DE68913431T2 - Aussenzylindrische Schleifeinheit. - Google Patents

Description

• Die vorliegende Erfindung betrifft eine außenzylindrische Schieifeinheit, die für eine automatische Bestimmung einer optimalen Mittenachse eines zylindrischen Materials, wie beispielsweise eines Haibleiter-Ein-(Mono-)Kristallblocks, und für eine Ausrichtung der optimalen Mittenachse des zylindrischen Materials mit der Drehachse der Schleifeinheit geeignet ist.
• Beispielsweise besitzt in einer Halbleiter-Wafer-Fertigungslinie ein Halbleiter-Einkristallblock, der in einem Kristallziehverfahren, wie beispielsweise das Czochralski-Verfahren und das Zonenschmelzverfahren, erhalten wird, eine im wesentlichen kreisförmige, zylindrische Form mit zwei konisch geformten Enden. Die zwei konisch geformten Enden des Einkristallblocks werden von dem Hauptkörper des Einkristallblocks mit Schnitten etwa in Richtung der Normalen der Mittenlinie des Hauptkörpers abgetrennt. Der zylindrische Einkristallblock wird dann in dünne Hafer in einer Art und Heise geschnitten, daß die Schnittrichtung zur Normalen der Mittenlinie des Blocks verläuft. Allerdings würden aufgrund der unregelmäßigen Oberflächen des Blocks die Hafer, die von dem Block geschnitten werden, natürlich variierende Durchmesser und unregelmäßige Umfänge besitzen. Um dies zu verhindern, wird der Block durch eine außenzylindrische Schleifmaschine in die Form eines regelmäßigen, kreisförmigen Zylinders vor dem Schneidvorgang geschliffen.
• Um einen regelmäßigen, kreisförmigen Zylinder mit dem maximalen Durchmesser aus einem unregelmäßig geformten zylindrischen Block zu erhalten, ist es in erster Linie wichtig, eine geeignete optimale Mittenachse, basierend auf der der Schleifvorgang durchgeführt wird, zu bestimmen. Der Block wird um die optimal bestimmte Mittenachse gedreht, während er außen geschliffen wird.
• Anders ausgedrückt sollte, um das beste Ergebnis eines regelmäßig zylindrischen Blocks zu erhalten, die optimale Mittenachse derart bestimmt werden, daß ein gleichmäßiger Durchmesser der Wafer-Scheiben, die von dem zylindrischen Einkristallblock geschnitten werden, der Größtmögliche sein wird. Um dies zu erhalten, sind Verfahren vorgeschlagen worden, die unter anderem in der japanischen Patent-Offenlegungsschrift (Kokai) Nr. 60-17682 (1985) und der japanischen Patent-Offenlegungsschrift (Kokai) Nr. 61-33446 (1986) angegeben sind.
• Gemäß der japanischen Patent-Offenlegungsschrift (Kokai) Nr. 60-17682 wird die Mittenachse eines Holzblocks bzw. Holzstamms in der nachfolgend angegebenen Weise ermittelt: ein Holzstamm wird um eine vorläufige Mittenachse gedreht; Lichtstrahlen werden auf den Stamm normal zu dessen Achse von einer Seitenstellung aus gerichtet; dieser Lichtstrahl, der exakt tangential zu der Oberfläche des Stamms verläuft, wird zu jedem Zeitpunkt ermittelt, wenn der Stamm um Intervalle eines vorgegebenen Winkels gedreht wird, und zwar an einer Mehrzahl von Stellen, die längs des Stamms genommen werden; ein Polygon wird aus den ermittelten, tangentialen Strahlen an jeder Erfassungsstelle erhalten; der maximale, wirkliche, kreisförmige Zylinder, der durch die Polygone begrenzt wird, wird erhalten; und die Mittenlinie des begrenzten, maximalen, richtigen, kreisförmigen Zylinders wird erhalten, die dann als Mittenachse herangezogen wird, um die der Stamm gedreht und außen geschliffen wird.
