DE602004010574T2

DE602004010574T2 - Herstellungsverfahren einer Mehrpol-Linse

Info

Publication number: DE602004010574T2
Application number: DE602004010574T
Authority: DE
Inventors: Eiji Kawai; Joachim Zach; Klaus Hessenauer
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 2003-06-24
Filing date: 2004-06-24
Publication date: 2008-04-17
Anticipated expiration: 2024-06-25
Also published as: EP1492151A2; US20050029466A1; DE602004010574D1; US7012261B2; DE602004017234D1; JP2005019071A; EP1811540B1; EP1811540A3; EP1492151A3; EP1492151B1; EP1811540A2; JP4133619B2

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
1. Bereich der Erfindung
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Multipollinse mit mehrpoligen Elementen, wie beispielsweise achtpolige Elemente oder zwölfpolige (12 Pole) Elemente.
2. Beschreibung der verwandten Technik
In einem Beobachtungssystem, wie beispielsweise einem Instrument mit einem Strahl geladener Teilchen (z.B. ein Scanner-Elektronenmikroskop) wird eine Abweichung des Elektronenstrahls, d.h. des Strahls geladener Teilchen, korrigiert, wenn der Strahl auf eine Probe gerichtet wird, um die Probe angemessen darzustellen. In einem solchen Beobachtungssystem sind Multipollinsen als ein Abweichungskorrektor angebracht, um die Abweichung des Elektronenstrahls zu korrigieren.
Eine Konstruktion solcher Multipollinsen ist in der Patentreferenz 1 (Offengelegtes japanisches Patent Nr. H2-230647 ) offenbart. Diese bekannte Struktur umfasst mehrere (8 oder 12) polare Elemente, welche durch ein ringförmiges Halteelement und durch ein außen an dem Halteelement angeordnetes Joch gehalten sind.
Diese in der Patentreferenz 1 beschriebene Multipollinse (mehrere polare Elemente) wird nun beschrieben. Die in 1 gezeigte Multipollinse der Patentreferenz 1 weist mehrere polare Elemente, ein Strahlrohr und ein ringförmiges Joch auf, welches aus einem Eisenkanal gebildet ist und außerhalb des Strahlrohrs angebracht ist. Jedes der polaren Elemente umfasst eine Montagestange und ein Polstück, das an das Vorderende der Montagestange gekoppelt ist. Das Strahlrohr ist mit hermetischen Löchern für den Durchlass der Montagestangen der polaren Elemente versehen.
Jedes polare Element wird durch Schrauben des Vorderendabschnitts jeder Montagestange in das Polstück oder durch Haftverbindung oder Zusammenschweißen hergestellt. Die Montagestangen und Polstücke, welche die polaren Elemente bilden, sind aus einem magnetischen Material gebildet. Das Strahlrohr ist aus einem elektrisch isolierenden Material gebildet. Eine Metallbeschichtung ist um jedes hermetische Loch herum gebildet.
Die Montagestange jedes polaren Elements weist einen Basisendabschnitt auf, der fest mit dem Joch verbunden ist. Insbesondere wird die Montagestange mittels eines Isolierstücks in das entsprechende Loch in dem Joch eingeführt. So werden die Montagestangen ausgerichtet und fest an das Joch gekoppelt.
Die Montagestangen sind hermetisch und fest in den hermetischen Löchern in dem Strahlrohr durch das zuvor genannte Schweißen mittels der Metallbeschichtung angebracht. Folglich bilden die Schweißverbindungen einen hermetisch abgedichteten Körper.
Eine Spule ist an jeder Montagestange zwischen dem Strahlrohr und dem Joch angebracht. Das mit dem Vorderende jeder Montagestange verbundene Polstück wird magnetisch erregt, indem elektrischer Strom durch die Spule geleitet wird. Die Basisendabschnitte der Montagestangen sind in den Löchern des Jochs mittels des Isolationselements positioniert. Elektrische Anschlussklemmen sind jeweils mit den Basisendabschnitten verbunden, sodass eine Spannung zu ihnen gelangt.
