DE659813C - Verfahren zur Herstellung von Oxydulschichten - Google Patents
Verfahren zur Herstellung von OxydulschichtenInfo
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- DE659813C DE659813C DE1930659813D DE659813DD DE659813C DE 659813 C DE659813 C DE 659813C DE 1930659813 D DE1930659813 D DE 1930659813D DE 659813D D DE659813D D DE 659813DD DE 659813 C DE659813 C DE 659813C
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/16—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising cuprous oxide or cuprous iodide
- H01L21/161—Preparation of the foundation plate, preliminary treatment oxidation of the foundation plate, reduction treatment
- H01L21/164—Oxidation and subsequent heat treatment of the foundation plate
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Oxydulschichten, vorzugsweise
auf Kupferplatten. Derartige Platten finden beispielsweise Anwendung für die Herstellung
von Trockengleichrichtern.
Die üblichen Verfahren zur Herstellung von Oxydulschichten gestatten es nicht, den Überzug
in der gewünschten Gleichmäßigkeit und Reinheit zu erzielen. Diese üblichen Verfahren
gehen davon aus, daß man die Platten, z. B. Kupferplatten, in einem Ofen unter Wärmezufuhr von außen auf Glühtemperatur
erhitzt. Dabei ist es auch vorgeschlagen worden, die zu überziehende Platte im Ofen als
Elektrode in dem Stromkreis einer äußeren Stromquelle zu verwenden, der über die
glühende Gasstrecke des Ofens geschlossen wird. Bei allen diesen bekannten Verfahren
läßt es sich nicht vermeiden, daß die Schichten neben dem Oxydul noch Oxyd enthalten,
das die Wirkung beeinträchtigt.
Andererseits ist aus der Herstellung von lichtele'ktrischen Zellen bekannt, die Alkalimetalle
nicht direkt auf die metallischen Träger niederzuschlagen, sondern auf diesen vorher
eine Oxydschicht zu bilden. Die Metallplatte, ζ. B. eine Silber-, Nickel- oder Kupferplatte,
wird dadurch an der Oberfläche in die entsprechenden Oxyde übergeführt, daß man dieselbe als Elektrode eines* Hochspannungs-Hochfrequenzwechselstromkreises
in einer Sauerstoffatmosphäre verringerten Druckes ausbildet und sie mittels dieses hochgespannten
Hochfrequenzstromes dann zum Glühen bringt.
Die Herstellung der Oxydulschichten der Platten erfolgt in einer reinen Sauerstoffatmosphäre
verringerten Druckes, und zwar wird gemäß der Erfindung zwischen der zu überziehenden
Platte und einer anderen Elektrode eine Glimmentladung ohne Glühen der zu überziehenden Elektrode eingeleitet. Die
Stromdichte wird dabei auf etwa 1 bis S mA/cm2 Kathodenfläche gehalten. Die
Glimmentladung kann in einem normalen Gleichstrom- oder Wechselstromkreis erfolgen.
Bei Verwendung von Wechselstrom kann auch die zweite Elektrode aus einer zu überziehenden
Platte bestehen.
Falls das Überziehen mit Oxydul im Gleich-Stromkreis erfolgen soll, wird die Kupferplatte
als Kathode der Entladestrecke angeordnet. Im Wechselstromkreis dagegen bildet sich an
beiden Flächen, zwischen denen die Glimmentladung erfolgt, die Oxydulschicht.
Im praktischen Betriebe hat sich im Entladungsraum ein Gasdruck zwischen α, ι und
5 mm Hg als zweckmäßig erwiesen. Naturgemäß wird im Betriebe Sauerstoff verbraucht,
und es muß dafür gesorgt werden,
*) Von dem Patentsucher ist als der Erfinder angegeben worden:
Heinrich Peters in Rheyät.
daß unter Aufreehterhaltung des Gasdruckes
der verbrauchte Sauerstoff ständig ersetzt wird.
Das Verfahren gestattet auch, unter
wendung der gleichen Apparatur eine Oxy&ttf-; schicht zwischen zwei Metallschichten
schließen; insbesondere wird zu diesem
gemäß der Erfindung nach Herstellung der Oxydulschicht die Sauerstoffatmosphäre durch
wendung der gleichen Apparatur eine Oxy&ttf-; schicht zwischen zwei Metallschichten
schließen; insbesondere wird zu diesem
gemäß der Erfindung nach Herstellung der Oxydulschicht die Sauerstoffatmosphäre durch
ίο eine reduzierende Atmosphäre, vorzugsweise
Wasserstoffatmosphäre, ersetzt und erneut eine Glimmentladung eingeleitet, durch welche
jetzt die oberste Oxydulschicht zu metallischem Kupfer reduziert wird.
Stattdessen kann man auch auf die Oxydulschicht im gleichen Apparat, in dem die
Oxydulschicht gebildet wurde, durch Kathodenzerstäubung eine zweite Metallschicht
- aufbringen. Je nach dem Material, das für die der zu überziehenden Platte gegenüberliegende
Elektrode verwendet wird, die hierbei als Kathode in einem Gleichstromkreise
arbeitet, kann diese Auftragschicht eine Kupfer- oder andere Metallschicht sein.
Claims (4)
- Patentansprüche:ι . Verfahren zur Herstellung vonOxydulschichten, vorzugsweise auf Kupferplatten, z. B. für Trockengleichrichter, in einer reinen Sauerstoffatmosphäre verringerten Druckes, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der zu überziehenden Platte und einer anderen Elektrode eine Glimmentladung durch Gleichstrom oder Wechselstrom ohne Glühen der zu überziehenden Elektrode und unter Beschränkung der Stromdichte auf etwa 1 bis 5 mA/cm-Kathodenfläche bei einem Gasdruck zwischen etwa 0,1 und 5 mm Quecksilber eingeleitet wird.
- 2. Anordnung zur Ausführung des Verfahrens nach Anspruch ι für den Betrieb im Wechselstrom, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden gegenüberliegenden Elektroden als Kupferplatten ausgebildet sind.
- 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwecks Erzielung einer zwischen zwei Kupferschichten eingebetteten Oxydulschicht im Anschluß an die Glimmentladung in Sauerstoff atmosphäre eine Glimmentladung in reduzierender (Wasserstoff-) Atmosphäre bewirkt wird, durch welche die oberste Oxydulschicht zu metallischem Kupfer reduziert wird.
- 4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf die Oxydulschicht der überzogenen Platte im gleichen Apparat das Metall einer gegenüberliegenden Elektrode durch Kathodenzerstäubung in an sich bekannter Weise aufgebracht wird.«F.niirCKT in nun
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE659813T | 1930-11-15 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE659813C true DE659813C (de) | 1938-05-11 |
Family
ID=6919532
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1930659813D Expired DE659813C (de) | 1930-11-15 | 1930-11-15 | Verfahren zur Herstellung von Oxydulschichten |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE659813C (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3337438A (en) * | 1963-10-23 | 1967-08-22 | Bell Telephone Labor Inc | Stabilization of silicon semiconductor surfaces |
-
1930
- 1930-11-15 DE DE1930659813D patent/DE659813C/de not_active Expired
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3337438A (en) * | 1963-10-23 | 1967-08-22 | Bell Telephone Labor Inc | Stabilization of silicon semiconductor surfaces |
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