KR100458680B1 - 유출물 격납용기용 도어를 구비한 화학 제품 반송 장치 - Google Patents

유출물 격납용기용 도어를 구비한 화학 제품 반송 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 보조 격납용기를 구비한 고순도 화학 제품의 저장 및 반송 장치를 개시한다. 이 장치는, 고순도 화학 제품의 캐니스터를 수납하는 캐비넷과, 고순도 화학 제품을 제어가능하게 분배하기 위해 상기 캐니스터와 캐비넷 사이를 유체 연통시키기 위한 상기 캐비넷내의 매니폴드와, 하류에서 사용하기 위해 상기 캐니스터와 캐비넷으로부터 고순도 화학 제품의 공급을 제어하는 제어 유닛과, 상기 캐니스터를 캐비넷에 적재 및 하역할 수 있는 상기 캐비넷의 폐쇄가능한 개구와, 상기 개구를 폐쇄하는 하나 이상의 도어와, 개구의 일부를 폐쇄하기 위해 상기 개구에 배치되며, 상기 개구의 일부가 캐비넷과 함께 상기 캐니스터의 고순도 화학 제품 액체 함유량을 수용하는 용적을 형성하는 데 충분한 크기를 갖는 액밀식 보조 격납용기용 도어를 구비한다.

Description

유출물 격납용기용 도어를 구비한 화학 제품 반송 장치{CHEMICAL DELIVERY SYSTEM WITH SPILL CONTAINMENT DOOR}
본 발명은 전자 부품 제조 산업에 있어서 고순도 화학 제품의 저장 및 분배 분야에 관한 것이다.
전자 부품의 제조에 있어서, 제조 공정에 공급하거나 세정을 위해 다양한 크기의 액체 또는 2상 상태, 즉 액상/기상 상태의 각종 고순도 화학 제품을 수용하는 것이 요구된다.
이러한 고순도 화합물용 캐니스터를 통상 금속으로 제조된 캐비넷에 수납하고, 공급 등의 각종의 자동화된 기구와, 레벨 신호와, 캐니스터가 비거나 또는 거의 비워질 때에 교환 신호를 갖는 것이 산업 표준으로 되고 있다.
많은 고순도 화학 제품은 독성 및 부식성을 가져서 환경적으로 규제되므로, 부주의한 기체 방출 또는 액체 방출을 피하도록 화학 제품을 캐비넷에 수납하는 것이 중요하다. 역사적으로, 부주의한 기체 방출은 가정 또는 공장 규모의 저감 장치로 통기되는 캐비넷을 제공하므로써 해결되었다. 그러나, 고장난 캐니스터 또는 캐니스터와 캐니스터의 하류 매니폴드 사이의 연결부로부터 액체가 방출될 위험이 존재하였다.
20 갤론(0.09m3)의 액체를 수용하는 저장조를 구비한 바퀴가 달린 폴리프로필렌 용기의 측면도를 도시하는 빅터 어소시에이츠 인코포레이티드(Victor Associates, Inc.)의 광고와 같이, 여유 립(marginal lip) 또는 측벽을 갖는 다양한 트레이 또는 받침대가 적당한 액체 누출을 수용할 수 있는 것으로 산업 분야에 알려져 있다. 저장조 주위의 보조 격납용기에 대해서도 언급되어 있다.
유출용 격납용기를 구비한 다양한 카트(cart)가 화학용 카트 A 내지 F를 제시하고 있는 테라 유니버셜 인코포레이티드(Terra Universal, Inc.)의 광고에 예시되어 있다.
슈마허(Schumacher)의 트랜스필(TransFill) Ⅱ-LRM용 광고는 110%의 유출용 격납용기가 실현되어 있는 것을 예시하고 있다. 이 유출용 격납용기는 고정된 캐비넷과 일체형의 유출용 팬(pan)을 사용하여 실현된다.
슈마허의 트랜스필 Ⅱ-TFL용 광고는 짧은 측벽을 갖는 이동용 바퀴(caster)가 장착된 트레이를 사용하여 부분적인 보조 격납용기를 제공한다.
미국특허 제5,950,693호는 화학 제품의 용기를 유지하는 반송 카트(도 3, 도면 번호 300)를 구비한 캐비넷을 도시하고 있다. 이 카트는 임의의 유출물의 대부분을 수용하는 데 사용된다(컬럼 6, 50행).
