DE60214186T2 - Verfahren zur Herstellung von optischen Faserkollimatoren im Array - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von optischen Faserkollimatoren im Array Download PDF

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Hiroki Fukuroi TAKAHASHI
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Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Technischer Bereich
  • Die vorliegende Erfindung ist allgemein auf optische Faserkollimatoren im Array und insbesondere auf ein System und auf ein Verfahren zur Herstellung von optischen Faserkollimatoren im Array gerichtet.
  • Technischer Hintergrund
  • Optische Faserkollimatoren im Array werden in optischen Systemen zunehmend genutzt. Zum Beispiel sind optische Faserkollimatoren im Array zur Verwendung in Verbindung mit verschiedenen optischen Chips, z. B. optischen Isolatorchips und optischen Zirkulatorchips, verwendet oder vorgeschlagen worden. Wegen der jüngsten Zunahme des Bedarfs an optischen Vorrichtungen im Array zur Verwendung in dichten Wellenlängenmultiplexsystemen (DWDM-Systemen) wird die Senkung der Kosten optischer Vorrichtungen im Array zunehmend wichtig. Allerdings hängt die Effektivität optischer Vorrichtungen, die Kollimations-Arrays verwenden, welche Gradientenmikrolinsen (GRIN-Mikrolinsen), asphärische Mikrolinsen oder Fesnel-Mikrolinsen enthalten, stark von der Konfiguration eines gegebenen optischen Faserkollimator-Arrays ab. Somit ist es wichtig, das Faserkollimator-Array so zu konfigurieren, dass optische Verluste verringert werden.
  • Das Dokument Han., H., u. a., "Integration of Silicon Bench with Micro Optics", Proceedings of the Spie, Spie, Bellingham, VA, USA, Bd. 3631, Januar 1999, S. 234-243, XP000995170, ISSN: 0277-786X, offenbart ein Verfahren zum aktiven Ausrichten von Komponenten eines optischen Faserkollimators im Array.
  • EP 0619 505 bezieht sich auf einen optischen Kollimator, der ein Array optischer Fasern zum Ausrichten und Fixieren optischer Fasern umfasst, und auf ein Mikrolinsen-Array, das in einer vorgegebenen Entfernung in der Nähe des Arrays optischer Fasern angeordnet ist, und auf ein Verfahren zum Ausrichten optischer Achsen des optischen Kollimators.
  • US 5 815 262 bezieht sich auf eine optische Übertragungsvorrichtung, auf eine Festkörperlaservorrichtung und auf eine Laserstrahl-Verarbeitungsvorrichtung mit der optischen Übertragungsvorrichtung oder mit der Festkörperlaservorrichtung zum Übertragen eines Laserstrahls mit hoher Fokussierbarkeit, die für die Laserstrahlverarbeitung für industrielle Verarbeitungszwecke, für die medizinische Laseranwendung und dergleichen verwendet wird.
  • Es besteht ein Bedarf an einem System und an einem Verfahren zum Ausrichten der Komponenten eines optischen Faserkollimators im Array, das praktisch ist und optische Verluste minimiert.
  • DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung ist auf ein Verfahren zum aktiven Ausrichten von Komponenten eines optischen Faserkollimators im Array gemäß dem Anspruch 1 gerichtet. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird ein erstes Spannelement zum Aufnehmen und Halten eines Array-Blocks optischer Fasern bereitgestellt, der mehrere einzelne optische Fasern aufnimmt und hält. Nachfolgend wird ein zweites Spannelement zum Aufnehmen und Halten eines Mikrolinsen-Array-Substrats bereitgestellt, das mehrere Mikrolinsen, die entlang einer Mikrolinsenoberfläche integriert sind, und eine Substratoberfläche, die der Mikrolinsenoberflächen gegenüberliegt, enthält. Daraufhin wird ein drittes Spannelement zum Aufnehmen und Halten wenigstens eines Abschnitts eines ersten Lichtempfängers bereitgestellt, der so positioniert ist, dass er einen Lichtstrahl von wenigstens einer der integrierten Mikrolinsen empfängt. Nachfolgend wird wenigstens ein Lichtstrahl von der Lichtquelle zu wenigstens einer der mehreren einzelnen optischen Fasern bereitgestellt. Daraufhin wird die relative Position des Mikrolinsen-Array-Substrats und/oder des Array-Blocks optischer Fasern so justiert, dass die Lichtleistung des von dem ersten Lichtempfänger empfangenen Lichtstrahls maximal wird. Schließlich wird durch Fixieren des Array-Blocks optischer Fasern an dem Mikrolinsen-Array-Substrat, wenn die von der integrierten Mikrolinse bereitgestellte Lichtleistung maximal ist, ein fertiger optischer Faserkollimator im Array bereitgestellt.
