 4 214 163 ist eine gewöhnliche Einrichtung zum Fokussieren als dem der automatischen Astigmatismuskorrektur im Elektronenmikroskop vorausgehende Schritt, d. h. eine Einrichtung zum Bestimmen eines Kreises geringster Zerstreuung, beschrieben, gemäß der der Kreis geringster Zerstreuung gemäß den folgenden Arbeitsgängen bestimmt wird.
(1) Ein Elektronenstrahl tastet eine Probe in X-Richtung ab, ein im umgekehrten Verhältnis zum Radius des Elektronenstrahls stehendes Signäl wird bei einem jeden Abtasten gewonnen, und es wird ein Erregerstrom I&sub1; für eine Fokussierlinse bestimmt, durch den das Signal maximal wird.
(2) Der Elektronenstrahl tastet die Probe in Y-Richtung ab, ein im umgekehrten Verhältnis zum Radius des Elektronenstrahls stehendes Signal wird, wie vorausgehend beschrieben, gewonnen, und es wird ein Erregerstrom I&sub2; für die Fokussierlinse bestimmt, durch den das Signal maximal wird.
(3) Der Mittelwert (I&sub1; + I&sub2;)/2 wird aus den erwähnten Erregerströmen I&sub1; und I&sub2; für die Fokussierlinse berechnet, und der Erregerstrom für die Fokussierlinse wird auf seinen Mittelwert (I&sub1; + I&sub2;)/2 eingestellt.
Durch die vorausgehend beschriebene Einrichtung wird der Kreis des auf die Probe fokussierten Elektronenstrahls zum Kreis geringster Zerstreuung. Die Position dieses Kreises geringster Zerstreuung ist der Position eines Brennpunktes bei korrigierten Astigmatismus gleichwertig.
Im vorausgehend beschriebenen Stand der Technik wird der Elektronenstrahl in X- und Y-Richtung getastet, der Erregerstrom für die Fokussierlinse, durch den ein Streuungsanteil eines von der Probe erzeugten Stromes von Sekundärelektronen oder ähnlichem maximal wird, wird bei jedem Abtasten bestimmt, und der Erregerstrom für die Fokussierlinse zu der Zeit, zu der der Kreis geringster Zerstreuung gebildet wird, wird aus dem so bestimmten Mittelwert der Erregerströme bestimmt. Der Streuungsanteil des Sekundärelektronenstroms wird durch die Form oder die Struktur der Probenoberfläche erzeugt.
Bei dieser Einrichtung tritt jedoch in der Hinsicht ein Problem auf, daß der dem Kreis geringster Zerstreuung entsprechende Erregerstrom für die Fokussierlinse nicht genau bestimmt werden kann, wenn die Form oder die Struktur der Probenoberfläche anisotrop ist, wie beispielsweise in einem kleinen Teil einer IC-Struktur.
In Fig. 3 ist das Verhältnis zwischen dem Fokussierlinsen-Erregerstrom, der vorliegt, wenn die Probe in X- und Y- Richtung bei sich änderndem Strom durch einen Elektronenstrahl abgetastet wird, und einem zu dieser Zeit einem Elektronenstrahlradius entsprechenden Signal dargestellt.
Es sei bemerkt, daß das dem Elektronenstrahlradius entsprechende Signal im umgekehrten Verhältnis zum Radius des Elektronenstrahls steht und als ein Streuungsanteil des von der Probe erzeugten Sekundärelektronenstroms erhalten wird. Je stärker der Elektronenstrahl auf die Probe fokussiert wird, desto größer wird das dem Elektronenstrahlradius entsprechende Signal.
In dieser Figur ist insbesondere ein Fall ((b) der Figur 3) dargestellt, bei dem beim Abtasten in Y-Richtung kein Maximum erhalten wird, da der Streuungsanteil der Form oder der Struktur auf der Probenoberfläche klein ist, während das Maximum I&sub1; ((a) aus Figur 3) erhalten wird, wenn das Abtasten in X-Richtung erfolgt.
Wenn die Form der Probenoberfläche anisotrop ist und ein Maximum daher nicht deutlich hervortritt, wie vorausgehend beschrieben wurde, können die erwähnten Erregerströme I&sub1; und I&sub2; gemäß dem Stand der Technik nicht genau bestimmt werden, und es ist demzufolge sehr schwierig, den dem Kreis geringster Zerstreuung entsprechenden Erregerstrom für die Fokussierlinse genau zu bestimmen.
Während im vorhergehend beschriebenen Beispiel die Abtasteinrichtung beschrieben wurde, bei der der Elektronenstrahl in X- und Y-Richtung getrennt getastet wird, werden, wie in Fig. 5(a) dargestellt, selbst dann, wenn der Elektronenstrahl kreisförmig getastet wird, unter der Bedingung zwei Maxima erhalten, daß die Form der Probe isotrop ist, und der Erregerstrom für die Fokussierlinse, der dem Kreis geringster Zerstreuung entspricht, kann daher durch Bilden des Mittelwerts der Maxima genau bestimmt werden. Wenn die Form der Probe jedoch anisotrop ist, können die beiden Maxima nicht erhalten werden, wie in Fig. 5(b) dargestellt ist, so daß der dem Kreis geringster Zerstreuung entsprechende Erregerstrom für die Fokussierlinse nicht genau bestimmt werden kann.
Eine Fokussiereinrichtung mit den Merkmalen gemäß dem ersten Teil des Anspruchs 1 ist in J.Phys.E.Sci.Instrum. 20 (1987), S. 67 - 73, offenbart. Dort wird ein automatisches Fokussieren für drei verschiedene Abtastrichtungen ausgeführt, um drei Fokussierlinsenströme zu finden, d. h. Linsenströme, die jeweils den Strahldurchmesser in der entsprechen den Richtung minimieren. Eine Anzahl mathematischer Operationen ist erforderlich, um einen gemeinsamen optimalen Erregerstrom aus den bei den drei Abtastvorgängen gewonnenen Ergebnissen zu bestimmen.