In den Multipollinsen der oben beschriebenen Konstruktion sind die Basisendabschnitte der polaren Elemente der Montagestangen in die in dem Joch gebildeten Löcher eingeführt und ausgerichtet. Unter dieser Bedingung sind die Basisendabschnitte fest an das Joch in den Löchern gekoppelt.
In diesem Fall sind die Basisendabschnitte der polaren Elemente fest mit den in dem Joch gebildeten Löchern gekoppelt und so kann während des Herstellungsschritts zum Verbinden der Basisendabschnitte mit dem Joch über die Löcher in dem Joch eine unerwünschte externe Kraft auf die Basisendabschnitte der polaren Löcher ausgeübt werden. Das bedeutet, dass die Basisendabschnitte über die Löcher in dem Joch als Folge des oben genannten Herstellungsverfahrens eine unerwünschte externe Kraft erfahren können. Wird eine solche Kraft ausgeübt, können die polaren Elemente während des Verbindungsschritts verformt werden, oder die Form der polaren Elemente kann sich mit der Zeit verändern, auch wenn die polaren Elemente zu Beginn ausgerichtet sind.
Folglich können die Polstücke an den Vorderenden der polaren Elemente von ihrer Position abweichen. Eine Positionsabweichung entlang der optischen Achse des Elektronenstrahls erzeugt eine lokale Feldvariation entlang der optischen Achse in dem Bereich, in dem ein magnetisches oder ein elektrisches Feld durch die Multipollinse erzeugt wird. Diese lokale Feldvariation wird nur am Strahleingang und den Ausgangsabschnitten des Bereichs erzeugt, in dem das Feld erzeugt wird. Daher schafft diese lokale Feldvariation kein großes Hindernis bei der Korrektur der Abweichung in dem Elektronenstrahl. Positionsabweichungen der Polstücke in einer Richtung orthogonal zur optischen Achse des Strahls erzeugen jedoch nicht-lokale Feldvariationen über den ganzen Bereich, durch welchen der Strahl gelangt. Diese nicht-lokalen Feldvariationen treten entlang der optischen Achse in dem Bereich auf, in dem das Feld erzeugt wird. Folglich erzeugen die nicht-lokalen Feldvariationen ein großes Hindernis bei der Abweichungskorrektur des Strahls.
In dem Beispiel der oben zitierten Patentreferenz 1 wird jedes polare Element durch Einführen der Montagestange in das Strahlrohr und dann Verbinden des Polstücks mit dem Vorderende der Montagestange erzeugt. Folglich ist viel Arbeit erforderlich, um das geformte Polarelement in die gewünschte Form und die gewünschten Abmessungen zu bringen. Wo ferner die gewünschte Gestalt aufgrund der Bedingung, unter der die Montagestange und das Polstück verbunden sind, nicht erreicht werden kann, ist ein separater Verarbeitungsschritt erforderlich.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Angesichts des Vorangehenden erfolgte die vorliegende Erfindung. Es wäre wünschenswert, eine Multipollinse vorzusehen, welche weniger Feldvariationen erzeugt. Es wäre wünschenswert, ein Instrument mit einem Strahl geladener Teilchen vorzusehen, welcher zu solchen Multipollinsen passt. Es wäre ferner wünschenswert, ein Verfahren zum effizienten Herstellen von Multipollinsen vorzusehen.
Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren vorgesehen, durch welches eine Multipollinse mit einer Mehrzahl polarer Elemente und ein ringförmiges Halteelement hergestellt werden. Jedes der polaren Elemente umfasst einen gehaltenen Abschnitt und einen Vorderendabschnitt. Das Halteelement hält die Halteabschnitte der polaren Elemente. Das Verfahren beginnt damit, dass die Vorderendabschnitte der polaren Elemente durch in dem Halteelement gebildete Löcher gelangen. Dann sind die Halteabschnitte der polaren Elemente an dem Halteelement gehalten.
Weitere bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung erscheinen in deren nachfolgender Beschreibung.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 ist eine schematische Darstellung eines Instruments mit einem Strahl geladener Teilchen, das mit Multipollinsen ausgerüstet ist.
