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HINTERGRUND
DER ERFINDUNG
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Die
vorliegende Erfindung richtet sich auf das Gebiet der Lagerung und
des Abgebens hochreiner Chemikalien für die Elektronikherstellungsindustrie.
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Bei
der Herstellung von elektronischen Komponenten ist es häufig erforderlich,
verschiedene hochreine Chemikalien in einem flüssigen Zustand oder in einem
Zweiphasen-Zustand Flüssig/Gasförmig zu
haben, die in Kanistern verschiedener Größen enthalten sind, um die
Herstellungsverfahren zu beliefern oder für eine Reinigung.
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Es
ist die Industrie-Norm geworden, dass diese Kanister mit hochreinen
Chemikalien in Schrankgehäusen
aufbewahrt werden, die üblicherweise
aus Metall hergestellt sind und die verschiedene automatisierte
Merkmale haben wie etwa ein Abgeben, Pegelsignale und Auswechselsignale,
wenn ein Kanister leer oder beinahe leer ist.
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Da
viele der hochreinen Chemikalien giftig, ätzend oder umweltgefährdend sind,
ist es wichtig, die Chemikalien in dem Schrankgehäuse aufzubewahren,
um ein unbeabsichtigtes Dampfausströmen oder Flüssigkeitsausströmen zu vermeiden.
Historisch wurde ein unbeabsichtigtes Dampfausströmen angegangen,
indem das Schrankgehäuse
zu einem haus- oder fabrikweiten Ableitsystem belüftet wurde.
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Ein
Risiko liegt jedoch auch bei einem Ausströmen von Flüssigkeit von einem ausfallenden
Kanister oder von den Verbindungen zwischen dem Kanister und dem
auslassseitigen Verteiler in dem Schrankgehäuse vor.
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Verschiedene
Tabletts oder Rollwagen mit kleinen Umkantungen oder Seitenwänden sind
in der Industrie bekannt, um kleine Flüssigkeitsentweichungen aufzunehmen,
wie etwa bei der Veröffentlichung von
Victor Associates, Inc., die eine Seitenansicht eines mit Rädern versehenen
Polypropylen-Behälters mit
einem Vorratsbehälter
zum Aufnehmen von 20 Gallonen einer Flüssigkeit zeigt. Eine Sekundärhülle um den
Vorratsbehälter
wird erwähnt.
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Verschiedene
Wagen mit einer Überlaufhülle sind
in der Veröffentlichung
von Terra Universal, Inc. veranschaulicht, die Chem Carts A bis
F zeigt.
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Die
Veröffentlichung
von Schumacher für das
TransFill II-LRM gibt an, dass eine 110% Überlaufaufnahme erzielt wird.
Diese Überlaufaufnahme wird
durch eine Verwendung einer in das Schrankgehäuse eingebauten, befestigten Überlaufpfanne
erzielt.
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Eine
Veröffentlichung
von Schumacher für den
TransFill II-TFL verwendet ein auf Rollen angebrachtes Tablett mit
kurzen Seitenwänden,
um eine Teil-Sekundärhülle bereitzustellen.
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US 5.950.693 zeigt ein Schrankgehäuse mit einem
Transportwagen,
3, #300, der einen
Chemikalienbehälter
hält. Der
Wagen wird verwendet, um einen Majorität irgendeines Überlaufs
zu halten, Spalte 6, Zeile 50.
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Die
Industrie hat lange einen sicheren und wirksamen Weg gesucht, um
Kanister mit hochreinen Chemikalien zum Abgeben in der industriellen
Elektronikherstellung sowie in weiteren Industriezweigen zu lagern.
Viele Teil-Sekundärhüllen sind
verwendet worden, um Teilüberläufe aufzunehmen.