Zusammenfassung der Erfindung

Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung liegt darin, eine Fokussiereinrichtung für ein Elektronenmikroskop zu schaffen, die die Lösung des vorhergehend beschriebenen Problems sowie die genaue und einfache Bestimmung des Erregerstroms für die Fokussierlinse ermöglicht, der dem Kreis geringster Zerstreuung entspricht.
Diese Aufgabe wird durch die Einrichtung gemäß den Ansprüchen 1 oder 4 gelöst.

Kurzbeschreibung der Zeichnung

Figur 1 ist ein vereinfachtes Blockdiagramm, in dem die wesentlichen Bauelemente eines Rasterelektronenmikroskops dargestellt sind, auf das die vorliegende Erfindung angewendet wird.
Die Figuren 2(a), 2(b), 2(c) und 2(d) sind graphische Darstellungen zum Veranschaulichen des im Rasterelektronenmikroskop, auf das die vorliegende Erfindung angewendet wird, verwendeten Fokussierprinzips.
Die Figuren 3(a), 3(b), 5(a) und 5(b) sind graphische Darstellungen, in denen die Beziehung zwischen einem Fokussierlinsen-Erregerstrom und einem Signal, das einem Elektronenstrahlradius entspricht, dargestellt ist.
Figur 4 ist eine schematische Darstellung von Abtastspuren, wenn ein Elektronenstrahl in beliebigen Richtungen getastet wird.

Detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen

Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nachfolgend, Bezug nehmend auf die Zeichnung, beschrieben.
Figur 1 ist ein vereinfachtes Blockdiagramm, in dem die wesentlichen Bauelemente eines Rasterelektronenmikroskops dargestellt sind, auf das die vorliegende Erfindung angewendet wird.
In Figur 1 bezeichnet eine Bezugszahl 1 einen Elektronenstrahl, der durch eine Fokussierlinse 2 scharf auf eine Probe 3 fokussiert wird. Eine Bezugszahl 14 bezeichnet eine an eine später beschriebene Steuerschaltung 7 angeschlossene Fokussierlinsen-Ansteuerschaltung zum Ansteuern der Fokussierlinse 2.
4 und 5 bezeichnen Ablenkspulen zum Tasten des erwähnten Elektronenstrahls in X- bzw. Y-Richtung, und 10 und 11 bezeichnen Ablenkspulen-Erregerschaltungen zum Abtasten der jeweiligen Ablenkspulen 4 und 5.
Die beiden Ablenkspulen-Erregerschaltungen 10 und 11 sind an die Steuerschaltung 7 angeschlossen.
8 und 9 bezeichnen die Astigmatismus-Korrekturspulen für die X- bzw. Y-Richtung, und 12 und 13 bezeichnen Astigmatismus-Korrekturspulen-Erregerschaltungen zum Ansteuern der Astigmatismus-Korrekturspule 8 bzw. 9.
Die beiden Astigmatismus-Korrekturspulen-Erregerschaltungen 12 und 13 sind an die Steuerschaltung 7 angeschlossen.
Eine Bezugszahl 6 bezeichnet einen Detektor, der ein infolge des Einwirkens des erwähnten Elektronenstrahls auf die Probe 3 erzeugten Sekundärelektrons oder ähnlichem erzeugtes Signal erfaßt, und der Detektor ist an eine Schaltung 15 zur Bestimmung des optimalen Erregerstroms für die Fokussierlinse angeschlossen.
Die Schaltung 15 zur Bestimmung des optimalen Erregerstroms für die Fokussierlinse legt auf der Grundlage eines Ausgangssignals des erwähnten Detektors 6 einen Erregerstrom für die Fokussierlinse fest, der einem Kreis geringster Zerstreuung entspricht, und gibt einen Einstellwert an die Steuerschaltung 7 aus.
Die Steuerschaltung 7 steuert die erwähnte Fokussierlinsen-Ansteuerschaltung 14, die Ablenkspulen-Erregerschaltungen 10 und 11 und die Erregerschaltungen 12 und 13 für die Astigmatismus-Korrekturspule.
Beim Rasterelektronenmikroskop, das den erwähnten Aufbau hat und auf das die vorliegende Erfindung angewendet wird, wird der erwähnte Elektronenstrahl 1 durch Andern eines Erregerstroms für die Ablenkspulen 4 und 5 veranlaßt, die Probe 3 kreisförmig abzutasten. Der Detektor 6 erfaßt ein Bildsignal von Sekundärelektronen, Thermoelektronen, Absorptionselektronen oder ähnlichem, was von der Probe 3 erzeugt wird, und gibt das Bildsignal zur Schaltung 15 zur Bestimmung des optimalen Erregerstroms für die Fokussierlinse aus.
Die erwähnte Schaltung 15 zur Bestimmung des optimalen Erregerstroms für die Fokussierlinse wandelt das erwähnte Bildsignal in ein Signal um, das dem Fleckradius des Elektronenstrahls 1 entspricht.
Hierbei wird ein Integral einer Streuung des vom Detektor 6 erzeugten Bildsignals als das dem Fleckradius des erwähnten Elektronenstrahls 1 entsprechende Signal verwendet.
Das vom erwähnten Detektor 6 gelieferte Bildsignal weist eine geringere Streuung auf, wenn die Breite des Elektronenstrahls 1 in Abtastrichtung (im Falle eines kreisförmigen Abtastens in Tangentialrichtung) auf der Probe 3 kleiner wird, und das Bildsignal enthält hierbei daher einen großen Streuungsanteil. Dies bedeutet, daß der Fleckradius des Elektronenstrahls 1 in Abtastrichtung kleiner wird, wenn der durch die Integration erhaltene Wert (nachfolgend als ein dem Elektronenstrahlradius entsprechendes Signal bezeichnet) größer wird, wenn der Streuungsanteil des erwähnten Bildsignals als das dem Fleckradius des Elektronenstrahls 1 entsprechende Signal herausgenommen wird und nur ein sich ändernder Teil des Streuungsanteils für ein jedes Abtasten integriert wird.
Die erwähnte Schaltung 15 zur Bestimmung des optimalen Erregerstroms für die Fokussierlinse bestimmt die Beziehung zwischen der Intensität des zur Fokussierlinsen-Ansteuerschaltung 14 übertragenen Stroms, und das dem Elektronenstrahl hierbei entsprechende Signal bestimmt einen Fokussierlinsen-Erregerstrom, der dem Kreis geringster Zerstreuung gemäß dieser Beziehung entspricht, und gibt diesen an die Steuerschaltung 7 aus.
