-
Technisches
Gebiet
-
Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen
von Teilchen und bezieht sich insbesondere auf ein Verfahren zum
Herstellen eines ein Cobaltteilchen enthaltenden Cobaltproteinkomplexes und
seine verwandten Technologien.
-
Stand der
Technik
-
In
den letzten Jahren sind energische Studien auf dem Gebiet der Bioelektronik,
die eine Kombination von Biotechnologie und Elektronik ist, durchgeführt worden.
Als Ergebnis solcher Studien sind bereits Biosensoren unter Verwendung
von Proteinen, wie Enzyme, oder ähnliche
Vorrichtungen praktisch verwendet worden.
-
Als
ein Versuch der Anwendung der Biotechnologie auf andere Gebiete
gibt es eine Studie zum Einbau von Teilchen, die aus einem Metall
oder einer Metallverbindung aufgebaut sind, in Apoferritin, welches
ein Protein ist, das die Funktion hat, eine Metallverbindung zu
halten, wodurch Teilchen mit einem gleichmäßigen Durchmesser im Nanogrößenordnungsbereich
hergestellt werden. Um verschiedene Arten von Metallen, Metallverbindungen
oder Ähnliches
in Apoferritin gemäß verschiedenen
Anwendungen einzuführen,
sind zahlreiche Untersuchungen durchgeführt worden. V.M. D'souza et al. beschreiben
in Biochemistry 2000, 39, 3817–3826
eine Studie an Aminopeptidase. US-A-6,180,389 B1 beschreibt ein
Virion-Einschluss-Nanopartikel. WO 91/02704 beschreibt Ferritinanaloge,
die eine Apoferritinschale und einen im Wesentlichen von Ferrihydrid
freien Kern umfassen.
-
Hierin
nachstehend wird eine Beschreibung von Apoferritin gegeben. Apoferritin
ist ein Protein, das extensiv in der Natur vorhanden ist. Es hat
die Funktion, die Menge von Eisen einzustellen, das ein notwendiges
Mikronahrungsmittelelement in einem lebenden Körper ist.
-
Ein
Komplex von Eisen oder einer Eisenverbindung mit Apoferritin wird "Ferritin" genannt. Wenn die Eisenmenge
einen notwendigen Wert in einem lebenden Körper übersteigt, kann Eisen schädlich sein. Überschüssiges Eisen
wird daher in einem lebenden Körper
in Form von Ferritin gespeichert. Wenn notwendig, setzt Ferritin
Eisenionen frei, und es wird wieder Apoferritin.
-
1 ist
eine schematische Ansicht der Struktur von Apoferritin. Nie in 1 gezeigt,
ist Apoferritin ein globuläres
Protein, in welchem 24 Monomeruntereinheiten, wovon jede aus einer
Polypeptidkette zusammengesetzt ist, sich zusammenlagern und nicht-kovalente
Bindungen bilden, und welches ein Molekulargewicht von etwa 460000
hat. Das globuläre
Protein hat einen Durchmesser von etwa 12 nm und weist höhere Wärmestabilität und höhere pH-Stabilität als normale
Proteine auf. Das Apoferritin 1 hat einen hohlraumartigen Halteteil 4 mit
einem Durchmesser von etwa 6 nm in der Mitte. Der Halteteil 4 ist
mit der Außenseite über einen Kanal 3 verbunden.
Wenn z. B. Eisen(III)-ionen in das Apoferritin 1 eingebaut
werden, treten die Eisenionen in das Apoferritin 1 durch
den Kanal 3 ein und werden in einem Teil, der das Ferrooxidasezentrum
genannt wird, in einer der Untereinheiten oxidiert. Dann erreichen
sie den Halteteil 4 und werden schließlich in einem negativen Ladungsbereich
zusammengelagert, der sich in der Innenseitenoberfläche des
Halteteils 4 befindet. Dann lagern sich 3000 bis 4000 Eisenatome
zusammen und werden mit dem Halteteil 4 in kristalliner
Form von Ferrihydrid (5 Fe2O3∙9 H2O) gehalten. Ein Teilchen, das in dem Halteteil 4 gehaltene
Metallatome enthält, hat
fast den gleichen Durchmesser wie derjenige des Halteteils 4,
d. h. etwa 6 nm.
-
Unter
Verwendung von Apoferritin wird ein Komplex aus Apoferritin mit
künstlich
hergestellten Teilchen hergestellt, der ein von Eisen verschiedenes
Metall oder eine Metallverbindung enthält.
-
Bis
heute hat es Berichte betreffend die Einführung von Metallen oder Metallverbindungen
in Apoferritin gegeben, wie die Einführung von Mangan in Apoferritin
(P. Mackle, 1993, J. Amer. Chem. Soc. 115, 8471–8472, F. C. Meldrum et al.,
1995, J. Inorg. Biochem. 58, 59–68),
die Einführung
von Uran in Apoferritin (J. F. Hainfeld, 1992, Proc. Natl. Acad.
Sci. USA 89, 11064–11068),
die Einführung
von Beryllium in Apoferritin (D. J. Price, 1983, J. Biol. Chem.
258, 10873–10880),
die Einführung
von Aluminium in Apoferritin (J. Fleming, 1987, Proc. Natl. Acad.
Sci. USA, 84, 7866–7870)
und die Einführung
von Zink in Apoferritin (D. Price und J. G. Joshi, Proc. Natl. Acad.
Sci. USA, 1982, 78, 3116–3119).
Teilchen, die aus irgendeinem dieser Metalle oder Metallverbindungen
zusammengesetzt sind, haben ebenfalls etwa den gleichen Durchmesser
wie derjenige des Halteteils 4 von Apoferritin, d. h. etwa
6 nm.
-
Hierin
nachstehend werden kurz Verfahren beschrieben, durch welche ein
Eisenatome enthaltendes Teilchen in der Natur gebildet wird.
-
Auf
der Oberfläche
des Kanals 3 (vgl. 1), welcher
die Außenseite
und die Innenseite des Apoferritins 1 verbindet, befinden
sich Aminosäurereste
mit einer negativen Ladung bei pH 7 bis 8, und Fe2+-Ionen mit
einer positiven Ladung werden in den Kanal 3 durch elektrostatische
Wechselwirkung inkorporiert.