Verschiedene Wagen und Tabletts sind für eine derartige Verwendung
bekannt. Es wurde bereits über
eine höherwertige
Hülle nachgedacht,
aber sie bedingt gewöhnlich
eine Unmöglichkeit,
auf den ausfallenden Behälter
zuzugreifen oder ihn zu bedienen oder es erfordert eine größere Höhe als die,
die das übliche
Industrienorm-Schrankgehäuse
erfordert. Da eine Elektronikherstellungs-Stellfläche überhöhte Kosten verursacht, hat
die Industrie lange einen wirtschaftlichen, Raum sparenden Weg gesucht,
um mögliche
erhebliche chemische Überläufe von
Behältern
aufzunehmen, wobei es noch möglich
ist, auf den ausfallenden Behälter
zuzugreifen, ohne dass eine entwichene flüssige Chemikalie weiter überläuft und
ohne die "Stellfläche" des Schrankgehäuses zu
verändern,
in dem der Behälter
in der Fabrik gelagert ist.
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Die
vorliegende Erfindung richtet sich auf die zuvor genannten Nachteile
des Standes der Technik und schafft ohne eine vergrößerte Schrankgehäusehöhe und ohne
aufwändige
zusätzliche
Wagen oder Tabletts erfolgreich eine vollständige Sekundärhülle, wie
es nachfolgend ausführlicher
dargelegt wird.
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KURZZUSAMMENFASSUNG DER
ERFINDUNG
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Die
vorliegende Erfindung ist ein System zum Lagern und Abgeben hochreiner
Chemikalien, das eine Sekundärhülle besitzt
und umfasst: ein Schrankgehäuse,
das einen Kanister mit einer hochreinen Chemikalie enthält; einen
Verteiler in dem Schrankgehäuse
für eine
Fluidverbindung zwischen dem Kanister und dem Schrankgehäuse, um
die hochreine Chemikalie steuerbar abzugeben; eine Steuereinheit
zum Steuern der Abgabe der hochreinen Chemikalie von dem Kanister
und von dem Schrankgehäuse
für eine
auslassseitige Verwendung; eine verschließbare Öffnung in dem Schrankgehäuse, um
das Laden und Entladen des Kanisters von dem Schrankgehäuse zu ermöglichen;
wenigstens eine Tür
zum Verschließen
der Öffnung;
eine flüssigkeitsdichte
Sekundärhüllentür in der Öffnung zum
Verschließen
eines Abschnitts der Öffnung,
wobei die Sekundärhüllentür so bemessen
ist, dass dieser Abschnitt ausreicht, um in Verbindung mit dem Schrankgehäuse ein
Volumen zu definieren, das die Inhalte der hochreinen chemischen
Flüssigkeit
des Kanisters aufnimmt.
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Die
vorliegende Erfindung ist außerdem
ein Verfahren zum Einschließen
des gesamten Inhalts eines Kanisters für eine hochreine Chemikalie
in einem Schrankgehäuse,
das umfasst: Vorsehen eines Schrankgehäuses, das einen Kanister für eine hochreine
Chemikalie enthält,
wobei eine Öffnung
für einen
Kanister vorgesehen ist, Vorsehen eines Kanisters, der eine hochreine
Chemikalie enthält,
die wenigstens teilweise in einem flüssigen physikalischen Zustand
ist, Vorsehen einer Tür
einer flüssigkeitsdichten
Sekundärhülle in der Öffnung,
um einen Abschnitt der Öffnung
zu verschließen,
wobei die Sekundärhüllentür so bemessen
ist, dass jener Abschnitt ausreicht, um in Verbin dung mit dem Schrankgehäuse ein
Volumen zu definieren, das den Inhalt des Kanisters der flüssigen hochreinen
Chemikalie aufnimmt, und, wenn die flüssige hochreine Chemikalie
von dem Kanister entweicht, wenn dieser sich in dem Schrankgehäuse befindet,
Auffangen der entwichenen flüssigen
hochreinen Chemikalie in dem Schrankgehäuse durch einen flüssigkeitsdichten
Eingriff der Sekundärhüllentür mit dem
Schrankgehäuse.