  • Zusätzliche Merkmale und Vorteile der Erfindung werden in der folgenden detaillierten Beschreibung dargelegt und sind für den Fachmann aus der Beschreibung offensichtlich oder werden durch Verwirklichung der Erfindung, wie sie in der folgenden Beschreibung beschrieben wird, zusammen mit den Ansprüchen und den beigefügten Zeichnungen erkannt.
  • Selbstverständlich ist die vorstehende Beschreibung lediglich beispielhaft für die Erfindung und soll eine Übersicht für das Verständnis des Wesens und des Charakters der Erfindung geben, wie sie durch die Ansprüche definiert ist. Die beigefügten Zeichnungen sind enthalten, um ein weiteres Verständnis der Erfindung zu vermitteln, wobei sie integriert sind und einen Teil dieser Beschreibung bilden. Die Zeichnungen veranschaulichen verschiedene Merkmale und Ausführungsformen der Erfindung, die zusammen mit ihrer Beschreibung zur Erläuterung der Hauptpunkte und des Betriebs der Erfindung dienen.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist eine perspektivische Ansicht einer optischen Vorrichtung im Array gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 2A-2C sind Diagramme eines Aufbaus zum Ausrichten eines Array-Blocks optischer Fasern und eines Mikrolinsen-Array-Substrats;
  • 3 ist eine graphische Darstellung, die den Kopplungsverlust in Abhängigkeit vom Abstand für ein Paar optischer Faserkollimatoren im Array zeigt, deren Komponenten durch eine kollimierte Einmodenfaserprozedur (SMC-Faserprozedur) und durch eine Schrittprozedur gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ausgerichtet wurden;
  • 4 ist ein Blockdiagramm eines Aufbaus zum Ausrichten eines Array-Blocks optischer Fasern mit einem Mikrolinsen-Array-Substrat;
  • 5 ist eine graphische Darstellung, die den Kopplungsverlust in Abhängigkeit vom Abstand unter Verwendung der SMC-Faserprozedur, der Schrittprozedur und der Spiegelprozedur zeigt;
  • 6 ist eine graphische Darstellung, die die Kopplungsverlustzunahme in Abhängigkeit von der Zeit für den Aufbau aus 4 zeigt;
  • 7 ist ein Draufsichtdiagramm, das die Bewegung des Array-Blocks optischer Fasern und des Spiegels aus 4 in Bezug auf das Mikrolinsen-Array-Substrat zeigt;
  • 8 ist ein Blockdiagramm eines weiteren Aufbaus zum Ausrichten von Komponenten eines optischen Faserkollimators im Array gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 9 ist eine graphische Darstellung, die den Kopplungsverlust in Abhängigkeit von der Entfernung für eine Anzahl von Kollimatorpaaren, die unter Verwendung des Aufbaus aus 8 konstruiert sind, zeigt;
  • 10 ist ein Diagramm eines optischen Faserkollimators im Array, der einen gekippten Blindblock mit einer abgeschrägten Oberfläche, die zu einer gekippten Oberfläche des Mikrolinsen-Array-Substrats passt, verwendet;
  • 11 ist eine Seitenansicht eines optischen Faserkollimators im Array, der einen Blindblock mit einer Delle zur Aufnahme einer konvexen Mikrolinse oder einer Beugungsmikrolinse verwendet; und
  • 12 ist eine Seitenansicht eines optischen Faserkollimators im Array, der einen Blindblock mit einer abgeschrägten hinteren Oberfläche enthält, der mit Kollimatoren verwendet wird, die einen kollimierten Lichtstrahl haben, der mit einer Abweichung von wenigen Grad von der optischen Achse der Mikrolinsen ausgerichtet ist.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM(EN)
  • 1 zeigt eine optische Vorrichtung 100 im Array, die einen ersten optischen Faserkollimator 102 im Array und einen zweiten optischen Faserkollimator 112 im Array enthält. Der erste optische Faserkollimator 102 im Array enthält einen ersten Array-Block 104 optischer Fasern, der mehrere optische Fasern 101 hält, und ein erstes Mikrolinsen-Array-Substrat 106, das mehrere Mikrolinsen enthält, die entlang einer Mikrolinsenoberfläche integriert sind. Der zweite optische Faserkollimator 112 im Array enthält einen zweiten Array-Block 114 optischer Fasern, der mehrere zweite optische Fasern 111 hält, und ein zweites Mikrolinsen-Array-Substrat 116, das mehrere Mikrolinsen enthält, die entlang einer Mikrolinsenoberfläche integriert sind. In einer im Substrat 120 gebildeten Nut 118 ist ein optischer Chip (z. B. ein Isolatorchip, ein Zirkulatorchip, ein Filter usw.) 108 gehalten. Sowohl der erste optische Faserkollimator 102 im Array als auch der zweite optische Faserkollimator 114 im Array sind (z. B. mit einem Klebemittel) nach der Ausrichtung in der Weise mit dem Substrat 120 gekoppelt worden, dass sie in Bezug zueinander und zu dem Chip 108 fixiert sind.
