-
Hintergrund
der Offenbarung
-
Der
Gegenstand der Offenbarung richtet sich allgemein auf eine Tropfen
emittierende Vorrichtung und insbesondere auf eine Tintenstrahlvorrichtung.
-
Die
Technologie des Tintenstrahldruckens für Tropfen auf Anforderung zur
Erzeugung von bedruckten Medien wurde bei handelsüblichen
Produkten, wie etwa Druckern, Plottern und Faksimilemaschinen, angewandt.
Allgemein wird ein Tintenstrahlbild durch das selektive Anordnen
von Tintentropfen auf eine Empfangsfläche ausgebildet, wobei die
Tintentropfen durch eine Vielzahl von Tropfengeneratoren emittiert
werden, welche in einem Druckkopf oder einer Druckkopfbaugruppe
implementiert sind. Beispielsweise wird es so eingerichtet, dass
sich die Druckkopfbaugruppe und die Empfängerfläche relativ zueinander bewegen
und die Tropfengeneratoren gesteuert werden, um Tropfen zu geeigneten
Zeitpunkten auszustoßen,
beispielsweise durch eine geeignete Steuerung. Die Empfängeroberfläche kann eine Übertragungsoberfläche oder
ein Druckmedium, wie etwa Papier, sein. Im Fall einer Übertragungsoberfläche wird
das darauf bedruckte Bild nachfolgend auf ein Ausgabedruckmedium,
wie etwa Papier, übertragen.
-
Eine
bekannte Tintenstrahl-Druckkopfstruktur wendet elektromechanische
Wandler an, welche an einer Diaphragmaplatte aus Metall angebracht sind
und es kann schwierig sein, elektrische Verbindungen zu den elektromechanischen
Wandlern herzustellen.
-
US 4,516,140 offenbart einen
Tintenstrahldrucker mit einer Flüssigkeitskanalschicht
und einem Diaphragma, welches auf dieser Kanalschicht angeordnet
ist. Piezoelektrische Aktuatoren sind adhäsiv an einem dünnen Schaltungsfilm
angebracht, welcher erhabene Kontaktgebiete aufweist.
-
Im
Hinblick auf diese Probleme stellt die vorliegende Erfindung eine
Tropfen emittierende Vorrichtung gemäß Anspruch 1 und einen Tropfengenerator
gemäß Anspruch
10 bereit. Ausführungsformen der
Erfindung sind in den abhängigen
Ansprüchen niedergelegt.
-
Kurze Beschreibung
der Zeichnungen
-
1 ist
ein schematisches Blockschaltbild einer Ausführung einer Tropfen emittierenden
Vorrichtung für
Tropfen auf Anforderung.
-
2 ist
ein schematisches Blockschaltbild einer Ausführung eines Tropfengenerators,
welcher in der Tropfen emittierenden Vorrichtung der 1 angewendet
werden kann.
-
3 ist
eine schematische Seitenansicht einer Ausführung einer Tintenstrahl-Druckkopfbaugruppe.
-
4 ist
eine schematische Draufsicht einer Ausführung einer Diaphragmaschicht
der Tintenstrahl-Druckkopfbaugruppe der 3.
-
5 ist
eine schematische Draufsicht einer Ausführung einer Dünnfilm-Verbindungsschaltung der
Tintentstrahl-Druckkopfbaugruppe der 3.
-
6 ist
eine schematische Seitenschnittansicht eines Abschnittes einer Ausführung einer
Dünnfilm-Verbindungsschaltung
der Tintenstrahl-Druckkopfbaugruppe.
-
7 ist
eine schematische Seitenschnittansicht eines Abschnittes einer weiteren
Ausführung der
Dünnfilm-Verbindungsschaltung
der Tintenstrahl-Druckkopfbaugruppe.
-
8 ist
eine schematische Seitenschnittansicht eines Abschnittes einer weiteren
Ausführung der
Dünnfilm-Verbindungsschaltung
der Tintenstrahl-Druckkopfbaugruppe.
-
9 ist
eine schematische Seitenschnittansicht eines Abschnittes einer Ausführung der
Dünnfilm-Verbindungsschaltung
der Tintenstrahl-Druckkopfbaugruppe.
-
10 ist
eine schematische Seitenschnittansicht eines Abschnittes einer weiteren
Ausführung der
Dünnfilm-Verbindungsschaltung
der Tintenstrahl-Druckkopfbaugruppe.
-
Eingehende
Beschreibung der Offenbarung
-
1 ist
ein schematisches Blockschaltbild einer Ausführung einer Druckvorrichtung
für Tropfen auf
Anforderung, welche eine Steuerung 10 und eine Druckkopfbaugruppe 20 einschließt, welche
eine Vielzahl von Tropfen emittierenden Tropfengeneratoren einschließen kann.
Die Steuerung 10 aktiviert die Tropfengenerator wahlweise
durch Bereitstellung eines jeweiligen an Steuersignales für jeden
Tropfengenerator. Jeder der Tropfengeneratoren kann einen piezoelektrischen
Wandler, wie etwa einen keramischen piezoelektrischen Wandler aufweisen.
Als weiteres Beispiel kann jeder der Tropfengeneratoren einen Wandler
mit Scherungsmodus, einen ringförmigen
Schrumpfwandler, einen Elektroschrumpfwandler, einen elektromagnetischen
Wandler oder einen magnetrestriktiven Wandler aufweisen. Die Druckkopfbaugruppe 20 kann
aus einem Stapel von geschichteten Blättern oder Platten ausgebildet
sein, wie etwa aus rostfreiem Stahl.
-
2 ist
ein schematisches Blockschaltbild einer Ausführung eines Tropfengenerators 30,
welcher in einer Druckkopfbaugruppe 20 der in 1 gezeigten
Druckvorrichtung angewendet werden kann. Der Tropfengenerator 30 schließt einen
Eingangskanal 31 ein, welcher Tinte 33 von einem
Verteiler erhält,
und ein Reservoir oder eine andere, Tinten enthaltende Struktur
ein. Die Tinte 33 fließt
in eine Druck- oder Pumpkammer 35, welche auf einer Seite beispielsweise
durch ein flexibles Diaphragma 37 abgeschlossen ist. Eine
Dünnfilmverbindungsstruktur 38 ist
an dem flexiblen Diaphragma angebracht, beispielsweise so, dass
dieselbe über
der Druckkammer 35 liegt. Ein elektromechanischer Wandler 39 ist
an der Dünnfilmverbindungsstruktur 38 angebracht.
Der elektromechanische Wandler 39 kann ein piezoelektrischer
Wandler sein, welcher ein Piezoelement 41 einschließt, welches
beispielsweise zwischen Elektroden 42 und 43 angeordnet
ist, welche Signale zum Tropfenausstoßen und Tropfen-nicht-Ausstoßen von der
Steuerung 10 über
die Dünnfilm-Verbindungsstruktur 38 beispielsweise
erhalten. Die Elektrode 43 ist gemeinsam mit der Steuerung 10 mit
Masse verbunden, während
die Elektrode 42 aktiv angetrieben wird, um den elektromechanischen
Wandler 41 über die
Verbindungsstruktur 38 anzusteuern. Die Ansteuerung des
elektromechanischen Wandlers 39 veranlasst, dass Tinte
von der Druckkammer 35 zu einem tropfenbildenden Auslasskanal 45 fließt, aus
welchem ein Tintentropfen 49 zu einem Empfangsmedium 48 emittiert
wird, welches beispielsweise eine Übertragungsoberfläche sein
kann. Der Ausgangskanal 45 kann eine Düse oder Öffnung 47. aufweisen.
-
Die
Tinte 33 kann geschmolzene oder phasengeänderte feste
Tinte sein und der elektromechanische Wandler 39 kann ein
piezoelektrischer Wandler sein, welcher beispielsweise im Biegemodus
betrieben wird.
-
Die 3 ist
eine schematische Seitenansicht einer Ausführung der Tintenstrahl-Druckkopfbaugruppe 20,
welche eine Vielzahl von Tropfengeneratoren 30 (2)
implementieren kann, beispielsweise als ein Feld von Tropfengeneratoren.
Die Tintenstrahl-Druckkopfbaugruppe
schließt
eine Kanalstruktur für
Flüssigkeit
oder Unterstruktur 131, eine an der Kanalschicht 131 für Flüssigkeit
angebrachte Diaphragmaschicht 137, eine Dünnfilm-Verbindungsschaltungsschicht 138,
welche auf der Diaphragmaschicht 137 angeordnet ist, und
eine Wandlerschicht 139 ein, welche an der Dünnfilm-Verbindungsschaltungsschicht 138 angebracht
ist. Die Kanalschicht 131 für Flüssigkeit implementiert die
Flüssigkeitskanäle und Kammern
der Tropfengeneratoren 30, während die Diaphragmaschicht 137 das
Diaphragma 37 der Tropfengeneratoren implementiert. Die
Dünnfilm-Verbindungsschaltungsschicht 138 implementiert
die Verbindungsschaltungen 38, während die Wandlerschicht 139 die
elektromechanischen Wandler 39 des Tropfengenerators 30 implementiert.
-
In
einem veranschaulichenden Beispiel umfasst die Diaphragmaschicht 137 eine
Metallplatte oder -blatt, etwa aus rostfreiem Stahl, welche an der Kanalschicht 131 für Flüssigkeit
angebracht oder angeklebt ist. Die Diaphragmaschicht 137 kann
ebenso elektrisch nicht leitendes Material, wie etwa eine Keramik,
umfassen. Ebenso in einem veranschaulichenden Beispiel kann die
Kanalschicht 131 für
Flüssigkeit
vielfache laminierte Platten oder Blätter umfassen. Die Wandlerschicht 139 kann
ein Feld von gekerbten Keramikwandlern umfassen, welche an die Dünnfilm-Verbindungsschaltungsschicht 138 mit einem
passenden Kleber angebracht oder angeklebt sind. Wie nachfolgend
weiter beschrieben, sind scharfe Kontakte insbesondere zwischen
der Wandlerschicht 139 und der Dünnfilm-Verbindungsschicht 138 ausgebildet
und das Klebematerial kann ein Klebematerial von geringer Leitfähigkeit
umfassen. Beispielsweise kann ein Epoxy-, Acryl-, oder Phenol-Klebematerial
verwendet werden.
-
Die 4 ist
eine schematische Draufsicht einer Ausführung einer Diaphragmaschicht 137,
welche ein aufgerautes, nicht glattes Klebegebiet 137A einschließt, welches
durch Partikelstrahlen, wie etwa Sandstrahlen, oder durch Laseraufrauung,
beispielsweise ausgebildet wird. Das Klebegebiet 137A kann einen
Rauhigkeitsmittelwert (Ra) im Bereich von ungefähr 1 Mikroinch bis ungefähr 100 Mikroinch
beispielsweise aufweisen. Als weiteres Beispiel kann das Klebegebiet 137A einen
Rauhigkeitsmittelwert im Bereich von ungefähr 5 Mikroinch bis ungefähr 20 Mikroinch
ausweisen. Weiterhin kann das Klebegebiet 137A einen Rauhigkeitsmittelwert
im Bereich von ungefähr
50 Mikroinch bis ungefähr
100 Mikroinch aufweisen.
-
Die 5 ist
eine schematische Draufsicht einer Ausführung einer Dünnfilm-Verbindungsschaltungsschicht 138,
welche angeschmiegte, erhabene Kontaktflächen oder -gebiete 191 einschließt, welche über dem
aufgerauten Klebegebiet 137A (4) der Diaphragmaschicht 137 angeordnet
sind, wobei die Oberseitenflächen
der erhabenen Kontaktgebiete 191 eine Rauhigkeit aufweisen,
welche allgemein mit der Rauhigkeit des darunter liegenden, angerauten Klebegebietes 137A der
Diaphragmaschicht 137 zusammenpasst. Die elektromechanischen
Wandler 39 (6 bis 10) sind
an jeweiligen angeschmiegten, erhabenen Kontaktflächen 191 durch
eine dünne Schicht
aus Klebematerial angebracht und die scharfen Kontakte sind zwischen
den Oberseitenflächen der
erhabenen Kontaktabschnitte 191 und den elektromechanischen
Wandlern 39 ausgebildet. Wie in den verschiedenen in 6 bis 10 veranschaulichten
Ausführungen
offenbart, können
die angeschmiegten, erhabenen Kontaktgebiete 191 durch eine
Dünnfilmstruktur
ausgebildet werden, welche beispielsweise eine Mesa-Schicht und
eine gemusterte, leitfähige
Schicht einschließen
können.
Die Schichten des Dünnfilmstapels,
welche die angeschmiegten, erhabenen Kontaktgebiete 191 ausbilden,
sind vorzugsweise derart angeschmiegt, dass die Oberseitenfläche der
erhabenen Kontaktgebiete 191 eine Rauhigkeit aufweisen,
welche generell mit der Rauhigkeit des darunter liegenden, angerauten Klebegebietes 137A der
Diaphragmaschicht 137 übereinstimmt
oder zusammenpasst. In einem veranschaulichenden Beispiel weisen
die Oberseitenflächen
der angeschmiegten, erhabenen Kontaktgebiete 191 einen
Rauhigkeitsmittelwert (Ra) in dem Bereich von ungefähr 1 Mikroinch
bis ungefähr
100 Mikroinch auf, was beispielsweise durch das Konfigurieren des
aufgerauten Klebegebietes 137A mit einer geeigneten Rauhigkeit
erreicht werden kann. Als weiteres Beispiel können die Oberseitenflächen der
angeschmiegten, erhabenen Kontaktgebiete 191 einen Rauhigkeitsmittelwert
im Bereich von ungefähr
5 Mikroinch bis ungefähr
20 Mikroinch aufweisen. Weiterhin können die Oberseitenflächen der
erhabenen, angeschmiegten Kontaktgebiete 191 einen Rauhigkeitsmittelwert
im Bereich von ungefähr
30 Mikroinch bis ungefähr
80 Mikroinch aufweisen. Die Dünnfilm-Verbindungsschaltung 138 kann
elektrische Verbindung für
die einzelnen elektromechanischen Wandler 39 bereitstellen.
-
Die 6 ist
eine schematische Seitenschnittansicht eines Abschnitts einer Ausführung einer
Dünnfilm-Verbindungsschaltungsschicht 138, welche
mit einer elektrisch leitenden oder nichtleitenden Diaphragmaschicht 137 verwendet
werden kann. Dünnfilm-Verbindungsschaltungsschicht 138 schließt eine
angeschmiegte Mesa-Schicht 211, welche eine Vielzahl von
Mesas umfaßt,
eine angeschmiegte dielektrische Deckschicht 213, welche
auf der Mesa-Schicht 211 und der Diaphragmaschicht 137 liegt,
und eine gemusterte, angeschmiegte, leitfähige Schicht 215 ein,
welche auf der dielektrischen Deckschicht 213 angeordnet
ist. Die dielektrische Abdeckschicht dient dazu, die Diaphragmaschicht 137 von
der gemusterten, angeschmiegten, leitfähigen Schicht 215 elektrisch
zu isolieren. Die Mesa-Schicht 211 kann elektrisch nicht
leitend (z. B. dielektrisch) oder leitend (z. B. Metall) sein. Die
Mesas und die übergelagerten
Abschnitte der angeschmiegten dielektrischen Deckschicht 213 und
die gemusterte, angeschmiegte, leitfähige Schicht 215 bilden die
erhabenen Kontaktgebiete oder -flächen 191 aus. Die
Dünnfilm-Verbindungsschaltungsschicht 138 kann
weiterhin eine gemusterte, dielektrische Schicht 217 einschließen, welche Öffnung 217A aufweist, durch
welche sich die erhabenen Kontaktflächen 191 erstrecken.
Die erhabenen Kontaktflächen 191 sind höher als
die anderen Schichten der Dünnfilm-Verbindungsschaltungsschicht 138 und
umfassen die höchsten
Abschnitte der Verbindungsschicht 138. Dies erleichtert
das Anbringen eines elektromechanischen Wandlers 39 an
jede der erhabenen Kontaktflächen 191.
-
Bei
der in 6 schematisch dargestellten Ausführung einer
Dünnfilm-Verbindungsschaltung kann
die angeschmiegte Mesaschicht 211 eine passend gemusterte
angeschmiegte dielektrische Schicht oder angeschmiegte Metallschicht
beispielsweise umfassen. Die gemusterte, angeschmiegte, leitende
Schicht 215 kann eine gemusterte, angeschmiegte Metallschicht
umfassen.
-
Da
die Mesaschicht 211, die dielektrische Deckschicht 213 und
die gemusterte, leitende Schicht 215 angeschmiegte Schichten
sind, weisen die Oberseitenflächen
der erhabenen Kontaktflächen 191 eine
Rauhigkeit auf, welche allgemein mit der aufgerauten Oberfläche des
Klebegebietes 137A des Metalldiaphragmas 137 übereinstimmt.
Mit anderen Worten umfassen die Oberseitenflächen der erhabenen Kontaktflächen 191 aufgeraute
Oberflächen.
Die elektromechanischen Wandler 39 sind an jeweilige Kontaktfläche 191 durch
eine dünne
Klebeschicht 221 angebracht, welche ausreichend dünn ist,
dass die scharfen Kontakte zwischen der Deckseitenfläche der
Kontaktflächen
und den elektromechanischen Wandlern 39 ausgebildet werden.
Die scharfen Kontakte werden insbesondere durch hohe Punkte der
Kontaktflächen 191 ausgebildet,
welche durch die dünne
Klebeschicht reichen und die elektromechanischen Wandler 39 berühren.
-
Die 7 ist
eine schematische Seitenschnittansicht eines Abschnittes einer weiteren
Ausführung
einer Dünnfilm-Verbindungsschaltungsschicht 138,
welche mit einer elektrisch leitenden oder nicht leitenden Diaphragmaschicht 137 verwendet
werden kann. Die Dünnfilm-Verbindungsschaltungsschicht 138 schließt eine
angeschmiegte, dielektrische Deckschicht 213, eine angeschmiegte,
gemusterte, leitfähige
Schicht 215, welche auf der angeschmiegten, dielektrischen
Deckschicht 213 angeordnet ist, und eine angeschmiegte,
leitfähige
Mesaschicht 211 ein, welche eine Vielzahl von leitfähigen Mesas
umfasst, die über
der gemusterten, angeschmiegten, leitfähigen Schicht 215 liegen.
Die leitfähigen
Mesas und die darunter liegenden Abschnitte der angeschmiegten,
leitfähigen
Schicht 215 bilden erhabene Kontaktgebiete oder -flächen 191 aus.
Die Verbindungsschaltungsschicht 138 kann weiterhin eine
gemusterte, dielektrische Schicht 217 mit Öffnungen 217A aufweisen,
durch welche sich die erhabenen Kontaktflächen 191 erstrecken.
Die erhabenen Kontaktflächen 191 sind
höher als
die anderen Schichten der Verbindungsschaltungsschicht 138 und
umfassen die höchsten
Abschnitte der Verbindungsschaltungsschicht 138. Dies erleichtert
die Anbringung eines elektromechanischen Wandlers 39 an jede
der erhabenen Kontaktflächen 191.
-
Bei
der in 7 schematisch dargestellten Ausführung kann
die angeschmiegte Mesaschicht 211 eine passend gemusterte
angeschmiegte Metallschicht umfassen und die gemusterte, angeschmiegte,
leitende Schicht 215 kann ebenso eine geeignet gemusterte,
angeschmiegte Metallschicht beispielsweise umfassen.
-
Da
die dielektrische Deckschicht 213, die gemusterte, leitende
Schicht 215, und die Mesaschicht 211 angeschmiegte
Schichten sind, weisen die Oberseitenflächen der erhabenen Kontaktflächen 191 eine
Rauhigkeit auf, welche allgemein mit der aufgerauten Oberfläche des
Klebegebietes 137A des Metalldiaphragmas 137 übereinstimmt.
Die elektromechanischen Wandler 39 sind an jeweilige Kontaktfläche 191 durch
eine dünne
Klebe schicht 221 angebracht, welche ausreichend dünn ist,
dass die scharten Kontakte zwischen der Deckseitenfläche der
erhabenen Kontaktflächen 191 und
den elektromechanischen Wandlern 39 ausgebildet werden.
-
Die 8 ist
eine schematische Seitenschnittansicht eines Abschnittes einer weiteren
Ausführung
einer Dünnfilm-Verbindungsschaltungsschicht 138,
welche mit einer elektrisch leitenden oder nicht leitenden Diaphragmaschicht 137 verwendet
werden kann. Die Dünnfilm-Verbindungsschaltungsschicht 138 schließt eine
angeschmiegte, dielektrische Deckschicht 213, eine Mesaschicht 211, welche
eine Vielzahl von Mesas umfasst, welche über der angeschmiegten dielektrischen
Deckschicht 213 liegen, und eine angeschmiegte, gemusterte,
leitende Schicht 215, welche über der Mesaschicht 211 liegt.
Die Mesa-Schicht 211 kann elektrisch nicht leitend (z.
B. dielektrisch) oder leitend (z. B. Metall) sein. Die Mesas und
die darüber
liegenden Abschnitte der gemusterten, angeschmiegten, leitfähigen Schicht 215 bilden
die erhabenen Kontaktgebiete oder Flächen 191 aus. Die
Dünnfilm-Verbindungsschaltungsschicht 138 kann
weiterhin eine gemusterte, dielektrische Schicht 217 einschließen, welche Öffnung 217A aufweist,
durch welche sich die erhabenen Kontaktflächen 191 erstrecken.
Die erhabenen Kontaktflächen 191 sind
höher als
die anderen Schichten der Verbindungsschaltungsschicht 138 und
umfassen die höchsten
Abschnitte der Verbindungsschicht 138. Dies erleichtert
das Anbringen eines elektromechanischen Wandlers 39 an
jede der erhabenen Kontaktflächen 191.
-
Bei
der in 8 schematisch dargestellten Ausführung einer
Dünnfilm-Verbindungsschaltung kann
die angeschmiegte Mesaschicht 211 eine passend gemusterte
angeschmiegte dielektrische Schicht oder angeschmiegte Metallschicht
beispielsweise umfassen. Die gemusterte, angeschmiegte, leitende
Schicht 215 kann eine gemusterte, angeschmiegte Metallschicht
umfassen.
-
Da
die dielektrische Deckschicht 213, die Mesaschicht 211 und
die gemusterte leitende Schicht 215 angeschmiegte Schichten
sind, weisen die Oberseitenflächen
der erhabenen Kontaktflächen 191 eine
Rauhigkeit auf, welche allgemein mit der aufgerauten Oberfläche des
Klebegebietes 137A des Metalldiaphragmas 137 übereinstimmt.
Die elektromechanischen Wandler 39 sind an jeweilige Kontaktfläche 191 durch
eine dünne
Klebeschicht 221 angebracht, welche ausreichend dünn ist,
dass die scharfen Kontakte zwischen den Deckseitenflächen der
erhabenen Kontaktflächen 191 und
den elektromechanischen Wandlern 39 ausgebildet werden.
-
Die 9 ist
eine schematische Seitenschnittansicht eines Abschnittes einer weiteren
Ausführung
einer Dünnfilm-Verbindungsschaltungsschicht 138,
welche mit einer elektrisch leitenden oder nicht leitenden Diaphragmaschicht 137 verwendet
werden kann. Die Dünnfilm-Verbindungsschaltungsschicht 138 schließt eine
angeschmiegte Mesaschicht 211, welche eine Vielzahl von
Mesas umfasst, die auf dem Klebegebiet 137A des elektrisch nicht
leitenden Diaphragmas 137 angeordnet sind, und eine gemusterte,
angeschmiegte, leitfähige Schicht 215 ein,
welche über
der Mesaschicht 211 liegt. Die Mesa-Schicht 211 kann elektrisch
nicht leitend (z. B. dielektrisch) oder leitend (z. B. Metall) sein.
Die Mesas und die übergelagerten
Abschnitte der gemusterten, angeschmiegte, leitfähigen Schicht 215 bilden
die erhabenen Kontaktgebiete oder -flächen 191 aus. Die
Dünnfilm-Verbindungsschaltungsschicht 138 kann
weiterhin eine gemusterte, dielektrische Schicht 217 einschließen, welche Öffnung 217A aufweist,
durch welche sich die erhabenen Kontaktflächen 191 erstrecken.
Die erhabenen Kontaktflächen 191 sind
höher als
die anderen Schichten der Verbindungsschicht 138 und umfassen
die höchsten
Abschnitte der Verbindungsschicht 138. Dies erleichtert
das Anbringen eines elektromechanischen Wandlers 39 an
jede der erhabenen Kontaktflächen 191.
-
Bei
der in 9 schematisch dargestellten Ausführung einer
Dünnfilm-Verbindungsschaltung kann
die angeschmiegte Mesaschicht 211 eine passend gemusterte
angeschmiegte dielektrische Schicht oder gemusterte, angeschmiegte
Metallschicht beispielsweise umfassen. Die gemusterte, angeschmiegte,
leitende Schicht 215 kann eine gemusterte, angeschmiegte
Metallschicht umfassen.
-
Da
die Mesaschicht 211 und die gemusterte leitende Schicht 215 angeschmiegte
Schichten sind, weisen die Oberseitenflächen der erhabenen Kontaktflächen 191 eine
Rauhigkeit auf, welche allgemein mit der aufgerauten Oberfläche des
Klebegebietes 137A des Metalldiaphragmas 137 übereinstimmt.
Die elektromechanischen Wandler 39 sind an jeweilige Kontaktfläche 191 durch
eine dünne
Klebeschicht 221 angebracht, welche ausreichend dünn ist,
dass die scharfen Kontakte zwischen den Deckseitenflächen der
erhabenen Kontaktflächen 191 und den
elektromechanischen Wandlern 39 ausgebildet werden.
-
Die 10 ist
eine schematische Seitenschnittansicht eines Abschnittes einer weiteren
Ausführung
einer Dünnfilm-Verbindungsschaltungsschicht 138,
welche mit einer elekt risch leitenden oder nicht leitenden Diaphragmaschicht 137 verwendet
werden kann. Die Dünnfilm-Verbindungsschaltungsschicht 138 schließt eine
gemusterte, angeschmiegte, leitende Schicht 215 und eine
leitende Mesaschicht 211 ein, welche eine Vielzahl von
Mesas umfasst, welche über
der gemusterten, angeschmiegten, leitfähigen Schicht 215 liegen.
Die Dünnfilm-Verbindungsschaltungsschicht 138 kann weiterhin
eine gemusterte, dielektrische Schicht 217 einschließen, welche Öffnung 217A aufweist,
durch welche sich die erhabenen Kontaktflächen 191 erstrecken.
Die erhabenen Kontaktflächen 191 sind
höher als
die anderen Schichten der Dünnfilm-Verbindungsschaltungsschicht 138 und
umfassen die höchsten
Abschnitte der Verbindungsschicht 138. Dies erleichtert
das Anbringen eines elektromechanischen Wandlers 39 an
jede der erhabenen Kontaktflächen 191.
-
Bei
der in 10 schematisch dargestellten Ausführung kann
die angeschmiegte, leitende Mesaschicht 211 eine passend
gemusterte angeschmiegte Metallschicht umfassen und die gemusterte,
angeschmiegte, leitende Schicht 215 kann ebenso eine geeignet
gemusterte, angeschmiegte Metallschicht beispielsweise umfassen.
-
Da
die gemusterte leitende Schicht 215 und die leitende Mesaschicht 211 angeschmiegte
Schichten sind, weisen die Oberseitenflächen der erhabenen Kontaktflächen 191 eine
Rauhigkeit auf, welche allgemein mit der aufgerauten Oberfläche des
Klebegebietes 137A des Metalldiaphragmas 137 übereinstimmt.
Die elektromechanischen Wandler 39 sind an jeweilige Kontaktfläche 191 durch
eine dünne
Klebeschicht 221 angebracht, welche ausreichend dünn ist,
dass die scharfen Kontakte zwischen den Deckseitenflächen der
erhabenen Kontaktflächen 191 und den
elektromechanischen Wandlern 39 ausgebildet werden.
-
Jede
dielektrische Schicht der Dünnschicht-Verbindungsschaltungsschicht 138 kann
Siliziumoxid, Siliziumnitrid, oder Siliziumoxidnitrid beispielsweise
umfassen und kann eine Dicke im Bereich von ungefähr 0,1 Mikrometer
bis ungefähr
5 Mikrometer aufweisen. Insbesondere kann jede dielektrische Schicht
eine Dicke im Bereich von ungefähr
1 Mikrometer bis ungefähr
2 Mikrometer aufweisen.
-
Jede
leitende Schicht der Dünnfilm-Verbindungsschaltungsschicht 138 kann
Aluminium, Chrom, Nickel, Tantal oder Kupfer beispielsweise umfassen
und kann eine Dicke im Bereich von ungefähr 0,1 Mikrometer bis ungefähr 5 Mikrometer
aufweisen. Insbesondere kann jede leitende Schicht eine Dicke im
Bereich von ungefähr
1 Mikrometer bis ungefähr
2 Mikrometer aufweisen.