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KURZBESCHREIBUNG
EINIGER ANSICHTEN DER ZEICHNUNG
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1 ist
eine perspektivische Ansicht einer bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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AUSFÜHRLICHE
BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
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Die
vorliegende Erfindung ist eine Vorrichtung oder ein System zum Lagern
hochreiner Chemikalien wie etwa Tetraethylorthosilikat (TEOS), Alkylsilane,
Dichlorethylen, Trimethylborat (TMB), Trimethylphosphit (TMPI),
Bor-Phosphor-Silikonglas (BPSG)
und weitere Chemikalien, die in der Elektronikherstellungsindustrie
verwendet werden.
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Die
vorliegende Erfindung schafft eine Überlauf-Sekundärhülle für eine Flüssigkeit,
die in einem Kanister enthalten ist, der in einem Schrankgehäuse gelagert
ist, der zum Lagern und zum automatischen oder manuellen Abgeben
von Chemikalien entworfen wurde, die in dem Kanister für eine Verwendung
in einer Elektronikherstellungsfabrik oder bei einem anderen Vorgang,
der chemische Rohstoffe verbraucht, enthalten sind.
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Die
vorliegende Erfindung schafft eine Überlauf-Sekundärhülle für den gesamten
Flüssigkeitsinhalt
eines Kanisters. Vorzugsweise schafft die vorliegende Erfindung
einen Sicherheitsfaktor, um mehr als den Inhalt eines Kanisters,
der Chemikalien enthält,
aufzunehmen. Dies kann 110% einer Volumenaufnahme des Flüssigkeitsinhaltes
eines derartigen Kanisters sein.
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Zusätzlich schafft
die vorliegende Erfindung einen Entwurf, so dass in dem Fall eines
Chemikalien-Überlaufs
einer Flüssigkeit
aus dem Kanister eine Bedienungsperson das Schrankgehäuse öffnen kann,
um das Ausmaß des Überlaufzustands
abzuschätzen
ohne dass Chemikalien entweichen, und die Bedienungsperson kann
den Kanister bedienen oder auf die übergelaufene Chemikalie zugreifen,
um sie möglicherweise
wiederzugewinnen oder sie zu entfernen.
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Hinsichtlich
der Tatsache, dass ein Kanisterwechsel üblicherweise häufig oder
systematisch erfolgt, und der Bedarf an einer Sekundärhülle für ausgelaufene
flüssige
Chemikalien ein vereinzeltes, zufälliges Auftreten ist, ist es
wichtig, dass in jeder Sekundärhüllenvorrichtung
ein Mechanismus vorgesehen ist, der das normale Auswechseln eines
Chemikalien-Kanisters nicht stört.
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Die
vorliegende Erfindung schafft eine angelenkte Tür, die den unteren Abschnitt
eines Schrankgehäuses
zum Lagern und Abgeben hochreiner Chemikalien flüssigkeitsdicht verschließt. Diese
flüssigkeitsdichte
Sekundärhüllentür ist zusätzlich zu
der normalen Tür
oder den normalen Türen
vorhanden, die einen Zugang zu dem Inneren des Schrankgehäuses schaffen,
in dem der Kanister üblicherweise während eines
Betriebs gelagert ist.
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Die
Sekundärhüllentür besitzt
ein Dichtung, die flüssigkeitsdicht
mit dem Rahmen der Vorderseite des Schrankgehäuses dichtet. Der dichtende
Eingriff wird durch die Verwendung einer Verriegelungsvorrichtung
erzielt, um die Sekundärhüllentür flüssigkeitsdicht
zu halten. Die Dichtung kann aus irgendeinem der üblichen
Dichtungswerkstoffe hergestellt sein, die mit den Chemikalien, die
gelagert werden sollen, verträglich
sind, und kann umfassen: Teflon®-Produkte,
Polyvinylchlorid-Werkstoffe, verschiedene Polybutylengummiarten,
Kalrez®-Werkstoffe, Chemraz®-Werkstoffe,
Viton®-Werkstoffe, EPDM®-Werkstoffe,
Neopren®-Werkstoff,
Aflas®-Werkstoffe,
Silikongummi und ähnliche
Elastomere. Der Verriegelungsmechanismus kann irgendeiner aus einer
Anzahl von Schnappmechanismen einschließlich eines Laufbolzens, eines
mit einer Feder vorgespannten Riegels usw. sein.
