DE602004008385T2

DE602004008385T2 - Farbfiltersubstrat, Verfahren zu dessen Herstellung, elektro-optische Vorrichtung und elektronisches Gerät

Info

Publication number: DE602004008385T2
Application number: DE602004008385T
Authority: DE
Inventors: Satoru Katagami; Kunio Maruyama; Kazuaki Sakurada; Hisashi Aruga; Kei Hiruma; Tomomi Kawase
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2003-09-10
Filing date: 2004-09-07
Publication date: 2008-05-15
Anticipated expiration: 2024-09-08
Also published as: TWI252333B; KR20050026879A; DE602004008385D1; KR100639625B1; EP1515165B1; EP1515165A1; TW200530636A; CN100414323C; CN1595208A; US20050064305A1; JP2005084515A

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Farbfiltersubstrat zur Verwendung in Flüssigkristallvorrichtungen und anderen derartigen elektro-optischen Vorrichtungen, und ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Farbfiltersubstrats. Die vorliegende Erfindung betrifft auch eine elektro-optische Vorrichtung mit einem solchen Farbfiltersubstrat. Die vorliegende Erfindung betrifft des Weiteren elektronische Vorrichtungen, wie ein tragbares Telefon, ein tragbares Informationsterminal oder andere elektronische Vorrichtungen, die zur Verwendung einer solchen elektro-optischen Vorrichtung konfiguriert sind.
Es ist allgemein üblich, dass Farbe durch eine Flüssigkristallvorrichtung, eine organische EL-Vorrichtung oder eine andere derartige elektro-optische Vorrichtung angezeigt wird. Im Inneren einer solchen elektro-optischen Vorrichtung ist ein Farbfiltersubstrat enthalten. Dieses Farbfiltersubstrat wird zum Beispiel durch Bildung von drei färbenden Elementen in R (rot), G (grün) und B (blau) auf einer Basis gebildet, die aus einem transparenten Glas besteht, so dass sie ein vorbestimmtes Muster bilden.
Die folgenden drei Arten von Flüssigkristallvorrichtungen sind bekannt. Die erste ist eine sogenannte reflektive Flüssigkristallvorrichtung, in der Sonnenlicht, künstliches Licht oder ein anderes derartiges externes Licht im Inneren der Vorrichtung reflektiert wird und ein Bild unter Verwendung des reflektierten Lichts angezeigt wird. Die zweite ist eine sogenannte transmissive Flüssigkristallvorrichtung, in der ein Bild unter Verwendung von Licht angezeigt wird, das von einer Kaltkathodenröhre, einer LED (Leuchtdiode) oder einer anderen derartigen Lichtquelle ausgestrahlt wird und in das Innere der Flüssigkristallvorrichtung eindringt. Die dritte ist eine semi-transmissive/reflektive Flüssigkristallvorrichtung, die sowohl reflektive wie auch transmissive Funktionen hat. Eine Anzeigepunktfläche in dieser semi-transmissiven/reflektiven Flüssigkristallvor richtung ist mit einem reflektiven Abschnitt mit einer reflektiven Funktion und einem transmissiven Abschnitt mit einer transmissiven Funktion bereitgestellt, so dass es möglich ist, nach Wunsch zwischen einem reflektiven Anzeigemodus und einem transmissiven Anzeigemodus zu wählen.
Ein allgemein bekanntes Beispiel für die zuvor beschriebene semi-transmissive/reflektive Flüssigkristallvorrichtung ist eine Vorrichtung, in der jede Fläche, die einem Anzeigepunkt entspricht, durch eine Bank abgetrennt ist, und ein färbendes Element in dieser abgetrennten Fläche unter Anwendung einer Tröpfchenabscheidungstechnologie oder insbesondere einer Tintenstrahltechnologie gebildet wird. Eine solche Flüssigkristallvorrichtung ist auf Seite 4, 1 der Japanischen Patent-Auslegeschrift Nr. 2003-121635 beschrieben.
In der Flüssigkristallvorrichtung, die in der Japanischen Patent-Auslegeschrift Nr. 2003-121635 offenbart ist, ist die Bank bereitgestellt, um die färbenden Elemente zu trennen. Mit anderen Worten, es ist keine besondere Sperrwand zwischen dem reflektiven Abschnitt und dem transmissiven Abschnitt bereitgestellt. Daher sind färbende Elemente aus denselben Farbmaterialien in dem reflektiven Abschnitt und dem transmissiven Abschnitt bereitgestellt. Seit Kurzem besteht jedoch ein Bedarf an einer Modifizierung der Eigenschaften der färbenden Elemente in dem reflektiven Abschnitt und dem transmissiven Abschnitt. Zum Beispiel besteht ein Bedarf an einer separaten Wahl des Zustandes der färbenden Elemente im reflektiven Abschnitt und des Zustandes der färbenden Elemente im transmissiven Abschnitt, um die Farbanzeige zwischen dem reflektiven Anezeigemodus und dem transmissiven Anzeigemodus gleichförmig zu machen.
Trotz dieser Anforderungen werden in herkömmlichen Flüssigkristallvorrichtungen dieselben Farbmaterialien für die färbenden Elemente zwischen dem reflektiven Abschnitt und dem transmissiven Abschnitt verwendet. Daher ist es schwierig, eine Variation in dem Zustand der färbenden Elemente zwischen dem reflektiven Abschnittsmodus und dem transmissiven Abschnittsmodus zu erreichen.
Angesichts des Vorhergesagten ist für den Fachmann anhand dieser Offenbarung offensichtlich, dass ein Bedarf an einem verbesserten Farbfiltersubstrat und einem Verfahren zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats besteht, die die zuvor beschriebenen Probleme nach dem Stand der Technik lösen. Diese Erfindung bezieht sich auf diesen Bedarf wie auch auf andere Forderungen, die für den Fachmann anhand dieser Offenbarung offensichtlich werden.
US 2003/0063239A offenbart ein Farbfiltersubstrat, in dem jedes Pixel von einer ersten Bank umgeben ist. Innerhalb der ersten Bank ist eine reflektive Fläche bereitgestellt, in der ein reflektiver Film angeordnet ist, sowie eine transmissive Fläche, in der sich kein reflektiver Film befindet. Die reflektive Fläche ist um die Grenze des Pixels gebildet und die transmissive Fläche ist von der reflektiven Fläche umgeben. Eine zweiten Bank ist auf dem reflektiven Film an der Grenze zwischen der reflektiven Fläche und der transmissiven Fläche gebildet. Somit ist die zweite Bank vollständig innerhalb der ersten Bank gebildet und umgibt die transmissive Fläche.
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung eines Farbfiltersubstrats, in dem die Attribute von färbenden Elementen oder anderen Elementen im reflektiven und transmissiven Abschnitt frei bei verschiedenen Werten eingestellt werden können, sowie die Bereitstellung eines Verfahrens zur Herstellung eines solchen Farbfiltersubstrats, einer elektro-optischen Vorrichtung mit einem solchen Farbfiltersubstrat und eine elektronische Vorrichtung mit einer solchen elektro-optischen Vorrichtung.
Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Farbfiltersubstrat bereitgestellt, umfassend:
ein Substrat;
mehrere Anzeigepunkte auf dem Substrat;
erste streifenförmige Bänke zum Trennen der Anzeigepunkte in verschiedene Farben;
zweite streifenförmige Bänke, wobei jede der zweiten Bänke mehrere der ersten Bänke schneidet;
einen reflektiven Film, der teilweise auf dem Substrat derart bereitgestellt ist, dass ein reflektiver Abschnitt und ein transmissiver Abschnitt in jedem der Anzeigepunkte gebildet sind, wobei der reflektive Film nur innerhalb von Regionen bereitgestellt ist und diese bedeckt, die von den ersten und zweiten Bänken begrenzt sind, und die zweiten Bänke zwischen den reflektiven Abschnitten und den transmissiven Abschnitten bereitgestellt sind; und
färbende Elemente, die in Flächen bereitgestellt sind, die durch die ersten Bänke und die zweiten Bänke geteilt sind.
Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats bereitgestellt, umfassend die folgenden Schritte:
Bereitstellen eines Substrats;
Bilden erster und zweiter streifenförmiger Bänke auf dem Substrat, wobei die ersten Bänke zum Trennen von Anzeigepunkten in verschiedene Farben dienen, und jede der zweiten Bänke mehrere der ersten Bänke schneidet;
teilweises Bilden eines reflektiven Films, so dass ein reflektiver Abschnitt und ein transmissiver Abschnitt in jedem Anzeigepunkt gebildet sind, wobei der reflektive Film nur innerhalb von Regionen gebildet ist und diese bedeckt, die von den ersten und zweiten Bänken begrenzt sind; und
Bilden von färbenden Elementen auf den Flächen, die durch die ersten und zweiten Bänke geteilt sind, durch Tröpfchenabscheidung.
Diese und andere Aufgaben, Merkmale, Aspekte und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden für den Fachmann anhand der folgenden ausführlichen Beschreibung offensichtlich, die in Verbindung mit den beiliegenden Zeichnungen eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung offenbart.
Es werden nun Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung nur anhand eines weiteren Beispiels und unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben, von welchen:
1(a) eine Draufsicht ist, die eine einzelne Pixelfläche eines Farbfiltersubstrats gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
1(b) eine Querschnittsansicht der einzelnen Pixelfläche des Farbfiltersubstrats, das in 1(a) dargestellt ist, gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist;
2 ein Prozessdiagramm ist, das eine Ausführungsform eines Verfahrens zur Herstellung des Farbfiltersubstrats in 1 gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
3 ein Diagramm ist, das die Schritte zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats gemäß dem Prozessdiagramm in 2 gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
4 ein Diagramm ist, das die Schritte zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in Fortsetzung von 3 zeigt;
5 ein Diagramm ist, das die Schritte zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in Fortsetzung von 4 zeigt;
6(a) eine Draufsicht ist, die eine einzelne Pixelfläche eines elementseitigen Substrats in einer Flüssigkristallvorrichtung zeigt, die ein Beispiel einer elektrooptischen Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung ist;
6(b) eine Querschnittsansicht entlang der Linie VIb–VIb in 6(a) ist;
7 eine perspektivische Ansicht ist, die die Flüssigkristallvorrichtung zeigt, die eine Ausführungsform der elektro-optischen Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung ist;
8 ein Diagramm ist, das eine vergrößerte Ansicht der Querschnittsstruktur einer Anzeigepunktfläche in der Flüssigkristallvorrichtung in 7 zeigt;
9 eine perspektivische Ansicht ist, die eine Schaltkomponente zeigt, die in der Flüssigkristallvorrichtung von 7 verwendet wird;
10 ein Diagramm ist, das ein Beispiel des Anordnungsmusters für die färbenden Elemente R, G und B zeigt, die auf dem Farbfiltersubstrat in 1 gebildet sind; (a) ist ein streifenförmiges Muster,; (b) ist ein Mosaikmuster; (c) ist ein Deltamuster;
11(a) eine Draufsicht ist, die eine einzelne Pixelfläche eines Farbfiltersubstrats gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
11(b) eine Querschnittsansicht der einzelnen Pixelfläche des Farbfiltersubstrats, das in 11(a) dargestellt ist, gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist;
12 ein Prozessdiagramm ist, das eine Ausführungsform eines Verfahrens zur Herstellung des Farbfiltersubstrats in 11 gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
13 ein Diagramm ist, das die Schritte zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats gemäß dem Prozessdiagramm in 12 gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
14 ein Diagramm ist, das die Schritte zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in Fortsetzung von 13 zeigt;
15 ein Diagramm ist, das die Schritte zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in Fortsetzung von 14 zeigt;
16 ein Prozessdiagramm ist, das ein Verfahren zur Herstellung des Farbfiltersubstrats in 1 gemäß der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
17 ein Diagramm ist, das die Schritte zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats gemäß dem Prozessdiagramm in 16 gemäß der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
18 ein Diagramm ist, das die Schritte zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats gemäß der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in Fortsetzung von 17 zeigt;
19 ein Diagramm ist, das die Schritte zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats gemäß der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in Fortsetzung von 18 zeigt;
20(a) eine Draufsicht ist, die eine einzelne Pixelfläche eines Farbfiltersubstrats gemäß dem vierten Aspekt der vorliegenden Erfindung zeigt;
20(b) eine Querschnittsansicht der einzelnen Pixelfläche des Farbfiltersubstrats, das in 20(a) dargestellt ist, gemäß der vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist;
21 eine perspektivische Ansicht ist, die einen Tintenstrahlkopf zeigt, der in dem Verfahren zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats gemäß der vorliegenden Erfindung verwendet wird;
22 eine in Einzelteile aufgelöste, perspektivische Ansicht ist, die die Innenstruktur des Tintenstrahlkopfs in 21 zeigt;
23 eine Querschnittsansicht entlang der Linie XXIII–XXIII in 22 ist;
24 ein Blockdiagramm ist, das die elektronische Vorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
25 eine perspektivische Ansicht ist, die ein tragbares Telefon zeigt, das die elektronische Vorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist; und
26 eine perspektivische Ansicht ist, die eine Digitalkamera zeigt, die die elektronische Vorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist.