-
Auf
der Innenseitenoberfläche
des Halteteils 4 des Apoferritins 1 befinden sich
ebenfalls zahlreiche Glutaminsäurereste,
die Aminoreste sind und eine negative Ladung von pH 7 bis 8 haben,
wie auf der Innenseitenoberfläche
des Kanals 3. Durch den Kanal 3 inkorporierte
Fe2+-Ionen werden in dem Ferrooxidasezentrum
oxidiert und werden dann in den Halteteil 4 eingeführt, der
sich an der Innenseite des Apoferritins 1 befindet. Eisenionen
werden durch elektrostatische Wechselwirkungen zusammengelagert,
und dann tritt eine Keimbildung von Ferrihydridkristallen (5 Fe2O3∙9 H2O) ein.
-
Danach
haften zunehmend inkorporierte Eisenionen an dem Teil eines Ferrihydridkristalls,
und der aus Eisenoxid zusammengesetzte Kern wächst. Auf diese Weise werden
Teilchen mit einem Durchmesser von 6 nm in dem Halteteil 4 gebildet.
Auf diese Weise werden Eisenionen inkorporiert und aus Eisenoxid
zusammengesetzte Teilchen gebildet.
-
Der
Mechanismus der Inkorporierung von Eisenionen in Apoferritin ist
beschrieben worden. Da jedoch Ionen von irgendwelchen anderen Metallen,
deren Einführung
in Apoferritin berichtet worden ist, eine positive Ladung haben,
werden Ionen in Apoferritin durch fast den gleichen Mechanismus
wie derjenige für
Eisenionen inkorporiert.
-
Zu lösende Probleme
-
Was
die Einführung
von Cobalt in Apoferritin betrifft, so haben Douglas et al. die
Einführung
von Cobalthydroxid (CoO(OH)) (T. Douglas und V. T. Stark, "Nanophase Cobalt
Oxyhydroxide Mineral Synthesizer within the Protein Cage of Ferritin", Inorg. Chem., 39,
2000, 1828–1830)
beschrieben. Mit dem durch Douglas et al. beschriebenen Verfahren
kann ein ein Cobaltteilchen enthaltender Cobaltapoferritinkomplex
hergestellt werden.
-
In
dem Verfahren von Douglas wird jedoch keine Pufferlösung verwendet,
und daher kann der pH einer Lösung,
in welcher ein ein Cobaltteilchen enthaltender Cobaltapoferritinkomplex
gebildet wird, verändert
(erniedrigt) werden. Speziell werden – falls die Lösung einige
Tage stehengelassen wird – einige
der darin enthaltenen Cobaltteilchen in die Lösung eluiert. Dies macht es
schwierig, den Durchmesser jedes darin enthaltenen Cobaltteilchens
auf dem Durchmesser vor Beginn des Verfahrens zu halten. Daher ist
es schwierig, einen ein Cobaltteilchen enthaltenden Cobaltapoferritinkomplex
mit gleichmäßigem Durchmesser
zu erhalten.
-
Beschreibung der Erfindung
-
Um
die vorstehend beschriebenen Probleme zu lösen, ist die vorliegende Erfindung
gemacht worden, und es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung,
ein Verfahren zum Erhalt eines ein Cobaltteilchen enthaltenden Cobaltproteinkomplexes
mit gleichmäßigem Durchmesser
bereitzustellen. Daher stellt die vorliegende Erfindung das Verfahren,
wie in Patentanspruch 1 definiert, bereit. Bevorzugte Ausführungsformen
sind in den Patentansprüchen
2 bis 7 wiedergegeben. Das Verfahren zum Herstellen eines Cobaltproteinkomplexes gemäß der vorliegenden
Erfindung umfasst: den Schritt a) des Herstellens einer Co2+-Ionen,
ein Protein, einen pH-Puffer und ein Co2+-assoziierendes
Mittel enthaltenden Lösung
und den Schritt b) des Zusetzens eines Oxidationsmittels zu der
Lösung
und dadurch das Protein aus Cobalt zusammengesetzte Teilchen enthalten
zu lassen, wie in Patentanspruch 1 definiert.
-
Mit
einem Co2+-assoziierenden Mittel werden
Co2+-Ionen im Inneren eines Proteins zusammengelagert.
Daher tritt bevorzugt eine Reaktion der Co2+-Ionen
und eines Oxidationsmit tels ein. Zu diesem Zeitpunkt wird durch
Einstellen des pH einer Lösung
auf einen erwünschten
Wert unter Verwendung eines pH-Puffers der Ablauf der Reaktion der
Co2+-Ionen
und des Oxidationsmittels in der umgekehrten Richtung verhindert,
und auf diese Weise kann die Elution von in dem Protein enthaltenen
Cobaltteilchen verhindert werden. Demgemäß kann ein ein Cobaltteilchen
enthaltender Cobaltproteinkomplex mit gleichmäßigem Durchmesser erhalten werden.
-
Es
ist bevorzugt, dass sowohl der pH-Puffer als auch das Co2+-assoziierende Mittel HEPES ist.
-
HEPES
wirkt als pH-Puffer und als Co2+-assoziierendes
Mittel. Daher ist es nicht notwendig, einen pH-Puffer und ein Co2+-assoziierendes Mittel getrennt herzustellen.
-
Das
Protein ist ein Apoferritin.
-
Das
Oxidationsmittel kann H2O2 sein.
-
Das
Verfahren zum Herstellen eines Cobaltproteinkomplexes umfasst: den
Schritt a) des Herstellens einer Co2+-Ionen,
Apoferritin und HEPES enthaltenden Lösung und den Schritt b) des
Zusetzens von H2O2 zu der
Lösung
und dadurch das Apoferritin aus Cobalt zusammengesetzte Teilchen
enthalten zu lassen.
-
Gemäß der vorliegenden
Erfindung tritt eine Reaktion von Co2+-Ionen
und H2O2 in einer
HEPES-Lösung
ein. Daher ist der pH der Lösung
konstant, und eine Elution von in Apoferritin enthaltenen Cobaltteilchen kann
verhindert werden. Demgemäß kann ein
ein Cobaltteilchen enthaltender Cobaltproteinkomplex mit gleichmäßigem Durchmesser
erhalten werden.
-
Kurze Beschreibung
der Zeichnungen
-
1 ist
eine schematische Veranschaulichung der Struktur von Apoferritin.
-
2 ist
ein Fließschema,
welches ein Verfahren zum Herstellen eines Cobaltapoferritinkomplexes gemäß der Ausführungsform
1 veranschaulicht.
-
3 ist
eine schematische Veranschaulichung eines Zustandes einer Reaktionslösung.
-
4 ist
eine elektronenmikroskopische Aufnahme eines in der Ausführungsform
1 erhaltenen Cobaltapoferritinkomplexes.
-
5 ist
eine elektronenmikroskopische Aufnahme von Apoferritin, erhalten
durch das Herstellungsverfahren der Ausführungsform 1, in welchem eine
TAPS-Pufferlösung
anstelle einer HEPES-Pufferlösung
verwendet wird.
