DE60300515T2

DE60300515T2 - Pumpstufe für eine Vakuumpumpe

Info

Publication number: DE60300515T2
Application number: DE60300515T
Authority: DE
Inventors: Roberto Cerruti; Silvio Giors
Original assignee: Varian SpA
Current assignee: Varian SpA
Priority date: 2002-05-06
Filing date: 2003-02-19
Publication date: 2006-02-23
Anticipated expiration: 2023-02-20
Also published as: ITTO20020370A1; EP1361366A3; JP2003322095A; ITTO20020370A0; US20030219337A1; EP1361366B1; US6877949B2; EP1361366A2; DE60300515D1

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Pumpstufe für eine Vakuumpumpe. Insbesondere betrifft die Erfindung eine Pumpstufe für Vakuumpumpen, die als Turbomolekularpumpen bekannt sind.
Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf eine Pumpstufe mit verbesserter Geometrie, die ermöglicht, dass ein optimaler Ausgleich zwischen Auslassdruck und Saugvermögen bei einer Turbomolekularpumpe erzielt wird.
Im Allgemeinen weisen Turbomolekularpumpen zwei unterschiedliche, hintereinandergeschaltete Pumpstufen auf:

– eine erste Gruppe von Stufen, die als Turbomolekularstufen bezeichnet werden, befindet sich im Saug- oder "hohen" Teil der Pumpe; derartige Stufen sind so aufgebaut, dass sie bei sehr niedrigen Drücken, bei Molekularströmung, arbeiten;
– eine zweite Gruppe von Stufen, die als Molekularstufen bezeichnet werden, befindet sich im Auslass- oder "unteren" Teil der Pumpe; derartige Stufen sind so aufgebaut, dass sie bei höherem Druck bis hin zu Bedingungen einer viskosen Strömung arbeiten.

Es ist bekannt, dass gaspumpende Molekularstufen in Turbomolekularpumpen hauptsächlich aus dem Zusammenspiel zwischen den am Pumpgehäuse befestigten Statorringen und den Rotorscheiben erhalten werden, die an einer durch den Pumpmotor in Drehung versetzen Drehwelle befestigt sind und sich integral mit dieser drehen. Entsprechende tangentiale Strömungspumpkanäle, in die durch die Pumpe abzuführendes Gas gepumpt wird, sind zwischen den Statorringen und Rotorringen festgelegt.
Pumpkanäle stehen durch entsprechende axial angeordnete Einlass- und Auslassöffnungen miteinander in Verbindung, so dass die Auslassöffnung in einer Stufe bezüglich der Einlassöffnung in einer zweiten stromabwärtsgelegenen Stufe ausgerichtet ist.
Zwischen den Einlass- und Auslassöffnungen sind die Pumpkanäle ringsum durch einen üblicherweise in den Statorringen ausgebildeten Metallblock oder Baffle, auch "Stripper" genannt, unterbrochen, was Dichtheit zwischen Einlass- und Auslassbereichen vorsieht.
Eines der Probleme, auf das man beim Entwickeln einer Turbomolekularvakuumpumpe stößt, ist die Schwierigkeit des Ausstoßens von Gas gegen den atmosphärischen Druck. Wenn die Pumpe diese Anforderung nicht erfüllen kann, wird generell eine zweite Pumpeinheit am Auslass aus der Hauptpumpe vorgesehen, um zu ermöglichen, dass der angestrebte Druckpegel erreicht wird.
Man hat in der Vergangenheit großen Aufwand betrieben, eine Turbomolekularpumpe zu entwickeln, die ohne Bedarf an einer zweiten Pumpe zu direktem Ausstoß gegen den atmosphärischem Druck in der Lage ist.
Im Namen des Anmelders offenbart die Europäische Patentanmeldung EP-A 692,636 einen Pumpkanal mit einer radialen Verjüngung entlang seines Umfangs. Diese Verjüngung ermöglicht es, die Gasdruckleistung zu erhöhen und den Betriebsbereich der Turbomolekularpumpe zu erweitern.
Bislang wurde nur die Möglichkeit berücksichtigt, den radialen Querschnitt (oder Breite) des Kanals zwischen Einlass- und Auslassöffnung zu variieren, während man die axiale Querschnittsgröße (oder Kanalhöhe) unverändert ließ.