Ein Farbfiltersubstrat gemäß der vorliegenden Erfindung enthält ein Substrat, eine erste Bank zum Trennen mehrerer Anzeigepunkte auf dem Substrat, einen reflektiven Film, der teilweise auf dem Substrat bereitgestellt ist, so dass ein reflektiver Abschnitt und ein transmissiver Abschnitt in jedem der Anzeigepunkte gebildet sind, eine zweite Bank, die zwischen dem reflektiven Abschnitt und dem transmissiven Abschnitt gebildet ist; und färbende Elemente, die in Flächen bereitgestellt sind, die durch die erste Bank und die zweite Bank getrennt sind.
Der reflektive Abschnitt ist eine Fläche, in der der reflektive Film abgeschieden wird. Ebenso ist der transmissive Abschnitt eine Fläche in dem Anzeigepunkt, wo der reflektive Film nicht bereitgestellt ist, wo nur ein dünner Teil des reflektiven Films bereitgestellt ist oder dergleichen. Lichtstrahlen, die von der Vorderseite des Farbfiltersubstrats kommen, werden durch den reflektiven Abschnitt zu der Vorderseite zurück reflektiert. Ebenso werden Lichtstrahlen, die von der Rückseite des Farbfiltersubstrats kommen, durch den transmissiven Abschnitt zu der Vorderseite durchgelassen. Die färbenden Elemente enthalten zum Beispiel die drei Farben R (Rot), G (Grün) und B (Blau) oder die drei Farben C (Cyan), M (Magenta) und Y (Gelb).
Lichtstrahlen mit einer vorbestimmten Wellenlänge werden selektiv durchgelassen, wenn die reflektierten Lichtstrahlen oder durchgelassenen Lichtstrahlen durch die färbenden Elemente gehen.
Die färbenden Elemente sind in Flächen bereitgestellt, die durch die erste Bank und die zweite Bank geteilt sind. Da die zweite Bank an der Grenze zwischen dem reflektiven Abschnitt und dem transmissiven Abschnitt bereitgestellt ist, sind die färbenden Elemente zwischen dem reflektiven Abschnitt und dem transmissiven Abschnitt durch die zweite Bank geteilt. Die Attribute der färbenden Elemente oder anderer Elemente, wie des reflektiven Films, können somit zwischen dem reflektiven Abschnitt und dem transmissiven Abschnitt frei variiert werden.
In dem Farbfiltersubstrat, das wie zuvor beschrieben konfiguriert ist, werden die färbenden Elemente vorzugsweise unter Verwendung einer Tröpfchenabschneidung oder insbesondere einer Tintenstrahltechnik gebildet. Da der reflektive Abschnitt und der transmissive Abschnitt in der vorliegenden Erfindung durch die zweite Bank geteilt sind, werden die färbenden Elemente zwischen dem reflektiven Abschnitt und dem transmissiven jeweils mit eigenen Attributen gebildet. Die hier verwendete Tintenstrahltechnik ist eine Technik, durch die das Material der färbenden Elemente von einer Düse in Form von Tintentröpfchen abgegeben und auf gewünschte Stellen gesprüht wird. Mögliche Tintenabscheidungsemethoden, die verwendet werden können, enthalten eine Methode, durch die Tinte durch Ändern der inneren Kapazität der Düse unter Verwendung eines piezoelektrischen Elements, das der elektrischen Leitung entsprechend vibriert, abgegeben wird, ein Verfahren, in dem die Tintenabscheidung erreicht wird, indem die Tinte in der Düse einer Wärmeausdehnung unterzogen wird, oder andere Tröpfchenabscheidungstechniken. Wenn die Tintenstrahltechnik verwendet wird, können die färbenden Elemente kostengünstig und mit einer einfacheren Prozedur im Vergleich zu dem Fall gebildet werden, in dem die färbenden Elemente mit herkömmlichen Verfahren, wie den photolithographischen Techniken, gebildet werden.
In dem Farbfiltersubstrat, das wie zuvor beschrieben konfiguriert ist, haben zwei benachbarte färbende Elemente, die durch die zweite Bank geteilt sind, vorzugsweise dieselbe Farbe, aber verschiedene Lichtdurchlässigkeiten. Die Helligkeit und Farbtiefe können dadurch leicht zwischen den Lichtstrahlen, die durch den reflektiven Abschnitt reflektiert werden, und die Lichtstrahlen, die durch den transmissiven Abschnitt durchgelassen werden, eingestellt werden.
Als Alternative haben in dem Farbfiltersubstrat, das wie zuvor beschrieben konfiguriert ist, zwei benachbarte färbende Elemente, die durch die zweite Bank geteilt sind, vorzugsweise dieselbe Farbe, aber verschiedene Filmdicken. Die Helligkeit und Farbtiefe können dadurch leicht zwischen den Lichtstrahlen, die durch den reflektiven Abschnitt reflektiert werden, und die Lichtstrahlen, die durch den transmissiven Abschnitt durchgelassen werden, eingestellt werden.
Als Alternative haben in dem Farbfiltersubstrat, das wie zuvor beschrieben konfiguriert ist, zwei benachbarte färbende Elemente, die durch die zweite Bank geteilt sind, vorzugsweise verschiedene Farben und verschiedene Filmdicken. Die Helligkeit und Farbtiefe können dadurch leicht zwischen den Lichtstrahlen, die durch den reflektiven Abschnitt reflektiert werden, und die Lichtstrahlen, die durch den transmissiven Abschnitt durchgelassen werden, eingestellt werden.
Das Farbfiltersubstrat, das wie zuvor beschrieben konfiguriert ist, hat vorzugsweise eine Harzschicht, die zwischen dem Substrat und dem reflektiven Film in den Flächen bereitgestellt ist, die durch die zweite Bank geteilt sind. Die Harzschicht wird durch Tröpfchenabscheidung gebildet und hat ein unregelmäßiges Muster an ihrer Oberfläche. Gemäß dieser Konfiguration wird ein unregelmäßiges Muster auch in dem reflektiven Film entsprechend dem unregelmäßigen Abschnitt gebildet, der in der Oberfläche der Harzschicht gebildet ist. Infolge dieses unregelmäßigen Abschnitts in dem reflektiven Film werden reflektierte Lichtstrahlen gestreut und die Qualität der reflektiven Anzeige wird verbessert. Wenn die Harzschicht auf diese Weise verwendet wird, wird der unregelmäßige Abschnitt leicht in der Harzschicht gebildet, wenn die zweite Bank zwischen dem reflektiven Abschnitt und dem transmissiven Abschnitt, wie in der vorliegenden Erfindung, bereitgestellt ist.
In dem Farbfiltersubstrat mit einer Harzschicht wird der unregelmäßige Abschnitt vorzugsweise durch Bilden der Harzschicht durch Abgabe eines Materials gebildet, das Kügelchen enthält. Gemäß dieser Konfiguration können die Harzschicht und der unregelmäßige Abschnitt gleichzeitig durch eine einzige Tröpfchenabscheidung gebildet werden.
In dem Farbfiltersubstrat mit der Harzschicht wird der unregelmäßige Abschnitt vorzugsweise durch Bilden der Harzschicht mit Tröpfchenabscheidung und Bilden von Falten auf der Harzschicht durch Backen gebildet. Das Harz, das in Tröpfchen abgegeben wird, wird im Allgemeinen durch Backen getrocknet. Ein unregelmäßiger Abschnitt kann auf der Oberfläche der Harzschicht durch Anwendung dieser Backbehandlung gebildet werden. In diesem Fall kann der unregelmäßige Abschnitt stabil gebildet werden, wenn die Fläche, auf die die Harzschicht abgegeben wird, durch die zweite Bank abgetrennt ist.
In dem Farbfiltersubstrat gemäß der vorliegenden Erfindung wird der reflektive Film vorzugsweise durch Tröpfchenab scheidung in Flächen gebildet, die durch die zweite Bank abgetrennt sind. In der üblichen Praxis wird der reflektive Film häufig durch Fotolithografie gebildet. Der reflektive Film kann jedoch leicht nur in dem reflektiven Abschnitt durch Tröpfchenabscheidung gebildet werden, wenn der reflektive Abschnitt und der transmissive Abschnitt, wie in der vorliegenden Erfindung, durch die zweite Bank getrennt sind.
In dem Farbfiltersubstrat, in dem der reflektive Film durch Tröpfchenabscheidung gebildet wird, wird der reflektive Film vorzugsweise durch Abgabe eines Materials gebildet, das Kügelchen enthält. Ein unregelmäßiger Abschnitt kann dadurch auf der Oberfläche des reflektiven Films durch den reflektiven Film selbst gebildet werden, selbst wenn keine Harzschicht unterhalb des reflektiven Films vorhanden ist.
Ein Verfahren zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats gemäß der vorliegenden Erfindung enthält das Bereitstellen eines Substrats; Bilden erster und zweiter Bänke auf dem Substrat, wobei die erste Bank Anzeigepunkte abtrennt; teilweises Bilden eines reflektiven Films auf Flächen, die durch die ersten und zweiten Bänke geteilt sind, so dass ein reflektiver Abschnitt und ein transmissiver Abschnitt in jedem Anzeigepunkt gebildet werden; und Bilden färbender Elemente auf Flächen, die durch die ersten und zweiten Bänke geteilt sind, durch Töpfchenabscheidung. Gemäß diesem Herstellungsverfahren kann ein Farbfiltersubstrat mit der zuvor beschriebenen Konfiguration zuverlässig hergestellt werden.
Das Verfahren zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats gemäß der vorliegenden Erfindung enthält vorzugsweise das Bilden einer Harzschicht auf dem Substrat, so dass die Harzschicht einen unregelmäßigen Abschnitt auf ihrer Oberfläche aufweist. Bei der Bildung der ersten und zweiten Bänke werden die ersten und zweiten Bänke gleichzeitig nach der Bildung der Harzschicht gebildet. Der reflektive Film wird durch Tröpfchenabscheidung nach der Bildung der ersten und zweiten Bänke gebildet. Die färbenden Elemente werden nach der Bildung des reflektiven Films gebildet.
Gemäß dem Verfahren zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats mit dieser Konfiguration können die Schritte vereinfacht werden, da die ersten und zweiten Bänke in einem einzigen Bankbildungsschritt gebildet werden. Auch da die färbenden Elemente durch Tröpfchenabscheidung gebildet werden und der reflektive Film ebenso durch Tröpfchenabscheidung gebildet wird, können die Schritte noch mehr vereinfacht werden, als wenn sie durch Fotolithografie gebildet werden.
Als Alternative enthält das Verfahren zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats gemäß der vorliegenden Erfindung vorzugsweise die Bildung einer Harzschicht auf dem Substrat nach der Bildung der ersten und zweiten Bänke, so dass die Harzschicht einen unregelmäßigen Abschnitt auf ihrer Oberfläche aufweist. Bei der Bildung der ersten und zweiten Bänke werden die ersten und zweiten Bänke gleichzeitig gebildet. Der reflektive Film wird durch Tröpfchenabscheidung nach der Bildung der Harzschicht gebildet. Die färbenden Elemente werden nach der Bildung des reflektiven Films gebildet.
Gemäß dem Verfahren zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats mit dieser Konfiguration können die Schritte vereinfacht werden, da die ersten und zweiten Bänke in einem einzigen Bankbildungsschritt gebildet werden. Auch da die färbenden Elemente durch Tröpfchenabscheidung gebildet werden und der reflektive Film und die Harzschicht ebenso beide durch Tröpfchenabscheidung gebildet werden, können die Schritte noch mehr vereinfacht werden, als wenn sie durch Fotolithografie gebildet werden.
Als Alternative enthält das Verfahren zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats gemäß der vorliegenden Erfindung vorzugsweise die Bildung einer Harzschicht auf dem Substrat, so dass die Harzschicht einen unregelmäßigen Abschnitt auf ihrer Oberfläche aufweist. Der reflektive Film wird nach der Bildung der Harzschicht gebildet. Bei der Bildung der ersten und zweiten Bänke werden die ersten und zweiten Bänke gleichzeitig nach der Bildung des reflektiven Films gebildet. Die färbenden Elemente werden nach der Bildung der ersten und zweiten Bänke gebildet.
Vorzugsweise enthält in dem Verfahren zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats gemäß der vorliegenden Erfindung die Bildung der ersten und zweiten Bänke die Bildung einer wärmehärtbaren, lichtblockierenden Filmschicht mit einer gleichförmigen Dicke; die Bildung einer lichtempfindlichen, tintenabweisenden Schicht auf der lichtblockierenden Filmschicht mit gleichförmiger Dicke; und das Belichten und Entwickeln der lichtblockierenden Filmschicht. Gemäß dieser Konfiguration kann eine tintenabweisende Bank in einer kürzeren Zeit und bei geringeren Kosten mit einfachen Schritten gebildet werden.
Die vorliegende Erfindung kann als elektro-optische Vorrichtung mit einem Farbfiltersubstrat gemäß der vorliegenden Erfindung ausgeführt werden, wobei eine Schicht aus elektro-optischem Material auf dem Farbfiltersubstrat bereitgestellt ist. Beispiele für eine solche elektro-optische Vorrichtung beinhalten Flüssigkristallvorrichtungen, organische EL-Vorrichtungen, Plasmanzeigevorrichtungen und verschiedene andere Vorrichtungen.
Die vorliegende Erfindung kann als elektronische Vorrichtung ausgeführt werden, die die zuvor beschriebene elektro-optische Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung aufweist, sowie eine Steuervorrichtung zum Steuern des Betriebs der elektro-optischen Vorrichtung. Beispiele für eine solche elektronische Vorrichtung enthalten tragbare Telefone, tragbare Informationsterminals, PDAs (Personal Digital Assistants) und verschiedene andere Vorrichtungen.
Ausgewählte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden nun unter Bezugnahme auf die Zeichnungen erklärt. Für den Fachmann ist anhand dieser Offenbarung offensichtlich, dass die folgenden Beschreibungen der Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung nur der Veranschaulichung dienen und die Erfindung, die durch die beiliegenden An spräche definiert ist, und ihre Äquivalente nicht einschränken sollen.
ERSTE AUSFÜHRUNGSFORM
FARBFILTERSUBSTRAT UND ELEKTRO-OPTISCHE VORRICHTUNG
Ein Beispiel für das Farbfiltersubstrat gemäß der vorliegenden Erfindung und eine elektro-optische Vorrichtung, in der das Farbfiltersubstrat verwendet wird, wird nun beschrieben. In der folgenden Beschreibung wird eine semitransmissive/reflektive Flüssigkristallvorrichtung, die eine Flüssigkristallvorrichtung mit aktiver Matrix ist, die eine TFD (Dünnfilmdiode) als Schaltkomponente mit zwei Anschlüssen verwendet, als Beispiel angegeben. Die vorliegende Erfindung ist natürlich nicht auf diese Ausführungsform beschränkt.
Unter Bezugnahme auf 7 enthält eine Flüssigkristallvorrichtung 1, die ein Beispiel einer elektro-optischen Vorrichtung ist, eine Flüssigkristallplatte 2 und eine Beleuchtungsvorrichtung 3. Die Flüssigkristallplatte 2 wird durch Binden eines ersten Substrats 4a an ein zweites Substrat 4b mit einem ringförmigen Dichtungselement 6 gebildet. Das erste Substrat 4a ist ein Farbfiltersubstrat, auf dem ein Farbfilter gebildet wird. Das zweite Substrat 4b ist ein Elementsubstrat, auf dem ein TFD- (Dünnfilmdetektor) Element gebildet wird. 8 zeigt eine vergrö ßerte Ansicht eines der Anzeigepunkabschnitte D in der Flüssigkristallplatte 2 von 7. Wie in 8 dargestellt ist, ist ein Spalt, ein sogenannter Zellspalt G, zwischen dem ersten Substrat 4a und dem zweiten Substrat 4b gebildet und wird durch einen Abstandshalter 7 beibehalten. Der Flüssigkristall füllt den Zellspalt G zur Bildung einer Flüssigkristallschicht B.
1(a) zeigt einen zweidimensionalen Aufbau einer Pixelfläche des ersten Substrats 4a, betrachtet von der Richtung des Pfeils A in 7. Diese Betrachtungsrichtung ist dieselbe wie die Richtung, in die der Betrachter die Anzeige sieht. 1(b) ist eine Querschnittsansicht des ersten Substrats 4a, betrachtet entlang der Linie Ib–Ib, die in 1(a) dargestellt ist. In 1(a) und 1(b) enthält das erste Substrat 4a ein erstes Substratelement (hinteres Substrat) 9a, das aus einem lichtdurchlässigen Glas, lichtdurchlässigen Kunststoff oder einem anderen lichtdurchlässigen Material besteht. Eine Harzschicht 11 ist an der Flüssigkristallseite des ersten Substratelements 9a gebildet, über der ein reflektiver Film 12 gebildet ist. Die Harzschicht 11 kann zum Beispiel durch Fotolithografie gebildet werden. Der reflektive Film 12 kann auch durch eine Tintenstrahl- oder Tröpfchenabscheidungstechnologie gebildet werden.
Ebenso sind in 1(a) mehrere streifenförmige erste Bänke 15a, die sich in dem Diagramm horizontal erstrecken, auf der Harzschicht 11 bereitgestellt. Ebenso sind mehrere streifenförmige zweite Bänke 15b, die sich in dem Diagramm vertikal erstrecken, orthogonal zu den ersten Bänken 15a bereitgestellt. Dadurch werden gitterförmige Bänke durch die ersten Bänke 15a und die zweiten Bänke 15b gebildet, und mehrere der quadratischen Flächen, die von diesen Bänken umschlossen sind, werden zu einer Punktmatrixkonfiguration auf der Basis 9a gebildet. Wie in 1(b) dargestellt ist, enthält die zweite Bank 15b ein lichtblockierendes Element 13 und eine tintenabweisende Schicht 14, die auf dem lichtblockierenden Element 13 liegt. Die ersten Bänke 15a haben ähnlich eine zweischichtige Struktur aus einem lichtblockierenden Element 13 und einer tintenabweisenden Schicht 14. Das lichtblockierende Element 13 kann zum Beispiel aus einem schwarzen wärmehärtbaren Harz gebildet sein. Ebenso wird die tintenabweisende Schicht 14 aus einem lichtempfindlichen Harz gebildet, das die Qualität aufweist, das Material der färbenden Elemente zu entfernen. Solche färbenden Elemente werden durch eine Tintenstrahltechnologie abgegeben, wie in der Folge beschrieben wird.
In 1(a) werden färbende Elemente 16 in den quadratischen Flächen gebildet, die von den ersten Bänken 15a und den zweiten Bänken 15b umschlossen sind. Die färbenden Elemente 16 haben drei Farben, R, G und B, von welchen eine in einer einzelnen Fläche gebildet ist, die von den Bänken 15 umschlossen ist. Ein R färbendes Element wird als 16r oder 16r' bezeichnet, ein G färbendes Element wird als 16g oder 16g' bezeichnet und ein B färbendes Element wird als 16b oder 16b' bezeichnet, wie in 1(a) dargestellt ist.
In 1(b) wird eine Überzugsschicht 17 auf den Bänken 15a und 15b gebildet und die färbenden Elemente 16, die streifenförmigen transparenten Elektroden 18a werden auf der Überzugsschicht 17 gebildet, und ein Orientierungsfilm 19a wird des Weiteren auf den Elektroden 18a gebildet. Der Orientierungsfilm 19a wird einer Orientierungsbehandlung, wie einer Reibbehandlung, unterzogen, wodurch die Orientierung der Flüssigkristallmoleküle nahe dem Orientierungsfilm 19a eingestellt wird. Ebenso wird eine Polarisierungsplatte 21a an der Außenseite der ersten Basis 9a durch Kleben oder dergleichen befestigt, wie in 7 dargestellt ist. Eine einzelne streifenförmige transparente Elektrode 18a erstreckt sich senkrecht zu der Papierebene von 1(b) und passende Intervalle werden zwischen den benachbarten Elektroden 18a bereitgestellt. Die mehreren Elektroden 18a werden dadurch zu einer Streifenkonfiguration gebildet, wie aus der Richtung von Pfeil A erkennbar ist.
In 8 sind das erste Substrat 4a und das zweite Substrat 4b einander über die Flüssigkristallschicht 8 zugewandt. 6(b) zeigt die Querschnittsansicht des zweiten Substrats 4b entlang der Linie VIb–VIb, die in 6(a) dargestellt ist. In 6(b) enthält das zweite Substrat 4b ein zweites Substratelement (vorderes Substrat) 9b, das aus einem lichtdurchlässigen Glas, Kunststoff oder einem anderen Material besteht. Eine Leitungsverdrahtung 22, die eine lineare Form aufweist, TFD-Elemente 23, die aktive Elemente sind, und Punktelektroden (Pixelelektroden) 18b, die transparent sind, und der Orientierungsfilm 19b sind alle an einer Flüssigkristallseitenfläche des zweiten Substrats 4b gebildet. Der Orientierungsfilm 19b wird einer Orientierungsbehandlung, wie einem Reiben, unterzogen, um die Flüssigkristallmoleküle nahe dem Orientierungsfilm 19b zu orientieren. Die Reibrichtung der Oberfläche des Orientierungsfilms 19a, die dem ersten Substrat 4a in 8 zugewandt ist, und jene der Oberfläche des Orientierungsfilms 19b, die dem zweiten Substrat 14b zugewandt ist, kreuzen einander in einem passenden Winkel, abhängig von den kristallinen Eigenschaften. In 7 wird die Polarisierungsplatte 21b an die äußere Oberfläche des zweiten Substratelements 9b geklebt oder auf andere Weise an dieser befestigt.
In 6(a) wird die Punktelektrode 18b als im Wesentlichen quadratischer oder rechteckig geformter Punkt gebildet und mit der Leitungsverdrahtung 22 durch das TFD-Element 23 verbunden. Die transparente Elektrode 18a, die streifenförmig gebildet und an der Seite des ersten Substrats 4a angeordnet ist, ist in 6(a) in Strichlinien zur Referenz dargestellt. Die Fläche, wo die Punktelektrode 18b und die transparente Elektrode 18a einander in einer Draufsicht zu überlappen scheinen, stellt eine Anzeigepunktre gion D dar. Eine Anzeigepunktregion D entspricht einer der drei Farben R, G und B. In der vorliegenden Ausführungsform der Farbanzeige bilden drei Anzeigepunktregionen D, die den drei Farben R, G und B entsprechen, ein Pixel.
In 8 sind auf dem reflektiven Film 12 Öffnungen 24 für jede Anzeigepunktregion D gebildet, um das Licht durchgehen zu lassen. Diese Öffnungen 24 sind so gebildet, dass der reflektive Film 12 Licht hindurch lassen kann. Als Alternative zur Bereitstellung der Öffnungen 24 kann die Dicke des reflektiven Films 12 verringert werden, um dem reflektiven Film 12 sowohl lichtreflektive als auch lichttransmissive Funktionen zu verleihen. Die Fläche, an der der reflektive Film 12 bereitgestellt ist, ist ein reflektiver Abschnitt R, Die Fläche, die den Öffnungen 24 entspricht, ist ein transmissiver Abschnitt T.
In 1(a) trennen die ersten Bänke 15a die Anzeigepunkte D in die vertikale Richtung des Diagramms. Die zweiten Bänke 15b trennen den reflektiven Abschnitt R und den transmissiven Abschnitt T horizontal in dem Diagramm.
In 1(b) ist ein unregelmäßiges Muster auf der Oberfläche der Harzschicht 11 in dem reflektiven Abschnitt R gebildet, der durch die zweiten Bänke 15b abgetrennt ist, und ein weiteres unregelmäßiges Muster, das dem ersten unregelmäßigen Muster entspricht, ist in der Oberfläche des reflektiven Films 12 gebildet, der auf die Harzschicht 11 geschichtet ist. Diese unregelmäßigen Muster sind so gebildet, dass sie in einer Ebene, betrachtet aus der Richtung von Pfeil A, regellos sind. Das Licht, das auf den reflektiven Film 12 gestrahlt wird, wird aufgrund dieser unregelmäßigen Oberflächen gestreut und reflektiert.
In 1(a) hat ein einzelner Anzeigepunkt D einen transmissiven Abschnitt T in der Mitte und reflektive Abschnitte R an beiden Seiten. Färbende Elemente 16r', 16g' und 16b' sind in dem transmissiven Abschnitt T gebildet und färbende Elemente 16r, 16g und 16b sind in dem reflektiven Abschnitt R gebildet. Das färbende Element 16r und das färbende Element 16r' bestehen aus demselben Farbmaterial, aber die Filmdicken haben das Verhältnis 16r < 16r', wie in 1(b) dargestellt ist. Mit anderen Worten, die Dicke des färbenden Elements 16r' in dem transmissiven Abschnitt T ist größer als die Dicke des färbenden Elements 16r in dem reflektiven Abschnitt R. Gleichermaßen bestehen das färbende Element 16g und das färbende Element 16g' aus demselben Farbmaterial, aber die Filmdicken haben das Verhältnis 16g < 16g'. Ferner bestehen das färbende Element 16b und das färbende Element 16b' auch aus demselben Farbmaterial, aber die Filmdicken haben das Verhältnis 16b < 16b'.
In der vorliegenden Ausführungsform variiert die Qualität der färbenden Elemente 16 zwischen dem reflektiven Abschnitt R und dem transmissiven Abschnitt T innerhalb eines Anzeigepunktes D, aber die Farbtönung selbst ist in beiden dieselbe. zum Beispiel ist der Anzeigepunkt D, der den färbenden Elementen 16r und 16r' entspricht, R (rot), der Anzeigepunkt D, der den färbenden Elementen 16g und 16g' entspricht, ist G (grün), und der Anzeigepunkt D, der den färbenden Elementen 16b und 16b' entspricht, ist B (blau). In der vorliegenden Ausführungsform sind die Farben R, G und B in einem streifenförmigen Muster in 10(a) ausgerichtet, und das Farbfilter ist aus diesen färbenden Elementen 16 konfiguriert. Dieses streifenförmige Muster bezieht sich hierin auf ein Muster, in dem färbende Elemente derselben Farbe in einer Linie in die Längsrichtungen ausgerichtet sind, und Linien verschiedener Farben in die Breitenrichtung angeordnet sind.
Die färbenden Elemente können als Alternative in anderen Mustern angeordnet werden, wie in einem Mosaikmuster, das in 10(b) dargestellt ist, oder in einem Deltamuster, das in 10(c) dargestellt ist. In dem Mosaikmuster werden die drei Farben (R, G und B in dem Beispiel von 20(b)) in derselben Reihenfolge sowohl in die Längswie auch Breitenrichtung wiederholt. In dem Deltamuster ist jede der drei Farben an einem Ende eines Dreiecks angeordnet, und die drei Farben werden auch in derselben Reihenfolge in die Breitenrichtung wiederholt.
Das TFD-Element 23, das in 6(a) dargestellt ist, wird durch Verbinden eines ersten TFD-Elements 23 und eines zweiten TFD-Elements 23b in Serie gebildet, wie in 9 dargestellt ist. Das TFD-Element 23 wird zum Beispiel auf folgende Weise gebildet. Zuerst wird eine erste Schicht 22a der Leitungsverdrahtung 22 und ein erstes Metall 26 des TFD-Elements 23 mit TaW (Tantalwolfram) gebildet. Zweitens wird eine zweite Schicht 22b der Leitungsverdrahtung 22 und eine Isoliermembran 27 des TFD-Elements 23 durch einen Anodisierungsprozess gebildet. Drittens wird eine dritte Schicht 22c der Leitungsverdrahtung 22 und ein zweites Metall 28 des TFD-Elements 23 zum Beispiel mit Cr (Chrom) gebildet.
Das zweite Metall 28 des ersten TFD-Elements 23a erstreckt. sich aus der dritten Schicht 22c der Leitungsverdrahtung 22. Die Punktelektrode 18b ist so gebildet, dass sie mit der Spitze des zweiten Metalls 28 des zweiten TFD-Elements 23b überlappt. Wenn ein elektrisches Signal von der Leitungsverdrahtung 22 in die Richtung zu der Punktelektrode 18b fließt, würde das elektrische Signal durch das erste TFD-Element 23a, von dem zweiten Metall 28 zu dem Isolierfilm 27 und somit zu dem ersten Metall 26 fließen. Andererseits würde in dem zweiten TFD-Element 23b das elektrische Signal von dem ersten Metall 26 zu der Isoliermembran 27 und dann zu dem zweiten Metall 28 fließen.
Mit anderen Worten, ein Paar von elektrisch entgegen gesetzten TFD-Elementen ist in Serie zwischen dem ersten TFD-Element 23a und dem zweiten TFD-Element 23b angeschlossen.
Es ist bekannt, dass ein TFD-Element in einer solchen Konstruktion, die allgemein als Rücken-an-Rücken-Konstruktion bezeichnet wird, stabilere Eigenschaften bietet als ein TFD-Element, das nur mit einem TFD-Element gebildet ist.
In 7 enthält das zweite Substrat 4b einen überhängenden Abschnitt 29, der über das erste Substrat 4a vorragt. Eine Verdrahtung 31 und ein Anschluss 32 werden auf einer Oberfläche des überhängenden Abschnitts 29 gebildet, der dem ersten Substrat 4a zugewandt ist. Eine Treiber-IC 33a und zwei Treiber-ICs 33b werden durch einen ACF (anisotropen leitenden Film), der nicht dargestellt ist, in einer Region installiert, wo die Verdrahtung 31 und die Anschlüsse 32 gemeinsam vorhanden sind.
Die Verdrahtung 31 und die Anschlüsse 32 werden auf dem zweiten Substrat 4b gleichzeitig mit der Bildung der Leitungsverdrahtung 22 und der Punktelektroden 18b gebildet. Die Leitungsverdrahtung 22 erstreckt sich über den überhängenden Abschnitt 29, wird darauf eine Verdrahtung 31 und wird an die Treiber-IC 33a angeschlossen. Diese sind sphärische oder zylindrische leitende Elemente (in den Figuren nicht dargestellt), die in das Dichtungselement 6 eingemischt werden, das das erste Substrat 4a und das zweite Substrat 4b zusammenklebt. Die transparenten Elektroden 18a, die über dem ersten Substrat 4a gebildet sind, erstrecken sich über das erste Substrat 4a bis zu der Stelle des Dichtungselements 6, und werden danach durch die leitenden Elemente an die Verdrahtung 31 auf dem zweiten Substrat 4b angeschlossen. Die transparenten Elektroden 18a, die sich auf dem ersten Substrat 4a befinden, wenden somit an die Treiber-IC 33b angeschlossen, die sich auf dem zweiten Substrat 4b befindet.
In 7 ist eine Beleuchtungsvorrichtung 3 der äußeren Oberfläche des ersten Substrats 4a zugewandt bereitge stellt, die eine Komponente der Flüssigkristallplatte 2 ist. Die Beleuchtungsvorrichtung 3 enthält einen Lichtleiter 36, der eine quadratische Platte ist und zum Beispiel aus einem transparenten Kunststoff besteht; und LEDs 37, die Punktlichtquellen sind. Eine lichtreflektive Schicht (in den Figuren nicht dargestellt) kann zusätzlich auf der Oberfläche des Lichtleiters 36 installiert sein, die der Flüssigkristallplatte 2 zugewandt ist. Eine Lichtdiffusionsschicht (in den Figuren nicht dargestellt) kann auch auf der Oberfläche des Lichtleiters 36 installiert sein, die der Flüssigkristallplatte 2 zugewandt ist. Zusätzlich kann auch eine Prismenschicht (in den Figuren nicht dargestellt) über der Lichtdiffusionsschicht installiert sein. Obwohl drei LEDs in der vorliegenden Ausführungsform verwendet werden, können nur ein, zwei oder mehr als drei LEDs verwendet werden. Eine Linienlichtquelle, wie eine Kaltkathodenröhre, oder andere Punktlichtquellen, können ebenso anstelle der LED verwendet werden.
Es folgt eine Erklärung in Bezug auf eine Flüssigkristallvorrichtung, die wie zuvor beschrieben beschaffen ist.
Wenn externes Licht ausreichender Helligkeit verfügbar ist, wird externes Licht, wie Sonnenlicht oder Raumlicht, im Inneren der Flüssigkristallplatte 2 durch das zweite Substrat 4b aufgenommen, wie durch einen Pfeil F in 8 dargestellt ist. Dieses externe Licht F, wird, nachdem es durch die Flüssigkristallschicht 8 gegangen ist, von dem reflektiven Film 12 reflektiert und zu der Flüssigkristallschicht 8 geleitet. Wenn andererseits das externe Licht unzureichend ist, leuchten die LEDs 37 der Beleuchtungsvorrichtung 3, die in 7 dargestellt ist, auf. Hier wird das Licht von den LEDs 37, das Punktquellenlicht ist, in das Innere des Lichtleiters 36 durch eine Lichteintrittsfläche 26a des Lichtleiters 36 gelenkt und danach als Oberflächenlicht von der Oberfläche ausgestrahlt, die der Flüssigkristallplatte 2 zugewandt ist, die eine Lichtaus strahlungsfläche 36b ist. Wie durch einen Pfeil G in 8 dargestellt ist, wird Licht von der gesamten Lichtausstrahlungsfläche 36b nun durch die Öffnungen 24, die in dem lichtreflektiven Film 12 gebildet sind, als Flächenquellenlicht im Gegensatz zu Punktquellenlicht zu der Flüssigkristallschicht 8 geleitet.
Während Licht zu dem Flüssigkristall 8 auf die vorangehende Weise geleitet wird, steuern die Treiber-ICs 33a und 33b in 7 die Flüssigkristallplatte 2. Ein Abtastsignal wird zum Beispiel zu der Leitungsverdrahtung 22 geleitet, während ein Datensignal zum Beispiel gleichzeitig zu der transparenten Elektrode 18a geleitet wird. Wenn hier das TFD-Element 23 (siehe 6(a)), das einem bestimmten Anzeigepunkt zugeordnet ist, den gewählten Zustand (das heißt, den "EIN"-Zustand) als Reaktion auf ein Spannungsdifferenzial zwischen dem Abtastsignal und dem Datensignal einnimmt, wird ein Bildsignal zu der Flüssigkristallkapazität innerhalb des Anzeigepunkts geschrieben. Wenn danach das bestimmte TFD-Element 23 den nicht gewählten Zustand (das heißt, den "AUS"-Zustand) einnimmt, wird dieses Bildsignal in dem Anzeigepunkt gespeichert und treibt den Flüssigkristall 308 innerhalb des Anzeigepunkts an.
Wie erkennbar ist, werden die Flüssigkristallmoleküle der Flüssigkristallschicht 8 für jeden Anzeigepunkt gesteuert. Das heißt, Licht, das durch die Flüssigkristallschicht 8 jedes Anzeigepunkts D geht, wird moduliert. Wenn das derart modulierte Licht durch die Polarisierungsplatte 21b geht, die sich an der Seite des zweiten Substrats 4 in 7 befindet, werden Zeichen, Zahlen, Muster und andere Bilder in der effektiven Anzeigeregion der Flüssigkristallplatte 2 angezeigt. Eine Anzeige, die externes Licht verwendet, das von dem reflektiven Film 12 reflektiert wird, der in 8 dargestellt ist, ist die Anzeige im reflektiven Anzeigemodus. Eine Anzeige, die Licht von der Beleuchtungsvorrichtung 3 verwendet, ist die Anzeige im transmissiven Anzeige modus. In der vorliegenden Ausführungsform können der reflektive Anzeigemodus und der transmissive Anzeigemodus nach Wunsch von dem Benutzer verwendet oder automatisch gewählt werden, um sich der Umgebung anzupassen.
In der vorliegenden Ausführungsform ist die zweite Bank 15b zwischen dem reflektiven Abschnitt R und dem transmissiven Abschnitt T in einem Anzeigepunkt D bereitgestellt, wie in 1(a) dargestellt ist. Die färbenden Elemente 16r, 16g und 16b und die färbenden Elemente 16r', 16g' und 16b' an jeder Seite der zweiten Bank 15b unterscheiden sich in der Anzahl von Eigenschaften. Insbesondere bestehen in der vorliegenden Ausführungsform die färbenden Elemente 16 und 16' aus demselben Farbmaterial, sind aber so eingerichtet, dass die Filmdicken das Verhältnis 16r < 16r', 16g < 16g' und 16b < 16b' haben, wie in 1(b) dargestellt ist. Mit anderen Worten, die Filme der färbenden Elemente 16 sind im transmissiven Abschnitt T dick und im reflektiven Abschnitt R dünn.
Somit ist eine helle Anzeige während des reflektiven Anzeigemodus möglich, der den reflektiven Film 12 verwendet, und eine farbenreiche Anzeige ist im transmissiven Anzeigemodus möglich, der die Öffnungen 24 des reflektiven Films 12 verwendet. Ferner kann daher eine gleichförmige Anzeige sowohl bei Verwendung des reflektiven Anzeigemodus wie auch bei Verwendung der transmissiven Anzeige beibehalten werden.
Da die Dicken des Farbfilms so eingestellt sind, dass das Verhältnis 16r < 16r', 16g < 16g' und 16b < 16b' erfüllt ist, kann garantiert werden, dass das reflektierte Licht hell ist und die Farbe des durchgelassenen Lichts stark ist. In diesem Fall werden die Helligkeit des reflektierten Lichts und die Farbsättigung des durchgelassenen Lichts durch die Differenz in der Filmdicke bestimmt, zum Beispiel (16r' – 16r). Diese Differenz ist vorzugsweise auf einen geeigneten Wert für jede Farbe R, G und B eingestellt. Die Farbabstimmung der Farbanzeige kann somit bei einer gewünschten Abstimmung eingestellt werden.
In der vorliegenden Ausführungsform können die färbenden Elemente 16 von 1 durch Fotolithografie oder Tintenstrahlen gebildet werden. In der vorliegenden Ausführungsform jedoch, in der der reflektive Abschnitt R und der transmissive Abschnitt T durch die zweite Bank 15b getrennt sind, ist es besonders zweckdienlich, das Tintenstrahlen zu verwenden. Der Grund dafür ist, dass die optischen Bedingungen der färbenden Elemente 16 zwischen dem reflektiven Abschnitt R und dem transmissiven Abschnitt T durch passendes Ändern der Tröpfchenabscheidungsbedingungen des Tintenstrahlens zwischen dem reflektiven Abschnitt R und dem transmissiven Abschnitt T geändert werden können.
Ferner beeinflussen die färbenden Elemente 16 mit unterschiedlichen optischen Bedingungen einander nicht mehr, da die zweite Bank als Sperrwand dient, und daher keine Probleme, wie die Änderung der optischen Bedingungen der färbenden Elemente durch andere färbende Elemente, auftreten.
MODIFIZIERUNG DER ERSTEN AUSFÜHRUNGSFORM
In der zuvor unter Bezugnahme auf 1(b) beschriebenen Ausführungsform hatten die färbenden Elemente 16r, 16g und 16b im reflektiven Abschnitt R und die färbenden Elemente 16r', 16g' und 16b' im transmissiven Abschnitt T dasselbe Farbmaterial, aber verschiedene Filmdicken. Als Alternative ist es auch möglich, Farbmaterialien mit derselben Tönung aber verschiedenen Lichtdurchlässigkeitsraten für die färbenden Elemente 16r, 16g und 16b in dem reflektiven Abschnitt R und die färbenden Elemente 16r', 16g' und 16b' im transmissiven Abschnitt T zu verwenden. Zum Beispiel ist es möglich, Farbmaterialien zu verwenden, die dieselbe "Rottönung" aber verschiedenen Lichtdurchlässigkeitsraten haben, wobei das Farbmaterial mit einer höheren Lichtdurchlässigkeitsrate für das färbende Element 16r im reflektiven Abschnitt R und das Farbmaterial mit einer geringeren Lichtdurchlässigkeitsrate für das färbende Element 16r' im transmissiven Abschnitt T verwendet wird.
Es ist auch möglich, färbende Elemente mit verschiedenen Farbmaterialien und verschiedenen Filmdicken für die färbenden Elemente 16r, 16g und 16b im reflektiven Abschnitt R und die färbenden Elemente 16r', 16g' und 16b' im transmissiven Abschnitt T zu verwenden. Zum Beispiel kann die Anordnung der färbenden Elemente 16 ein Mosaikmuster sein, wie in 10(b) dargestellt ist, wobei benachbarte färbende Elemente verschiedene Dicken haben.
In der vorliegenden Erfindung wurde die vorliegende Erfindung bei semi-transmissiven-reflektiven Flüssigkristallanzeigevorrichtungen vom aktiven Matrixtyp unter Verwendung von TFD-Elementen, die Schaltelemente mit zwei Anschlüssen sind, angewendet. Die vorliegende Erfindung ist jedoch auch bei Flüssigkristallanzeigevorrichtungen vom aktiven Matrixtyp unter Verwendung von TFT (Dünnfilmtransistoren) anwendbar, die Schaltelemente mit 3 Anschlüssen sind. Die vorliegende Erfindung ist ebenso bei Flüssigkristallvorrichtungen vom einfachen Matrixtyp anwendbar, die keine Schaltelemente verwenden. Die vorliegende Erfindung ist des Weiteren bei Flüssigkristallvorrichtungen vom reflektiven Typ anwendbar. Die vorliegende Erfindung ist des Weiteren bei elektrooptischen Vorrichtungen anwendbar, die nicht vom Flüssigkristall-Typ sind, wie bei organischen EL-Vorrichtungen, Plasmaanzeigevorrichtungen, Elektronenemissionskomponenten (Feldemissionsanzeigen und oberflächenleitenden Elektronen-Emitter-Anzeigen) und vielen anderen.
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES FARBFILTERSUBSTRATS 4A
Das Verfahren zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats gemäß der vorliegenden Erfindung wird nun anhand eines Falls der Herstellung des Farbfiltersubstrats 4a, das in 1 dargestellt ist, als Beispiel beschrieben.
2 zeigt ein Verfahren zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In dem Prozess P1 wird das Material 11' für die Harzschicht 11, das ein lichtempfindliches Harz in der vorliegenden Ausführungsform ist, gleichmäßig über dem Substrat 9a aufgetragen, das in 3(a) dargestellt ist. Anschließend wird in Prozess P2 die Schicht des Harzschichtmaterials 11' belichtet und entwickelt, um die Harzschicht 11 zu bilden, wie in 3(b) dargestellt ist. Gleichzeitig wird ein regellos zackiges Muster über der Oberfläche der Harzschicht 11 gebildet. Auf diese Weise wird eine Harzschicht 11 mit regellosen Oberflächenunregelmäßigkeiten auf der Basis 9a gebildet.
Anschließend wird im folgenden Schritt P3 wärmehärtendes lichtblockierendes Material 13' in einer gleichförmigen Dicke aufgetragen, wie in 3(c) dargestellt ist. In Schritt P4 wird tintenabweisendes Material 14' auf die Schicht des lichtblockierenden Materials 13' in einer gleichförmigen Dicke aufgetragen, wie in 3(d) dargestellt ist. Das Harzlaminat in 3(d) wird Licht ausgesetzt und in dem folgenden Schritt P5 entwickelt, und die zweite Bänke 15b mit einer geschichteten Struktur mit dem lichtblockierenden Element 13 und der tintenabweisenden Schicht 14, wie auch die ersten Bänke 15a mit derselben zweischischichtigen Struktur werden gebildet, wie in 4(e) dargestellt ist.
Dann wird der reflektive Film 12 durch Tintenstrahlen in dem folgenden Schritt P6 gebildet, wie in 4(f) dargestellt ist. Der reflektive Film 12 wird zum Beispiel mit Hilfe einer Tintenstrahltechnologie durch Führen/Bewegen des Tintenstrahlkopfs 21, wie in 21 dargestellt ist, auf planare Weise gebildet, wie durch die Pfeile X und Y dargestellt ist. Der Tintenstrahlkopf 41 hat ein im Wesentlichen rechteckiges Gehäuse 42 und mehrere Düsen 43 sind am Boden des Gehäuses 42 bereitgestellt. Die Düsen 43 haben eine kleine Öffnung mit einem Durchmesser von etwa 0,02 bis 0,1 mm.
In der vorliegenden Ausführungsform sind die mehreren Düsen 43 in zwei Reihen bereitgestellt und zwei Düsenreihen 44, 44 sind in dem Kopf 41 gebildet. In jeder Düsenreihe 44 sind die Düsen 43 in einer geraden Linie in vorbestimmten Abständen bereitgestellt. Flüssiges Material wird diesen Düsenreihen 44 aus Richtungen zugeführt, die durch Pfeile H dargestellt sind. Das derart zugeleitete flüssige Material wird in Form winziger Tröpfchen aus den Düsen 43 gemäß der Vibration des piezoelektrischen Elements 58 abgegeben. Obwohl es zwei Düsenreihen 44 in dieser Ausführungsform gibt, kann die Anzahl von Düsenreihen 44 auch eins oder drei oder mehr sein.
Der Tintenstrahlkopf 41 hat zum Beispiel eine rostfreie Düsenplatte 46, eine Vibrationsplatte 47, die der Düsenplatte zugewandt angeordnet ist, und mehrere Trennelemente 48 zum Verbinden der Düsenplatte 46 und der Vibrationsplatte 47, wie in 22 dargestellt ist. Ebenso sind mehrere Aufnahmekammern 49 zur Aufnahme des flüssigen Materials, und eine Flüssigkeitssammelvorrichtung 51, die an einer Stelle angeordnet ist, an der sich das flüssige Material vorübergehend ansammelt, durch die Trennelemente 48 zwischen der Düsenplatte 46 und der Vibrationsplatte 47 definiert. Ferner sind jede der mehreren Aufnahmekammern 49 und die Flüssigkeitssammelvorrichtung 51 durch einen Kanal 52 verbunden. Ebenso ist eine Zufuhröffnung 53 für das flüssige Material an einer geeigneten Stelle in der Vibrationsplatte 47 gebildet und ein Materialbehälter 56 ist an die Zufuhröffnung 53 über ein Rohr 54 angeschlossen. Mate rial für einen reflektiven Film wird in dem Behälter 56 gelagert, und das flüssige Material M0, das vom Behälter 56 zugeleitet wird, wird in die Flüssigkeitssammelvorrichtung 51 gefüllt und dann über den Kanal 52 in die Aufnahmekammern 49 gefüllt.
Die Düsenplatte 46, die ein Teil des Tintenstrahlkopfes 41 ist, ist mit Düsen 43 zum Versprühen des flüssigen Materials in Strahlform von den Aufnahmekammern 49 bereitgestellt. Mehrere dieser Düsen 43 sind zur Bildung von Düsenreihen 44 ausgerichtet, wie zuvor unter Bezugnahme auf 21 beschrieben wurde.
Ebenso ist die Vibrationsplatte 47 mit einem Druckelement 57 bereitgestellt, das den Aufnahmekammern 49 entspricht, um Druck auf das flüssige Material auszuüben. Dieses Druckelement 57 hat ein piezoelektrisches Element 58 und ein Paar von Elektroden 59a und 50b an beiden Seiten des piezoelektrischen Elements 58, wie in 23 dargestellt ist.
Wenn Strom zwischen den Elektroden 59a und 59b fließt, verformt sich das Piezoelement 58 und ragt in die Richtung von Pfeil J nach außen, wodurch das Volumen der Aufnahmekammer 49 vergrößert wird. Daher fließt das flüssige Material M0 von dem Flüssigkeitsreservoir 51 über den Durchlass 52 mit einem Volumen in die Aufnahmekammer 49, das der Vergrößerung des Volumens der Aufnahmekammer 49 äquivalent ist.
Wenn der Stromfluss zu dem Piezoelement 58 gestoppt wird, kehren das Piezoelement 58 und die Vibrationsplatte 47 in den ursprünglichen Zustand zurück und das Volumen der Aufnahmekammer 49 kehrt auch in den ursprünglichen Zustand zurück. Infolgedessen steigt der Druck, der auf das flüssige Material ausgeübt wird, innerhalb der Aufnahmekammer 49, wodurch das flüssige Material in Form von Tröpfchen 61 aus der Düse 43 ausgestoßen wird. Die Tröpfchen 61 werden stabil als winzige Tröpfchen ausgestoßen, unabhängig von der Art des Lösemittels oder anderer Bestandteile, die in dem flüssigen Material enthalten sein können.
Durch Bilden des reflektiven Films 12 mit der Tintenstrahltechnologie, die das obengenannte Tintenstrahlkopfsystem verwendet, ist es möglich, den Verbrauch an reflektivem Filmmaterial im Vergleich zu einem Fall, in dem der reflektive Film mit einer herkömmlichen Strukturierungstechnologie gebildet wird, die Fotolithografie verwendet, deutlich zu senken. Der Herstellungsprozess wird auch signifikant vereinfacht. Da auch die Bänke 15a und 15b eine tintenabweisende Schicht 14 enthalten, kann verhindert werden, dass das Material des reflektiven Films 12 an den Bänken 15a und 15b haftet.
Wenn der reflektive Film 12, wie in 4(f) dargestellt ist, durch Tintenstrahlen gebildet wird, werden die färbenden Elemente 16, die in 4(g) dargestellt sind, durch Tintenstrahlen in dem folgenden Schritt 27 gebildet, der in 2 dargestellt ist. Die hier verwendete Tintenstrahltechnik kann unter Verwendung des Tintenstrahlkopfs 41 durchgeführt werden, der in 10 bis 12 dargestellt ist, der zur Bildung des zuvor beschriebenen reflektiven Films 12 verwendet wird.
In diesem Fall wird das Material für die färbenden Elemente R, G und B in dem Materialbehälter 56 in 22 gelagert. Ebenso sind zweckbestimmte Tintenstrahlköpfe 41 für jedes der färbenden Elemente 16 der drei Farben R, G und B bereitgestellt; und die Köpfe 41 werden in verschiedenen Stufen in der Produktionslinie eingebaut. Dann werden färbende Elemente 16 jeder Farbe separat mit den Tintenstrahlköpfen 41 für jede Farbe gebildet. Abhängig von der Situation ist es auch möglich, ein Versorgungssystem für das Material der färbenden Elemente aller drei Farben in einem Tintenstrahlkopf 41 einzubauen, und die färbenden Elemente 16 der drei Farben nur mit dem einen Tintenstrahlkopf 41 abzugeben.
Wenn daher die färbenden Elemente 16 unter Verwendung von tintenstrahlenden Tintenabscheidungstechniken gebildet werden, wird der Verbrauch an färbendem Filmmaterial im Vergleich zu dem Fall, in dem die färbenden Elemente 16 durch Strukturierungsverfahren der herkömmlichen Fotolithografie gebildet werden, deutlich verringert. Die Schritte zur Herstellung der färbenden Elemente 16 sind auch viel einfacher als in der Fotolithografie. Da die Bänke 15a und 15b eine tintenabweisende Schicht 14 enthalten, kann ein Anhaften des Materials der färbenden Elemente 16 an den Bänken 15a und 15b verhindert werden. Daher kann ein Vermischen der Farben zwischen den färbenden Elementen 16r, 16g und 16b verhindert werden.
Nachdem die färbenden Elemente 16 durch Tintenstrahlen gebildet wurden, wie in 4(g) dargestellt ist, wird eine Überzugsschicht 17, wie in 5(h) dargestellt ist, in dem anschließenden Schritt 28 gebildet, der in 2 dargestellt ist. Ferner werden streifenförmige Elektroden 18a in Schritt 29, wie in 5(i) dargestellt ist, durch Fotolithografie und Ätzen aus ITO (Indiumzinnoxid) oder einem anderen solchen transparenten leitenden Material gebildet. Ferner wird ein Orientierungsfilm 19a in Schritt P10 aus Polyimid oder dergleichen gebildet, wie in 5(j) dargestellt ist. Ein Farbfiltersubstrat 4a wird dadurch wie zuvor beschrieben hergestellt.
MODIFIZIERUNG DES VERFAHRENS ZUR HERSTELLUNG EINES FARBFILTERSUBSTRATS 4A
In der vorliegenden Erfindung wurde die Erfindung bei Herstellungsverfahren einer semi-transmissiven-reflektiven Flüssigkristallanzeigevorrichtung vom aktiven Matrixtyp angewendet, die TFD-Elemente verwendet, die Schaltelemente mit zwei Anschlüssen sind. Die Erfindung ist jedoch auch bei Herstellungsverfahren einer Flüssigkristallanzeigevorrichtung vom aktiven Matrixtyp anwendbar, die TFT-Elemente (Dünnfilmtransistoren) verwendet, die Schaltelemente mit drei Anschlüssen sind. Die Erfindung ist ebenso bei Herstellungsverfahren einer Flüssigkristallvorrichtung vom einfachen Matrixtyp anwendbar, die keine Schaltelemente verwendet. Die Erfindung ist auch bei Herstellungsverfahren einer Flüssigkristallvorrichtung vom reflektiven Typ anwendbar. Die Erfindung ist des Weiteren bei Herstellungsverfahren einer elektro-optischen Vorrichtung vom Nicht-Flüssigkristalltyp anwendbar, wie einer organischen EL-Vorrichtung, einer Plasmaanzeigevorrichtung und vielen anderen.
ZWEITE AUSFÜHRUNGSFORM
FARBFILTERSUBSTRAT 4A''
11 zeigt ein Farbfiltersubstrat gemäß einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Diese Ausführungsform unterscheidet sich von der vorangehenden Ausführungsform, die in 1 dargestellt ist, in der Konfiguration der Harzschicht 11''. Sonst ist die Konfiguration dieselbe wie jene des Farbfiltersubstrats 4a der Ausführungsform in 1. Angesichts der Ähnlichkeit zwischen der ersten und zweiten Ausführungsform sind die Teile der zweiten Ausführungsform, die mit den Teilen der ersten Ausführungsform identisch sind, mit denselben Bezugszeichen versehen, wie die Teile der ersten Ausführungsform. Ferner können die Beschreibungen der Teile der zweiten Ausführungsform, die mit den Teilen der ersten Ausführungsform identisch sind, der Kürze wegen unterlassen werden. Die Teile der zweiten Ausführungsform, die sich von den Teilen der ersten Ausführungsform unterscheiden, sind mit zwei Strichen ('') angegeben.
In dem Farbfiltersubstrat 4a der Ausführungsform in 1 ist die Harzschicht 11 über der gesamten Oberfläche der Basis 9a bereitgestellt und ein unregelmäßiges Muster wird auf Abschnitten der Oberfläche der Harzschicht 11 gebildet, die dem reflektiven Abschnitt R entsprechen. In dem Farbfiltersubstrat 4a'' der Ausführungsform, die in 11 dargestellt ist, ist die Harzschicht 11'' nicht über der gesamten Basis 9a bereitgestellt, sondern die Harzschicht 11'' ist nur an der Fläche bereitgestellt, die dem reflektiven Abschnitt R entspricht. Diese Konfiguration ist bevorzugt, wenn die Harzschicht 11'' zwischen den zweiten Bänken 15b durch Tintenstrahlen gebildet wird.
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES FARBFILTERSUBSTRATS 4A''
Ein Verfahren zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats 4a'' gemäß einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nun unter Verwendung der Herstellung des Farbfiltersubstrats 4a'', das in 11 dargestellt ist, als Beispiel beschrieben.
12 zeigt ein Verfahren zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats gemäß einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Zunächst wird ein wärmehärtendes lichtblockierendes Element 13' in gleichförmiger Dicke über der Basis 9a in Schritt P11 aufgetragen, wie in 13(a) dargestellt ist. In Schritt P12 wird dann ein tintenabweisendes Material 14' darauf in gleichförmiger Dicke aufgetragen, wie in 13(b) dargestellt ist. Das Harzlaminat in 13(b) wird im folgenden Schritt P13 Licht ausgesetzt und entwickelt, und die zweiten Bänke 15b mit einer schichtenförmigen Struktur, die das lichtblockierende Element 13 und die tintenabweisende Schicht 14 aufweist, wie auch die ersten Bänke 15a mit derselben zweischichtigen Struktur werden, wie in 13(c) dargestellt ist, gebildet.
Die Harzschicht 11'' wird durch Tintenstrahlen in den Flächen, die von den ersten Bänken 15a und zweiten Bänken 15b umschlossen sind, in dem folgenden Schritt P14 in 12 gebildet, wie in 14(d) dargestellt ist. Dieser Tintenstrahlschritt wird zum Beispiel durch Abgabe von Material für die Harzschicht 11 in Form von Tröpfchen aus den Düsen 43 durchgeführt, während der Tintenstrahlkopf 41, der in 21, 22 und 23 dargestellt ist, in einer Ebene geführt/bewegt wird. Da die Harzschicht 11'' nur in den Flächen gebildet wird, die von den ersten Bänken 15a und zweiten Bänken 15b umschlossen ist, wird die Menge an verbrauchtem Material deutlich verringert.
In diesem Fall sind mehrere Kügelchen geeigneter Größe in dem Material für die Harzschicht 11'' enthalten, so dass ein regelloses unregelmäßiges Muster auf der Oberfläche der Harzschicht 11'' gebildet werden kann, die auf der Basis 9a gebildet ist, indem das Kügelchen enthaltende Harzmaterial von dem Tintenstrahlkopf 41 abgegeben wird. Da eine Harzschicht 11'' mit einem unregelmäßigen Muster auf der Oberfläche dann in den gewünschten Flächen durch einen einzigen Tintenstrahlschritt gebildet werden kann, sind die Schritte zur Herstellung des Farbfiltersubstrats 4a'' deutlich verkürzt und der Materialverbrauch für die Harzschicht 11'' ist deutlich verringert. Eine geeignete dreidimensionale Form, wie Kugeln, Zylinder oder dergleichen, wird nach Bedarf für die Form der Kügelchen gewählt.
Ebenso kann die folgende Methode anstelle des Einmischens von Kügelchen in das Harzmaterial verwendet werden, das durch Tintenstrahlen abgegeben wird. Mit anderen Worten, ein Harzmaterial, das keine Mischung aus Kügelchen oder dergleichen enthält, wird durch Tintenstrahlen auf die Basis 9a abgegeben, dann werden geeignete Backbedingungen für das Backen des Harzmaterials gewählt, so dass Falten auf der Oberfläche des gebackenen Harzmaterials während des Backens des Harzmaterials erzeugt werden und ein regelloses unregelmäßiges Muster aufgrund der Falten gebildet werden kann. Auch mit dieser Methode kann eine Harzschicht 11'' mit einem unregelmäßigen Muster auf der Oberfläche in gewünschten Flächen in einem einzigen Tintenstrahlschritt gebildet werden.
Sobald eine Harzschicht 11'' mit einem unregelmäßigen Muster auf der Basis 9a wie zuvor beschrieben gebildet ist, wird ein reflektiver Film 12, wie in 14(e) dargestellt ist, in dem folgenden Schritt P15 durch Tintenstrahlen gebildet, wie in 12 dargestellt ist. Die Bildung eines Films mit einem Tintenstrahlsystem wird zum Beispiel durch Abgabe des Materials für den reflektiven Film 12 in Form von Tröpfchen aus den Düsen 43 durchgeführt, während der Tintenstrahlkopf 41, der in 21, 22 und 23 dargestellt ist, innerhalb einer Ebene geführt/bewegt wird. Wenn der reflektive Film 12 auf diese Weise durch Tintenstrahlen mit Hilfe des Tintenstrahlsystems gebildet wird, kann die Menge an reflektivem Filmmaterial im Vergleich zu dem Fall, in dem der reflektive Film 12 durch Strukturierungsverfahren, wie herkömmliche Fotolithografie, gebildet wird, deutlich verringert werden.
Ebenso sind mit der Tintenstrahltechnologie die Schritte zur Herstellung des reflektiven Films 12 viel einfacher als bei der Fotolithografie. Da die Bänke 15a und 15b die tintenabweisenden Schichten 14 enthalten, kann ferner verhindert werden, dass das Material des reflektiven Films 12 an den Bänken 15 und 15b haftet.
Sobald der reflektive Film 12 durch Tintenstrahlen wie zuvor beschrieben gebildet ist, werden die färbenden Elemente 16 durch Tintenstrahlen in dem folgenden Schritt P16 in 12 gebildet, wie in 14(e) dargestellt ist. Die hier verwendete Tintenstrahltechnik kann unter Verwendung des Tintenstrahlkopfs 41 ausgeführt werden, der in 21 bis 23 dargestellt ist, der zur Bildung der Harz schicht 11 oder des reflektiven Films 12, wie zuvor beschrieben, verwendet wird.
In diesem Fall wird das Material der färbenden Elemente in den Farben R, G und B in dem Materialbehälter 56 in 22 gelagert. Ebenso werden zweckbestimmte Tintenstrahlköpfe 41 für jedes der färbenden Elemente 16 in den drei Farben R, G und B vorbereitet; und die Köpfe 41 werden in verschiedenen Stufen in der Produktionslinie eingebaut. Dann werden färbende Elemente 16 jeder Farbe separat mit den Tintenstrahlköpfen 41 für jede Farbe gebildet. Abhängig von der Situation ist es auch möglich, ein Versorgungssystem für das Material der färbenden Elemente aller drei Farben in einem Tintenstrahlkopf 41 einzubauen, und die färbenden Elemente 16 der drei Farben nur mit dem einen Tintenstrahlkopf 41 abzugeben.
Wenn daher die färbenden Elemente 16 unter Verwendung von tintenstrahlenden Tintenabscheidungstechniken gebildet werden, wird der Verbrauch an färbendem Filmmaterial im Vergleich zu dem Fall, in dem die färbenden Elemente 16 durch Strukturierungsverfahren wie die herkömmliche Fotolithografie gebildet werden, deutlich verringert. Die Schritte zur Herstellung der färbenden Elemente 16 sind auch viel einfacher als in der Fotolithografie. Da die Bänke 15a und 15b eine tintenabweisende Schicht 14 enthalten, kann ein Anhaften des Materials der färbenden Elemente 16 an den Bänken 15a und 15b verhindert werden. Daher kann ein Vermischen der Farben zwischen den färbenden Elementen 16r, 16g und 16b verhindert werden.
Nachdem die färbenden Elemente 16 durch Tintenstrahlen gebildet wurden, wie in 14(f) dargestellt ist, wird eine Überzugsschicht 17, wie in 15(g) dargestellt ist, in dem anschließenden Schritt P17 gebildet, der in 12 dargestellt ist. Ferner werden streifenförmige Elektroden 18a in Schritt P18, wie in 15(h) darge stellt ist, durch Fotolithografie und Ätzen aus ITO (Indiumzinnoxid) oder einem anderen solchen transparenten leitenden Material gebildet. Ferner wird ein Orientierungsfilm 19a in Schritt P19 aus Polyimid oder dergleichen gebildet, wie in 15(i) dargestellt ist. Ein Farbfiltersubstrat 4a'' wird dadurch wie zuvor beschrieben hergestellt.
DRITTE AUSFÜHRUNGSFORM
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES FARBFILTERSUBSTRATS 4A
Das Verfahren zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats gemäß einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nun unter Verwendung der Herstellung des Farbfiltersubstrats 4a'', das in 1 dargestellt ist, als Beispiel beschrieben.
16 zeigt ein Verfahren zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In dem Prozess P21 wird das Material 11'' für die Harzschicht 11, das ein lichtempfindliches Harz in der vorliegenden Ausführungsform ist, gleichmäßig über dem Substrat 9a aufgetragen, das in (17a) dargestellt ist. Anschließend wird in Prozess P22 die Schicht des Harzschichtmaterials 11' belichtet und entwickelt, um die Harzschicht 11 zu bilden, wie in 17(b) dargestellt ist. Gleichzeitig wird ein regellos zackiges Muster über der Oberfläche der Harzschicht 11 gebildet. Auf diese Weise wird eine Harzschicht 11 mit regellosen Oberflächenunregelmäßigkeiten auf der Basis 9a gebildet.
Das Material 12'' für einen reflektiven Film 12 wird in dem folgenden Schritt P23 in 16 durch Sputtern zu einem Film gebildet, wie in 17(c) dargestellt ist, und ein Resist 39 wird mit einer gleichförmigen Dicke in dem folgenden Schritt P24 aufgetragen, wie in 17(d) dargestellt ist. Der Resist 39 wird im folgenden Schritt P25 Licht ausgesetzt und entwickelt, um ein Resistmuster zu bilden, und dann wird durch Ätzen in Schritt P26 ein reflektiver Film 12 gebildet, wie in 18(e) dargestellt ist. Der reflektive Film 12 wird auf diese Weise auf der Basis 9a gebildet. Gleichzeitig wird ein unregelmäßiges Muster, das mit dem unregelmäßigen Muster auf der Harzschicht 11 übereinstimmt, in der Oberfläche des reflektiven Films 12 gebildet.
Anschließend wird in dem folgenden Schritt P27 wärmehärtendes lichtblockierendes Material 13' in einer gleichförmigen Dicke aufgetragen, wie in 18(f) dargestellt ist. In Schritt P28 wird tintenabweisendes Material 14' auf die Schicht des lichtblockierenden Materials 13' in einer gleichförmigen Dicke aufgetragen, wie in 18(g) dargestellt ist. Das Harzlaminat in 18(g) wird in. dem folgenden Schritt P29 Licht ausgesetzt und entwickelt, und die zweiten Bänke 15b mit einer geschichteten Struktur mit dem lichtblockierenden Element 13 und der tintenabweisenden Schicht 14, wie auch die ersten Bänke 15a mit derselben zweischischichtigen Struktur werden gebildet, wie in 18(h) dargestellt ist.
Dann werden die färbenden Elemente 16, wie in 19(i) dargestellt ist, durch Tintenstrahlen in dem folgenden Schritt P30 in 16 gebildet. Die hier verwendete Tintenstrahltechnik kann unter Verwendung des zuvor beschriebenen Tintenstrahlkopfs 41 ausgeführt werden, der in 21 bis 23 dargestellt ist.
In diesem Fall wird das Material der färbenden Elemente in den Farben R, G und B in dem Materialbehälter 56 in 22 gelagert. Ebenso werden zweckbestimmte Tintenstrahlköpfe 41 für jedes der färbenden Elemente 16 in den drei Farben R, G und B vorbereitet; und die Köpfe 41 werden in verschiedenen Stufen in der Produktionslinie eingebaut. Dann werden färbende Elemente 16 jeder Farbe separat mit den Tintenstrahlköpfen 41 für jede Farbe gebildet. Abhängig von der Situation ist es auch möglich, ein Versorgungssystem für das Material der färbenden Elemente aller drei Farben in einem Tintenstrahlkopf 41 einzubauen, und die färbenden Elemente 16 der drei Farben nur mit dem einen Tintenstrahlkopf 41 abzugeben.
Wenn daher die färbenden Elemente 16 unter Verwendung von tintenstrahlenden Tintenabscheidungstechniken gebildet werden, wird der Verbrauch an färbendem Filmmaterial im Vergleich zu dem Fall, in dem die färbenden Elemente 16 durch Strukturierungsverfahren der herkömmlichen Fotolithografie gebildet werden, deutlich verringert. Die Schritte zur Herstellung der färbenden Elemente 16 sind auch viel einfacher als in der Fotolithografie. Da die Bänke 15a und 15b eine tintenabweisende Schicht 14 enthalten, kann ein Anhaften des Materials der färbenden Elemente 16 an den Bänken 15a und 15b verhindert werden. Daher kann ein Vermischen der Farben zwischen den färbenden Elementen 16r, 16g und 16b verhindert werden.
Nachdem die färbenden Elemente 16 durch Tintenstrahlen gebildet wurden, wie in 19(i) dargestellt ist, wird eine Überzugsschicht 17, wie in 19(j) dargestellt ist, in dem anschließenden Schritt P31 gebildet, der in 16 dargestellt ist. Ferner werden streifenförmige Elektroden 18a in Schritt P32, wie in 19(k) dargestellt ist, durch Fotolithografie und Ätzen aus ITO (Indiumzinnoxid) oder einem anderen solchen transparenten leitenden Material gebildet. Ferner wird ein Orientierungsfilm 19a in Schritt P33 aus Polyimid oder dergleichen gebildet, wie in 19(1) dargestellt ist. Ein Farbfiltersubstrat 4a'' wird dadurch wie zuvor beschrieben hergestellt.
VIERTE AUSFÜHRUNGSFORM
FARBFILTERSUBSTRAT 404A
20 zeigt eine weitere Ausführungsform eines Farbfiltersubstrats gemäß der vorliegenden Erfindung. Diese Ausführungsform unterscheidet sich von der vorangehenden Ausführungsform, die in 1 dargestellt ist, vorwiegend darin, dass keine Harzschicht 11 bereitgestellt ist und der reflektive Film 12 direkt auf der Basis 9a durch Tintenstrahlen gebildet wird.
Die Konfiguration des Farbfiltersubstrats 404a in 20 ist sonst dieselbe wie jene des Farbfiltersubstrats 4a in der Ausführungsform von 1. In der vorliegenden Ausführungsform sind in das Material für den reflektiven Film 12 zahlreiche Kügelchen 38 eingemischt, und dieses wird durch Tintenstrahl- oder Abscheidungstechniken in den reflektiven Abschnitt R abgegeben, der von den ersten Bänken 15a und zweiten Bänken 15b umschlossen ist, wobei das Material gebacken wird. Nach dem Backen wird der reflektive Film 12 mit einem unregelmäßigen Oberflächenmuster, das den Kügelchen 38 entspricht, in dem reflektiven Abschnitt R gebildet. Gemäß dieser Ausführungsform ist die Harzschicht in 1 nicht notwendig, so dass die Schritte weiter vereinfacht und die Kosten des Materials weiter verringert werden.
FÜNFTE AUSFÜHRUNGSFORM
ELEKTRONISCHE VORRICHTUNG
Es folgt eine Erklärung eines elektronischen Instruments gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Diese Ausführungsform zeigt nur ein Beispiel dieser Erfindung. Daher ist der Umfang der vorliegenden Erfindung nicht auf diese besondere Ausführungsform beschränkt.
24 zeigt ein elektronisches Instrument gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Das elektronische Instrument enthält einen Anzeigeinformationsgenerator 101, eine Anzeigeinformationsverarbeitungsschaltung 102, eine Stromversorgungsschaltung 103, einen Zeitsteuerungsgenerator 104 und eine Flüssigkristallvorrichtung 105. Die Flüssigkristallvorrichtung 105 enthält des Weiteren eine Flüssigkristallplatte 107 und eine Treiberschaltung 106.
Der Anzeigeinformationsgenerator 101 enthält einen Speicher, wie einen RAM (Direktzugriffsspeicher), eine Speichereinheit, wie verschiedene Platten, und eine Synchronisierungsschaltung zum Synchronisieren der digitalen Bildsignale und anderer. Der Anzeigeinformationsgenerator 101 liefert Anzeigeinformationen, wie Bildsignale, zu der Anzeigeinformationsverarbeitungsschaltung 102 in einem vorbestimmten Format, die verschiedenen Taktsignalen entsprechen, die von dem Zeitsteuerungsgenerator 104 erzeugt werden.
Die Anzeigeinformationsverarbeitungsschaltung 102 enthält des Weiteren verschiedene bekannte Schaltungen, wie Verstärkungs- und Invertierschaltungen, Rotations-, Korrektur- und Klemmschaltungen. Die Anzeigeinformationsverarbeitungsschaltung 102 verarbeitet empfangene Anzeigeinformationen und leitet Bildsignale gemeinsam mit einem Taktsignal CLK zu der Treiberschaltung 106. Hier werden eine Abtastleitungs-Treiberschaltung (nicht dargestellt), eine Datenleitungs-Treiberschaltung (nicht dargestellt), eine Überprüfungsschaltung und verschiedene andere Schaltungen gemeinsam als Treiberschaltung 106 bezeichnet. Die Stromversorgungsschaltung 103 leitet vorgeschriebene Stromspannungen zu allen vorangehenden Komponenten. Die Flüssigkristallvorrichtung 105 kann zum Beispiel auf dieselbe Weise wie die Flüssigkristallvorrichtung 1 aufgebaut sein, die in 7 dargestellt ist.
25 zeigt ein tragbares Telefongerät als ein Beispiel für ein elektronisches Instrument gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Ein tragbares Telefongerät 120, wie dargestellt, enthält einen Hauptkörper 121 und eine Anzeigeeinheit 122. Eine Anzeigevorrichtung 123 mit einer Flüssigkristallvorrichtung oder einer anderen elektrooptischen Vorrichtung gemäß den zuvor beschriebenen Ausführungsformen ist in der Anzeigeeinheit 122 angeordnet, so dass die Anzeigeeinheit 122 verschiedene Anzeigen in Bezug auf Telefonverbindungen auf dem Anzeigeschirm 124 anzeigen kann.
Eine Antenne 127 ist zurückziehbar an einem Ende der Anzeigeeinheit 122 befestigt. Ein Lautsprecher ist im Inneren des Sprachempfangsabschnitts 128 angeordnet und ein Mikrofon ist im Inneren eines Sprachsendeabschnitts 129 eingebaut. Der Steuerabschnitt, der den Betrieb der Anzeigevorrichtung 123 steuert, ist innerhalb einer Haupteinheit 121 oder der Anzeigeeinheit 122 entweder integral oder separat zu dem Steuerabschnitt angeordnet, der das gesamte tragbare Telefongerät 120 steuert.