전자 제조업 뿐만 아니라 기타 산업들에 공급하기 위해 고순도 화학 제품의 캐니스터를 안전하고 효과적으로 저장하는 방법이 오랫동안 요구되었다. 부분적인 유출물을 수용하기 위해 각종의 부분적인 보조 격납용기를 사용하였다. 그러한 사용을 위한 각종의 카트와 트레이가 공지되어 있다. 보다 중요한 격납용기가 교시되어 있지만, 대개 고장난 용기에 접근하거나 수리하는 것이 불가능하거나, 통상적인 산업 표준의 캐비넷에서 요구하는 것보다 더 큰 높이를 필요로 하였다. 전자 제조의 바닥 면적이 액면 이상으로 고가이기 때문에, 이 업계에서는 용기로부터 유출된 잠재력으로 중대한 화학제품의 유출물을 수용하고, 한편으로 누설된 화학 액체를 더이상 유출시키지 않는 용기를 저장하는 캐비넷의 "족적"을 공장내에서 변화시키지 않고 경제적인 공간 절약 방법을 오랫동안 추구해 왔다.
본 발명은 전술한 종래 기술의 단점을 해결하고 캐비넷의 높이를 증가시키지 않고 또 부가적인 카트 또는 트레이를 형성하지 않고 완전한 보조 격납용기를 제공한다. 이 보조 격납용기는 이하에 보다 상세히 설명된다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예의 사시도.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
10: 캐비넷 12,14: 측벽
16: 캐니스터 24: 상부벽
26: 보조 격납용기용 도어 50: 바닥
66: 매니폴드
본 발명은, 보조 격납용기를 구비한 고순도 화학 제품의 저장 및 반송 장치로서, 고순도 화학 제품의 캐니스터를 수납하는 캐비넷과, 고순도 화학 제품을 제어가능하게 공급하기 위해 상기 캐니스터와 캐비넷 사이를 유체 연통시키기 위한 상기 캐비넷 내의 매니폴드와, 하류에서 사용하기 위해 상기 캐니스터와 캐비넷으로부터 고순도 화학 제품의 공급을 제어하는 제어 유닛과, 상기 캐니스터를 캐비넷에 적재 및 하역할 수 있는 상기 캐비넷의 폐쇄가능한 개구와, 상기 개구를 폐쇄하는 하나 이상의 도어와, 개구의 일부를 폐쇄하기 위해 상기 개구에 배치되며, 상기 개구의 일부가 캐비넷과 함께 상기 캐니스터의 고순도 화학 제품 액체 함유량을 수용하는 용적을 형성하는 데 충분한 크기를 갖는 액밀식 보조 격납용기용 도어를 구비하는 고순도 화학 제품의 저장 및 반송 장치이다.
또한, 본 발명은, 고순도 화학 제품 캐니스터의 전체 함유량을 캐비넷 내에 수용하기 위한 방법으로서, 고순도 화학 제품 캐니스터를 수용하는 캐비넷에 캐니스터용 개구를 마련하는 단계와, 적어도 부분적으로 액체의 물리 상태인 고순도 화학 제품을 수용하는 캐니스터를 마련하는 단계와, 상기 개구의 일부를 폐쇄하기 위해 상기 개구에 배치되며, 개구의 일부가 상기 캐니스터의 고순도 화학 제품 액체 함유량을 수용하기 위해 상기 캐비넷에 관한 용적을 규정하기에 충분한 치수가 결정된 액밀식 보조 격납용기용 도어를 마련하는 단계와, 상기 캐비넷에서 캐니스터로부터 액상의 고순도 화학 제품의 누출시, 누출된 액상의 고순도 화학 제품을 상기 캐비넷에 대한 보조 격납용기용 도어의 액밀식 결합에 의해 캐비넷 내에 보유하는 단계를 포함하는 방법이다.
본 발명은 테트라에틸오도실리케이트(TEOS), 알킬 실란, 디클로로에틸렌, 트리메틸보레이트(TMB), 트리메틸포스파이트(TMPI), 보론-포스포루스-실리콘 유리(BPSG) 등의 고순도 화학 제품 및 기타 화학 제품을 저장하기 위해 전자 제조업에 사용되는 장치나 시스템이다.