• Gemäß der japanischen Patent-Offenlegungsschrift (Kokai) Nr. 61-33446 wird die Mittenachse eines Stamms durch zuerst eine Erfassung der Konturen von mindestens drei Querschnitten, die normal zu der vorläufigen Mittenachse an willkürlich ausgewählten Stellen genommen werden, die die zwei Endflächen einschließen; durch Herausfinden der Radii und der Mitten der maximal beschriebenen Kreise in den jeweiligen Querschnitten; dann durch Erhaltung des maximalen, wirklichen, kreisförmigen Zylinders, der durch mindestens drei maximale, beschriebene Kreise begrenzt wird; und schließlich durch Herausfinden der Mittenachse des begrenzenden, maximalen, wirklichen, kreisförmigen Zylinders, bestimmt.
• Allerdings wird auf dem Gebiet der Halbleiterfertigung der sogenannte "Zentriervorgang", das ist der Vorgang der Bestimmung einer optimalen Mittenachse eines Einkristallblocks, in einer Mittenachsenbestimmungseinheit durchgeführt, die getrennt von der außenzylindrischen Schleifeinheit installiert ist. Weiterhin wird der Block, von dem eine optimale Mittenachse bestimmt worden ist, dann in die außenzylindrische Schleifeinheit durch die Einrichtung einer gesonderten Einsetzeinheit derart eingesetzt, daß die ermittelte optimale Mittenachse des Blocks mit der Drehachse der außenzylindrischen Schieifeinheit ausgerichtet wird. Die Installation dieser getrennten Einheiten erfordert einen beträchtlichen Installationsraum, und die Zahl der betriebsmäßigen Verfahrensschritte, die von der Zentrierung bis zum Schleifen des Blocks erforderlich sind, ist unerwünscht groß. Auch ist es, auch dann, wenn die optimale Mittenachse des Blocks mit hoher Genauigkeit bestimmt wird, unvermeidbar, daß ein gewisser Fehler auftritt, da der Block von der Bestimmungseinheit für die optimale Mittenachse transportiert wird, um ihn in die außenzylindrische Schleifeinheit mittels der Einrichtung der Einsetzeinheit zu transportiern, so daß eventuell die Achse, um die der Block zum Schleifen gedreht wird, nicht mit der ermittelten optimalen Mittenachse übereinstimmt.
• Die Erfindung, die in den Ansprüchen 1 und 5 angegeben ist, wurde im Hinblick auf eine Lösung dieser Probleme gemacht. Es ist deshalb eine Aufgabe der Erfindung, eine außenzylindrische Schleifeinheit zu schaffen, die mit Funktionen der Bestimmung einer optimalen Mittenachse eines Blocks und der Ausrichtung des Blocks in der Schieifstellung mit hoher Genauigkeit ausgestattet ist.
• Zunächst wird der Aufbau einer Ausführungsform der außenzylindrischen Schleifeinheit gemäß der Erfindung unter Bezugnahme auf die Figuren 1 und 2 erläutert.