-
6A bis 6D sind
Querschnittansichten, welche die jeweiligen Verfahrensschritte zum
Herstellen einer nicht flüchtigen
Speicherzelle gemäß dieser
Ausführungsform
veranschaulichen.
-
7 zeigt Querschnittansichten, welche den
Verfahrensschritt des Anordnens und Immobilisierens von Punkten
zweidimensional auf der Oberfläche
eines Substrats veranschaulichen.
-
8 veranschaulicht eine Technik zum Anordnen
und Immobilisieren von Komplexen zweidimensional auf der Oberfläche eines
Substrats.
-
Beste Ausführungsform
der Erfindung
-
In
dem Verfahren von Douglas et al. wird eine durch die folgende chemische
Reaktionsformel 1 wiedergegebene Reaktion verwendet.
-
[Formel 1]
-
- Co2+ + H2O2 ⇄ CoO(OH)
+ H+
-
Wie
aus der chemischen Reaktionsformel 1 ersichtlich ist, steigt die
Azidität
einer Reaktionslösung
mit dem Fortschreiten der Reaktion an. Wenn die Reaktionslösung sich
auf etwa pH 8 befindet, sind zahlreiche Aminosäurereste mit einer negativen
Ladung auf der Innenseitenoberfläche
eines Halteteils 4 von Apoferritin 1, wiedergegeben
in 1, und daher werden Co2+-Ionen
in den Halteteil 4 eingeführt. Aus diesem Grund werden
Teilchen von Cobalthydroxid in einfacher Weise in dem Halteteil 4 des
Apoferritins 1 gebildet. Wenn der pH der Reaktionslösung bei
etwa 8 gehalten wird, wird demgemäß H+,
welches mit dem Fortschreiten der Reaktion gebildet wird, neutralisiert.
Daher wird in dem Verfahren von Douglas et al. NaOH tropfenweise
dazu zugesetzt, um den pH der Apoferritinlösung zu regeln, während eine
Cobaltnitratlösung
und eine Wasserstoffperoxidlösung
nach und nach zu einer Apoferritinlösung in einer sehr kleinen
Menge innerhalb einer Zeit zugesetzt werden, und die Lösung wird
mit einem Rührer
lebhaft gerührt.
-
Wie
beschrieben worden ist, ist es in dem Verfahren von Douglas et al.
schwierig, den Durchmesser von Cobaltteilchen auf demjenigen Durchmesser
vor dem Verfahren zu halten, wenn ein Cobaltapoferritinkomplex gebildet
wird. Die Erfinder der vorliegenden Erfindung haben daher das Verfahren
von Douglas et al. erneut untersucht und die folgenden Probleme
festgestellt.
-
Ein
erstes Problem ist, dass der pH nicht unter Verwendung einer Pufferlösung, sondern
durch Zutropfen von NaOH zu einer Apoferritinlösung geregelt wird. Die NaOH-Konzentration
erhöht
sich lokal abrupt in dem Teil der Apoferritinlösung, zu welcher NaOH zugetropft
wird, und dann steigt der pH an. Daher kann die Funktion der pH-Regelung
nicht ausreichend sein. Daher kann die Richtung der durch die Reaktionsformel
1 wiedergegebenen chemischen Reaktion umgekehrt werden, was zu einer
Elution von in Cobaltapoferritinkomplexen enthaltenen Cobaltteilchen
in die Lösung
führt.
-
Ein
zweites Problem ist, dass NaOH verwendet wird. NaOH ist ein starkes
Proteindenaturierungsmittel. Die NaOH-Konzentration steigt abrupt
lokal in dem Teil der Apoferritinlösung an, zu welcher NaOH zugetropft
wird, und dadurch kann Apoferritin denaturiert werden. Demgemäß kann Apoferritin
in einem Zustand sein, wo es seine ursprünglichen Charakteristiken nicht
vollständig
aufweisen kann. Mit anderen Worten kann Apoferritin nicht befähigt sein,
Cobaltteilchen in vollem Umfang zu halten.
-
Ein
drittes Problem ist, dass es schwierig ist, das Verfahren in industriellem
Maßstab
durchzuführen. In
dem Verfahren von Douglas et al. wird NaOH zu der Apoferritinlösung zugetropft,
um ihren pH zu regeln, während
eine Cobaltnitratlösung
und eine Wasserstoffperoxidlösung
nach und nach zu einer Apoferritinlösung in einer sehr kleinen
Menge in einer Zeit zugesetzt werden. Wenn die Gesamtmenge der Reaktionslösung etwa
20 bis 50 ml beträgt,
kann in diesem Verfahren die chemische Reaktion in einfacher Weise
geführt
werden. Wenn jedoch der Reaktionsmaßstab auf ein industrielles
Niveau vergrößert wird,
erfordert es eine lange Zeit, um Cobaltnitrat, eine Wasserstoffperoxidlösung und
NaOH zu einer Apoferritinlösung
zuzusetzen. Darüber
hinaus ist es auch schwierig, Cobaltnitrat, eine Wasserstoffperoxidlösung und
NaOH in einer großen
Menge der Apoferritinlösung
gleichmäßig zu verteilen.
Daher wird das Verfahren als unpraktisch angesehen.
-
(Ausführungsform 1)
-
Eine
hierin nachstehend zu beschreibende Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung ist auf der Basis der vorstehend beschriebenen Untersuchung
konzipiert worden. Ein Verfahren zum Herstellen eines Cobaltapoferritinkomplexes
gemäß dieser
Ausführungsform
wird mit Bezug auf die 1 bis 3 beschrieben.
-
2 ist
ein Fließschema,
welches ein Verfahren zum Herstellen eines Cobaltapoferritinkomplexes gemäß dieser
Ausführungsform
veranschaulicht.
-
Zuerst
wird im Schritt St1 eine Reaktionslösung durch Vermischen einer
HEPES-Pufferlösung,
einer Apoferritinlösung
und einer Co2+-Ionenlösung (z. B. eine Cobaltnitratlösung) in
dieser Reihenfolge hergestellt, wie in 2 gezeigt.
-
Als
Nächstes
wird im Schritt St2 ein Oxidationsmittel (z. B. H2O2) zu der Reaktionslösung zugesetzt, wie in 2 gezeigt.
Durch diesen Schritt wird Cobalthydroxid (CoO(OH)) in den Halteteil 4 des
Apoferritins 1 eingeführt,
und dann werden Cobaltapoferritinkomplexe gebildet, wie in 2 gezeigt.