본 발명은 캐비넷내에 저장된 캐니스터에 수용된 액체에 대해 보조 유출물 격납용기를 제공하는데, 이 캐비넷은 전자 제품 제조 공장이나 기타 화학 원료 소비 작업에서 사용하기 위해 캐니스터에 수용된 화학 제품을 저장하고 자동으로 또는 수동으로 공급하도록 설계된다.
본 발명은 캐니스터의 전체 액체 함유량을 위한 보조 유출물 격납용기를 제공하는 것이 바람직하다. 본 발명은 화학 제품을 수용하는 캐니스터의 함유량을 초과할 때 격납용기를 위한 안전 여유도를 제공하는 것이 보다 바람직하다. 이 안전 여유도는 그러한 캐니스터의 액체 함유량의 110%의 용적을 수용할 수 있다..
또한, 본 발명은, 캐니스터로부터 화학 제품 액체의 유출시 작업자가 화학 제품을 누설하지 않으면서 캐비넷을 열고 유출 상태의 정도를 측정할 수 있으며 작업자가 캐니스터를 수리하거나 회수 또는 제거를 위해 유출된 화학 제품을 처리할 수 있는 구성을 제공한다.
임의의 보조 격납 장치에 있어서, 일반적으로 캐니스터의 교체가 자주 또는 체계적으로 일어난다는 관점에서, 화학 제품 캐니스터의 정상적인 교체를 방해하지 않는 기구를 제공하는 것이 중요하고, 유출된 액체 화학 제품의 보조 격납에 대한 필요성은 독자적으로 불시에 발생한다.
본 발명은 고순도 화학 제품의 저장 및 공급 캐비넷의 하부를 액밀(液密)식 밀봉 상태로 폐쇄하는 힌지식 도어를 제공한다. 액밀식 보조 격납용기용 도어는 캐니스터가 작동 중에 정상적으로 저장되는 캐비넷의 내부에서 조작할 수 있는 통상의 도어(들)에 추가되는 것이다.
보조 격납용기용 도어는 캐비넷의 전방의 프레임과 액밀식으로 밀봉하는 캐스킷을 갖는다. 이 밀봉 결합은 액밀식 밀봉 상태로 보조 격납용기용 도어를 유지하는 로킹 장치의 사용에 의해 달성된다. 개스킷은 저장되는 화학 제품에 적절한 일반적인 개스킷 재료 중 임의의 것일 수 있으며, 테플론(등록상표) 제품, 폴리비닐 염화물 재료, 다양한 폴리부틸렌 고무, 칼레즈(등록상표) 재료, 켐라즈(등록상표) 재료, 비톤(등록상표) 재료, EPDM(등록상표) 재료, 네오프렌(등록상표) 재료, 아프라스(등록상표) 재료, 실리콘 고무 및 이들과 유사한 엘라스토머를 포함할 수 있다. 로킹 기구는 이동 볼트, 스프링 편향식 래치 등을 비롯한 다수의 래치 기구 중 임의의 것일 수 있다.
보조 격납용기용 도어는 캐비넷의 통상의 도어(들)의 내측에 배치되는 것이 바람직하다. 보조 격납용기용 도어는 하나 이상의 힌지에 의해 캐비넷의 전방 프레임의 일측에 힌지식으로 연결되는 것이 바람직하지만, 또한 연속적인 "피아노" 힌지로서 알려진 것에 의해 또는 슬롯 형성된 트랙 또는 볼트와 너트 고정과 같은 기타 기구에 의해 도어를 연결시키는 것도 고려할 수 있다.
보조 격납용기용 도어는 내구성이 있는 내화학 피복 또는 도료가 도포되어 있는 탄소강으로 제조되는 것이 일반적이다. 이와 달리, 도어는 한 시간의 연소 속도 등의 현지 소방법을 만족시키는 임의의 재료로 제작될 수 있다. 또는 도어의 재료는 316 스테인레스강일 수 있다.
이하, 본 발명을 도 1에 예시된 바람직한 실시예를 참조하여 설명하기로 한다.