Wie man weiß, ist die Kanalhöhe ein wesentlicher Parameter, der wichtige Eigenschaften, wie z.B. Auslassdruck und Saugvermögen der Pumpstufe, wesentlich und unterschiedlich beeinflusst.
Bei einer Molekularstufe ist insbesondere der maximale Auslassdruck umgekehrt proportional zum Quadrat der Kanalhöhe. Dies führt zum Ausbilden von Pumpkanälen mit kleinstmöglicher Höhe, um einen hohen Auslassdruck zu erzielen.
Auf der anderen Seite ist das Saugvermögen direkt proportional zum Querschnittsbereich des Kanaleinlasses, daher zur Kanalhöhe. Dies würde zur entgegengesetzten Lösung führen, d.h. die Pumpkanäle mit großer Höhe auszubilden.
Bei den vorliegenden Turbomolekularpumpen, insbesondere insofern die Molekularstufen betroffen sind, muss daher ein Ausgleich gefunden werden, bei dem man den maximalen Auslassdruck zugunsten des Saugvermögens oder umgekehrt aufgibt.
Es ist eine Hauptaufgabe der Erfindung, eine Pumpstufe für eine Turbomolekularpumpe zu konstruieren, die einen optimalen Kompromiß ermöglicht, der zwischen Auslassdruck und Saugvermögen erzielt werden soll.
Es ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Molekularstufe für eine Turbomolekularpumpe auszubilden, die in der Lage ist, Gas gegen höheren als den durch die bekannten Pumpstufen erreichbaren Druck auszustoßen.
Es ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Molekularpumpstufe für eine Turbomolekularpumpe auszubilden, die durch einen geringeren Energieverlust bei viskoser Strömung als den durch die bekannten Pumpstufen vorgesehenen Energieverlust gekennzeichnet ist.
Die obigen und weiteren Aufgaben werden durch die Pumpstufe gelöst, die in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung, wie sie in den beigefügten Ansprüchen beansprucht ist, ausgebildet ist.
Die erfindungsgemäße Pumpstufe ist durch eine axiale Verjüngung gekennzeichnet, um zu ermöglichen, dass das Saugvermögen hoch gehalten wird, was vom Querschnittsbereich am Pumpstufeneinlass abhängt, und dass ein beträchtlich höherer Auslassdruck erreicht wird als derjenige, der durch die Verwendung eines Kanals mit einheitlicher Höhe erzielbar ist.
Eine Reihe von Ausführungsbeispielen der Erfindung wird detaillierter mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben, wobei:
1 eine Draufsicht der Pumpstufe gemäß dem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung ist;
2 eine schematische Querschnittsansicht entlang der Linie II-II der in 1 gezeigten Pumpstufe ist;
3 eine schematische, zylindrische Querschnittsansicht der in 1 gezeigten Pumpstufe ist;
3a eine schematische, zylindrische Querschnittsansicht einer Pumpstufe gemäß einem abgewandelten Ausführungsbeispiel der Erfindung ist;
4 eine Draufsicht der Pumpstufe gemäß einem zweiten abgewandelten Ausführungsbeispiel der Erfindung ist;
5 eine teilweise und schematische, zylindrische Querschnittsansicht der in 4 gezeigten Pumpstufe ist;
6 eine Draufsicht der Pumpstufe gemäß einem dritten abgewandelten Ausführungsbeispiel der Erfindung ist;
7 ein Diagramm ist, das den Druckunterschied als eine Funktion des Auslassdruckes für eine Pumpstufe gemäß der Erfindung und einer herkömmlichen Pumpstufe zeigt;
8 ein Diagramm ist, das das Saugvermögen für eine Pumpstufe gemäß der Erfindung und eine herkömmliche Pumpstufe zeigt.
Man beachte, dass in den nachstehend beschriebenen Figuren Teile oder Elemente mit den gleichen Funktionen immer durch die gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet sind, selbst wenn sie zu verschiedenen Ausführungsbeispielen der Erfindung gehören.
Bezugnehmend auf die 1 bis 3 ist eine erfindungsgemäße Molekularpumpstufe, allgemein mit 1 gekennzeichnet, für eine Turbomolekularpumpe schematisch dargestellt.