• Fig. 1 zeigt eine perspektivische Ansicht einer außenzylindrischen Schleifeinheit der Erfindung. Fig. 2 zeigt eine vertikale Längsschnittdarstellung derselben außenzylindrischen Schleifeinheit. In diesen Figuren bezeichnet das Bezugszeichen 2 einen Träger, der horizontal an einem Sockel 3 befestigt ist. Ein stationärer Lagerträger 4 und ein beweglicher Lagerträger 14, die jeweils aus einem horizontalen Teil und einem vertikalen Teil bestehen, sind an dem Träger 2 vorgesehen. Der stationäre Lagerträger 4 ist unbeweglich an dem Träger 2 befestigt. Der bewegbare Lagerträger 14 ist mit vier Gleitfüßen 6 versehen, die gleitend mit einem Paar parallel er Schienen 5 in Eingriff stehen, die auf den Träger 2 gelegt sind. Die Schienen 5 erstrecken sich in der Richtung parallel zu der Papierebene der Fig. 2. Deshalb ist der bewegbare Lagerträger 14, der dem stationären Lagerträger 4 gegenüberliegt, für eine Bewegung zu sowie von dem stationären Lagerträger 4 weg geeignet. Ein Luftzylinder 7 ist an dem horizontalen Teil des bewegbaren Lagerträgers 14 befestigt und eine Stange 7a, die sich von dem Luftzylinder 7 erstreckt, ist über ein Paar Schrauben mit einem stationären Träger 8 verbunden. Der stationäre Träger 8 ist fest an den Schienen 5 über die Einrichtung einer Schraube 9 befestigt.
• Eine hohle Spannweile 10 ist horizontal in dem vertikalen Teil des stationären Lagerträgers 4 über zwei Lager 11 aufgenommen. Die Spannwelle 10 kann sich frei in den Lagern 11 drehen, sie kann sich allerdings nicht in ihrer axialen Richtung verschieben. Ein Zahnrad 32 ist an dem hinteren Ende der Spannwelle 10 befestigt und dieses Zahnrad 32 steht mit einem Zahnrad 31 in Eingriff, das an dem Ende einer Antriebsweile eines Schrittmotors 30 befestigt ist, der an dem stationären Lagerträger 4 vorgesehen ist. Eine hohle Spannweiie 20 ist horizontal in dem vertikalen Teil des bewegbaren Lagerträgers 14 über zwei Lager 21 aufgenommen. Die Spannwelle 20 kann sich frei in den Lagern 21 drehen, sie kann sich allerdings nicht in ihrer axialen Richtung verschieben.
• Eine einzelne Schiene 15 ist auf einen Block aufgelegt, der an dem stationären Lagerträger 4 befestigt ist. Die Schiene 15 erstreckt sich in einer Richtung normal zu der Ebene des Papiers der Fig. 2. Ein Gleitteil 16 steht gleitend mit der Schiene 15 in Eingriff. Ein Luftzylinder 12 ist fest an dem Gleitteil 16 befestigt und die Stellung des Luftzylinders 12 ist so angeordnet, daß ein Einstelistab 13, der sich von dem Luftzylinder 12 erstreckt, in die hohle Spannwelle 10 koaxial eintritt. Ein Arm 17 ist integral an der linken Seite des Gleitteils 16 aus Sicht der Fig. 2 vorgesehen und der Arm 17 besitzt eine schräg zulaufende Öffnung, durch die eine im wesentlichen lange Kugelumlaufspindel 19 geschraubt in Richtung normal zu der Papierebene der Fig. 2 hindurchgeführt ist. Die Kugelumlaufspindel 19 wird über die Einrichtung eines Schrittmotors 18 gedreht.
• Eine einzelne Schiene 25 ist auf einen Block aufgelegt, der auf dem bewegbaren Lagerträger 14 befestigt ist. Die Schiene 25 erstreckt sich in einer Richtung normal zu der Papierebene der Fig. 2. Ein Gleitteil 26 steht gleitend mit der Schiene 25 in Eingriff. Ein Luftzylin der 22 ist fest an dem Gleitteil 26 befestigt und die Stellung des Luftzylinders 22 ist derart, daß eine Einstellstange 23, die sich von dem Luftzylinder 22 erstreckt, in die hohle Spannwelle 20 koaxial eintritt. Ein Arm 27 ist integral an der rechten Seite des Gleitteils 26 aus Sicht der Fig. 2 vorgesehen und der Arm 27 besitzt eine Schräg zulaufende Öffnung, durch die eine Kugelumlaufspindel 29 geschraubt in Richtung normal zu der Papierebene der Fig. 2 hindurchgeführt ist. Die Kugelumlaufspindel 29 wird über die Einrichtung eines Schrittmotors 28 gedreht.