2 ist eine Querschnittsansicht einer Multipollinse.
3 ist eine Querschnittsansicht entlang der Linie A-A in 2.
4 ist ein Seitenriss eines Hauptteils der Außenfläche einer Multipollinse.
5 ist eine Querschnittsansicht einer weiteren Multipollinse.
6 ist eine Querschnittsansicht, welche den Zustand zeigt, in welchem die polaren Elemente der in 5 gezeigten Multipollinse positioniert sind.
7 ist eine Querschnittsansicht, welche den Zustand zeigt, in dem die polaren Elemente der in 5 gezeigten Multipollinse positioniert worden sind.
BESCHREIBUNG
Beispiele für Multipollinsen, wie sie erfindungsgemäß hergestellt werden können, werden nachfolgend detailliert mit Bezug zu den Zeichnungen beschrieben.
1 ist eine schematische Darstellung eines Beobachtungssystems (wie beispielsweise ein Instrument mit einem Strahl geladener Teilchen), das mit Multipollinsen ausgerüstet ist.
Ein Scanner-Elektronenmikroskop wird als ein Beispiel für das Beobachtungssystem verwendet. Das mit dem Bezugszeichen 1 bezeichnete Scanner-Elektronenmikroskop umfasst eine Elektronenkanone 2, welche als eine Quelle für einen Strahl geladener Teilchen dient, Kondensatorlinsen 3a, einen Abweichungskorrektor 4, Scanspulen 5, eine Objektivlinse 3b und einen Detektor 8.
Bei diesem Scanner-Elektronenmikroskop 1 wird ein Elektronenstrahl (Strahl geladener Teilchen) 9, der von der Elektronenkanone 2 ausgegeben und beschleunigt wird, durch ein Beleuchtungslinsensystem 3 gesteuert und scharf auf eine beobachtete Fläche 7a einer Probe 7 fokussiert. Das Beleuchtungslinsensystem 3 umfasst die Kondensatorlinsen 3a und die Objektivlinse 3b. Zu diesem Zeitpunkt ist der Elektronenstrahl 9 in geeigneter Weise deflektiert und wird über die beobachtete Fläche 7a der Probe 7 durch die Scanspulen 5 gescant.
Elektronen 10, die detektiert werden sollen, wie beispielsweise Sekundärelektronen oder rückgestreute Elektronen, werden von der beobachteten Fläche 7a der Probe 7 gemäß dem Zustand der mit dem Elektronenstrahl 9 beleuchteten Fläche 7a erzeugt. Die detektierten Elektronen 10 werden durch den Detektor 8 als ein Signal detektiert, das ein beobachtetes Bild der Probe 7 erzeugt. Das Ausgangsbildsignal von dem Detektor 8, das für die detektierten Elektronen 10 indikativ ist, wird in geeigneter Weise verstärkt und zu einem Steuerkreis (nicht gezeigt) gesendet. Dann wird das Signal zu einem Anzeigemittel (nicht gezeigt), wie beispielsweise einer CRT (Kathodenstrahlröhre) oder einer LCD (Flüssigkristallanzeige) gesendet und als beobachtetes Bild angezeigt.
Wird der Elektronenstrahl 9 von dem Beleuchtungslinsensystem 3 fokussiert und auf die beobachtete Fläche 7a der Probe 7 gerichtet, so gelangt der Strahl durch den Abweichungskorrektor 4. Dieser Korrektor 4 wird verwendet, um eine Abweichung in dem Elektronenstrahl 9 zu korrigieren. Bei diesem Beispiel umfasst der Korrektor 4 beispielsweise vier Stufen von Multipollinsen 4a. Die Anzahl der Stufen von Multipollinsen 4a ist nicht auf vier begrenzt. Der Korrektor kann aus jeder beliebigen Anzahl von Stufen bestehen.
2 ist eine vertikale Querschnittsansicht einer Stufe von Multipollinsen 4a, welche den Abweichungskorrektor 4 bilden. Diese Multipollinse 4a umfasst polare Elemente 23, ein ringförmiges Halteelement 25 zum Halten der polaren Elemente 23 und ein ringförmiges Joch 29, welches außerhalb des Halteelements 25 angeordnet ist. Das polare Element 23 umfasst eine Haltestange 22 und ein Polstück 21, welches am Vorderende 22a der Stange 22 angebracht ist. Die Stange 22 und das Polstück 21 sind aus einem magnetischen Material, wie beispielsweise Permalloy-Legierung oder Eisen, gefertigt. Das Polstück 21 kann an der Haltestange 22 durch Schrauben, Haftverbindung, Schweißen oder eine andere Befestigungsmethode befestigt sein.
Die Haltestangen 22, die die polaren Elemente 23 bilden, halten Abschnitte 22c, welche in Durchgangslöchern 25a eingeführt sind, die in dem Halteelement 25 gebildet sind, welches aus einem nicht magnetischen Material, wie beispielsweise Messing oder Phosphorbronze gemacht ist. Dichtungselemente 26 und 27, welche jeweils aus einem O-Ring oder dergleichen bestehen, sind an den gegenüberliegenden Enden jedes Durchgangslochs 25a angeordnet. Der Bereich des Inneren des Durchgangslochs 25a, welcher zwischen der Außenfläche des gehaltenen Abschnitts 22c der Stange 22 und der Innenfläche des Durchgangslochs 25a angeordnet ist, ist mit Harz 24 gefüllt. Das Harz 24 wird in diesem Bereich des Inneren des Durchgangslochs 25a gehärtet. Folglich ist der gehaltene Abschnitt 22c der Haltestange 22 in dem Durchgangsloch 25a in dem Halteelement 25 mittels des gehärteten Harzes 24 fest angebracht. So wird das polare Element 23 an dem Halteelement 25 in seinem Halteabschnitt 22c platziert und in Position gehalten.
Die Haltestange 22, die die polaren Elemente 23 bildet, umfasst einen Basisendabschnitt 22b, der in das Joch 29 eingeführt ist und aus einem magnetischen Material, wie beispielsweise Permalloy-Legierung oder Eisen, gebildet ist. Das Joch 29 ist mit Öffnungen 29a versehen, in welche die Basisendabschnitte 22b der Haltestangen 22 eingeführt werden. So sind die Haltestangen 22 der polaren Elemente 23 magnetisch an das Joch 29 gekoppelt. Eine Stromquelle (nicht gezeigt) zum Anwenden einer gegebenen Spannung ist mit den Endflächen der Basisendabschnitte der Haltestangen 22 verbunden.
Eine Spule 31 zum Erregen des polaren Elements 23 ist an der Haltestange 22 jedes polaren Elements 23 und zwischen dem Halteelement 25 und dem Joch 29 angeordnet. Eine Blattfeder 30 ist zwischen der Spule 31 und dem Joch 29 angeordnet, um die Position der Spule 31 zu begrenzen. Ein röhrenförmiges Isolationselement 28 ist an der Außenfläche des Basisendabschnitts 22b jeder Stange 22 angebracht, die gegenüber von den Öffnungen 29a in dem Joch 29, der Blattfedern 30 und Spulen 31 liegt.
Ein Querschnitt entlang der Linie A-A in 2 ist in 3 gezeigt. Wie in 3 gezeigt ist, sind die polaren Elemente 23 radial um die optische Achse des Elektronenstrahls 9 herum angeordnet. In diesem Beispiel umfasst die Multipollinse 4a 12 polare Elemente 23. Das Halteelement 25 ist mit den Durchgangslöchern 25a entsprechend den Haltestangen 22 der polaren Elemente 23 versehen. Die gehaltenen Abschnitte 22c der Stangen 22 der polaren Elemente 23 sind in die Durchgangslöcher 25a eingeführt. Die Durchgangslöcher 25a sind mit dem Harz 24 gefüllt.
Die Merkmale der Multipollinse sind mit Bezug zu 4 beschrieben, die ein Seitenriss eines Hauptabschnitts der Außenfläche der Multipollinse ist. Wie in dieser Figur gezeigt ist, ist das Joch 29 aus einem oberen ringförmigen Teil 29b und einem unteren ringförmigen Teil 29c zusammengesetzt. Diese zwei ringförmigen Jochteile 29b und 29c sind einander gegenüberliegend so angeordnet, dass sie überlappen. Die Flächen der Jochteile 29b und 29c, welche einander gegenüber liegen, sind mit Ausschnittabschnitten 29b beziehungsweise 29e versehen. Die zwei Jochteile 29b und 29c überlappen, sodass die Ausschnittabschnitte 29d und 29e einander gegenüberliegen. So ist das Joch 29 gebildet.
Zu diesem Zeitpunkt sind die Ausschnittabschnitte 29d und 29e einander gegenüber angeordnet, sodass die Basisendabschnitte 22b der die polaren Elemente bildenden Haltestange 22 zwischen ihnen liegen. Die zwei Jochteile 29b und 29c überlappen, um die Öffnungen 29a in dem Joch 29 zu bilden. Die Basisendabschnitte 22b der Haltestangen 22 sind in den Öffnungen 29a angeordnet. Dies führt dazu, dass der Basisendabschnitt 22b der Haltestange 22 zwischen die in den Jochteilen 29b und 29c gebildeten Ausschnittabschnitte 29d und 29e eingefügt ist. In 4 hat der Basisendabschnitt 22b jeder Haltestange 22 einen kreisförmigen Querschnitt. Das röhrenförmige Isolationselement 28 wird an der Außenfläche des Basisendabschnitts 22b der Haltestange 22 angebracht bevor der Basisendabschnitt zwischen den Ausschnittabschnitten 29d und 29e gehalten wird. Wenn entsprechend der Basisendabschnitt 22b der Haltestange 22 zwischen den in den Jochteilen 29b und 29c gebildeten Ausschnittabschnitten 29d und 29e eingefügt ist, sehen die obere Fläche 28b und die untere Fläche 28c des Isolationselements 28, das an der Außenfläche des Basisendabschnitts 22b gebildet ist, Streifen in Berührung mit zentralen, flachen Flächen 29g und 29h in den Ausschnittabschnitten 29d beziehungsweise 29e vor.
Die Ausschnittabschnitte 29d und 29e erstrecken sich umfangmäßig zu den Jochteilen 29b und 29c, das heißt zum Joch 29. Daher erstrecken sich die von den Ausschnittsabschnitten 29d und 29e in dem Joch 29 gebildeten Öffnungen 29a in der Umfangsrichtung. In diesem Beispiel sind die Öffnungen 29a in dem Joch 29 Schlitze, da die Jochteile 29b und 29c auf diese Weise leicht herzustellen sind.
So sind die Basisendabschnitte 22b der Haltestangen 22, die die polaren Elemente 23 bilden, in den Öffnungen 29a positioniert, die sich umfangmäßig an dem Joch 29 erstrecken. Folglich ist in der Umfangsrichtung gesehen ein Spalt d (siehe 3 und 4) zwischen den Seitenflächen 28a des Isolationselements 28 an der Außenfläche des Basisendabschnitts 22b der Haltestange 22 und der Innenwandendfläche 29f jeder Öffnung 29a in dem Joch 29 gebildet.
Wenn also die Basisendabschnitte 22b der Haltestangen 22 an das Joch 29 gekoppelt werden, berührt die Seitenwand 28a des Isolationselements 28 die Innenwandendfläche 29f der Öffnung 29a nicht. Eine externe Kraft in der Umfangsrichtung des Jochs 29, d.h. in einer Richtung orthogonal zur optischen Achse des Strahls 9) wird nicht auf die Basisendabschnitte 22b von der Innenwandfläche (Innenwandendfläche 29f) der Öffnung 29a ausgeübt. Entsprechend wird keine unerwünschte externe Kraft orthogonal zur optischen Achse des Strahls 9 auf die Haltestangen 22 ausgeübt, die die polaren Elemente 23 bilden. Die Polstücke 21 weichen orthogonal zur optischen Achse nicht von ihrer Position ab. In dem Bereich, in dem durch die Multipollinse 4a ein Magnetfeld erzeugt wird, wird das Magnetfeld daher daran gehindert, im gesamten Bereich entlang der optischen Achse des Strahls 9 abzuweichen. So wird die Abweichungskorrektur des Elektronenstrahls 9 nicht so sehr behindert.
Die Erregungsspulen 31 sind in den Bereichen angebracht, die zwischen dem Halteelement 25 und dem Joch 29 an den Haltestangen 22 der polaren Elemente 23 liegen. Die Verbindung zwischen den Spulen 31, welche an den zueinander benachbarten polaren Elementen 23 angebracht sind, wird mit Bezug zu 3 beschrieben.
Werden in 3 die polaren Elemente 23a und 23b als zueinander benachbarte polare Elemente identifiziert, so sind die an den polaren Elementen 23a und 23b angebrachten Erregungsspulen die Spulen 31a beziehungsweise 31b. Wenn diese polaren Elemente positioniert sind, sind die benachbarten Spulen 31a und 31b in Serie verbunden.
Wenn, wie zuvor erwähnt, die polaren Elemente 23 an das Joch 29 gekoppelt sind, wirkt eine unerwünschte externe Kraft in einer Richtung orthogonal zu der optischen Achse des Elektronenstrahls 9 nicht auf die Haltestangen 22 der polaren Elemente 23. Wenn die polaren Elemente 23 an das Joch 29 gekoppelt sind, findet keine Verformung statt. Auch ist es unwahrscheinlich, dass sich die polaren Elemente 23 mit der Zeit verformen. Die Symmetrie der Anordnung jedes polaren Elements 23 in Relation zur optischen Achse wird beibehalten. So ist es nicht erforderlich, mit jeder Spule 31 an den polaren Elementen 23 eine separate Erregungsstromquelle zu verbinden. Folglich ist es nur erforderlich, die zueinander benachbarten Spulen 31 (Spulen 31a und 31b im oben genannten Beispiel) miteinander in Serie zu verbinden und eine Erregungsstromquelle mit den Enden der Spule 31 zu verbinden, die an den gegenüberliegenden Enden der Serienverbindung aller polaren Elemente 23 positioniert ist. Durch das Verbinden der Spulen 31 in Serie wirken Spannungsschwankungen in der Erregungsstromquelle und Geräusche symmetrisch zum Elektronenstrahl 9 und heben einander auf. So können ihre Auswirkungen verringert werden. Ein weiteres Beispiel ist nachfolgend mit Bezug zu 5 beschrieben.
5 ist eine vertikale Querschnittsansicht einer Multipollinse 4a. Diese Multipollinse 4a umfasst ein polares Element 23, das aus einer Haltestange 22 und einem Polstück 21 besteht, das am Vorderende der Stange 22 auf dieselbe Weise angeordnet ist, wie bei der in 2 gezeigten Multipollinse 4a. In 5 sind die Haltestange 22 und das Polstück 21 jedoch integral gebildet. Die Höhe h des Polstücks 21 ist so bestimmt, dass das Polstück in die Durchgangsöffnung 25a in dem Halteelement 25 eingeführt werden kann. Auch ist in diesem Fall, wie in den 3 und 4 gezeigt, ein Spalt d zwischen der Seitenfläche 28a eines Isolationselements 28, welches an der Außenfläche des Basisendabschnitts 22b der Haltestange 22 gebildet ist, und der Innenwandendfläche 29f der Öffnung 29a in dem Joch 29 gebildet, wie in Umfangsrichtung zu sehen ist. Es sind derselbe Betrieb und dieselben Vorteile möglich wie zuvor beschrieben.
Ein Verfahren zum Herstellen dieses Beispiels einer Multipollinse ist nachfolgend mit Bezug auf die 6 und 7 beschrieben. 6 ist eine Querschnittsansicht, die einen Schritt des Verfahrens zeigt, in welchem die polaren Elemente 23 der in 5 gezeigten Multipollinse 4a positioniert werden. 7 ist eine Querschnittsansicht, die den Zustand zeigt, in welchem die polaren Elemente 23 der Multipollinse 4a positioniert worden sind.