Die Pumpstufe 1 ist eine sogenannte Molekularpumpstufe nach Gaede, die in die Pumpe stromabwärts der "hohen" oder der bei niedrigeren Drücken arbeitenden Turbomolekularstufen eingefügt werden soll. Wie nachstehend detaillierter erörtert, kann die Erfindung jedoch bei Pumpstufen mit jeder Art von Rotorscheiben, sei es mit Schaufeln ausgestattet oder mit glatten, angewendet werden.
Die Pumpstufe 1 umfaßt einen Tangentialströmungs-Pumpkanal 3 mit C-förmigem Querschnitt, der zwischen einer Rotorscheibe 7, die an der durch den Pumpenmotor gedrehten Welle 5 befestigt ist, und einem mit dem Pumpengehäuse gekoppelten Statorring 11 festgelegt ist.
Eine Einlassöffnung 13, die, wenn überhaupt, mit der stromaufwärts der Stufe 1 gelegenen Pumpstufe oder mit der Saugöffnung der Pumpe in Verbindung steht, sorgt für das Einlassen von Gas in die Stufe 1 und eine Auslassöffnung 15 sorgt für das Auslassen von Gas aus der Stufe 1 in Richtung der nachfolgenden Stufe oder der Auslassöffnung der Pumpe.
Ein Baffle oder Stripper 17 ist zwischen den Öffnungen 13 und 15 angeordnet, um Gasdichtkeit zwischen den Einlass- und Auslassbereichen des Kanals 3 durch eine verringerte Öffnung 19 von wenigen Zehntelmillimetern zwischen den Oberflächen der Rotorscheibe und des Stators vorzusehen.
Der Pumpkanal 3 läuft radial konisch zu und weist bei der Einlassöffnung 13 eine Breite d₁ und bei der Auslassöffnung 15 eine Breite d₂ auf.
Der Pumpkanal 3 läuft auch axial konisch zu: tatsächlich variiert der axiale Abstand zwischen Rotor 7 und Stator 11 entlang des Rotorumfangs und sinkt von einem Wert h₁ bei der Einlassöffnung 13 der Pumpstufe 1 bis zu einem Wert h₂ bei der Auslassöffnung 15 der Stufe 1 ab.
Wie man besser in 3, einer schematischen, zylindrischen Querschnittsansicht der Pumpstufe 1, sehen kann, verringert sich die Pumpkanalhöhe progressiv entlang des Pumpkanals 3 zwischen Einlassöffnung 13 und Auslassöffnung 15.
Man sollte sich bewusst sein, dass beim dargestellten Ausführungsbeispiel das die Höhenvariationen im Pumpkanal 3 beeinflussende Gesetz ein lineares Gesetz ist, das hinsichtlich der Rotorscheibe symmetrisch ist.
Außerdem könnte auch eine Pumpstufe mit einem axial konisch zulaufenden Kanal vorgesehen werden, bei der die Höhe des Pumpkanals 3 gemäß einem Polynom-, Exponential- oder Trigonometriegesetz variiert.
Diesbezüglich zeigt 3a die Entwicklung einer Pumpstufe 1, bei der sich die Höhe des Pumpkanals 3 zwischen Einlassöffnung 13 und Auslassöffnung 15 gemäß einem Exponentialgesetz verringert.
Gleichermaßen könnte eine Pumpstufe vorgesehen werden, bei der, wie im dargestellten Ausführungsbeispiel, der Kanal sowohl axial als auch radial konisch zuläuft oder nur axial konisch zuläuft.
Ferner könnte auch eine Pumpstufe mit einem radial und/oder axial konisch zulaufenden Kanal vorgesehen werden, bei der die Variation hinsichtlich der Rotorscheibe nicht symmetrisch ist. Insbesondere könnte die axiale Verjüngung nur an der einen oder anderen Scheibenseite vorgesehen werden.
Es ist bekannt, dass der Kanal bei Pumpstufen mit großem Durchmesser überlang ist und nicht völlig ausgenutzt werden kann, da das Pumpen jenseits eines bestimmten Grenzabstands ineffektiv wird. Es ist dann vorteilhaft, den Pumpstufenumfang in zwei oder mehrere Abschnitte aufzuteilen und entsprechend viele parallel arbeitende Pumpkanäle auszubilden.