  • Übergehend zu 2 ist eine Prozedur zum Ausrichten eines Array-Blocks 202 optischer Fasern, der mehrere optische Fasern 201 (z. B. acht optische Fasern) hält, auf ein Mikrolinsen-Array-Substrat 206 gezeigt. Die Fasern 201 werden mit einer Lichtquelle 214 gekoppelt, die vorzugsweise für jede der Fasern 201 einen Lichtstrahl bereitstellt. Alternativ kann die Lichtquelle 214 nur einen Lichtstrahl für die Fasern 201 an jedem Ende bereitstellen. Wie in 2A gezeigt ist, nimmt ein erstes Spannelement 203 den Block 202 auf und hält ihn, wobei es mit einer Selbstausrichteinrichtung 220 gekoppelt ist, um die Bewegung des Blocks 202 in Bezug auf das Substrat 206 und auf eine kollimierte optische Einmodenfaser (kollimierte optische SMC-Faser) 210 zu ermöglichen. Das Substrat 206 wird mit einem zweiten Spannelement 205 aufgenommen und gehalten, das das Substrat 206 an der Selbstausrichteinrichtung 220 befestigt, die die Bewegung des Substrats 206 durch die Selbstausrichteinrichtung 220 ermöglicht. Die optische SMC-Faser 210 wird mit einem Empfänger 212 gekoppelt und mit einem Spannelement 207 aufgenommen und gehalten. Der Block 202 und das Substrat 206 werden in Bezug zueinander so justiert, dass eine maximale Lichtleistung von jeder Faser 201 und von ihrer entsprechenden Mikrolinse erzielt wird, wie sie durch den Empfänger 212 (durch die optische SMC-Faser 210) gesehen wird. Es ist klar, dass das Erzielen einer optimalen Ausrichtung zwischen den mehreren optischen Fasern 201 des Blocks 202 und den Mikrolinsen des Substrats 206 eine genaue intermittierende Bewegung durch die Selbstausrichteinrichtung 220 erfordert. Wenn eine gewünschte Ausrichtung erzielt worden ist, wird der Block 202 (z. B. mit einem Optikklebemittel) an dem Substrat 206 befestigt, was einen fertigen optischen Faserkollimator 230 im Array bereitstellt, der in Verbindung mit der Prozedur aus 2B genutzt wird.