Wie in 6 gezeigt ist, wird jedes polare Element 23 durch integrales Formen der Haltestange 22 und des Polstücks 21 hergestellt. Unter dieser Bedingung gelangt das Polstück 21 des polaren Elements 23 durch die Durchgangslöcher 25a in dem Halteelement 25. Dann werden die polaren Elemente 23 wie in 7 gezeigt platziert und in Position gehalten. Ein Dichtungselement 26 zum Abdichten des Durchgangslochs 25a wird zuvor in Position an der Haltestange 22 jedes polaren Elements 23 angebracht.
Wie in 5 gezeigt, werden die Halteabschnitte 22c der Haltestangen 22 hiernach durch den Harz 24 fest in den Durchgangslöchern 25a in dem Halteelement 25 gehalten. Auf diese Weise werden die polaren Elemente 23 an dem Halteelement 25 durch Halten der an dem Halteelement 25 gehaltenen Abschnitte 22c befestigt.
Nach dem Platzieren des Isolationselements 28, der Spulen 31 und der Blattfedern 30 in gegebenen Positionen an den Haltestangen 22 der polaren Elemente 23 sind die Basisendabschnitte 22b jeder Haltestange 22 zwischen den in den zwei Jochteilen 29b und 29c gebildeten gegenüberliegenden Ausschnittsabschnitten 29d und 29e auf dieselbe Weise gehalten wie zuvor beschrieben.
In diesem Beispiel gelangen die polaren Elemente, in welchen jeweils die Haltestange und das Polstück integral gebildet sind, durch die Durchgangslöcher in dem Halteelement. Daher werden polare Elemente mit einer gewünschten Form, die wie gewünscht konstruiert sind, gewählt und für die Herstellung einer Multipollinse verwendet. Dies macht es überflüssig, einen separaten Bearbeitungsschritt durchzuführen. Entsprechend können die Multipollinsen effizient hergestellt werden.

Claims

Verfahren zur Herstellung einer Multipollinse (4a), welche eine Mehrzahl polarer Elemente (23) und ein ringförmiges Halteelement (25) aufweist, wobei jedes der polaren Elemente einen gehaltenen Abschnitt (22c) umfasst, wobei das Halteelement die gehaltenen Abschnitte der polaren Elemente hält, wobei das Halteelement mit Löchern (25a) versehen wird, dadurch gekennzeichnet, dass jedes der polaren Elemente einen Vorderendabschnitt (21) aufweist, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst: Führen der Vorderendabschnitte der polaren Elemente durch die in dem Halteelement gebildeten Löcher; und Halten der gehaltenen Abschnitte der polaren Elemente an dem Halteelement.
Verfahren zur Herstellung einer Multipollinse (4a) wie in Anspruch 1 beschrieben, wobei die Multipollinse ferner ein ringförmiges Joch (29) umfasst, das außerhalb des Halteelements (25) angeordnet wird und magnetisch an Basisendabschnitte (22b) der polaren Elemente (23) gekoppelt wird.
Verfahren zur Herstellung einer Multipollinse (4a) wie in Anspruch 2 beschrieben, wobei das Joch (29) zwei ringförmige Teile (29b, 29c) umfasst, die einander gegenüberliegend angeordnet werden, wobei die ringförmigen Teile einander gegenüberliegende Flächen aufweisen, wobei die gegenüberliegenden Flächen der ringförmigen Teile des Jochs mit Ausschnitten (29d, 29e) versehen sind, und wobei die Basisendabschnitte (22b) der polaren Elemente (23) zwischen den in den Jochteilen gebildeten gegenüberliegenden Ausschnitten eingepasst werden, nachdem die Halteabschnitte (22c) der polaren Elemente an dem Halteelement (25) gehalten werden.
Verfahren zur Herstellung einer Multipollinse (4a) wie in Anspruch 3 beschrieben, wobei sich die an den Teilen (29b, 29c) des Jochs (29) gebildeten gegenüberliegenden Ausschnitte (29d, 29e) umfangmäßig an den Teilen des Jochs erstrecken.