ATE332518T1 - Eine haftschicht umfassende mikrostruktur und verfahren zur herstellung einer solchen mikrostruktur - Google Patents

Eine haftschicht umfassende mikrostruktur und verfahren zur herstellung einer solchen mikrostruktur

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ATE332518T1
ATE332518T1 AT03799622T AT03799622T ATE332518T1 AT E332518 T1 ATE332518 T1 AT E332518T1 AT 03799622 T AT03799622 T AT 03799622T AT 03799622 T AT03799622 T AT 03799622T AT E332518 T1 ATE332518 T1 AT E332518T1
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micro
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Marc Rabarot
Jacqueline Bablet
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Commissariat Energie Atomique
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