  • Wie in 2B gezeigt ist, werden die mehreren optischen Fasern 201 des Kollimators 230 mit dem Empfänger 212 gekoppelt. Daraufhin wird der Kollimator 230 durch ein Spannelement 209, das den Kollimator 230 aufnimmt und hält, mit der Selbstausrichteinrichtung 220 gekoppelt. Daraufhin wird mit mehreren optischen Fasern 231, die im Array-Block 232 optischer Fasern gehalten sind, eine Lichtquelle 214 gekoppelt. Daraufhin wird der Array-Block 232 optischer Fasern über das Spannelement 203 mit der Selbstausrichteinrichtung 220 gekoppelt. Daraufhin wird mit der Selbstausrichteinrichtung 220 durch ein Spannelement 205 ein Mikrolinsen-Array-Substrat 236 gekoppelt. Daraufhin werden der Block 232 und das Substrat 236 durch die Selbstausrichteinrichtung 220 so bewegt, dass, wie durch den Kollimator 230 von dem Empfänger 212 erfasst wird, eine optimale Lichtleistungsübertragung durch die optischen Fasern 231, die in dem Block 232 gehalten sind, und durch die Mikrolinsen des Substrats 236 ermöglicht wird. Wenn die maximale Leistungsübertragung erzielt wird, wird der Block 232 (z. B. mit einem Optikklebemittel), wie in 2C gezeigt ist, an dem Substrat 236 fixiert, wobei ein weiterer Kollimator 250 gebildet wird.
  • Wie in 2C gezeigt ist, wird der Kollimator 250 daraufhin unter Nutzung des Spannelements 209 mit der Selbstausrichteinrichtung 220 gekoppelt und durch die mehreren optischen Fasern 231 mit dem Lichtempfänger 212 gekoppelt. Daraufhin wird mit der Selbstausrichteinrichtung 220 durch das Spannelement 203, das den Block 262 aufnimmt und hält, ein Array-Block 262 optischer Fasern gekoppelt, der mehrere optische Fasern 261 hält, die mit der Lichtquelle 214 gekoppelt sind. Daraufhin wird durch ein Spannelement 205, das das Substrat 266 aufnimmt und hält, ein Substrat 266 mit der Selbstausrichteinrichtung 220 gekoppelt. Ähnlich der Prozedur aus 2B werden der Block 262 und das Substrat 266 aufeinander so ausgerichtet, dass durch die Mikrolinse des Substrats 266, wie von dem Lichtempfänger 212 gesehen wird, eine maximale Leistungsübertragung durch den Kollimator 250 bereitgestellt wird. Somit ist eine Prozedur beschrieben worden, in der ein hergestellter Kollimator genutzt wird, um ein nächstes Mikrolinsen-Array-Substrat auf einen nächsten Array-Block optischer Fasern auszurichten, um einen nächsten Kollimator herzustellen.
  • 3 zeigt eine graphische Darstellung, die den Kopplungsverlust eines Paars hergestellter Kollimatoren unter Verwendung der SMC-Faserprozedur und unter Verwendung der oben beschriebenen Schrittprozedur zeigt. Wie in 3 gezeigt ist, war der minimale Kopplungsverlust eines Paars von Kollimatoren, die auf die SMC-Faser ausgerichtet waren, etwa 1,5 dB, wenn ein Kollimator fünf bis sechs Millimeter von dem anderen Kollimator angeordnet wurde, der in der gleichen Weise ausgerichtet wurde. Unter Nutzung eines früher hergestellten Kollimators zum Ausrichten eines nächsten hergestellten Kollimators, wenn der hergestellte Kollimator fünf bis sechs Millimeter von dem anderen Kollimator angeordnet wurde, wurde eine Verringerung um 0,6 dB erzielt. Allerdings kann ohne einen idealen Master-Kollimator eine Fehlausrichtung bleiben, wobei die ersten zwei oder drei Kollimatoren üblicherweise verworfen werden müssen. Ferner ist die Ausrichtung durch die Erfassung des kollimierten Lichtstrahls nicht besonders empfindlich für eine X-, Y- und Z-Achsen-Bewegung, da der kollimierte Lichtstrahl allgemein zum Ausrichten in der Mikrometer- oder Submikrometer- Größenordnung zu weit ist (wobei der Strahldurchmesser in diesem Fall üblicherweise in einem Bereich von 100 bis 140 Mikrometern liegt).
  • 4 zeigt ein alternatives System zum Ausrichten eines Array-Blocks 402 optischer Fasern auf ein Mikrolinsen-Array-Substrat 406. Eine Lichtquelle (z. B. eine Laserdiode) 414 wird mit einem optischen Zirkulator 416 gekoppelt, der mit einem Lichtempfänger (z. B. mit einem Photodetektor) 418 gekoppelt wird. Der Zirkulator 416 wird außerdem mit mehreren optischen Fasern 401 gekoppelt, die in dem Block 402 gehalten sind. Der Block 402 wird mit einem Spannelement 403, das den Block 402 aufnimmt und hält, mit einer Selbstausrichteinrichtung 420 gekoppelt. Das Substrat 406 wird mit einem Spannelement 405, das das Substrat 406 aufnimmt und hält, mit der Selbstausrichteinrichtung 420 gekoppelt. Ein Halbspiegel 422 wird mit einem Spannelement 411, das den Spiegel 422 aufnimmt und hält, mit der Selbstausrichteinrichtung 420 gekoppelt. Eine Kamera 424 mit ladungsgekoppelter Vorrichtung (CCD-Kamera 424) wird durch ein Spannelement 413, das die CCD-Kamera 424 aufnimmt und hält, mit der Selbstausrichteinrichtung 420 gekoppelt. Auf diese Weise kann die Selbstausrichteinrichtung 420 den Block 402, das Substrat 406 und den Spiegel 422 in Bezug auf die Kamera 424 und in Bezug aufeinander in drei Dimensionen (X, Y und Z) justieren.
  • Anfangs werden der Block 402 und der Spiegel 422 durch die Selbstausrichteinrichtung 420 in der Weise in Kontakt gebracht, dass sie in der θX-Richtung und in der θY-Richtung für maximale Lichtleistungsübertragung ausgerichtet werden können. Dies legt den Block 402 und den Spiegel 422 parallel. Nachfolgend wird der Spiegel 422 in der Z-Richtung von dem Block 402 wegbewegt. Daraufhin wird das Substrat 406 zwischen dem Block 402 und dem Spiegel 422 angeordnet. Daraufhin stellt die Lichtquelle 414 wenigstens zu einer ersten der optischen Fasern 401 und wenigstens zu einer der optischen Fasern 401 einen Lichtstrahl so bereit, dass durch visuelles Untersuchen der Beleuchtungsposition durch die Mikrolinse des Substrats 406 mit der Kamera 424 die visuelle Ausrichtung durchgeführt wird. Nachfolgend werden der Spiegel 422 und das Substrat 404 in einer Entfernung α positioniert, die der optischen Länge zwischen einer Mikrolinse und einem zu bildenden Strahltaillenpunkt (dem Punkt in dem Gaußschen Strahl, wo die Wellenfront eine Krümmung null hat und der Strahldurchmesser minimal ist) entspricht. Daraufhin wird ein Lichtstrahl in die Fasern 401 und in den Block 402 eingeführt, wobei die Mikrolinsen des Substrats 406 durch Untersuchen der reflektierten Lichtleistung, wie sie bei dem Lichtempfänger 418 gesehen wird, ausgerichtet werden.
  • Wenn die optimale Ausrichtung erzielt worden ist, werden der Block 402 und das Substrat 404 (z. B. mit einem Optikklebemittel) aneinander fixiert, um einen optischen Faserkollimator im Array zu bilden.
  • 5 zeigt den Kopplungsverlust in Abhängigkeit von der Entfernung für die zuvor beschriebenen Prozeduren. Ein minimaler Kopplungsverlust eines Paars durch die Spiegelprozedur ausgerichteter Kollimatoren ohne eine Antireflexionsschicht (AR-Schicht) auf der Mikrolinsenoberfläche ist 0,6 dB. Somit sollte der Kopplungsverlust üblicherweise kleiner als 0,5 dB sein, wenn die Mikrolinsenoberfläche AR-beschichtet ist.
  • Es wird angemerkt, dass die Genauigkeit der Ausrichtung von zwischen einem Bereich von etwa 0,5 bis 1 Mikrometer auf etwa 0,1 Mikrometer in der X- und Y-Achse und von 0,1 Grad auf 0,01 Grad in der θX-, θY- und θZ-Achsen-Ausrichtung verbessert wurde.
  • Übergehend zu 6 ist eine graphische Darstellung gezeigt, die die Abweichung der Ausrichtung in Abhängigkeit von der Zeit für einen Array-Block optischer Fasern und für ein Mikrolinsen-Array-Substrat zeigt, nachdem sie in einem Kanal ausgerichtet worden sind. Die Zunahme des Verlusts mit der Zeit ist hauptsächlich eine Folge der Wärmeausdehnung oder -schrumpfung der Halter und der Träger an der Selbstausrichteinrichtung und der Schwingung der Selbstausrichteinrichtung. In dem Prozess der Ausrichtung unter Verwendung eines Spiegels werden der Spiegel und der Array-Block optischer Fasern ausgerichtet und parallel, wobei sie während der Ausrichtung des Substrats und des Blocks an diesem Punkt für eine Zeitdauer gelassen werden, in der sich der Spiegel in gewissem Umfang bewegen kann. Die Instabilität der Selbstausrichteinrichtung zeigen allgemein alle kommerziell verfügbaren Modelle.