-
Es
wird darauf hingewiesen, dass sämtliche
der vorstehend beschriebenen Schritte zum Herstellen eines Cobaltapoferritinkomplexes
bei Raumtemperatur oder in einem Temperaturbereich durchgeführt werden, in
welchem ein Protein nicht denaturiert wird, während die Lösung mittels eines Rührers gerührt wird.
-
Als
Nächstes
wird eine ausführliche
Beschreibung für
jeden der Schritte gegeben.
-
Zuerst
wird im Schritt St1 der pH der Reaktionslösung auf einen Bereich von
etwa 8,0 bis 8,8 eingestellt. Wenn der pH der Reaktionslösung in
einem Bereich von etwa 8,0 bis 8,8 liegt, befinden sich zahlreiche Aminosäurereste
mit einer negativen Ladung auf der Innenseitenoberfläche des
Halteteils 4 des Apoferritins 1, und so werden
Co2+-Ionen zu dem Halteteil 4 geführt. Daher
können
aus Cobalthydroxid (CoO(OH)) zusammengesetzte Teilchen in einfacher
Weise in dem Halteteil 4 des Apoferritins 1 gebildet
werden. Der Zustand von bei jedem pH gebildeten Cobaltteilchen ist
in der Tabelle 1 gezeigt.
-
-
Es
wird darauf hingewiesen, dass, obwohl HEPES außerhalb des Bereichs ist, in
welchem es eine hohe Pufferkapazität aufweisen kann, wenn die
Lösung
in einem pH-Bereich von etwa 8,0 bis etwa 8,8 ist, es eine hohe
Konzentration haben kann. Die HEPES-Konzentration in der Reaktionslösung kann
jeden Wert haben, solange der Variationsbereich des pH ausreichend
klein ist, obwohl Niederschläge
von Cobalthydroxid (CoO(OH)) auftreten. Wenn z. B. die Konzentration
von Cobaltionen in der Reaktionslösung 3 mM beträgt, kann
eine HEPES-Pufferlösung
verwendet werden, die HEPES in einer Konzentration von 90 mM oder mehr enthält. Die
Konzentration von Apoferritin in der Reaktionslösung wird auf einen Bereich
von 0,1 bis 1 mg/ml (0,2 bis 2 μM)
eingestellt. Spezifischer beträgt
sie bevorzugt etwa 0,5 mg/ml (1 μM).
-
Die
Konzentration von Co2+-Ionen wird gemäß der Konzentration
von Apoferritin eingestellt. Die Konzentration von Co2+-Ionen
kann etwa 1000- bis 5000-fach höher
sein als die Apoferritinkonzentration. Spezifischer ist sie bevorzugt
etwa 2000- bis 3000-fach höher
als die Apoferritinkonzentration. Es wird darauf hingewiesen, dass
Co2+-Ionen in einer höheren Konzentration als der
vorstehend beschriebene Wert zugesetzt werden können. Wenn Co2+-Ionen in hoher Konzentration
zugesetzt werden, wird CoO(OH) lebhaft außerhalb des Haltebereichs des
Apoferritins gebildet, und dann können Cobaltapoferritinkomplexe
durch die Niederschläge eingeschlossen
werden. Demgemäß kann die
Ausbeute von Cobaltapoferritinkomplexen verringert sein.
-
Wenn
die Apoferritinkonzentration z. B. 0,5 mg/ml (etwa 1 μM) beträgt, werden
Co2+-Ionen in einer Konzentration von 2
bis 3 mM zugesetzt. Obwohl jede Verbindung verwendet werden kann,
um Co2+-Ionen zuzusetzen, ist es besonders
bevorzugt, Cobaltammoniumsulfat oder Cobaltnitrat zu verwenden.
Wenn Cobaltammoniumsulfat oder Cobaltnitrat verwendet wird, können assoziierte
Co2+-HEPES-Paare, die später beschrieben werden, in
einfacher Weise gebildet werden, und die Reaktion läuft nicht
rasch ab (d. h. vermischte Substanzen reagieren nicht explosionsartig).
-
Es
wird darauf hingewiesen, dass in dieser Ausführungsform die Reaktionslösung so
hergestellt wird, dass die Endkonzentration von HEPES 30 mM (pH
8,8) beträgt,
die Endkonzentration von Apoferritin 0,5 mg/ml (1 μM) beträgt, und
die Endkonzentration von Co2+-Ion 5 mM im
Schritt St1 beträgt.
-
In
dem Schritt St2 wird eine Wasserstoffperoxidlösung von 0,01 bis 3 % in einer
gleichen Menge oder einer halben Menge derjenigen von Cobaltion
zu der Reaktionslösung
zugesetzt. Wenn z. B. die Konzentration von Co2+-Ion
2 mM beträgt,
wird H2O2 der Reaktionslösung so
zugesetzt, dass die Endkonzentration von H2O2 in dem Bereich von 1 mM bis 2 mM liegt.
-
Es
wird darauf hingewiesen, dass es Fälle geben kann, in welchen
Apoferritin durch Zugabe einer Wasserstoffperoxidlösung denaturiert
wird. Daher ist die Zugabe eines Salzes zum Stabilisieren von Apoferritin wirksam.
Als Salz kann z. B. Na2SO4 verwendet
werden. Es können
jedoch auch andere Salze verwendet werden. Wenn ein Cobaltapoferritinkomplex
gebildet wird, kann darüber
hinaus das Vorliegen von Cl--Ionen ein Hindernis
für die
Produktion sein (Cl--Ionen stabilisieren
Co2+-Ionen und hemmen die Bildung von CoO(OH)). Daher
ist es bevorzugt, ein Salz zu verwenden, das kein Cl enthält.
-
Ein
Salz kann zu der Lösung
in einer Konzentration von 10 mM oder höher zugesetzt werden. Prüfergebnisse
zeigen auch, dass es im Fall von Na2SO4 für
die Stabilisierung von Apoferritin ausreichend ist, Na2SO4 in einer Konzentration von etwa 30 bis
150 mM zuzusetzen.
-
Die
vorstehend beschriebenen Bedingungen für die Reaktionslösung sind
in der Tabelle 2 gezeigt.
-
-
Es
sollte verhindert werden, dass Cl--Ionen
in die Reaktionslösung
während
der Verfahrensschritte zum Herstellen der Reaktionslösung gelangen.
Bevorzugter wird Sauerstoff aus der Reaktionslösung durch Durchblasen von
Stickstoff oder anderen Mitteln ausgetrieben.
-
Unter
den vorstehend beschriebenen Bedingungen ist die Farbe der Reaktionslösung rosa,
d. h. eine Farbe, welche Co2+-Ionen im Schritt
St1 aufweisen.