TEOS 등의 고순도 화학 제품의 캐니스터(16)를 수용하는 캐비넷(10)이 도 1에 도시되어 있다. 상기 캐비넷은 측벽(12 및 14), 바닥(50), 상부벽(24) 및 도시되지 않은 후방벽을 포함한다. 상기 캐비넷(10)은 내부의 약간의 부압과 협동하여 외부 누출에 대해서 비교적 기밀 상태로 되고, 전자 제품 제조 공장 등의 공장에 통상 마련된 배기관(56)에 의해 바람직하게는 하우스 배제 시스템으로 통기되는 캐비넷(10)에 의해, 환경 및 안전을 이유로 고순도 화학 제품을 수용하도록 설계된다. 그러한 저감 장치는 공장에서 일어나는 화학적 공정으로부터 나오는 폐수와 전체 폐기물을 처리하도록 통상 설계된다.
캐비넷(10)은 측벽(12 및 14)과 상부벽 및 하부벽(24 및 50)에 의해 형성되는 개구를 포함하는데, 이 개구는 (외부 누출에 대해) 비교적 기밀 상태인 도어(20 및 22)에 의해 폐쇄된다. 이들 도어는 바람직하게는 힌지에 의해 측벽(12 및 14)에 힌지식으로 연결되어 있으며, 이들 힌지중 하나가 힌지(58)로 예시되어 있다. 각 도어는 적어도 캐비넷의 상부벽(24)과 결합하는 고정 기구(60)를 구비하지만, 적절한 래칭에 의해 상부벽(24) 및 하부벽(50)과 결합하는 것이 바람직하다. 상기 고정 기구는 도시하지 않은 도어(20)의 전방 외면상의 적절한 래치, 손잡이 또는 키이 실린더에 의해 작동된다.
캐니스터(16)는 2개의 힌지식 경사부(46 및 48)에 의해 포크 리프트를 수납하는 스키드(54; skid)상에 용이하게 장착되는데, 이 경사부는 캐니스터(16)를 캐비넷(10) 내에 적재하거나 그 캐비넷으로부터 하적하는 것을 용이하게 한다.
상기 캐니스터(16)는 부분적으로 도시한 매니폴드(66)에 의해 캐비넷에 대한 고순도 화학 제품의 액체 연결부에 접속되고, 이 매니폴드는 캐니스터(16)로부터 캐비넷(10)으로 고순도 화학 제품을 제어하에 반송하는 기능과 캐비넷(10)으로부터의 하류측으로 반송하는 기능을 위해 마련된 도시않은 파이프와 밸브의 배열을 통상 포함한다. 업계에서 일반적으로 요구되는 바와 같이, 압축 가스, 정화 사이클 및 제거 또한 매니폴드(66)에서 고려된다. 또한, 정전시나 혼란 상태시 작업자가 유닛을 차단시킬 수 있도록 비상 차단 스위치 및/또는 밸브(64)는 국소적인 작동에 있어서 고려된다. 캐비넷(10)을 열지 않고 조작자가 용이하게 조작할 수 있도록 유체를 누설시키지 않도록 밀봉된 상태로 폐쇄될 때, 비상 차단 스위치 및/또는 밸브(64)가 도어(20)를 통해 돌출하고 있다.
캐비넷(10)과 매니폴드(66)의 제어와 장치로의 공급 또는 정지는 제어 유닛(18)에 의해 유지되며, 이 제어 유닛은 프로세스 컨트롤러, 탑재 계산기, 또는 원격 컴퓨터나 조작자에 의하여 제어되는 기본 전자 기구일 수 있다. 적절한 제어부, 스위치 및 키보드가 일반적으로 시스템 상태의 전자 다이어그램 또는 액정 디스플레이와 함께 제어 유닛(18)의 전면에 통상 장착되어, 현재의 처리 기능을 보여주고 있다.
캐니스터(16) 내의 고순도 화학 제품의 함유량은 플로트, 정전용량식 또는 광학 프로브의 내부 센서, 또는 초음파 센서 등의 외부 센서와 같이 산업 분야에서 일반적인 임의의 여러 방법을 통해 측정될 수 있지만, 스키드(54)와 캐니스터(16)를 저울(52)위에 올려놓고 중량, 일반적으로 용기 중량을 감산하여 고순도 화학 제품의 함유량을 측정할 수 있다.
캐비넷에서의 유출 검출은 전자적으로 모니터되어 제어 유닛(18)으로 전달되거나, 포토-광학 센서, 브루스터각 포토 광학 센서 또는 플로트 레벨 센서와 같이 산업 분야에서 일반적인 감지 장치에 의해 작업자 또는 중앙 컴퓨터로 원격 전달된다.
유출 감지 프로브는 수정 로드와 쌍으로 결합되는 IR 다이오드/광트랜지스터로 제조된다.
구성 요소들은 광학 단부가 수정 로드의 단부를 향하는 상태로 설치된다. 상기 수정 로드는 광전자 부품이 장착되는 단부에 평탄한 표면을 갖는다.
수정 로드의 타단부는 원뿔 형태를 갖는다. 프로브는 원뿔 단부가 아래를 향한 상태에서 캐비넷의 바닥에 수직으로 장착된다.
수정 원뿔이 건조한 상태이면, IR 다이오드는 수정 로드로 복사(輻射)한다. 대부분의 광파는 단부의 내부면에서 반사되고 수정 로드로 다시 이동하여 광트랜지스터를 빛에 노출시킨다.
이것은 광트랜지스터를 'ON'시켜 에미터에 전력을 인가한다. 캐비넷 콘트롤러상의 비교기 회로가 전자 부품 인클로져의 바닥상의 원형 커넥터와 백플레인(backplane)을 통해 광트랜지스터의 에미터에 접속된다.
에미터상의 전압이 비교기의 다른 입력에서의 기준 전압보다 클 때 비교기 회로의 출력은 상태를 변화시킨다.
액체가 수정 원뿔의 정점에 존재할 때, 수정의 굴절률이 변화하여 적외선 대부분이 로드로부터 나와서 단부를 통과한다. 그 결과, 트랜지스터가 'OFF'되고, 비교기 회로에 대한 입력부에 전위가 인가되지 않는다. 비교기는 제로 전압 입력을 발생시키는 전위 내림 레지스터(front-end pull-down resistors)를 갖는다.
보조 격납용기용 도어(26)는 한 측벽(14)에서 다른 측벽(12)까지 캐비넷(10)의 개구의 전체 하부에 걸쳐있는 단일 힌지식 도어를 포함한다. 상호 작용하는 2개의 도어를 구비할 수도 있지만, 단일 도어가 액밀 상태로 만드는 데 용이하다.
상기 보조 격납용기용 도어(26)는 "피아노" 힌지 또는 기타 개방가능한 기구에 의해 캐비넷에 연결될 수 있는 것으로 고려되지만, 보조 격납용기용 도어(26)는 힌지(28 및 30)에 의해 측벽(14)에 결합된다. 힌지가 없는 도어(26)의 단부는 파스너로서 작용하고 캐비넷의 측벽(12)과 결합하는 2개의 래치(40 및 42)에 의해 끼워맞춤된다. 래치(40 및 42)는 작업자용 손잡이(62)와도 결합하는 작동 회전축(38)에 의해 동시에 작동된다.
보조 격납용기용 도어(26)는 밀봉 에지(44)를 구비하며, 이 밀봉 에지는 액밀 상태의 밀봉 표면을 형성하기 위해 캐비넷의 에지(32,34,36)에 대해 변형하는 실리콘 고무 재료로 이루어진 개스킷일 수 있다.
보조 격납용기용 도어는 측벽(12 및 14) 및 바닥(50)과 결합할 때 탑재된 캐니스터(16)의 전체 액체 함유량을 수용하고, 바람직하게는 안전 여유도를 제공하도록 그러한 함유량을 초과하는 함유량을 수용하는 데 충분한 크기의 용적을 캐비넷(10)의 기단부에 형성할 수 있는 높이를 갖는 크기인 것이 바람직하다. 상기 도어(26)는 캐비넷(10)이 수용하도록 설계되는 최대 캐니스터(16)의 정격 용량의 110%의 용적을 수납하는 크기를 갖는 것이 바람직하다.
상기 캐니스터(16)의 재료는 316 스테인레스강 또는 기타 내부식성 재료인 것이 일반적이다. 캐니스터는 알루미늄, 유리, 또는 테프론으로 피복된 플라스틱을 함유하는 구조의 용기일 수 있다.
