DE679330C

DE679330C - Elektronenmikroskop, bei dem Elektronen aussendende Substanzen in vergroessertem Massstabe abgebildet werden

Info

Publication number: DE679330C
Application number: DEK143449D
Authority: DE
Original assignee: FRITZ HOUTERMANS DR; MAX KNOLL DR ING; WERNER SCHULZE DIPL ING
Current assignee: FRITZ HOUTERMANS DR; MAX KNOLL DR ING; WERNER SCHULZE DIPL ING
Priority date: 1932-03-16
Filing date: 1932-03-17
Publication date: 1939-08-02

Description

Elektronenmikroskop, bei dem Elektronen aussendende Substanzen in vergrößertem Maßstäbe abgebildet werden Die Erfindung bezieht sich auf ein Elektronenmikroskop, bei dem Elektronen aussendende Substanzen in vergrößertem Maßstäbe abgebildet werden, und besteht darin, daß die von der zu untersuchenden Substanz ausgesandten Elektronen durch Bestrahlung der Substanz mit Elektronen-, Licht- oder Röntgenstrahlen erzeugt werden.
Die Erfindum..g ist in der Zeichnung beispIelsweise dargestellt.
Abb. i zeigt Bein Elektronennukroskop mit einer Anordnung zur lichtelektrischen Auslösung der Elektronen.
Abb.2 zeigt eine Anordnung, bei welcher die von der Oberfläche der zu untersuchenden Substanz ausgesandten Elektronen durch Bestrahlung der Oberfläche mittels Elektronen erzeugt werden.
Bei dem in Abb. i dargestellten Elektronenmikroskop bedeutet i die zu untersuchende Substanz. Diese Substanz i sendet infolge Bestrahlung mit Lichtstrahlen Elektronen aus und wirkt als Kathode. 13 ist ,ein die Kathode i urangebender auf Kathodenpotential befindlicher Schutzring, welchereine Hilfselektrode bildet und das Auftreten von inhomogen.en Feldern in der Nähe der abzubildenden Oberfläche verhindert. 5 ist die rohrförnüg ausgebildete Anode. Das Bild der Kathode entsteht. auf dem Beobachtungs-,schirm 6. 8 und 9 sind die zur Abbildung dienenden Sammelspulen, die in Kardanringen io aufgehängt und zur Verringerung ihres Streufeldes mit einem geschlitzten Eisenmantel i i versehen sind. Als Okularmikrometer zum Ausmessen der beobachteten Erscheinungen dient ein Kontrollnetz 12 in der Zwischenbildebene der Sammelspule 9. Von einer seitlichen Lichtquelle 36 wird mittels einer Linse 37 ein Lichtstrahlenbündel gesammelt, durch eine öffnung 38 der rohrförmigen Anode 5 auf die Oberfl'ä'che der zu untersuchenden Substanz i ge%vorfen und löst dort an der Oberfläche Elektronen aus, durch 1velche mittels der oben beschriebenen Einrichtung auf dem Beobachtungsschirm 6 eine vergrößerte Abbildung der Kathode i hervorgerufen wird. Die Auslösung der Elektronen in der zu untersuchenden Substanz kann auch statt durch Lichtstrahlen durch Röntgenns!trahlen bewirkt werden.
Abb.2 gibt eine Anordnung zur Untersuchung . von Substanzob.erfläeien mittels Elektronenstrahlung wieder. Der Strahlwird in einem seitlichen Rohransatz durch die Hilfskathode 3I und die Hilfsanode 32 erzeugt und in Richtung auf die Gegenstandsober$äche 33 besalileunigt. Das von dieser konzentrisch zur Anode 35 austretende Strahl-.bündel wird nach Durchlaufen eines beschleunigenden Homogenisierungsfeldes 34. mit Hilfeeiner Elektronenlinse zur vergrößerten Abbildung von 33 verwendet.

Claims

13ATLNTANSPhl7CIl1;: i. Elektronenmikroskop, bei dem Elektronen aussendende Substanzen in vergrößertem Maßstäbe abgebildet werden, dadurch gekennzeichnet, daß die von der zu untersuchenden Substanz ausgesandten Elektronen durch Bestrahlung der Substanz mit Elektronen-, Licht- oder Röntgenstrahlen erzeugt werden.

2. Elektronenmikroskop nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß in der Nähe der abzubildenden Oberfläche Hilfselektroden angeordnet sind, durch welche inhomogene Felder in der Nähe der abzubildenden Oberfläche vermieden @v,exden.