• Die hohlen Spannwellen 10, 20 und die Einstellstangen 13, 23 bilden ein Tragesystem zum Tragen eines Werkstücks W, z. B. eines Halbleiterstabs; die Schrittmotoren 18, 28 und 30 bilden ein Ausrichtungssystem; und die Luftzylinder 7, 12 und 22 bilden ein Antriebssystem.
• Wie in Fig. 1 gezeigt ist, ist ein Paar Stützenteile 33, 33 vorgesehen, deren vordere Teile so angeordnet sind, daß sie über dem Werkstück W hängen. Die Vorderteile jedes Stützenteiis 33 besitzen eine vertikale Ausnehmung, durch die ein horizontaler Führungshebel 34 gehalten wird. Der horizontale Führungshebei 34 kann vertikal entlang der Ausnehmungen der Stützenteile 33, 33 gleiten. Der Führungshebel 34 besitzt eine horizontale Ausnehmung und drei Anzeigeteile 35, die gleitend durch den Führungshebei 34 derart gehalten sind, daß die Gleitteile in der horizontalen Ausnehmung gleiten können. Jedes dieser Anzeigeteiie 35 ist für eine Messung der Abmessung des Querschnitts des Werkstücks W geeignet, da es sich unmittelbar unterhalb des Anzeigeteils 35 befindet. Diese Anzeigeteile 35 bilden ein Meßsystem.
• Eine außenzylindrische Schieifeinheit 1 ist mit einem Rechensystem ausgestattet, um arithmetisch die Stellung einer optimalen Mittenachse des zylindrischen Werkstücks W basierend auf den Daten der Querschnitte des Werkstücks W, die durch das Meßsystem gemessen werden, herauszufinden. Dieses Rechensystem besteht aus einer CPU 36, einem CRT 37 usw., wie dies in Fig. 1 dargestellt ist.
• Als nächstes werden unter Bezugnahme auf die Figuren 3 bis 9 die Betriebsweisen der außenzylindrischen Schleifeinheit erläutert.
• Zuerst wird das zylindrische Werkstück W zwischen den Spannwellen 10 und 20 eingespannt, wie dies in Fig. 5 dargestellt ist (Verfahrensschritt 1 der Fig. 3). Dieses Spannen wird durch Betätigung des Luftzylinders 7 derart ausgeführt, daß die Stange 7a herausgedrückt wird, wodurch der bewegbare Lagerträger 14, nach links aus Sicht der Fig. 2, entlang der parallelen Schienen 5, 5 verschoben wird. Die Spannwelle 20 an dem bewegbaren Lagerträger 14 drückt das Werkstück W nach links, so daß das linke Ende des Werkstücks W an die Spannwelle 10 des stationären Lagerträgers 4 gedrückt wird, wodurch das Werkstück W fest zwischen den Spannwellen 10 und 20 eingespannt wird. Nebenbei angemerkt nehmen in diesem Verfahrensschritt 1 die Einstelistangen 13 und 23 die am weitesten zurückgezogene Stellung an, so daß sie nicht mit dem Werkstück W in Berührung gelangen, wie dies in Fig. 5 dargestellt ist.