  • Wie in 7 gezeigt ist, ist ein weiterer Faktor, der die Ausrichtung der Komponenten beeinflusst, die Abweichung des Drehpunkts der Selbstausrichteinrichtung von der Spitze eines ersten Kanals (Kanal 1) und eines letzten Kanals (Kanal 6) des Blocks 402 und der Oberfläche des Spiegels 422. In einer typischen Selbstausrichteinrichtung wird das Substrat 406 fixiert und werden der Spiegel 422 und der Block 402 bewegt, um die Ausrichtung zu ermöglichen. Wenn dagegen der Block 402 und der Spiegel 422 z. B. in der θY-Achse bewegt werden, bewegen sich die Spitzen des ersten Kanals und des letzten Kanals, die für Ausrichtpunkte verwendet werden, nicht nur in der θY-, sondern auch in der X- und in der Z-Achse. Der Spiegel 422 bewegt sich ähnlich wie der Block 402, wobei eine Fehlausrichtung in der Z-Achse bleiben kann, obgleich der Block 402 automatisch in der X-Achse ausgerichtet werden kann.
  • Gemäß der bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wie sie in 8 veranschaulicht ist, wird anstelle des Spiegels 422 aus 4 ein Blindblock (vorzugsweise ein SiO2-Block oder ein Glasblock) 826 genutzt. Der Blindblock 826 wird an einer Oberfläche des Substrats 806 befestigt. Wie gezeigt ist, enthält der Array-Block 802 optischer Fasern einen Linsenabstandshalter 828, der in der Weise mit einer Oberfläche des Blocks 802 (z. B. mit einem Optikklebemittel) gekoppelt ist, dass der Block 802 und der Abstandshalter 828 eine integrierte Einheit bilden. Somit werden der Block 802 und der Abstandshalter 828 mit einem einzelnen Spannelement 803 an der Selbstausrichteinrichtung 820 befestigt. Gleichermaßen wird der Blindblock 826 an dem Substrat 806 befestigt, das mit einem einzelnen Spannelement 805 mit der Selbstausrichteinrichtung 820 gekoppelt wird. Außerdem wird mit einem Spannelement 813 eine CCD-Kamera 824 mit der Selbstausrichteinrichtung 820 gekoppelt. Eine Lichtquelle (z. B. eine Laserdiode) 814 stellt durch einen optischen Isolator 830 einen Lichtstrahl zu einem optischen Zirkulator 816 bereit. Der Zirkulator 816 wird mit mehreren optischen Fasern 801 gekoppelt, die in dem Block 802 gehalten sind. Vorzugsweise wird Licht in eine erste optische Faser der Fasern 801 und in eine letzte optische Faser der mehreren optischen Fasern 801 eingeführt, wobei der Block 802 und das Substrat 806 durch visuelle Untersuchung der Beleuchtungsposition durch die Mikrolinsen des Substrats 806 mit einer CCD-Kamera 824 grob ausgerichtet werden. Der durch die Mikrolinsen des Substrats 806 gebildete kollimierte Lichtstrahl wird an einer Oberfläche des Blindblocks 826, dessen Dicke vorzugsweise so justiert wird, dass eine Reflexionsposition der Mitte des optischen Strahls entlang der optischen Achse des Kollimators entspricht, teilweise reflektiert. Das reflektierte Licht wird wieder in die Faser eingeführt und durch den Zirkulator 816 in einen Lichtempfänger (z. B. in einen Photodetektor) 818 gelenkt. Die Ausrichtung des Blocks 802 (einschließlich des Abstandshalters 828) und des Substrats 805 (einschließlich des Blindblocks 826) wird dadurch erzielt, dass die Lichtleistungen des ersten Kanals und des letzten Kanals geprüft werden. Alternativ kann jeder Kanal untersucht werden. Auf diese Weise werden das Substrat 806 und der Block 802 durch Untersuchung der reflektierten Lichtleistung in allen sechs Achsen (X, Y, Z, θX, θY und θZ) genau ausgerichtet. Wenn die richtige Ausrichtung erzielt worden ist, wird zwischen eine Oberfläche des Abstandshalters 828 und eine Oberfläche des Substrats 806 ein Klebemittel (z. B. ein Ultraviolettopticklebemittel (UV-Optikklebemittel)) eingeführt, um einen integrierten Kollimator zu erzeugen. Ein Hauptvorteil dieser Prozedur gegenüber der zuvor beschriebenen Prozedur ist, dass die Anzahl der Teile, die an der Selbstausrichteinrichtung gehalten werden müssen, von drei auf zwei abnimmt, was es ermöglicht, eine genauere Ausrichtung zu erzielen.