Während der dem erwähnten Kreis geringster Zerstreuung entsprechende Fokussierlinsen-Erregerstrom für die Fokussierlinsen-Ansteuerschaltung 14 erzeugt wird, steuert die Steuerschaltung 7 die Ablenkspulen-Erregerschaltungen 10, 11 und die Erregerschaltungen 12, 13 für die Astigmatismus-Korrekturspule.
Ein Verfahren zur Bestimmung des dem Kreis geringster Zerstreuung entsprechenden Fokussierlinsen-Erregerstroms durch das Rasterelektronenmikroskop gemäß der vorliegenden Erfindung wird nachfolgend detailliert in bezug auf Figur 2 beschrieben.
In dieser Figur ist die Beziehung zwischen dem Signal, daßs dem Integral des Elektronenstrahlradius entspricht, und einem Erregerstrom für die Fokussierlinsen-Ansteuerschaltung 14 dargestellt, wenn der Elektronenstrahl die Probe kreisförmig abtastet, wobei insbesondere der Fall dargestellt ist, in dem die beiden Maxima nicht deutlich hervortreten, da die Form der Probe anisotrop ist.
Wenn die beiden Maxima nicht deutlich hervortreten, wie im beschriebenen Fall, ist es gemäß dem Stand der Technik sehr schwierig, den Erregerstrom für die Fokussierlinse genau zu bestimmen, der dem Kreis geringster Zerstreuung entspricht.
Figur 2(a) ist eine graphische Darstellung zur Veranschaulichung eines Fokussiervorgangs gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
Zunächst wird die Beziehung zwischen dem dem Elektronenstrahlradius entsprechenden Signal, das aus der Streuung der bei einem jeden kreisförmigen Abtasten der Probe mit dem Elektronenstrahl emittierten Sekundärelektronen gewonnen wird, und dem Erregerstrom für die Fokussierlinse bestimmt.
Zur Vereinfachung der Beschreibung wird die genannte Beziehung hier als Kurve Y f (Ix) dargestellt.
Nachfolgend wird ein Erregerstrom Is für die Fokussierlinse, der dem Maximum V&sub1; der Kurve Y = f (Ix) entspricht, bestimmt, es werden weiterhin dem Elektronenstrahlradius entsprechende Signale V&sub3; = f (Is + ΔI) und V&sub2; = f (Is - ΔI) bestimmt, die erhalten werden, wenn um einen gewissen Wert ΔI vom Erregerstroms Is als dem Mittelwert nach oben ansteigend und nach unten absinkend abgewichen wird, und das Minimum dieser Signale wird in der vorliegenden Ausführungsform als V&sub0; V&sub0; = V&sub3; festgelegt, da V&sub2; > V&sub3; ist.
Wenngleich die dem Elektronenstrahlradius entsprechenden Signale V&sub2; und V&sub3; so festgelegt sind, daß vom Fokussierlinsen-Erregerstrom Is, der dem als Zentralwert festgelegten Maximum V, entspricht, um den Betrag ΔI nach oben ansteigend und nach unten absinkend abgewichen wird, sind die Werte des Ansteigens und des Absinkens nicht notwendigerweise gleich, sondern sie können jeweils unter der Bedingung beliebige Werte sein, daß der Erregerstrom Is innerhalb dieser Grenzen ansteigt und absinkt.
Nachfolgend wird der Schwerpunkt G&sub1; des von einer Geraden Y = V&sub0; und der angesprochenen Kurve Y = f (Ix) umgebenen Bereichs (des schraffierten Teils) bestimmt. Der Erregerstrom Ig1 für die Fokussierlinse, die der Position des Schwerpunkts G&sub1; entspricht, ist der dem Kreis geringster Zerstreuung entsprechende Erregerstrom.
Der erwähnte Schwerpunkt G&sub1; kann durch ein geeignetes bekanntes Verfahren (auch aus anderen im folgenden zu beschreibenden Ausführungsformen) bestimmt werden.
Eine weitere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nachfolgend unter Verwendung von Figur 2(b) beschrieben.
Nachdem das Minimum V&sub0; in derselben Weise wie im vorausgehend beschriebenen Fall aus Figur 2(a) bestimmt wurde, wird ein dem Elektronenstrahlradius entsprechendes Signal
V&sub3; = (V&sub1; - V&sub0;)α + V&sub0;
aus dem erwähnten Maximum V&sub1; und dem Minimum V&sub0; bestimmt, und es wird der Schwerpunkt G&sub2; des von einer Geraden Y = V&sub3; und der erwähnten Kurve Y = f (Ix) umgebenen Bereichs (der schraffierte Bereich) bestimmt. Vorzugsweise wird der Wert α innerhalb der Grenzen von 0,1 und 0,5 festgelegt, und der Erregerstrom Ig2 für die Fokussierlinse, der der Position des Schwerpunkts G&sub2; entspricht, ist der dem Kreis geringster Zerstreuung entsprechende Erregerstrom.
Eine weitere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nachfolgend unter Verwendung von Figur 2(c) beschrieben.