Bezugnehmend auf 4 ist eine Pumpstufe gemäß einer zweiten Variante der Erfindung gezeigt. Diese Variante ist durch das Vorliegen von drei Pumpkanälen 3a, 3b, 3c gekennzeichnet. Jeder der Kanäle 3a, 3b, 3c umfasst eine Einlassöffnung 13a, 13b, 13c und eine Auslassöffnung 15a, 15b, 15c, wobei jede Einlassöffnung mit einem entsprechenden Kanal in der oberen Stufe in Verbindung steht und jede Auslassöffnung mit einem Kanal in der unteren Stufe in Verbindung steht. Ein Stripper 17a, 17b, 17c ist an jeder Auslassöffnung 15a, 15b, 15c vorgesehen und trennt die Auslassöffnung eines Kanals von der Einlassöffnung des folgenden Kanals.
Wie besser aus 5 ersichtlich, die eine schematische zylindrische Querschnittsansicht der in 4 gezeigten Pumpstufe darstellt, bei der nur zwei von drei parallel arbeitenden Pumpkanälen gezeigt sind, verringert sich die Höhe jedes Pumpkanals 3a, 3b, 3c progressiv zwischen der Einlassöffnung 13a, 13b, 13c und der Auslassöffnung 15a, 15b, 15c, wodurch ein sägezahnförmiges Umfangsprofil auf die Pumpstufe 1 übertragen wird.
Wie oben dargelegt, kann die Erfindung bei jeder Pumpstufe Anwendung finden, die mit einer Rotorscheibe ausgestattet ist. Insbesondere kann sie bei einer wie in 6 gezeigten Pumpstufe Anwendung finden, bei der die Rotorscheibe 7, anstelle glatt zu sein, periphere Schaufeln 21 aufweist, die in Ebenen senkrecht zur Ebene der Rotorscheibe 7 liegen. Vorzugsweise sind die Schaufeln gleichmäßig entlang des Umfangs der Scheibe 7 verteilt. Die Verwendung einer derartigen Rotorscheibe hat eine sogenannte "regenerative" Pumpstufe zur Folge: daher kann gemäß der Erfindung eine regenerative Pumpstufe mit axial konisch zulaufendem Kanal ausgebildet werden.
Gemäß jeder Variante der Erfindung tritt das zu pumpende Gas durch die Einlassöffnung 13 in die Pumpstufe 1 ein und wird, während es sich innerhalb des Pumpkanals bis hin zur Auslassöffnung 15 bewegt, durch die das Gas die folgende Pumpstufe oder die Auslassöffnung der Pumpe erreicht, komprimiert.
Unter Bezug auf 7 wird die in der Pumpstufe zwischen Einlass- und Auslassöffnung 13, 15 erzielte Druckdifferenz Δp über den Auslassdruck p_fore aufgetragen. Bei dieser Figur wird die Leistung eines erfindungsgemäßen Pumpkanals mit linear radialer und axialer Verjüngung (Linie P₁) mit der Leistung eines Pumpkanals mit einheitlichem Querschnitt (Linie P₂) verglichen, wobei die Kanäle an der Einlassöffnung der Pumpstufe die gleiche Höhe aufweisen.
Solange der Druck unter 4 mbar liegt, steigt in beiden Fällen die Druckdifferenz Δp linear an, solange der Auslassdruck p_fore steigt, und die zwei Kurven überlappen sich im Wesentlichen. Wenn der Druck p_fore über 4 mbar steigt, findet ein Sättigungsphänomen im Kanal mit einheitlicher Höhe statt und die Druckdifferenz Δp bleibt konstant. Auf der anderen Seite hält beim axial konisch zulaufenden Kanal der lineare Anstieg der Druckdifferenz Δp als eine Funktion des Drucks p_fore mit ungefähr der gleichen Steigung an, und Sättigung tritt bei einem viel höheren Wert von p_fore, ungefähr bei 10 mbar, ein sowie bei einem Druckdifferenzwert Δp, der ungefähr 2,5 mal höher ist wie der Sättigungswert für den Kanal mit einheitlicher Höhe.