  • 9 ist eine graphische Darstellung, die mehrere Kurven veranschaulicht, die für eine Anzahl von Paaren von Kollimatoren, die unter Verwendung des Aufbaus aus 8 hergestellt wurden, den Kopplungsverlust in Abhängigkeit vom Abstand definieren. Der minimale Kopplungsverlust eines Paars Kollimatoren, die unter Verwendung eines Blindblocks ausgerichtet wurden, war 0,4 dB (wobei der Fresnel-Reflexionsverlust beseitigt wurde, der Verbindungsverlust dagegen enthalten war). Es wird angemerkt, dass die Genauigkeit der Ausrichtung von einem Bereich von etwa zehn bis zwanzig Mikrometer auf etwa einen Mikrometer in der Z-Achse verbessert wurde und dass diese Prozedur auf alle sechs Achsen anwendbar ist.
  • Die zuvor beschriebenen Prozeduren sind auf eine breite Vielfalt von Kollimatorkonfigurationen anwendbar. Zum Beispiel zeigt 10 einen optischen Faserkollimator 1000 im Array, der einen Blindblock 1026 enthält, der eine angewinkelte Fläche aufweist, die an eine abgeschrägte Oberfläche eines Mikrolinsen-Array-Substrats 1006 angepasst ist. Das Anwinkeln der Fläche des Blindblocks 1026 kompensiert die Abschrägung des Substrats 1006 und stellt eine genauere Ausrichtung sicher. Wie in 11 gezeigt ist, kann ein Kollimator 1100 mit konvexen Linsen oder Beugungslinsen einen Blindblock 1126 mit einem Hohlraum (z. B. mit einer Delle) für die Ausrichtung enthalten. Wenn der kollimierte Lichtstrahl so ausgelegt ist, dass er wenige Grad von der optischen Achse der Mikrolinsen eines Mikrolinsen-Array-Substrats 1206 abweicht, kann, wie in 12 gezeigt ist, für die genauere Ausrichtung vorteilhaft ein Blindblock 1226 mit einer gekippten hinteren Oberfläche verwendet werden. Dementsprechend sind hier eine Anzahl von Prozeduren beschrieben worden, die den Verlust eines optischen Faserkollimators im Array gegenüber früheren Konstruktionstechniken allgemein verringern.
  • Für den Fachmann ist klar, dass an der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung, wie sie hier beschrieben wurde, verschiedene Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem wie durch die beigefügten Ansprüche definierten Anwendungsbereich der Erfindung abzuweichen.