Nachdem die Gerade V&sub3; = (V&sub1; - V&sub0;)α = V&sub0; in derselben Weise, wie in der vorausgehend beschriebenen Figur (b), bestimmt wurde, werden die Schnittpunkte der Geraden Y = V&sub3; und der erwähnten Kurve Y = f (Ix) mit I&sub3; bzw. I&sub4; bezeichnet, und der Schwerpunkt des von einer Geraden X = I&sub3;, einer Geraden X = I&sub4; und einer Geraden Y = Vt parallel zur X-Achse umgebene Bereich (schraffierter Teil) wird mit G&sub3; bezeichnet, wobei 0 < Vt < Vs gilt. Der Erregerstrom Ig3 für die Fokussierlinse, der der Position des so erhaltenen Schwerpunkts G&sub3; entspricht, kann auch als der Erregerstrom verwendet werden, der dem Kreis geringster Zerstreuung entspricht.
In der vorliegenden Ausführungsform aus Figur 2(c) ist der Fall dargestellt, in dem Vt gleich 0 gesetzt ist.
Abgesehen davon kann auch ein Näherungswert des erwähnten Schwerpunkts, der in der Mitte zwischen den erwähnten Schnittpunkten I&sub3; und I&sub4; gelegene Punkt, als Erregerstrom Ig4 für die Fokussierlinse verwendet werden, der dem Kreis geringster Zerstreuung entspricht, wie in Figur 2(d) dargestellt ist.
Wenngleich in der vorausgehenden Beschreibung der Fall des kreisförmigen Tastens als Tastverfahren des Elektronenstrahls erwähnt ist, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt, und ein gewöhnliches Verfahren des Tastens in X- und Y-Richtung, ein Tasten in Form einer geschlossenen Schleife oder ein in Figur 4 dargestelltes Tasten des Elektronenstrahls in einer Anzahl beliebiger Richtungen kann ebenso verwendet werden. Die erwähnte Kurve des dem Elektronenstrahlradius entsprechenden Signals wird aus dem Mittelwert der hierbei erhaltenen, dem Mittelwert des Elektronenstrahlradius entsprechenden Signale bestimmt, und daraufhin wird der dem Kreis geringster Zerstreuung entsprechende Erregerstrom der Fokussierlinse in der gleichen Weise bestimmt wie in der vorausgehenden Ausführungsform.
Mit anderen Worten kann jedes Tastverfahren verwendet werden, vorausgesetzt, daß die Fokussiereinrichtung eines Elektronenmikroskops verwendet wird, wobei der Erregerstrom für die Fokussierlinse aus der Position des Schwerpunkts einer von der Kurve des dem Elektronenstrahlradius entsprechenden Signals, das dem Erregerstrom für die Fokussierlinse entspricht, der erhalten wird, wenn der Elektronenstrahl bei sich änderndem Erregerstrom getastet wird, sowie von einer vorgegebenen Geraden umgebenen Fläche oder durch die Schnittpunkte der Kurve und der Geraden, bestimmt wird.
Wenn der dem Kreis geringster Zerstreuung entsprechende Erregerstrom für die Fokussierlinse, wie vorausgehend beschrieben, bestimmt wird, hält die Steuerschaltung 7 die Intensität des zur Fokussierlinsen-Ansteuerschaltung 14 über tragenen Stroms bei diesem Erregerstrom und führt daraufhin die sogenannte Astigmatismuskorrektur durch, um den Radius des erwähnten Kreises geringster Zerstreuung weiter zu ver ringern.
Es ist klar, daß die Anwendung der vorausgehend beschriebenen vorliegenden Erfindung auf die Korrektur des Astigmatismus, verglichen mit dem Stand der Technik, die genaue und einfache Korrektur des Astigmatismus ermöglicht.
Weiterhin ermöglichen die Wiederholung des Vorgangs des Fokussierens der Fokussierlinse und die Astigmatismuskorrektur wie vorausgehend beschrieben die Verwirklichung einer weiter verbesserten Fokussierung.
Wenngleich in der vorausgehenden Beschreibung nur der Fall erwähnt wurde, in dem die vorliegende Erfindung auf das Rasterelektronenmikroskop angewendet wird, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt, sondern kann auch auf Transmissionselektronenmikroskop-Vorrichtungen angewendet werden, vorausgesetzt, daß eine Einrichtung vorgesehen ist, mit der der Elektronenstrahl in wenigstens einer Richtung getastet wird.
Es ist gemäß der vorausgehend beschriebenen vorliegenden Erfindung möglich, die Fokussiereinrichtung eines Elektronenmikroskops bereitzustellen, die die genaue und einfache Bestimmung des Erregerstroms für die Fokussierlinse, entsprechend dem Kreis geringster Zerstreuung, an der Stufe des Fokussiervorgangs ermöglicht, der selbst, wenn die Form einer Probe anisotrop ist und wenn das Maximum der Kurve des dem Elektronenstrahlradius entsprechenden Signals nicht klar hervortritt, vor der Astigmatismuskorrektur ausgeführt wird.