• Als nächstes wird der Schrittmotor 30 betätigt, um dessen Welle anzutreiben, wodurch das Drehmoment auf die Spannwelle 10 über die Zahnräder 13 und 32 übertragen wird. Da sich die Spannwelle 10 dreht, dreht sich das Werkstück W zusammen mit der anderen Spannwelle 20. Demzufolge wird das Werkstück W um 360º gedreht und zwischenzeitlich messen die Anzeigeteile 35 die Abmessung der entsprechenden Querschnitte des Werkstücks W, die sich gerade unterhalb von diesen befinden (Verfahrensschritt 2 der Fig. 3). Die Daten der Abmessung der Querschnitte werden der CPU 36 des Rechensystems zugeführt, wo die optimale Mittenachse des zylindrischen Werkstücks W durch eine Berechnung entsprechend einem bekannten Verfahren zum Ermitteln der Mitte des größten Kreises, der durch den Umfang eines Schnittpunktdiagramms einer Vielzahl von geschlossenen Figuren umschrieben wird (Verfahrensschritt 3 der Fig. 3) erhalten wird. Das Ergebnis der Berechnung wird auf der CRT 37 dargestellt.
• Nachdem die optimale Mittenachse des Werkstücks W derart bestimmt ist, wird das Werkstück W so ausgerichtet, daß dessen ermittelte Mittenachse mit der Drehachse, um die das Werkstück W zum Schleifen gedreht wird, übereinstimmt, wobei dies die gemeinsame Achse der Spannwellen 10 und 20 ist, und dieser Ausrichtvorgang wird ohne Entfernung des Werkstücks W von der außenzylindrischen Schleifeinheit 1 durchgeführt, wobei jedoch das Ausrichtungssystem nach dem nachfolgenden Verfahren betätigt wird.
• Wie in Fig. 4 gezeigt ist, wird ein Polarkoordinatensystem, dessen Ursprung 0 (0, 0) mit der Drehachse übereinstimmt, in dem Rechensystem gespeichert. Nun wird hier angenommen, daß als Ergebenis der Berechnung durch die CPU 36 herausgefunden wurde, daß die optimale Mittenachse des Werkstücks W mit einem Punkt P der Koordinaten (r, θ) in dem Polarkoordinatensystem übereinstimmt. Dann wird, mit den Spannwellen 10 und 20, die das Werkstück W spannen, wie dies in Fig. 5 gezeigt ist, der Schrittmotor 30 betätigt, um das Werkstück W um einen Winkel θ derart zu drehen, daß die optimale Mitte nun die Polarkoordinaten P' (r, 0) (Verfahrensschritt 4 der Fig. 3) annimmt.
• Als nächstes wird der Luftzylinder 22 derart betätigt, daß die Einstelistange 23 herausgedrückt und unter Druck gegen das rechte Ende des Werkstücks W gehalten wird; dann wird der Luftzylinder 7 derart betätigt, daß die Stange 7a eingezogen wird, wodurch der bewegbare Lagerträger 14 nach rechts entlang der Schiene 5 aus Sicht der Fig. 2 verschoben wird und demzufolge löst sich die Spannwelle 20 von dem rechten Ende des Werkstücks W, allerdings verbleibt die Einstellstange 23 dahingehend, das Werkstück W so zu drücken, daß das Werkstück W nun zwischen der Einstellstange 23 und der Spannwelle 10 eingespannt wird, wie dies in Fig. 6 gezeigt ist (Verfahrensschritt 5 der Fig. 3).
• Danach wird der Luftzlinder 12 gesteuert derart betätigt, daß die Einstelistange 13 herausgeschoben wird und gegen das linke Ende des Werkstücks W mit einer Kraft P&sub1; gedrückt wird, die größer als eine Kraft P&sub2; ist, mit der die Einstellstange 23 gegen das Werkstück W drückt, wodurch das Werkstück W nach rechts aus Sicht der Fig. 7 verschoben wird. Wenn das Werkstück ausreichend derart verschoben worden ist, daß es nur durch die Einstellstangen 13 und 23 eingespannt wird, wie dies in Fig. 7 gezeigt ist, wird der Luftzylinder 12 derart gesteuert, daß die Kraft, mit der die Einstellstange 13 gegen das Werkstück W drückt, auf P&sub2; verringert wird, wodurch die Druckkräfte der Einsteilstangen 13 und 23 ausbalanciert sind und das Werkstück W so verbleibt, wie dies in Fig. 7 gezeigt ist.