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Die
Sekundärhüllentür ist vorzugsweise
innerhalb der normalen Tür
oder der normalen Türen des
Schrankgehäuses
enthalten. Die Sekundärhüllentür ist vorzugsweise
durch ein oder mehrere Scharniere an einer Seite des vorderen Rahmens des
Schrankgehäuses
angelenkt, es ist jedoch auch denkbar, die Tür durch ein Scharnier, das
als ein ununterbrochenes "Klavier"-Scharnier bekannt ist
anzulenken, oder sie durch weitere Mechanismen wie etwa eine Schlitzbahnbefestigung
oder eine Bolzen-und-Mutter-Befestigung zu befestigen.
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Die
Sekundärhüllentür ist üblicherweise
aus einem unlegierten Stahl hergestellt, der mit einem dauerhaften
Lack oder einer Farbe gestrichen ist, die gegen Chemikalien widerstandsfähig ist.
Alternativ kann die Tür
aus irgendeinem Werkstoff hergestellt sein, der lokale Feuerbestimmungen
wie etwa eine Stunde Feuerbelastung erfüllt, oder die Tür kann aus einem
316-Stahl hergestellt sein.
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Die
vorliegende Erfindung wird nun anhand einer in 1 veranschaulichten
bevorzugten Ausführungsform
beschrieben.
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Ein
Schrankgehäuse 10 zum
Aufnehmen eines Kanisters 16 mit hochreinen Chemikalien
wie etwa TEOS ist in 1 gezeigt. Das Schrankgehäuse besitzt
Seitenwände 12 und 14,
einen Boden 50, ein Oberteil 24 und eine Rückwand,
die nicht gezeigt ist. Das Schrankgehäuse 10 ist so entworfen,
dass es im Zusammenwirken mit einem geringfügig negativen inneren Druck
relativ gasdicht gegenüber
einem Entweichen nach Außen
ist, um die hochreinen Chemikalien aus Umweltschutz- und Sicherheitsgründen durch
das Schrankgehäuse 10 aufzunehmen,
das durch eine Ableitröhre 56 vorzugsweise
zu einem Hausableitsystem entlüftet
ist, das üblicherweise
in Fabriken wie etwa Elektronikherstellungsfabriken (Fabriken) vorgesehen
ist. Derartige Ableitsysteme sind üblicherweise so entworfen,
dass sie den gesamten Abfall behandeln und von den in einer Fabrik auftretenden
chemischen Prozessen ausleiten.
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Das
Schrankgehäuse 10 besitzt
eine Öffnung,
die durch Seitenwände 12 und 14 und
ein Oberteil und einen Boden 24 und 50 definiert
wird, die durch relativ gasdichte Türen 20 und 22 (gegen ein
Entweichen nach Außen)
verschlossen wird. Diese Türen
sind vorzugsweise durch Scharniere, von denen eines als Scharnier 58 veranschaulicht
ist, an den Seitenwänden 12 und 14 angelenkt.
Jede Tür kann
einen Verriegelungsmechanismus 60 haben, der wenigstens
mit dem Oberteil 24 des Schrankgehäuses, jedoch vorzugsweise mit
dem Oberteil 24 und dem Boden 50 durch einen geeigneten
Riegelmechanismus in Eingriff gelangt. Der Verriegelungsmechanismus
wird durch einen geeigneten Schnapper, einen Knopf oder einen Schließzylinder
an der äußeren Vorderseite
der Tür 20,
die nicht gezeigt ist, betätigt.
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Der
Kanister 16 wird an einem einen Gabelstapler aufnehmenden
Gestell 54 angebracht, was durch zwei angelenkte Rampen 46 und 48 erleichtert wird,
die das Laden oder Entladen des Kanisters 16 in das/aus
dem Schrankgehäuse 10 erleichtern.
