DE60305044D1 - Verfahren und vorrichtung zur bestimmung von bor bei der röntgenfluoreszenz-spektroskopie - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur bestimmung von bor bei der röntgenfluoreszenz-spektroskopie

Info

Publication number
DE60305044D1
DE60305044D1 DE60305044T DE60305044T DE60305044D1 DE 60305044 D1 DE60305044 D1 DE 60305044D1 DE 60305044 T DE60305044 T DE 60305044T DE 60305044 T DE60305044 T DE 60305044T DE 60305044 D1 DE60305044 D1 DE 60305044D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
bor
determining
ray fluorescence
fluorescence spectroscopy
spectroscopy
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE60305044T
Other languages
English (en)
Other versions
DE60305044T2 (de
Inventor
Yuriy Platonov
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Osmic Inc
Original Assignee
Osmic Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Osmic Inc filed Critical Osmic Inc
Publication of DE60305044D1 publication Critical patent/DE60305044D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE60305044T2 publication Critical patent/DE60305044T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
    • G21K1/06—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diffraction, refraction or reflection, e.g. monochromators
    • G21K1/062—Devices having a multilayer structure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
    • G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
    • G01N2223/076—X-ray fluorescence

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
DE60305044T 2002-09-05 2003-09-03 Verfahren und vorrichtung zur bestimmung von bor bei der röntgenfluoreszenz-spektroskopie Expired - Lifetime DE60305044T2 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US235355 1999-01-21
US10/235,355 US6763086B2 (en) 2002-09-05 2002-09-05 Method and apparatus for detecting boron in x-ray fluorescence spectroscopy
PCT/US2003/027576 WO2004023495A1 (en) 2002-09-05 2003-09-03 Method and apparatus for detecting boron in x-ray fluorescence spectroscopy

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE60305044D1 true DE60305044D1 (de) 2006-06-08
DE60305044T2 DE60305044T2 (de) 2006-11-30

Family

ID=31977548

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE60305044T Expired - Lifetime DE60305044T2 (de) 2002-09-05 2003-09-03 Verfahren und vorrichtung zur bestimmung von bor bei der röntgenfluoreszenz-spektroskopie

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6763086B2 (de)
EP (1) EP1535289B1 (de)
JP (1) JP4280709B2 (de)
AU (1) AU2003270076A1 (de)
DE (1) DE60305044T2 (de)
WO (1) WO2004023495A1 (de)

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6920199B2 (en) * 2002-02-20 2005-07-19 Gkss-Forschungszentrum Geesthacht Gmbh Mirror element for the reflection of x-rays
TWI427334B (zh) 2007-02-05 2014-02-21 Zeiss Carl Smt Gmbh Ｅｕｖ蝕刻裝置反射光學元件
US7508911B1 (en) * 2007-09-19 2009-03-24 General Electric Company X-ray imaging system and methods of using and forming an array of optic devices therein
US7848483B2 (en) * 2008-03-07 2010-12-07 Rigaku Innovative Technologies Magnesium silicide-based multilayer x-ray fluorescence analyzers
NL2002908A1 (nl) * 2008-06-04 2009-12-07 Asml Netherlands Bv Multilayer mirror and lithographic apparatus.
DE102008040265A1 (de) 2008-07-09 2010-01-14 Carl Zeiss Smt Ag Reflektives optisches Element und Verfahren zu seiner Herstellung
US9082521B2 (en) 2009-02-13 2015-07-14 Asml Netherlands B.V. EUV multilayer mirror with interlayer and lithographic apparatus using the mirror
DE102010022851B4 (de) * 2010-06-07 2014-11-13 Siemens Aktiengesellschaft Röntgenstrahlungsvorrichtung zur Erzeugung von quasimonochromatischer Röntgenstrahlung und Radiographie-Röntgenaufnahmesystem
US20150117599A1 (en) 2013-10-31 2015-04-30 Sigray, Inc. X-ray interferometric imaging system
JP6343621B2 (ja) * 2012-11-29 2018-06-13 ヘルムート・フィッシャー・ゲーエムベーハー・インスティテュート・フューア・エレクトロニク・ウント・メステクニク 蛍光ｘ線分析を実施するための方法及びデバイス
DE102013210533A1 (de) * 2013-06-06 2014-12-11 Carl Zeiss Smt Gmbh Spiegel für beuv-licht
US10295485B2 (en) 2013-12-05 2019-05-21 Sigray, Inc. X-ray transmission spectrometer system
USRE48612E1 (en) 2013-10-31 2021-06-29 Sigray, Inc. X-ray interferometric imaging system
US10401309B2 (en) 2014-05-15 2019-09-03 Sigray, Inc. X-ray techniques using structured illumination
WO2016103834A1 (ja) * 2014-12-25 2016-06-30 株式会社リガク 斜入射蛍光ｘ線分析装置および方法
US10295486B2 (en) * 2015-08-18 2019-05-21 Sigray, Inc. Detector for X-rays with high spatial and high spectral resolution
US10247683B2 (en) 2016-12-03 2019-04-02 Sigray, Inc. Material measurement techniques using multiple X-ray micro-beams
JP6937380B2 (ja) 2017-03-22 2021-09-22 シグレイ、インコーポレイテッド Ｘ線分光を実施するための方法およびｘ線吸収分光システム
US10578566B2 (en) 2018-04-03 2020-03-03 Sigray, Inc. X-ray emission spectrometer system
US10989822B2 (en) 2018-06-04 2021-04-27 Sigray, Inc. Wavelength dispersive x-ray spectrometer
CN112470245A (zh) 2018-07-26 2021-03-09 斯格瑞公司 高亮度x射线反射源
US10656105B2 (en) 2018-08-06 2020-05-19 Sigray, Inc. Talbot-lau x-ray source and interferometric system
DE112019004433T5 (de) 2018-09-04 2021-05-20 Sigray, Inc. System und verfahren für röntgenstrahlfluoreszenz mit filterung
WO2020051221A2 (en) 2018-09-07 2020-03-12 Sigray, Inc. System and method for depth-selectable x-ray analysis
DE112020004169T5 (de) 2019-09-03 2022-05-25 Sigray, Inc. System und verfahren zur computergestützten laminografieröntgenfluoreszenz-bildgebung
US11175243B1 (en) 2020-02-06 2021-11-16 Sigray, Inc. X-ray dark-field in-line inspection for semiconductor samples
JP7395775B2 (ja) 2020-05-18 2023-12-11 シグレイ、インコーポレイテッド 結晶解析装置及び複数の検出器素子を使用するｘ線吸収分光法のためのシステム及び方法
JP2023542674A (ja) 2020-09-17 2023-10-11 シグレイ、インコーポレイテッド Ｘ線を用いた深さ分解計測および分析のためのシステムおよび方法
JP2024501623A (ja) 2020-12-07 2024-01-15 シグレイ、インコーポレイテッド 透過ｘ線源を用いた高スループット３ｄ ｘ線撮像システム
US11992350B2 (en) 2022-03-15 2024-05-28 Sigray, Inc. System and method for compact laminography utilizing microfocus transmission x-ray source and variable magnification x-ray detector
US11885755B2 (en) 2022-05-02 2024-01-30 Sigray, Inc. X-ray sequential array wavelength dispersive spectrometer

