DE60306682D1 - Eine haftschicht umfassende mikrostruktur und verfahren zur herstellung einer solchen mikrostruktur - Google Patents
Eine haftschicht umfassende mikrostruktur und verfahren zur herstellung einer solchen mikrostrukturInfo
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- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 abstract 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 abstract 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 abstract 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract 1
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- Micromachines (AREA)
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR0216272A FR2849222B1 (fr) | 2002-12-20 | 2002-12-20 | Microstructure comportant une couche d'adherence et procede de fabrication d'une telle microstructure |
FR0216272 | 2002-12-20 | ||
PCT/FR2003/003788 WO2004063817A1 (fr) | 2002-12-20 | 2003-12-18 | Microstructure comportant une couche d'adherence et procede de fabrication d'une telle microstructure |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE60306682D1 true DE60306682D1 (de) | 2006-08-17 |
DE60306682T2 DE60306682T2 (de) | 2007-06-28 |
Family
ID=32406244
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE60306682T Expired - Lifetime DE60306682T2 (de) | 2002-12-20 | 2003-12-18 | Eine haftschicht umfassende mikrostruktur und verfahren zur herstellung einer solchen mikrostruktur |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060105247A1 (de) |
EP (1) | EP1573399B1 (de) |
AT (1) | ATE332518T1 (de) |
DE (1) | DE60306682T2 (de) |
FR (1) | FR2849222B1 (de) |
WO (1) | WO2004063817A1 (de) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20110041925A (ko) * | 2009-10-16 | 2011-04-22 | 삼성전자주식회사 | 이중층 패턴형성용 접착필름, 이의 제조방법, 및 이를 이용한 패턴 접착층의 형성방법 |
JP2014093385A (ja) * | 2012-11-02 | 2014-05-19 | Fujifilm Corp | インプリント用密着膜の製造方法およびパターン形成方法 |
WO2017055334A1 (en) * | 2015-09-28 | 2017-04-06 | Zephyros, Inc. | Adhesive structure with a substrate and an adhesive coating |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2964401A (en) * | 1957-02-18 | 1960-12-13 | Du Pont | Photopolymerizable elements and processes |
DE3702897A1 (de) * | 1987-01-31 | 1988-08-11 | Merck Patent Gmbh | Zweischichtensystem |
JPS63146599A (ja) * | 1986-12-10 | 1988-06-18 | Kyoritsu Kagaku Sangyo Kk | スピ−カのボイスコイルボビン用補強紙 |
DE69127801T2 (de) * | 1990-12-19 | 1998-02-05 | Canon Kk | Herstellungsverfahren für flüssigkeitsausströmenden Aufzeichnungskopf |
JPH06151671A (ja) * | 1992-11-02 | 1994-05-31 | Nitto Denko Corp | リードフレームの画像形成工程におけるレジスト膜画像の除去方法、及びこれに用いる接着剤あるいは接着シート類 |
FR2757961B1 (fr) * | 1996-12-27 | 1999-02-26 | Ecole Polytech | Procede de fabrication de microstructures par conformation multicouche d'une resine photosensible et microstructures ainsi obtenues |
JP2000147778A (ja) * | 1998-11-04 | 2000-05-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光材料 |
DE19955969A1 (de) * | 1999-11-19 | 2001-05-31 | Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh | Verwendung von Polyimid für Haftschichten und lithographisches Verfahren zur Herstellung von Mikrobauteilen |
JP4280574B2 (ja) * | 2002-07-10 | 2009-06-17 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
-
2002
- 2002-12-20 FR FR0216272A patent/FR2849222B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-12-18 EP EP03799622A patent/EP1573399B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-12-18 WO PCT/FR2003/003788 patent/WO2004063817A1/fr active IP Right Grant
- 2003-12-18 AT AT03799622T patent/ATE332518T1/de not_active IP Right Cessation
- 2003-12-18 US US10/538,351 patent/US20060105247A1/en not_active Abandoned
- 2003-12-18 DE DE60306682T patent/DE60306682T2/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2849222B1 (fr) | 2005-10-21 |
FR2849222A1 (fr) | 2004-06-25 |
US20060105247A1 (en) | 2006-05-18 |
EP1573399B1 (de) | 2006-07-05 |
DE60306682T2 (de) | 2007-06-28 |
WO2004063817A1 (fr) | 2004-07-29 |
EP1573399A1 (de) | 2005-09-14 |
ATE332518T1 (de) | 2006-07-15 |
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