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Der
Kanister 16 ist für
eine Fluidverbindung für
hochreine Chemikalien zu dem Schrankgehäuse durch einen Verteiler 66 eingehakt,
der teilweise veranschaulicht ist und üblicherweise eine Anordnung von
Leitungen und Ventilen enthält,
die für
die Vorgänge
eines steuerbaren Abgebens hochreiner Chemikalien von dem Kanister 16 an
das Schrankgehäuse 10 und
für eine
auslassseitige Abgabe von dem Schrankgehäuse 10, die nicht
veranschaulicht ist, sorgen. Druckgas, Reinigungszyklen und Ausputzen sind
außerdem
für den
Verteiler 66 beabsichtigt, wie es in der Industrie üblicherweise
erforderlich ist. Zusätzlich
ist ein Notausschaltschalter und/oder -ventil 64 vorgesehen,
so dass eine Bedienungsperson in dem Fall eines Stromausfalls oder
eines Störfalls
die Einheit herunterfahren kann. Der Schalter und/oder das Ventil 64 ist
für eine
lokale Betätigung
beabsichtigt. Der Schalter und/oder das Ventil 64 steht
durch die Tür 20 hervor,
wenn letztere flüssigkeitsdicht
geschlossen ist, um einen Zugriff durch eine Bedienungsperson zu
erleichtern, ohne dass das Schrankgehäuse 10 geöffnet wird.
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Eine
Steuerung des Schrankgehäuses 10, des
Verteilers 66 und des Abgebens oder Herunterfahrens des
Systems wird durch eine Steuereinheit 18 aufrechterhalten,
die eine Prozesssteuereinheit, ein Bordcomputer oder ein grundlegender
elektronischer Mechanismus sein kann, der durch einen Computer oder
eine Bedienungsperson aus der Ferne gesteuert wird. Geeignete Steuereinheiten,
Schalter und Tastaturen sind üblicherweise
an der Oberfläche der
Steuereinheit 18 angebracht, ebenso wie ein elektronisches
Schaubild für
den Systemzustand oder eine Flüssigkristallanzeige,
die die Arbeitsweise eines laufenden Prozesses zeigen.
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Obwohl
der Inhalt an hochreinen Chemikalien in dem Kanister 16 durch
eine beliebige Anzahl von in der Industrie üblichen Wegen erfasst werden kann wie
etwa durch Innensensoren von Schwimmern, Kapazitäts- oder optischen Sonden,
oder durch äußere Sensoren
wie etwa Ultraschallsensoren, wird es bevorzugt, das Gestell 54 und
einen Kanister 16 an einer Skala 52 anzubringen,
um den Inhalt an hochreiner Chemikalie über das Gewicht, üblicherweise
das tarierte Gewicht, zu erfassen.
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Eine Überlauferfassung
in dem Schrankgehäuse
kann elektronisch überwacht
und an die Steuereinheit 18 oder an die Bedienungsperson
oder einen zentralen Computer in der Ferne durch in der Industrie übliche Fühlvorrichtungen
wie etwa lichtoptische Sensoren, lichtoptische Brewsterwinkel-Sensoren
oder Schwimmpegelsensoren weitergeleitet werden.
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Die Überlauferfassungssonde
ist aus einem IR-Diode/Phototransistor-Paar gebildet, das mit einem
Quarzstab zusammengesetzt ist.
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Die
Komponenten sind so eingebaut, dass die optischen Enden dem Ende
eines Quarzstabes zugewandt sind. Der Stab besitzt eine ebene Oberfläche an dem
Ende, an dem die optoelektronischen Komponenten eingebaut sind.
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Das
andere Ende des Stabs ist konusförmig. Die
Sonde ist senkrecht zu dem Boden des Schrankgehäuses eingebaut, wobei das konische
Ende nach unten gerichtet ist.