-
Im
Schritt St2, wenn CoO(OH) durch die Zugabe einer Wasserstoffperoxidlösung gebildet
wird, ändert sich
die Farbe der Reaktionslösung
zu einer Farbe zwischen Braun und Grün, d. h. eine Farbe, die Co3+ aufweist. Gemessen mittels eines Spektrofotometers,
ist aus CoO(OH) ein Hydroxid geworden, welches eine Absorptionsspitze
bei etwa 350 nm hat.
-
Wenn
die Reaktionslosung bei Raumtemperatur unter den vorstehend beschriebenen
Bedingungen umgesetzt wird, beträgt
normalerweise die für
die Reaktion erforderliche Zeit einige Stunden bis einige Tage. Die
Temperatur der Reaktionslösung
kann jedoch auf 40°C
bis 70°C
erhöht
werden, um die Reaktion zu erleichtern. Durch Erhöhen der
Lösungstemperatur
kann die Reaktion in einigen Stunden oder während einer Nacht beendet sein.
Da Apoferritinteilchen bei einer Temperatur über 70°C instabil werden, ist es bevorzugt, die
Temperatur der Reaktionslösung
auf eine Temperatur in dem Bereich von Raumtemperatur bis 70°C zu erhöhen. Spezieller
ist es bevorzugter, die Temperatur der Reaktionslösung auf
50 bis 60°C
zu erhöhen.
Wenn thermophiles Apoferritin verwendet wird, kann als andere Möglichkeit
die Temperatur auf etwa 80 bis 100°C erhöht werden. Der Grund dafür ist, dass
die Kristallinität
von gebildetem CoO(OH) unter den vorstehend beschriebenen Temperaturbedingungen
in einem solchen Fall verbessert wird.
-
Es
wird darauf hingewiesen, dass in dieser Ausführungsform im Schritt St2 Na2O4 zu der Reaktionslösung so
zugesetzt wird, dass die Endkonzentration von H2O2 2 mM beträgt, und die Endkonzentration
von Na2SO4 75 mM
beträgt,
und die Temperatur der Reaktionslösung auf 50°C erhöht wird.
-
Im
Allgemeinen sollte eine Pufferlösung
eine chemische Substanz in einer Lösung nicht beeinflussen. In
dem Fall der in dieser Erfindung verwendeten HEPES-Pufferlösung wird
jedoch angenommen, dass HEPES und Co2+-Ionen
miteinander wechselwirken und dann assoziierte Co2+-HEPES-Paare
bilden. Die Reaktionslösung
kann dann in einem durch die folgende chemische Reaktionsformel
2 wiedergegebenen Gleichgewichtszustand sein.
-
-
Der
Zustand der Reaktionslösung
wird dann schematisch in 3 gezeigt.
-
Wie
die chemische Reaktionsformel 2 und 3 zeigen,
sind assoziierte Co2+-HEPES-Paare einfache HEPES-Ionen
und einfache Co2+-Ionen in einem Gleichgewichtszustand
vorhanden.
-
Es
wird angenommen, dass im Schritt St1 eine Reaktionslösung verwendet
wird, die Wasser anstelle einer HEPES-Pufferlösung enthält. Wenn eine Wasserstoffperoxidlösung zu
der Reaktionslösung
zugesetzt wird, reagieren die Co2+-Ionen
sofort, so dass CoO(OH), welches eine Co3+-Verbindung
ist, gebildet wird, wie in der chemischen Reaktionsformel 1 gezeigt.
CoO(OH) ist unlöslich
und fällt
daher sofort aus. Als Ergebnis liegen alle Co2+-Ionen
als CoO(OH)-Niederschlag vor.
-
Es
wird jedoch ebenfalls angenommen, dass in dieser Ausführungsform,
wenn eine Wasserstoffperoxidlösung
zugesetzt wird, H2O2 die
assoziierten Co2+-HEPES-Paare, die eine
assoziierte Form von Co2+-Ion und HEPES
sind, nicht oxidieren kann. Daher werden außerhalb von Apoferritin nur
sehr wenige Co2+-Ionen, die in der Lösung vorliegen,
durch H2O2 oxidiert
und werden dann ein CoO(OH)-Niederschlag.
-
Im
Gegensatz dazu hat der Halteteil 4 des Apoferritins 1 eine
negative Ladung bei etwa pH 8. Daher ist, wie in 3 gezeigt,
die Konzentration von Co2+-Ion bei etwa
pH 8 höher
als diejenige auf der Außenseite des
Apoferritins 1. Demgemäß wird CoO(OH)
bevorzugt in dem Halteteil 4 des Apoferritins 1 gebildet.
Weiterhin tritt auf der Oberfläche
von CoO(OH) eine Kontaktkatalyse auf, und daher wird die Reaktion
in dem Halteteil 4 rasch beschleunigt.
-
Da
Co2+-Ionen während der Zugabe von H2O2 ein CoO(OH)-Niederschlag
werden, wird die Anzahl von Co2+-Ionen in
der gesamten Lösung
verringert. Da die durch die chemische Reaktionsformel 2 wiedergegebene
Reaktion jedoch im chemischen Gleichgewicht ist, werden die assoziierten
Co2+-HEPES-Paare dissoziiert, und auf diese
Weise werden Co2+-Ionen geliefert. Daher
ist die Konzentration von Co2+-Ion in der
Reaktionslösung
niedrig, kann aber im Wesentlichen konstant gehalten werden.
-
Als
Ergebnis des vorstehend beschriebenen Mechanismus werden Co2+-Ionen von den assoziierten Co2+-HEPES-Paaren
an das Apoferritin 1 geliefert und dann durch die negative
Ladung des Halteteils 4 des Apoferritins 1 konzentriert.
Daher wird die Bildung von CoO(OH) in dem Halteteil 4 erleichtert,
so dass ein Cobaltapoferritinkomplex gebildet wird.
-
Als
Nächstes
werden auf den Schritt St2 folgende Schritte beschrieben.
-
Zuerst
wird die im Schritt St2 erhaltene Reaktionslösung in einen Behälter verbracht
und wird bei einer Geschwindigkeit von 3000 Upm 15 bis 30 Minuten
mittels eines Zentrifugenseparators derart zentrifugiert, dass der
Niederschlag entfernt wird. Anschließend wird die nach der Entfernung
des Niederschlags erhaltene überstehende
Flüssigkeit
weiter bei einer Geschwindigkeit von 10000 Upm 30 Minuten derart
zentrifugiert, dass unnötiges
Rohmaterial, in welchem Cobaltapoferritinkomplexe zusammengelagert
sind, ausgefällt
und dann entfernt wird. Zu diesem Zeitpunkt sind Cobaltapoferritinkomplexe
in der überstehenden
Flüssigkeit
verteilt.