Claims (5)

  1. Verfahren zum aktiven Ausrichten von Komponenten eines optischen Faserkollimators im Array unter Verwendung einer Selbstausrichteinrichtung, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst: (a) Vorbereiten eines Array-Blocks (802) optischer Fasern, der mehrere einzelne optische Fasern (401) aufnimmt und hält, sowie eines Mikrolinsen-Array-Substrats (806), das mehrere Mikrolinsen, die entlang einer Mikrolinsenoberfläche integriert sind, und eine Substratoberfläche, die der Mikrolinsenoberfläche gegenüber liegt, sowie einen Blindblock (826), der erste erste Oberfläche und eine zweite Oberfläche an der gegenüberliegenden Seite enthält, wobei die zweite Oberfläche eine flache, teilweise reflektierende Oberfläche bereitstellt, enthält, und wobei ein optischer Faserkollimator im Array aus dem Array-Block (802) optischer Fasern und aus dem Mikrolinsen-Array-Substrat (806) besteht; (b) Bereitstellen eines ersten Spannelements (803) zum Aufnehmen und Halten des Array-Blocks (802) optischer Fasern; (c) Bereitstellen eines zweiten Spannelements (805) zum Aufnehmen und Halten des Mikrolinsen-Array-Substrats (806); (d) Bereitstellen eines ersten Lichtempfängers (824) und eines dritten Spannelements (813) zum Aufnehmen und Halten wenigstens eines Abschnitts des ersten Lichtempfängers (824), wobei der erste Lichtempfänger (824) so positioniert wird, dass er einen Lichtstrahl von wenigstens einer der integrierten Mikrolinsen empfängt, und wobei der erste Lichtempfänger (824) eine CCD-Kamera ist; (e) Bereitstellen eines Optikkopplers oder eines optischen Zirkulators (816), der zwischen eine Lichtquelle (814) und den Array-Block (802) optischer Fasern gekoppelt wird, wobei der Optikkoppler oder der optische Zirkulator (816) wenigstens mit einer der mehreren einzelnen optischen Fasern (401) gekoppelt wird; (f) Bereitstellen eines zweiten Lichtempfängers (818), der mit einem Ausgangsanschluss des optischen Zirkulators (816) oder des Optikkopplers gekoppelt wird, wobei der zweite Lichtempfänger (818) ein Photodetektor ist; (g) Befestigen der ersten Oberfläche des Blindblocks (826) an dem Mikrolinsen-Array-Substrat (806), damit sie zwischen dem Mikrolinsen-Array-Substrat (806) und dem ersten Lichtempfänger (824) angeordnet wird, wobei die zweite Oberfläche des Blindblocks (826) den Strahl teilweise reflektiert; (h) Bereitstellen wenigstens eines Lichtstrahls von der Lichtquelle zu wenigstens zwei der mehreren einzelnen optischen Fasern (401); (i) visuelles Justieren der Position des Mikrolinsen-Array-Substrats (806) und/oder des Array-Blocks (802) optischer Fasern in Bezug aufeinender durch visuelles Untersuchen der Beleuchtungsposition durch die Mikrolinsen mit dem ersten Lichtempfänger (824); (j) Orientieren des Substrats einschließlich des Blindblocks (826) in Bezug auf den Array-Block (802) optischer Fasern in der Weise, dass Licht, das an einer Oberfläche des Blindblocks (826) teilweise reflektiert wird, wieder in die Faser eingeführt wird, und (k) Fixieren des Array-Blocks (802) optischer Fasern an dem Mikrolinsen-Array-Substrat (806), wenn die dem zweiten Lichtempfänger (818) zugeführte Lichtleistung maximal ist; wobei ein fertiger optischer Faserkollimator im Array bereitgestellt wird.
  2. Verfahren gemäß Anspruch 1, bei dem die Dicke des Blindblocks (826) in der Weise justiert wird, dass eine Reflexionsposition einer Mitte der optischen Strahlentaille entlang der optischen Achse des Kollimators entspricht.
  3. Verfahren gemäß Anspruch 1, bei dem die erste Oberfläche des Blindblocks (826) an der Substratoberfläche des Mikrolinsen-Array-Substrats (806) befestigt wird und bei dem die Substratoberfläche des Mikrolinsen-Array-Substrats (806) geneigt wird und die erste Oberfläche des Blindblocks (826) gegenüber der Senkrechten zur optischen Strahlachse gekippt wird.
  4. Verfahren gemäß Anspruch 1, bei dem die erste Oberfläche des Blindblocks (826) an der Mikrolinsenoberfläche des Mikrolinsen-Array-Substrats (806) befestigt wird und bei dem die Mikrolinsen Brechungslinsen oder Beugungslinsen sind und bei dem der Blindblock (826) so konfiguriert wird, dass er zwischen der Mikrolinsenoberfläche und der ersten Oberfläche einen Luftspalt bereitstellt.
  5. Verfahren gemäß Anspruch 1, bei dem die erste Oberfläche des Blindblocks (826) an der Mikrolinsenoberfläche des Mikrolinsen-Array-Substrats (806) befestigt wird und bei dem die Mikrolinsen Gradientenlinsen (GRIN-Linsen) sind und bei dem die zweite Oberfläche des Blindblocks (826) zu der ersten Oberfläche gekippt wird.
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