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Wenn
der Quarzkonus trocken ist, strahlt die IR-Diode in den Quarzstab.
Der größte Teil
der Lichtwellen prallt an der inneren Oberfläche des Endes ab und kehrt
in den Quarzstab zurück,
wobei der Phototransistor dem Licht ausgesetzt wird.
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Dadurch
wird der Phototransistor angeschaltet, wobei Leistung an seinen
Emitter angelegt wird. Eine Komparatorschaltung bei der Schrankgehäuse-Steuereinheit ist
mit dem Emitter des Photoransistors durch die Rückwandplatine und Rundstecker
an dem Boden der elektronischen Kapselung verbunden.
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Der
Ausgang der Komparatorschaltung ändert
seinen Zustand, wenn die Spannung an dem Emitter größer als
die Vergleichsspannung an dem anderen Eingang des Komparators ist.
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Wenn
eine Flüssigkeit
an der konischen Quarzspitze vorhanden ist, ändert sich die Brechzahl des
Quarzes, wodurch der größte Teil
des Infrarotlichtes den Stab durch dessen Ende verlassen kann. Folglich
schaltet sich der Transistor ab, und es liegt kein Potential an
dem Eingang der Komparatorschaltung an. Der Komparator besitzt Pull-down-Widerstände am Eingangsteil,
die einen Spannungseingang von Null verursachen.
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Die
Sekundärhüllentür 26 umfasst
eine einzelne angelenkte Tür,
die den gesamten unteren Abschnitt der Öffnung des Schrankgehäuses 10 von
einer Seite 14 zu der anderen Seite 12 überspannt.
Obwohl es möglich
ist, zwei zusammen wirkende Türen zu
besitzen, ist es einfacher, die einzelne Tür flüssigkeitsdicht zu machen.
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Die
Sekundärhüllentür 26 ist
durch Scharniere 28 und 30 an einer Seite 14 angelenkt,
obwohl es beabsichtigt ist, dass die Tür 26 mit dem Schrankgehäuse durch
ein "Klavier"-Scharnier oder einen
weiteren zu öffnenden
Mechanismus verbunden sein kann. Das nicht angelenkte Ende der Tür 26 ist
mit zwei Schnappern 40 und 42 ausgestattet, die
als Befestigungselement dienen, das mit der Seite 12 des Schrankgehäuses in
Eingriff gelangt. Schnapper 40 und 42 werden gleichzeitig
durch eine Betätigungsachse 38 betätigt, die
außerdem
mit einem Bediengriff 62 in Eingriff gelangt.
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Die
Sekundärhüllentür 26 besitzt
eine Dichtungskante 44, die eine Dichtung aus einem Silikongummiwerkstoff
sein kann, die sich gegen Schrankgehäusekanten 32, 34 und 36 verformt,
um eine flüssigkeitsdichte
Dichtungsfläche
auszubilden.
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Die
Sekundärhüllentür besitzt
vorzugsweise eine derartige Größe, dass
sie eine Höhe
hat, dass sie, wenn sie mit den Seitenwänden 12 und 14 und dem
Boden 50 in Eingriff gelangt, in dem Unterteil des Schrankgehäuses 10 ein
Volumen ausreichender Größe definiert,
um den gesamten Flüssigkeitsinhalt
des gelagerten Kanisters 16 aufzunehmen, und vorzugsweise
mehr als einen derartigen Inhalt, um so einen Sicherheitsfaktor
zu schaffen. Vorzugsweise hat die Tür 26 eine Größe, dass
sie 110% des Volumens des geschätzten
Fassungsvermögens
des größten Kanisters 16 aufnehmen
kann, zu dessen Aufnahme das Schrankgehäuse 10 entworfen wurde.
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Der
Kanister 16 besteht üblicherweise
aus 316-Stahl oder aus einem anderen korrosionsbeständigen Metall.
Der Kanister kann aus Aluminium oder Glas sein oder es kann ein
teflonbeschichteter Behälter
einer beliebigen Konstruktion einschließlich Kunststoff sein.