Claims

1. Fokussiereinrichtung für ein Elektronenmikroskop umfassend

eine Fokussierlinse (2) zum Fokussieren des Elektronenstrahls (1) auf eine Probe (3),

eine Ablenkeinrichtung (4, 5, 10, 11) zum Abtasten der Probe (3) mit dem Strahl (1) in mehreren Richtungen, eine nahe dem Strahlengang (1) angeordnete Astigmatismus-Korrektureinrichtung (8, 9, 12, 13),

eine Detektoreinrichtung (6) zum Erfassen eines von der Probe (3) beim Abtasten mit dem Strahl (1) erzeugten Signals, und

eine Bestimmungseinrichtung (15) zur Bestimmung desjenigen optimalen Erregerstroms (I) für die Fokussierlinse (2), bei der der von dem Strahl (1) auf der Probe (3) gebildete Fleck einen Kreis geringster Zerstreuung bildet,

dadurch gekennzeichnet, daß die Bestimmungseinrichtung (15) als optimalen Erregerstrom (I) den Erregerstrom (Ig) an der Stelle des Schwerpunktes (G) einer Fläche bestimmt, die in einer Y-I-Ebene begrenzt wird von

einer durch die Gleichung Y = f(I) gegebenen Kurve, wobei diese Gleichung durch das Ausgangssignal der Detektoreinrichtung (6) gewonnen wird und in umgekehrtem Verhältnis zum Fleckradius des Strahls (1) steht, und

einer durch Y = (V&sub1; - V&sub0;)α + V&sub0; gegebenen Geraden, wobei 0,1 < α < 0,5; V&sub0; gleich ist dem kleineren derjenigen beiden Werte V&sub2;, V&sub3;, die die Kurve für (Is + ΔIp) und (Is - ΔIm) annimmt; Is der beim Maximum (V&sub1;) der besagten Kurve sich einstellende Erregerstrom ist; und ΔIp, ΔIm Streuungen von Is sind.

2. Einrichtung nach Anspruch 1, wobei f(I) aus dem Integral des Ausgangssignals der Detektoreinrichtung (6) gewonnen ist.

3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei AIp = ΔIm.

4. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche mit der Abänderung, daß

die Gerade durch Y = Vt gegeben ist, wobei Vt < (V&sub1; - V&sub0;) + V&sub0;, und

die Fläche ferner von einem durch I = I&sub3; und I = I&sub4; gegebenen Geradenpaar begrenzt ist, wobei I&sub3;, I&sub4; den Schnittpunkten zwischen der besagten Kurve und einer durch Y = (V&sub1; - Vα)a + V&sub0; wiedergegebenen Geraden entsprechen.

5. Einrichtung nach Anspruch 4, wobei Vt = 0.

6. Einrichtung nach Anspruch 4 oder 5, wobei Ig durch (I&sub3; + I&sub4;)/2 angenähert ist und wobei I&sub3;, I&sub4; den Schnittpunkten zwischen der besagten Kurve und der besagten Geraden entsprechen.

7. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Ablenkeinrichtung (4, 5, 10, 11) so betätigbar ist, daß sie den Strahl (1) längs eines Kreises tastet.

8. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die Astigmatismus-Korrektureinrichtung (8, 9, 12, 13) nach Bestimmung des optimalen Erregerstroms bei dem durch die Bestimmungseinrichtung (15) gegebenen Wert Ig betätigbar ist.