-
Als
Nächstes
wird das Lösemittel
des Überstands
dialysiert, um die HEPES-Pufferlösung
bei pH 7,0 und von 100 mM durch eine NaCl-Lösung von 150 mM zu ersetzen.
Auf diese Weise wird eine andere Cobaltapoferritinkomplexlösung erhalten.
Es ist insbesondere nicht notwendig, hier den pH der Lösung einzustellen.
-
Anschließend wird
die Cobaltapoferritinkomplexlösung
durch Dialyse konzentriert, so dass die Konzentration von Cobaltapoferritinkomplex
mit Bezug auf die gesamte Lösung
in einer beliebigen Konzentration in dem Bereich von 1 bis 10 mg/l
liegt. Danach wird CdSO4 zu der Lösung so
zugesetzt, dass die Endkonzentration von CdSO4 10
mM beträgt.
Auf diese Weise werden Cobaltapoferritinkomplexe konzentriert.
-
Als
Nächstes
wird die Cobaltapoferritinkomplexlösung bei einer Geschwindigkeit
von 3000 Upm 20 Minuten zentrifugiert, so dass Ferritinaggregate
in der Lösung
ausgefällt
werden. Danach wird die Lösung
derart dialysiert, dass Pufferkomponenten in der Lösung durch
eine Tris-Pufferlösung
von pH 8,0 und von 10 bis 50, enthaltend NaCl von 150 mM, ersetzt
wird.
-
Als
Nächstes
wird die Cobaltapoferritinlösung
konzentriert und dann unter Verwendung einer Gelfiltrationssäule zum
Erhalt von Cobaltapoferritinkomplexen filtriert. Danach werden die
Cobaltapoferritinkomplexe in einer geeigneten Lösung gelagert.
-
Wie
beschrieben worden ist, wird in dieser Ausführungsform die pH-Einstellung
unter Verwendung einer Pufferlösung
durchgeführt,
und dadurch kann der pH der Apoferritinlösung auf einen erwünschten
Wert eingestellt werden. Auf diese Weise ist es möglich, zu
verhindern, dass die durch die chemische Reaktionsformel 1 in der
entgegengesetzten Richtung abläuft.
Demgemäß kann die
Elution von in den Cobaltapoferritinkomplexen enthaltenen Cobaltteilchen
in die Lösung
verhindert werden. Daher kann in dieser Ausführungsform ein ein Cobaltteilchen
enthaltender Cobaltapoferritinkomplex mit gleichmäßigem Durchmesser
erhalten werden.
-
Spezifischer
wird in dieser Ausführungsform
NaOH nicht verwendet, und daher wird Apoferritin nicht denaturiert.
Daher ist es möglich,
Apoferritin in dem Zustand zu halten, wo es seine ursprünglichen
Charakteristiken aufweisen kann, d. h. in dem Zustand, wo es Cobaltteilchen
in ausreichender Weise halten kann.
-
Darüber hinaus
werden in dem Verfahren zum Herstellen eines Cobaltapoferritinkomplexes
gemäß dieser
Ausführungsform
Co2+-Ionen zu CoO(OH)-Niederschlägen aufgrund
der Zugabe von H2O2,
und daher wird die Anzahl von Co2+-Ionen
in der gesamten Lösung
verringert. Durch die parallele Reaktion der chemischen Reaktionsformel 2 werden
jedoch die assoziierten Co2+-HEPES-Paare
dissoziiert, und Co2+-Ionen werden geliefert.
Co2+-Ionen werden aufgrund der negativen
Ladung des Halteteils 4 des Apoferritins 1 zusammengelagert.
In dem Halteteil 4 läuft
die Bildung von CoO(OH) ab, und Cobaltapoferritinkomplexe werden
gebildet. Demgemäß können – selbst
wenn ein Reaktionsmaßstab
auf ein industrielles Niveau erhöht
wird – Cobaltapoferritinkomplexe
durch Zugabe lediglich eines Oxidationsmittels gebildet werden,
ohne dass spezielle Maßnahmen
zum gleichmäßigen Dispergieren
des Oxidationsmittels (d. h. H2O2 in dieser Ausführungsform) beachtet werden
müssen.
Daher können
in dem Verfahren zum Herstellen eines Cobaltapoferritinkomplexes dieser
Ausführungsform
die Verfahrensschritte in industriellem Maßstab in relativ einfacher
Weise durchgeführt
werden.
-
4 ist
eine elektronenmikroskopische Aufnahme von in dieser Ausführungsform
erhaltenen Cobaltapoferritinkomplexen. In 4 zeigen
die Pfeile auf typische Cobaltapoferritinkomplexe, in welchen CoO(OH) (in
den Halteteil von) Apoferritin eingelagert sind.
-
5 ist
eine elektronenmikroskopische Aufnahme von Apoferritin, erhalten
durch das Herstellungsverfahren dieser Ausführungsform, in welcher eine
Phosphorsäure-Pufferlösung oder
eine TAPS-Pufferlösung anstelle
einer HEPES-Pufferlösung
verwendet wird. Nun werden die 4 und 5 verglichen.
In 5 ist CoO(OH) nicht in (den Halteteil von) Apoferritin
eingelagert, wie durch typische Apoferritine gezeigt, auf welche die
Pfeile zeigen. Wenn spezifischer eine Phosphorsäure-Pufferlösung verwendet wird, erfolgt
keine Bildung von CoO(OH) in dem Halteteil von Apoferritin. Die
Erfinder der vorliegenden Erfindung bestätigten ebenfalls, dass in einigen
anderen Pufferlösungen
(z. B. eine Tris-Pufferlösung,
eine TAPS-Pufferlösung
und eine Essigsäure-Pufferlösung) eine
Bildung von CoO(OH) in dem Halteteil von Apoferritin nicht erfolgt.
Die Ergebnisse legen nahe, dass sämtliche Co2+-Ionen
CoO(OH)-Niederschläge
außerhalb
des Apoferritins in der Lösung
geworden sind und dass sie daher nicht in den Halteteil zusammengelagert
werden konnten. Es scheint, dass im Fall einer TAPS-Pufferlösung, einer
Tris-Pufferlösung,
einer Phosphorsäure-Pufferlösung, einer
Essigsäure-Pufferlösung oder Ähnlichem
zwischen Co2+-Ionen und Phosphorsäure, Essigsäure oder
Tris kein Gleichgewichtszustand vorliegt, wie derjenige, der durch
die chemische Reaktionsformel 2 wiedergegeben und in 3 gezeigt
ist.