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Das
Schrankgehäuse 10 einschließlich der Seitenwände 12 und 14,
des Oberteils und des Bodens 24 und 50, der Türen 20 und 22 und
der Sekundärhüllentür 26 sind üblicherweise
aus einem beschichteten unlegierten Stahlplattenwerkstoff, sie können jedoch
aus einem Kunststoff oder aus einem 316-Stahl oder aus Aluminium sein.
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Das
System arbeitet durch Laden eines Kanisters 16 in das Schrankgehäuse 10 üblicherweise durch
einen angetriebenen oder manuellen Gabelstapler, der mit dem Gestell 54 in
Eingriff steht. Die Rampen 46 und 48 erleichtern
es, dass ein Gabelstapler den auf einem Gestell 54 angebrachten
Kanister 16 in das Schrankgehäuse 10 lädt. Die
Rampen 46 und 48 werden hierauf in eine geschlossene Position
angehoben oder nach oben geschwenkt. Die Sekundärhüllentür 26 wird geschlossen
und eingeschnappt oder verriegelt. Die Schrankgehäusetüren 20 und 22 werden
auch geschlossen und eingeschnappt oder verriegelt, nachdem der
Kanister 16 für
einen Fluidfluß mit
dem Verteiler 66 verbunden wird, der Druckgas, eine sprudelnde
oder eine Vakuumabgabe der hochreinen Chemikalie von dem Kanister 16 durch
den Verteiler 66 an eine auslassseitige Fabrikverwendung
bereitstellt, wie es durch die Steuereinheit 18 vorgeschrieben
wird. In einem Störfall
kann bei einem Kanister 16 der gesamte Inhalt oder ein
Teil seines Inhalts an hochreiner Chemikalie in das Unterteil des
Schrankgehäuses 10 entweichen,
diese Flüssigkeit
wird jedoch durch die Sekundärhüllentür 26,
die flüssigkeitsdicht
ist, aufgenommen, wenn der vordere Rahmen des Schrankgehäuses 10 geöffnet ist.
Dies ermöglicht
es, dass nur die Oberflächen
der Sekundärhüllentür 26 in
einem dichten Maß entwickelt
werden müssen,
um die flüssigkeitsdichte
Dichtung zu erzeugen, und dass nur die Dichtung 44 der
Tür 26 für einen
Kontakt mit einer Flüssigkeit
ausgelegt werden muss. Die Türen 20 und 22 können weniger
streng konstruiert sein und ihr dichtender Eingriff muss nur für einen
Fluideingriff und eine Materialverträglichkeit konstruiert sein. Durch
eine Verwendung der Sekundärhüllentür 26, die
nur einen Teil der Öffnung
des Schrankgehäuses 10 abdichtet,
kann eine Bedienungsperson die Türen 20 und 22 öffnen, um
den Zustand des Schrankgehäuseinneren
und irgendeinen Störfall
zu begutachten und sie kann möglicherweise
den Kanister 16 oder das Schrankgehäuse 10 bedienen, ohne
dass zu befürchten
ist, dass eine entwichene flüssige
Chemikalie auf den Boden der Fabrik überläuft. Durch Verwendung einer
eingeschnappten und angelenkten Sekundärhüllentür ermöglicht das Schrankgehäuse, dass
eine Bedienungsperson das Schrankgehäuse leicht laden und entladen
kann, um Kanister auszuwechseln, ohne das Sekundärhüllenmerkmal zu gefährden. Die
vorliegende Erfindung richtet sich auf einen einfachen Betrieb und
einen Schutz gegen Überlauf-Vorfälle von
Flüssigkeiten,
um die Probleme bei Lager- und Abgabesystemen des Standes der Technik
zu lösen.
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Die
vorliegende Erfindung wurde anhand einer bevorzugten Ausführungsform
dargelegt, der Gesamtumfang der vorliegenden Erfindung wird jedoch durch
die nachfolgenden Ansprüche
bestimmt.