8 stellt ein Diagramm dar, das das Saugvermögen V der Pumpstufe als eine Funktion des Auslassdruckes p_fore zeigt, wobei der Saugdruck konstant ist. Auch bei dieser Figur werden die Leistung eines erfindungsgemäßen Pumpkanals mit linear radialer und axialer Verjüngung (Linie V₁) und die Leistung eines Pumpkanals mit einheitlichem Querschnitt (Linie V₂) verglichen, wobei die Kanäle an der Einlassöffnung der Pumpstufe die gleiche Höhe aufweisen.
Wenn die Werte des Drucks p_fore sehr niedrig sind, d.h. unter 2 mbar liegen, ist das Saugvermögen im Pumpkanal mit einheitlichem Querschnitt etwas höher. Außerdem sinkt das Saugvermögen für den Pumpkanal mit einheitlichem Querschnitt schnell, wenn der Druck p_fore über 2 mbar steigt. Auf der anderen Seite bleibt das Saugvermögen beim konisch zulaufenden Pumpkanal bis zu Werten von p_fore um 6 mbar konstant.
Die Diagramme von 7 und 8 stellen deutlich die Vorteile hinsichtlich des höheren Auslassdruckes und des höheren Kompressionsverhältnisses dar, die durch die Erfindung in Bezug auf den herkömmlichen Kanal geboten werden, wobei die axiale und radiale Größe unverändert bleiben.
Ferner hilft die axiale Verjüngung des Pumpkanals 3 bei der Verringerung von Leistungsverlust dank der höheren Leistung hinsichtlich der Kompression und der geringeren Verwirbelungstendenz, was durch eine bessere Steuerung über die Reynolds-Zahl Re = pVh/ηausgedrückt werden kann,
wobei
p = Dichte des gepumpten Gases,
V = durchschnittliche Gasgeschwindigkeit im Pumpkanal,
h = Kanalhöhe,
η = Viskosität des gepumpten Gases.
Die Reynolds-Zahl ist tatsächlich proportional zur Höhe des Pumpkanals und die Variation der Höhe entlang der Pumpstufe 1, insbesondere der Höhenabfall während des Druckanstiegs entlang der Pumpstufe 1, sichert eine bessere Steuerung über die Reynolds-Zahl, besonders bei Druckwerten, die 10 mbar übersteigen, das heißt für Druckwerte, bei denen Verwirbelungseffekte wichtig werden können.

Claims

Pumpstufe (1) für eine Turbomolekularvakuumpumpe, wobei die Pumpstufe aufweist: eine Rotorscheibe (7), die an einer drehbaren Welle (5) befestigt ist, die durch den Pumpenmotor in Drehung versetzt wird; einen an dem Pumpenkörper befestigten Statorring (11), wobei zumindest ein tangentialer Gaspumpkanal (3) mit einem "C"-förmigen Querschnitt zwischen der Rotorscheibe und dem Statorring festgelegt ist; eine Einlassöffnung (13), durch die Gas in den Pumpkanal (3) eingelassen wird; eine Auslassöffnung (15), durch die das Gas aus dem Pumpkanal (3) ausgelassen wird; ein(en) im Pumpkanal (3) zwischen der Einlassöffnung (13) und Auslassöffnung (15) angeordnetes(en) Baffle oder "Stripper" (17), welches(r) die Dichtheit zwischen Gaseinlass und -auslass im Pumpkanal (3) vorsehen soll; dadurch gekennzeichnet, dass die axiale Querschnittsgröße des Pumpkanals, d.h. die Höhe des Pumpkanals in einer zur Pumpwelle parallelen Richtung, entlang des Umfangs des Pumpkanals (3) zwischen der Einlassöffnung (13) und der Auslassöffnung (15) variiert.
Pumpstufe (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der in axialer Richtung gemessene Abstand (h₁, h₂) zwischen der Rotorscheibe (7) und dem Statorring (11) zwischen der Einlassöffnung und der Auslassöffnung bezüglich zumindest einer der Rotorscheibenflächen variiert.
Pumpstufe (1) nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Höhe des Pumpkanals (3) zwischen dem Einlasskanal (13) und dem Auslasskanal (15) abnimmt.
Pumpstufe (1) nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Höhe des Pumpkanals (3) bezüglich beider Rotorscheibenflächen gemäß einem hinsichtlich der Rotorscheibe symmetrischen Profils variiert.
Pumpstufe (1) nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Höhe des Pumpkanals (3) gemäß einem Lineargesetz variiert.