• Als nächstes werden die Schrittmotoren 18 und 28 gleichzeitig betrieben, um die Kugelumlaufspindeln 19 und 29 zu drehen, bis die Luftzylinder 12 und 22 an den entsprechenden Schienen 15, 25 in der Richtung normal zu der Papierebene der Fig. 4 durch einen geringen Abstand r verschoben sind, wodurch das Werkstück W auch um den Abstand r derart bewegt wird, daß sich die optimale Mittenachse bei P' (r, 0) zu dem Ursprung 0 (0, 0) verschoben wird, um die Ausrichtung zu erhalten (Verfahrensschritt 7 der Fig. 3).
• Danach wird der Luftzylinder 12 derart betätigt, daß die Einstellstange 13 zurückgezogen wird, um zu ermöglichen, daß die Einstellstange 23 das Werkstück W zu der Spannwelle 10 hin drückt, und wenn die Einstellstange 13 weiter zurückgezogen wird, um sich von dem Werkstück W zu lösen, wird das Werkstück W durch die Spannwelle 10 und die Einstellstange 23 eingespannt, wie dies in Fig. 8 dargestellt ist.
• Als nächstes wird der Luftzylinder 7 derart betätigt, daß die Stange 7a ausgeschoben wird, wodurch der bewegbare Lagerträger 14 so gedrückt wird, daß er nach links aus Sicht der Fig. 2 auf den Schienen 5 gleitet und demzufolge die Spannwelle 20 dahingehend geiangt, daß sie auf die rechte Endfläche des Werkstücks W drückt. Dann wird der Luftzylinder 22 derart betätigt, daß die Einstellstange 23 zurückgezogen wird, um sich von der rechten Endfläche des Werkstücks W zu lösen. Demzufolge wird das Werkstück W wieder durch und zwischen die Spannwellen 10 und 20 verspannt, wie dies in Fig. 9 dargestellt ist (Verfahrensschritt 9 der Fig. 3).
• Mit dem Werkstück W in dieser Ausrichtung wird der Schrittmotor 30 so betrieben, daß das Drehmoment auf das Werkstück W über die Zahnräder 31 und 32 übertragen wird, und dadurch wird das Werkstück W um dessen optimale Mittenachse gedreht, und dann ist es möglich, das Werkstück W in einer solchen Art und Weise zu schleifen, daß der sich ergebende kreisförmige, zylindrische Körper des Werkstücks W den größtmöglichen Durchmesser haben wird (Verfahrensschritt 10 der Fig. 3).
• Wie vorstehend beschrieben ist, ist die außenzyiindrische Schleifeinheit 1 der Erfindung für eine automatische Ermittlung der optimalen Mittenachse des Werkstücks W und für eine Ausrichtung des Werkstücks W in der optimalen Schieifstellung geeignet, so daß, falls das Werkstück W in die außenzylindrische Schleifeinheit 1 eingesetzt wird, es möglich ist, kontinuierlich die Betriebsweisen vom Zentrieren bis zum Schleifen des Werkstücks W ohne eine Entnahme des Werkstücks W aus der außenzylindrischen Schleifeinheit 1 durchzuführen. Demzufolge besteht kein Erfordernis einer Installation einer gesonderten Einheit zur Zentrierung eines Werkstücks oder eine gesonderte Einheit zum Einsetzen des Werkstücks in die Schleifeinheit. Deshalb kann der Installationsraum verringert werden. Auch ist es möglich, Fehler in der Ausrichtung zu vermeiden, die während des Transports des Werkstücks W von einer Einheit zu einer anderen auftreten, so daß ein hochgenaues Schleifen erhalten wird.