26 zeigt eine Digitalkamera als weiteres Beispiel für das elektronische Instrument gemäß der vorliegenden Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Digitalkamera hat eine Flüssigkristallvorrichtung als Bildsucher. Eine Flussigkristallanzeigeeinheit 132 ist an einer Oberfläche eines Gehäuses 131 angeordnet. Hier dient die Flüssigkristallanzeigeeinheit 132 als Bildsucher, der das zu fotografierende Objekt anzeigt. Die Flüssigkristallanzeigeeinheit 132 kann zum Beispiel eine Flüssigkristallvorrichtung 1 sein, die in 7 dargestellt ist.
Die Digitalkamera 130 enthält des Weiteren an der Vorderseite (Rückseite der Zeichnung) des Gehäuses 131 eine Lichtempfangseinheit 133 mit optischen Linsen und einer CCD (ladungsgekoppelten Vorrichtung). Wenn ein Fotograf, der ein Bild des Objekts verifiziert hat, das auf der Flüssigkristallanzeige 132 angezeigt wird, auf einen Verschlussknopf 134 drückt, wird das CCD-Bildsignal des jeweiligen Moments zu einem Speicher auf einem Schaltungssubstrat 135 übertragen und dort gespeichert.
Eine Videosignal-Ausgangsklemme 136 und eine Datenkommunikations-Eingangs-/Ausgangsklemme 137 sind an einer Seitenfläche des Gehäuses 131 angeordnet. Ein Fernsehmonitor 138 ist für den Anschluss an die Videosignal-Ausgangsklemme 136 bei Bedarf ausgebildet. Ein Personal-Computer 139 ist auch für den Anschluss an die Datenkommunikations-Eingangs/Ausgangsklemme 137 bei Bedarf ausgebildet. Das Bildsignal, das in einem Speicher auf dem Schaltungssubstrat 135 gespeichert ist, wird zu dem Fernsehmonitor 138 oder zu dem Personal-Computer 139 durch vorgeschriebene Operationen gesendet.
MODIFIZIERUNG DER ELEKTRONISCHEN VORRICHTUNG
Zusätzlich zu einem Telefongerät und einer Digitalkamera, die zuvor erklärt wurden, ist die vorliegende Erfindung bei anderen elektronischen Instrumenten, wie Personal-Computern, elektronischen Instrumenten in der Art einer Armbanduhr, PDAs (Personal Digital Assistants), Flüssigkristallfernsehgeräten, Videorecordern vom Bildsuchertyp oder Monitor-Direktsichttyp, Autonavigationsvorrichtungen, Pagern, elektronischen Notebooks, Taschenrechnern, Word-Prozessor-Vorrichtungen, Workstations, Fernseh-Telefongeräten und POS-Terminal-Einrichtungen anwendbar.
Die vorliegende Erfindung wurde zuvor unter Bezugnahme auf bevorzugte Ausführungsformen beschrieben, aber die vorliegende Erfindung ist nicht auf diese Ausführungsformen beschränkt und es können verschiedene Verbesserungen im Umfang der vorliegenden Erfindung vorgenommen werden, wie in den Ansprüche beschrieben ist.
Das Farbfiltersubstrat gemäß der vorliegenden Erfindung wird zur Bereitstellung einer Farbanzeigefunktion in einer Flüssigkristallvorrichtung, einer organischen EL-Vorrichtung oder einer anderen derartigen elektro-optischen Vorrichtung verwendet. Ebenso wird eine elektro-optische Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung vorzugsweise als Anzeigeabschnitt eines tragbaren Telefons, eines tragbaren Informationsterminals, eines PDA oder einer anderen derartigen elektronischen Vorrichtung verwendet. Ebenso kann die elektronische Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung ein tragbares Telefon, ein tragbares Informationsterminal, ein PDA oder eine andere derartige elektronische Vorrichtung sein, und ist insbesondere als elektronische Vorrichtung mit einer Funktion konfiguriert, mit deren Hilfe verschiedene Daten visuell angezeigt werden können.
Wie hierin verwendet, beziehen sich die folgenden Richtungsangaben "vorwärts, rückwärts, oberhalb, nach unten, vertikal, horizontal, unterhalb und quer" wie auch andere ähnliche Richtungsangaben auf die Richtungen einer Vorrichtung, die mit der vorliegenden Erfindung ausgestattet ist. Daher sollten diese Begriffe, die zur Beschreibung der Erfindung verwendet werden, relativ zu einer Vorrichtung verstanden werden, die mit der vorliegenden Erfindung ausgestattet ist.
Der Begriff "konfiguriert", der hier zur Beschreibung einer Komponente, eines Abschnitts oder eines Teils einer Vorrichtung verwendet wird, enthält Hardware und/oder Software, die zur Ausführung der gewünschten Funktion konstruiert und/oder programmiert ist.
Ferner sollten Begriffe, die als "Mittel plus Funktion" in den Ansprüchen ausgedrückt sind, jede Struktur enthalten, die zur Ausführung der Funktion dieses Teils der vorliegenden Erfindung verwendet werden können.
Der Begriff eines Ausmaßes, wie "im Wesentlichen", "etwa" und "annähernd", wie hier verwendet, bedeutet ein angemes senes Ausmaß einer Abweichung des modifizierten Begriffs, so dass das Endergebnis nicht signifikant verändert wird. Zum Beispiel können diese Begriffe so konstruiert werden, dass sie eine Abweichung von mindestens ± 5% des modifizierten Begriffs enthalten, wenn diese Abweichung die Bedeutung des Wortes, das sie modifiziert, nicht negiert.
Diese Anmeldung beansprucht Priorität gegenüber der Japanischen Patentanmeldung Nr. 2003-318446 .
Während nur ausgewählte Ausführungsformen gewählt wurden, um die vorliegende Erfindung zu veranschaulichen, wird für den Fachmann aus dieser Offenbarung offensichtlich, dass verschiedene Änderungen und Modifizierungen vorgenommen werden können, ohne vom Umfang der Erfindung abzuweichen, der in den beiliegenden Ansprüchen definiert ist. Ferner sind die vorangehenden Beschreibungen der Ausführungsformen gemäß der vorliegenden Erfindung nur zum Zwecke der Veranschaulichung und nicht zum Zwecke der Einschränkung der Erfindung bereitgestellt, die durch die beiliegenden Ansprüche und deren Äquivalente definiert ist. Somit ist der Umfang der Erfindung nicht auf die offenbarten Ausführungsformen beschränkt.

Claims

Farbfiltersubstrat, umfassend: ein Substrat (9a); mehrere Anzeigepunkte auf dem Substrat; mehrere erste streifenförmige Bänke (15a) zum Trennen der Anzeigepunkte in verschiedene Farben; mehrere zweite streifenförmige Bänke (15b); einen reflektiven Film (12), der teilweise auf dem Substrat derart bereitgestellt ist, dass ein reflektiver Abschnitt und ein transmissiver Abschnitt in jedem der Anzeigepunkte gebildet sind; und färbende Elemente (16), die in Flächen bereitgestellt sind, die durch die ersten Bänke und die zweiten Bänke geteilt sind, dadurch gekennzeichnet, dass jede der mehreren zweiten Bänke mehrere der ersten Bänke schneidet, und dass der reflektive Film nur innerhalb von Regionen bereitgestellt ist und diese bedeckt, die von den ersten und zweiten Bänken begrenzt sind, und die zweiten Bänke zwischen den reflektiven Abschnitten und den transmissiven Abschnitten bereitgestellt sind.
Farbfiltersubstrat nach Anspruch 1, wobei zwei benachbarte färbende Elemente, die durch eine zweite Bank geteilt sind, dieselbe Farbe aber verschiedene Durchlässigkeitsraten haben.
Farbfiltersubstrat nach Anspruch 1, wobei zwei benachbarte färbende Elemente, die durch eine zweite Bank geteilt sind, dasselbe Farbmaterial aber verschiedene Dicken haben.
Farbfiltersubstrat nach Anspruch 1, wobei zwei benachbarte färbende Elemente, die durch eine zweite Bank geteilt sind, verschiedene Farben und verschiedene Filmdicken haben.
Farbfiltersubstrat nach Anspruch 1, des Weiteren umfassend eine Harzschicht (11), die zwischen dem Substrat und dem reflektiven Film in den Flächen bereitgestellt ist, die durch eine zweite Bank geteilt sind, wobei die Harzschicht einen unregelmäßigen Abschnitt auf ihrer Oberfläche hat.
Farbfiltersubstrat nach Anspruch 5, wobei der unregelmäßige Abschnitt gebildet wird, indem die Harzschicht unter Verwendung eines Materials gebildet wird, das Kügelchen enthält.
Farbfiltersubstrat nach Anspruch 5, wobei der unregelmäßige Abschnitt durch Falten auf der Harzschicht gebildet ist.
Farbfiltersubstrat nach Anspruch 1, wobei der reflektive Film in den Flächen gebildet ist, die durch die zweiten Bänke geteilt sind.
Farbfiltersubstrat nach Anspruch 8, wobei der reflektive Film unter Verwendung eines Materials gebildet wird, das Kügelchen enthält.
Verfahren zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats, umfassend die folgenden Schritte: Bereitstellen eines Substrats (9a); Bilden erster (15a) und zweiter (15b) Bänke auf dem Substrat, wobei die ersten Bänke zum Trennen von Anzeigepunkten in verschiedene Farben dienen, und jede der zweiten Bänke mehrere der ersten Bänke schneidet; teilweises Bilden eines reflektiven Films (12), so dass ein reflektiver Abschnitt und ein transmissiver Abschnitt in jedem Anzeigepunkt gebildet sind, wobei der reflektive Film durch Tröpfchenabscheidung nur innerhalb von Regionen gebildet ist und diese bedeckt, die von den ersten und zweiten Bänken begrenzt sind; und Bilden von färbenden Elementen (16) auf den Flächen, die durch die ersten und zweiten Bänke geteilt sind, durch Tröpfchenabscheidung.
Verfahren zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats nach Anspruch 10, des Weiteren umfassend Bilden einer Harzschicht (11) auf dem Substrat, so dass die Harzschicht einen unregelmäßigen Abschnitt auf ihrer Oberfläche hat, bei der Bildung der ersten und zweiten Bänke, die gleichzeitige Bildung der ersten und zweiten Bänke, nachdem die Harzschicht gebildet wurde, Bilden des reflektiven Films durch Tröpfchenabscheidung nach der Bildung der ersten und zweiten Bänke, und Bilden der färbenden Elemente nach der Bildung des reflektiven Films.
Verfahren zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats nach Anspruch 10, des Weiteren umfassend Bilden einer Harzschicht auf dem Substrat nach der Bildung der ersten und zweiten Bänke, so dass die Harzschicht einen unregelmäßigen Abschnitt auf ihrer Oberfläche hat, bei der Bildung der ersten und zweiten Bänke die gleichzeitige Bildung der ersten und zweiten Bänke, Bilden des reflektiven Films durch Tröpfchenabscheidung nach der Bildung der Harzschicht; und Bilden der färbenden Elemente nach der Bildung des reflektiven Films.
Verfahren zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats nach Anspruch 10, des Weiteren umfassend Bilden einer Harzschicht auf dem Substrat, so dass die Harzschicht ein unregelmäßiges Muster auf ihrer Oberfläche hat, Bilden des reflektiven Films nach der Bildung der Harzschicht, bei der Bildung der ersten und zweiten Bänke die gleichzeitige Bildung der ersten und zweiten Bänke nach der Bildung des reflektiven Films, Bilden der färbenden Elemente nach der Bildung der ersten und zweiten Bänke.
Verfahren zur Herstellung eines Farbfiltersubstrats nach Anspruch 10, wobei das Bilden der ersten und zweiten Bänke enthält Bilden eines wärmehärtenden lichtblockierenden Films mit einer gleichförmigen Dicke; Bilden einer lichtempfindliche Tinte abweisenden Schicht auf der lichtblockierenden Filmschicht mit einer gleichförmigen Dicke; und Belichten und Entwickeln der lichtblockierenden Filmschicht.
Elektro-optische Vorrichtung, umfassend: das Farbfiltersubstrat nach einem der Ansprüche 1 bis 9; und eine Schicht aus elektro-optischem Material, die auf dem Farbfiltersubstrat bereitgestellt ist.
Elektro-optische Vorrichtung, umfassend: die elektro-optische Vorrichtung nach Anspruch 15, und ein Steuermittel zum Steuern des Betriebs der elektrooptischen Vorrichtung.