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19926056B4 (de) * 1999-06-08 2004-03-25 Gkss-Forschungszentrum Geesthacht Gmbh Einrichtung zur Analyse atomarer und/oder molekularer Elemente mittels wellenlängendispersiver, röntgenspektrometrischer Einrichtungen
TWI267704B (en) * 1999-07-02 2006-12-01 Asml Netherlands Bv Capping layer for EUV optical elements
DE19932275B4 (de) * 1999-07-06 2005-08-04 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung zur Röntgenfluoreszenzanalyse
US6396900B1 (en) * 2001-05-01 2002-05-28 The Regents Of The University Of California Multilayer films with sharp, stable interfaces for use in EUV and soft X-ray application
US6643353B2 (en) * 2002-01-10 2003-11-04 Osmic, Inc. Protective layer for multilayers exposed to x-rays

Also Published As

Publication number Publication date
WO2004023495A1 (en) 2004-03-18
EP1535289B1 (de) 2006-05-03
JP4280709B2 (ja) 2009-06-17
JP2006501444A (ja) 2006-01-12
DE60305044T2 (de) 2006-11-30
US6763086B2 (en) 2004-07-13
EP1535289A1 (de) 2005-06-01
US20040047446A1 (en) 2004-03-11
AU2003270076A1 (en) 2004-03-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60305044D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur bestimmung von bor bei der röntgenfluoreszenz-spektroskopie
DE602004024934D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Körperzusammensetzung
DE60128721D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur fluoreszenzlumineszenzmessung
DE60315829D1 (de) Automatisches verfahren und vorrichtung zur bestimmung des zustandes von bohrlochoperationen
ATE352047T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der beschaffenheit von unterwasserreservoirs
DE602004023353D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung des geistigen Zustands
DE60239056D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur bestimmung von bohrwegen zu richtungszielen
DE60322235D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur anzeige von hsdpa-aktivitätsinformationen
DE60207148D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Gewinnung von Zellen
DE60334829D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur assoziierung von maschinen
DE60226674D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Ausrüstung von Bohrlöchern
DE602004029853D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Aufbereitung von Proben
DE60229993D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Ramanverstärkung
DE60311759D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung von Fingerabdrücken
DE60302945D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Detektion von Rissen in Wabenstrukturmaterial
DE60329365D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung von Dokumenten
DE50309469D1 (de) Verfahren und messgerät zur ortung eingeschlossener objekte
DE60304078D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Durchfürung von Interfrequenz-Messungen
DE602004032073D1 (de) Verfahren und Gerät zur Röntgenanalyse
DE60315407D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Komprimierung von Texturen
DE60040239D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur bestimmung von mineralischen bestandteilen in blattförmigem material
DE50312666D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur distanzmessung
DE602004016422D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung von Halbleiterelementen
DE602004016712D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung von Blutkomponenten
DE50304611D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der 3d-position von pkw-insassen

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition