DE60140367D1 - Verfahren zur herstellung eines oberflächenwellen-bauelements - Google Patents
Verfahren zur herstellung eines oberflächenwellen-bauelementsInfo
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- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
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- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/08—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of resonators or networks using surface acoustic waves
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000191732 | 2000-06-26 | ||
PCT/JP2001/004814 WO2002001714A1 (fr) | 2000-06-26 | 2001-06-07 | Procede de fabrication d'un dispositif a ondes acoustiques de surface |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE60140367D1 true DE60140367D1 (de) | 2009-12-17 |
Family
ID=18690982
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE60140367T Expired - Lifetime DE60140367D1 (de) | 2000-06-26 | 2001-06-07 | Verfahren zur herstellung eines oberflächenwellen-bauelements |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6790321B2 (de) |
EP (1) | EP1306972B1 (de) |
JP (1) | JP4057907B2 (de) |
KR (1) | KR100460218B1 (de) |
CN (1) | CN1199351C (de) |
DE (1) | DE60140367D1 (de) |
WO (1) | WO2002001714A1 (de) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03208888A (ja) * | 1990-01-11 | 1991-09-12 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | スパッタリング方法 |
US5815900A (en) * | 1995-03-06 | 1998-10-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of manufacturing a surface acoustic wave module |
JP3430745B2 (ja) * | 1995-11-08 | 2003-07-28 | 松下電器産業株式会社 | Sawデバイス |
-
2001
- 2001-06-07 WO PCT/JP2001/004814 patent/WO2002001714A1/ja active IP Right Grant
- 2001-06-07 DE DE60140367T patent/DE60140367D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-06-07 CN CNB018117686A patent/CN1199351C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2001-06-07 KR KR10-2002-7017630A patent/KR100460218B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-06-07 EP EP01936895A patent/EP1306972B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-06-07 JP JP2002505752A patent/JP4057907B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-06-07 US US10/297,950 patent/US6790321B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2002001714A1 (fr) | 2002-01-03 |
US6790321B2 (en) | 2004-09-14 |
CN1199351C (zh) | 2005-04-27 |
US20030104136A1 (en) | 2003-06-05 |
KR100460218B1 (ko) | 2004-12-08 |
CN1439191A (zh) | 2003-08-27 |
EP1306972A1 (de) | 2003-05-02 |
EP1306972A4 (de) | 2008-10-15 |
KR20030011368A (ko) | 2003-02-07 |
EP1306972B1 (de) | 2009-11-04 |
JP4057907B2 (ja) | 2008-03-05 |
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