Pumpstufe (1) nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Höhe des Pumpkanals (3) gemäß einem Polynomgesetz variiert.
Pumpstufe (1) nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Höhe des Pumpkanals (3) gemäß einem Exponentialgesetz variiert.
Pumpstufe (1) nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Höhe des Pumpkanals (3) gemäß einem Trigonometriegesetz variiert.
Pumpstufe (1) nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der in radialer Richtung gemessene Abstand (d₁, d₂) zwischen der Rotorscheibe (7) und dem Statorring (11) entlang des Umfangs des Pumpkanals (3) zwischen der Einlassöffnung (13) und der Auslassöffnung (15) variiert.
Pumpstufe (1) nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der radial gemessene Abstand (d₁, d₂) zwischen der Rotorscheibe (7) und dem Statorring (11) und die Höhe (h₁, h₂) des Pumpkanals (3) dieselben Maximalwerte (h₁, d₁) an der Einlassöffnung (13) und dieselben Minimalwerte (h₂, d₂) an der Auslassöffnung (15) aufweisen und entlang des Umfangs des Pumpkanals (3) gemäß demselben Gesetz variieren.
Pumpstufe (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie zwei oder mehr parallel arbeitende Pumpkanäle (3a, 3b, 3c) aufweist, wobei jeder eine Einlassöffnung (13a, 13b, 13c), eine Auslassöffnung (15a, 15b, 15c) und einen die Auslassöffnung des einen Kanals von der Einlassöffnung des folgenden Kanals trennenden "Stripper" (17a, 17b, 17c) umfasst, und dadurch, dass die Höhe der Pumpkanäle (3a, 3b, 3c) zwischen der Einlassöffnung (13a, 13b, 13c) und der Auslassöffnung (15a, 15b, 15c) gemäß demselben Gesetz abnimmt.
Pumpstufe (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Rotorscheibe (7) mit peripheren Schaufeln (21) ausgestattet ist, die sich in Ebenen senkrecht zur Ebene der Rotorscheibe (7) erstrecken und die vorzugsweise gleichmäßig entlang des Scheibenumfangs voneinander beabstandet sind.
Pumpstufe (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass sie einen C-förmigen Querschnitt aufweist, und dadurch, dass die Einlassöffnung (13) und die Auslassöffnung (15) an gegenüberliegenden Seiten der Rotorscheibe angeordnet sind.
Turbomolekularvakuumpumpe mit einer Vielzahl von Pumpstufen mit jeweils: einer Rotorscheibe (7), die an einer drehbaren Welle (5) befestigt ist, die durch den Pumpenmotor in Drehung versetzt wird; einem an dem Pumpenkörper befestigten Statorring (11), wobei zumindest ein Gaspumpkanal (3) zwischen der Rotorscheibe (7) und dem Statorring (11) festgelegt ist; einer Einlassöffnung (13), durch die Gas in den Pumpkanal (3) eingelassen wird; einer Auslassöffnung (15), durch die Gas vom Pumpkanal (3) ausgelassen wird; einem im Pumpkanal (3) zwischen Einlassöffnung (13) und Auslassöffnung (15) angeordneten Baffle oder "Stripper" (17), welches(r) die Dichtheit zwischen Gaseinlass und -auslass in der Pumpstufe vorsehen soll; dadurch gekennzeichnet, dass sie zumindest eine Pumpstufe (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 13 umfasst.
Turbomolekularpumpe nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass sie eine erste Gruppe von Pumpstufen umfasst, die auf der Saugseite der Pumpe angeordnet ist und bei molekularer Strömung arbeiten kann, und eine zweite Gruppe von Pumpstufen, die nachgelagert zur ersten Gruppe angeordnet ist, wobei die zweite Gruppe Gas bei einem zumindest nahe am atmosphärischem Druck liegenden Druck auslassen kann, und dadurch, dass die zweite Pumpstufengruppe Pumpstufen mit axial zulaufendem Kanal aufweist.
Turbomolekularpumpe nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine der Pumpstufen (1) mit einem axial zulaufenden Kanal eine Rotorscheibe (7) aufweist, die mit peripheren Schaufeln (21) ausgestattet ist, die in Ebenen senkrecht zur Ebene der Scheibe (7) liegen und vorzugsweise gleichmäßig entlang des Scheibenumfangs voneinander beabstandet sind.