Claims (5)

1. Außenzylindrische Schleifeinheit (1), die ein Schleifsystem umfaßt, gekennzeichnet durch:

(i) ein Trägersystem zum Tragen eines zylindrischen Körpers (W), der geschliffen werden soll, das umfaßt

(a) ein Paar koaxialer, rohrförmiger Spanneinrichtungen (10, 20), die dazu geeignet sind, den zylindrischen Körper zwischen deren Enden zu spannen und um deren gemeinsame Achse zu drehen, und

(b) ein Paar von stangenförmigen Einrichtungen (13, 23), die dazu geeignet sind, sich umkehrend durch den Hohlraum der entsprechenden, rohrförmigen Spanneinrichtung zu bewegen und die Bewegung in einer Richtung normal zu deren Achsen zu übertragen;

(ii) ein Meßsystem (35), das eine Mehrzahl Sensoren umfaßt, die dazu geeignet sind, die Abmessungen von Querschnitten des zylindrischen Körpers an unterschiedlichen Stellen entlang der Achse zu messen;

(iii) ein Rechensystem (36, 37) zur Berechnung einer optimalen Mittenachse des zylindrischen Körpers basierend auf den Abmessungen der Querschnitte, die durch die Sensoren gemessen werden;

(iv) ein Ausrichtungssystem (18, 28, 30) zur Ausrichtung der optimalen Mittenachse des zylindrischen Körpers mit der gemeinsamen Drehachse der rohrförmigen Spanneinrichtungen, wobei das Ausrichtungssystem umfaßt:

(a) eine erste Antriebseinrichtung, die für ein steuerbares Drehen mindestens einer der rohrförmigen Spanneinrichtungen geeignet ist,

(b) zwei zweite Antriebseinrichtungen, die für eine steuerbare übertragung der Bewegung der entsprechenden Stangeneinrichtung in einer Richtung normal zu der Achse der entsprechenden Stangeneinrichtung geeignet sind; und

(v) ein Antriebssystem (7, 12, 22) mit:

(a) einer dritten Antriebseinrichtung, die dazu geeignet ist, mindestens eine der rohrförmigen Spanneinrichtungen in der axialen Richtung zu bewegen,

(b) zwei vierte Antriebseinrichtungen, die dazu geeignet sind, steuerbar die entsprechende Stangeneinrichtung in der axialen Richtung zu bewegen.

2. Außenzylindrische Schleifeinheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Paar der Stangeneinrichtungen des Trägersystems dazu geeignet ist, eine Bewegung in der horizontalen Richtung normal zu deren Achsen zu übertragen.

3. Außenzylindrische Schleifeinheit nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Rechensystem eine CPU (36) und eine CRT (37) umfaßt.

4. Außenzylindrische Schleifeinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Rechensystem Daten speichert, die ein Polarkoordinatensystem darstellen, dessen Ursprung mit der gemeinsamen Achse der rohrförmigen Spanneinrichtung, um die der zylindrische Körper zum Schleifen gedreht wird, und der Stelle der optimalen Mittenachse des zylindrischen Körpers, die berechnet wird, übereinstimmen, die in Daten der Polarkoordinaten gespeichert werden.

5. Verfahren zur Ausrichtung einer optimalen Mittenachse eines zylindrischen Körpers mit der gemeinsamen Drehachse der rohrförmigen Spanneinrichtungen der außenzylindrischen Schieifeinheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die rohrförmigen Spanneinrichtungen und die Stangeneinrichtungen wie folgt betrieben werden:

der zylindrische Körper wird durch unterschiedliche Kombinationen dieser Einrichtungen in der nachfolgenden Reihenfolge verspannt, (1) durch ein Paar von rohrförmigen Spanneinrichtungen, (2) durch eine rohrförmige Spanneinrichtung und die gegenüberliegende Stangeneinrichtung, (3) durch das Paar der Stangeneinrichtungen, (4) durch dieselbe Kombination wie (2) und abschließend (5) durch das Paar der rohrförmigen Spanneinrichtungen; und

wobei der zylindrische Körper gesteuert gedreht wird, wenn er durch das Paar der rohrförmigen Spanneinrichtungen im Verfahrensschritt (1) verspannt wird, und wobei der zylindrische Körper in einer Richtung normal zu seiner Achse bewegt wird, wenn er durch das Paar der Stangeneinrichtungen im Verfahrensschritt (3) verspannt wird.