-
Im
Hinblick auf das vorstehend Beschriebene wird angenommen, dass in
dieser Ausführungsform
verwendetes HEPES ein Puffer ist und ebenfalls als assoziierendes
Mittel wirkt, welches mit Co2+-Ionen assoziiert.
-
Weiterhin
wird in dieser Ausführungsform
H2O2 als Oxidationsmittel
verwendet. Es können
jedoch andere bekannte Oxidationsmittel verwendet werden. So kann
z. B. KMnO4, K2Cr2O7, HNO3,
HClO oder NaClO als Oxidationsmittel anstelle von H2O2 verwendet werden.
-
(Ausführungsform 2)
-
In
dieser Ausführungsform
wird eine nicht flüchtige
Speicherzelle beschrieben, die als schwimmendes Gate einen Punktkörper umfasst,
der durch Verwenden eines in der Ausführungsform 1 hergestellten
Cobaltapoferritinkomplexes gebildet ist.
-
Die 6A bis 6D sind
Querschnittansichten, welche die jeweiligen Verfahrensschritte zum
Herstellen einer nicht flüchtigen
Speicherzelle gemäß dieser
Ausführungsform
veranschaulichen.
-
Als
Erstes wird in dem in 6A gezeigten Verfahrensschritt
ein Isolieroxidfilm 102 auf einem Si-Substrat 101 vom
p-Typ gebildet, um so einen aktiven Bereich durch LOCOS zu umgeben,
und dann wird ein Gateoxidfilm 103, der als Tunnelisolierfilm
wirkt, auf dem Substrat durch thermische Oxidation gebildet. Danach werden
Punktkörper 104,
die jeweils ein Metall- oder Halbleiterteilchen mit einem Durchmesser
von etwa 6 nm umfassen, auf dem Substrat gebildet. Der Verfahrensschritt
zum Bilden der Punktkörper 104 wird
später
beschrieben.
-
Als
Nächstes
wird in dem in 6B gezeigten Verfahrensschritt
ein SiO2-Film auf dem Substrat durch Sputtern
oder CVD so abgeschieden, dass die Punktkörper 104 in dem SiO2-Film
eingeschlossen sind.
-
Als
Nächstes
wird in dem in 6C gezeigten Verfahrensschritt
ein Al-Film auf dem Substrat abgeschieden. Anschließend werden
unter Verwendung einer Fotoresistmaske Pr1 der SiO2-Film
und der Al-Film mit einem Muster versehen zum Bilden eines Siliciumoxidfilms 105,
der ein isolierender Film zwischen Elektroden ist, und einer Al-Elektrode 106,
die eine Steuergateelektrode ist. An diesem Punkt wird ein Teil
des Gateoxidfilms 103, der nicht durch die Fotoresistmaske
Pr1 bedeckt ist, entfernt, und somit werden einige der darauf befindlichen
Punktkörper 104 ebenfalls
gleichzeitig entfernt. Danach werden unter Verwendung der Fotoresistmaske
und der Al-Elektrode 106 als Maske Ionen einer Verunreinigung
darin injiziert, wodurch erste und zweite dotierte Schichten 107a und 107b vom
n-Typ gebildet werden.
-
Dann
wird in dem in 6D gezeigten Verfahrensschritt
unter Verwendung bekannter Techniken ein Zwischenschichtisolierfilm 108 gebildet,
ein Kontaktloch 109 wird so gebildet, dass es zu dem Zwischenschichtisolierfilm 108 durchgeht,
das Kontaktloch 109 wird mit Wolfram gefüllt, um
einen Wolframstopfen 110 zu bilden, und dann werden erste
und zweite Aluminiumverbindungen 111a und 111b gebildet.
-
In
dieser Ausführungsform
wird ein Si-Substrat vom p-Typ verwendet. Es kann jedoch auch ein
Si-Substrat vom n-Typ verwendet werden. Weiterhin kann ein aus einem
GaAs-Verbindungshalbleiter, aus einigen anderen Verbindungshalbleitern
oder aus einigen anderen Halbleitern gebildetes Substrat verwendet
werden.
-
Als
Nächstes
wird in dem in 6A gezeigten Verfahrensschritt
eine Technik zum Herstellen der auf dem Substrat gebildeten Punktkörper 104 mit
Bezug auf die 7 und 8 beschrieben.
Es wird darauf hingewiesen, dass die vorliegende Erfindung nicht
auf die folgende Technik beschränkt
ist, sondern dass andere bekannte Techniken ebenfalls verwendet
werden können.
-
In
dem in 7A gezeigten Verfahrensschritt
werden in der Ausführungsform
1 erhaltene Cobaltapoferritinkomplexe (die hierin als "Komplexe" bezeichnet werden) 150 hergestellt,
und die Komplexe 150 werden auf die Oberfläche eines
Substrats 130 aufgebracht. Auf diese Weise wird ein Komplexfilm
auf dem Substrat 130 gebildet, in welchem die Komplexe 150 in
hoher Dichte mit hoher Präzision
angeordnet sind. Es wird darauf hingewiesen, dass das Substrat 130 ein
in dem in 6A gezeigten Verfahrensschritt
erhaltenes Substrat ist, durch Bilden auf einem Si-Substrat 101 vom
p-Typ unter Verwendung von LOCOS einen Isolieroxidfilm 102, der
einen aktiven Bereich umgibt, und anschließendes Bilden auf dem Substrat
durch thermische Oxidation einen Gateoxidfilm 103, der
als Tunnelisolierfilm wirkt. In der folgenden Beschreibung ist das
Substrat 130 ein in der gleichen Weise, wie hier beschrieben,
erhaltenes Substrat.
-
Als
Nächstes
werden in dem in 7B gezeigten Verfahrensschritt
Proteinmoleküle 140 in
den Komplexen 150 entfernt, so dass nur Cobaltteilchen 104a zurückbleiben.
Auf diese Weise werden die Punktkörper 104 auf dem Substrat 130 gebildet.
-
Es
wird eine Technik zum Anordnen der Komplexe 150 in hoher
Dichte mit hoher Präzision
auf der Oberfläche
des Substrats 130, durchgeführt in dem in 7A gezeigten
Verfahrensschritt, d. h. ein Verfahren zum Anordnen und Immobilisieren
der Komplexe 150 zweidimensional auf der Oberfläche des
Substrats 130 beschrieben. In dieser Ausführungsform
wird das in der japanischen Patentveröffentlichung Nr. 11-45990 beschriebene
Verfahren hierin nachstehend mit Bezug auf 8 beschrieben.
-
Zuerst
wird, wie in 8A gezeigt, eine Flüssigkeit 160,
in welcher Komplexe 150 dispergiert sind, hergestellt (d.
h. eine Lösung,
erhalten durch Dispergieren von Cobaltapoferritinkomplexen in einer
Lösung, erhalten
durch Vermischen in gleichen Volumina einer Phosphorsäure-Pufferlösung mit
einer Konzentration von 40 mM und pH 5,3 und einer Natriumchloridlösung mit
einer Konzentration von 40 mM, wird in dieser Ausführungsform
hergestellt).
-
Anschließend wird,
wie in 8B gezeigt, PBLH (Poly-1-benzil-L-histidin)
auf der Oberfläche
der Flüssigkeit 160 unter
Verwendung eines Injektors oder Ähnlichem
ausgebreitet. Auf diese Weise wird ein Polypeptidfilm 170 von
PBLH auf der Oberfläche
der Flüssigkeit 160 gebildet.
Zu diesem Zeitpunkt wird der pH der Flüssigkeit 160 eingestellt.
-
Als
Nächstes
haften, wie in 8C gezeigt, die Komplexe 150 an
dem Polypeptidfilm 170 im Lauf der Zeit, und dann werden
zweidimensionale Kristalle der Komplexe 150 gebildet. Der
Grund hierfür
ist, dass der Polypeptidfilm 170 eine positive Ladung hat,
während
die Komplexe 150 eine negative Ladung haben.
-
Als
Nächstes
wird, wie in 8D gezeigt, ein Substrat 130 auf
den Polypeptidfilm 170 aufgebracht (schwimmend aufgebracht).
Auf diese Weise haftet der Polypeptidfilm 170 an dem Substrat 130.
-
Als
Nächstes
wird, wie in 8E gezeigt, das Substrat 130 herausgenommen,
um das Substrat 130 zu erhalten, auf welchem die zweidimensionalen
Kristalle der Komplexe 150 mit dem dazwischen angeordneten
Polypeptidfilm 170 haften.
-
Als
Nächstes
werden weitere Einzelheiten des in der 7B gezeigten
Verfahrensschritts beschrieben.
-
Da
Proteinmoleküle
im Allgemeinen wärmeempfindlich
sind, werden Proteinmoleküle
der Komplexe 150 durch Wärmebehandlung entfernt. Wenn
z. B. das Substrat 130 etwa 1 Stunde in einem Inertgas,
wie Stickstoffgas, bei einer Temperatur von 400 bis 500°C stehengelassen
wird, werden die Proteinmoleküle 140 und
der Polypeptidfilm 170 in dem Verfahren 1 herausgebrannt,
und dann bleiben Cobaltteilchen 104a auf dem Substrat 130 als
Punktkörper 104 zurück, so dass
sie regelmäßig in zweidimensionaler
Weise in hoher Dichte mit hoher Präzision angeordnet sind.
-
Auf
die vorstehend beschriebene Weise, wie in 7B gezeigt,
ist es möglich,
die in den Komplexen 150 gehaltenen Cobaltteilchen 104a zweidimensional
auf dem Substrat 130 erscheinen zu lassen und auch die
Punktkörper 104 regelmäßig angeordnet
mit hoher Dichte mit hoher Präzision
zu bilden.
-
Wie
in 6D gezeigt, ist eine Speicherzelle 100 gemäß dieser
Ausführungsform
eine nicht flüchtige Speicherzelle,
welche einen MOS-Transistor (Speichertransistor) mit einer Al-Elektrode 106,
die als Kontrollgate wirkt, erste und zweite dotierte Schichten 107a und 107b vom
n-Typ, die als Source und Drain wirken, umfasst und Änderungen
der Schwellenspannung des Speichertransistors gemäß der Menge
einer elektrischen Ladung verwendet, die in den Punktkörpern 104 gespeichert
ist, die jeweils als ein schwimmendes Gate wirken.
-
Die
nicht flüchtige
Speicherzelle kann als binärer
Speicher wirken. Es ist jedoch auch möglich, einen mehrwertigen Datenspeicher
zu erzielen, der drei- oder mehrwertige Daten speichern kann, in
dem nicht nur das Vorliegen von in den Punktkörpern 104 zu speichernden
Ladungen, sondern auch die Gesamtmenge von darin gespeicherten Ladungen
geregelt wird.
-
Wenn
Daten gelöscht
werden, wird ein durch einen Oxidfilm durchgehender FN-Strom (Fowler-Nordheim-Strom)
oder direkt getunnelter Strom verwendet.
-
Wenn
Daten eingeschrieben werden, wird ein durch einen Oxidfilm durchgehender
FN-Strom (Fowler-Nordheim-Strom)
oder ein direkt getunnelter Strom oder eine heiße Elektronenkanalinjektion
(CHF-Injektion) verwendet.
-
In
der nicht flüchtigen
Speicherzelle dieser Ausführungsform
wird das schwimmende Gate aus Cobaltteilchen gebildet, die einen
so kleinen Durchmesser haben, dass sie als Quantenpunkte wirken
können,
und somit ist die Menge von zu speichernden Ladungen klein. Daher
kann die Strommenge, die fließt,
wenn Daten eingeschrieben oder gelöscht werden, verringert werden,
und somit kann eine nicht flüchtige
Speicherzelle mit niedrigem Energieverbrauch erzielt werden.
-
Ebenfalls
ist in der nicht flüchtigen
Speicherzelle dieser Ausführungsform
der Durchmesser von Cobaltteilchen, welche das schwimmende Gate
bilden, gleichmäßig. Somit
sind die Charakteristiken der Cobaltteilchen, wenn eine Ladung injiziert
oder entfernt wird, ebenfalls gleichmäßig. Daher kann ein solcher
Vorgang, wie Injektion oder Entfernung einer Ladung, in einfacher
Weise geregelt werden.
-
Daher
kann gemäß der vorliegenden
Erfindung ein Cobaltproteinkomplex, der ein Cobaltteilchen mit gleichmäßigem Durchmesser
enthält,
erhalten werden.
-
Industrielle
Anwendbarkeit
-
Ein
Verfahren zum Herstellen eines Cobaltproteinkomplexes gemäß der vorliegenden
Erfindung ist anwendbar bei der Herstellung von Vorrichtungen, die
hyperfeine Muster erfordern, und ist insbesondere anwendbar bei
der Herstellung von hyperfeinen elektrischen Vorrichtungen, wie
eine nicht flüchtige
Speicherzelle, die einen Punktkörper
als schwimmendes Gate enthält.