측벽(12 및 14), 상부벽과 바닥(24 및 50), 도어(20 및 22) 및 보조 격납용기용 도어(26)를 포함하는 캐비넷(10)은 통상 피복된 탄소강 박판 재료이지만, 플라스틱 또는 316 스테인레스강 또는 알루미늄일 수 있다.
상기 장치는 통상 스키드(54)에 결합된 전동식 또는 수동식 포크 리프트 또는 팰릿 잭에 의해 캐비넷(10)내로 캐니스터(16)를 적하함으로써 작동한다. 경사부(46 및 48)는 캐니스터(16)가 장착된 스키드(54)를 포크 리프트가 캐비넷(10)내로 적하하는 것을 수월하게 한다. 그 후에, 경사부(46 및 48)는 폐쇄 위치로 상승하거나 상방으로 피봇된다. 보조 격납용기용 도어(26)는 폐쇄 및 래치식으로 결합되거나 고정된다. 캐비넷 도어(20 및 22)도 유체 유동용 캐니스터(16)를 매니폴드(66)에 연결한 후에 폐쇄 및 래치식으로 결합되거나 고정되는데, 이 매니폴드는 제어 유닛(18)에서 지시를 받아 캐니스터(16)로부터 매니폴드(66)를 통해 공장의 하류에서 사용되도록 고순도 화학 제품의 압축 가스, 기포 또는 진공 분배를 제공한다. 혼란 상태에서, 캐니스터(16)는 액상의 고순도 화학 제품 함유량의 전체 또는 일부를 캐비넷(10)의 기부 내에 누설하지만, 이 액체는 캐비넷 개구의 전방 프레임과 액밀식 밀봉 상태인 보조 격납용기용 도어(26)에 의해 수용된다. 이것으로 인해, 보조 격납용기용 도어(26)의 표면만이 액밀식 밀봉부를 생성하도록 타이트한 크기로 설계될 수 있고 도어(26)의 개스킷(44)이 액체 접촉을 위해 설계될 수 있다. 도어(20 및 22)는 덜 정밀하게 설계될 수 있고, 그 밀봉 결합은 유체 결합 및 재료 적합성만을 위해 설계되는 것을 필요로 한다.
본 발명에 따르면, 캐비넷(10)의 개구 일부만을 밀봉하는 보조 격납용기용 도어(26)의 사용에 의해, 작업자는 도어(20 및 22)를 열어 캐비넷의 내부 상태와 전복 상태를 검사할 수 있고 누설된 액상 화학 제품이 공장 바닥으로 유출되는 것을 두려워 할 필요없이 캐니스터(16) 또는 캐비넷(10)을 수리할 수 있다. 래치 결합식 및 힌지 결합식 보조 격납용기용 도어를 사용함으로써, 캐비넷은 보조 격납 특성에 손상을 주지 않으면서 캐니스터를 교체하기 위해 작업자가 캐비넷을 쉽게 열고 닫게 한다. 종래 기술의 저장 및 공급 장치에서의 문제점을 극복할 수 있도록 액체 유출물로부터의 보호 및 작업이 본 발명에 의해 용이하게 처리된다.
본 발명을 하나의 바람직한 실시예에 관해 설명하였지만, 본 발명의 전 범위는 다음의 특허청구범위로부터 확인할 수 있다.

Claims (20)

  1. 보조 격납용기를 구비한 고순도 화학 제품의 저장 및 반송 장치로서,
    고순도 화학 제품의 캐니스터를 수납하는 캐비넷과,
    고순도 화학 제품을 제어가능하게 공급하기 위해 상기 캐니스터와 캐비넷 사이를 유체 연통시키 위한 상기 캐비넷내의 매니폴드와,
    하류에서 사용하기 위해 상기 캐니스터와 캐비넷으로부터 고순도 화학 제품의 공급을 제어하는 제어 유닛과,
    상기 캐니스터를 캐비넷에 적재 및 하역할 수 있는 상기 캐비넷의 폐쇄가능한 개구와,
    상기 개구를 폐쇄하는 하나 이상의 도어와,
    개구의 일부를 폐쇄하기 위해 상기 개구에 배치되며, 상기 개구의 일부가 캐비넷과 함께 상기 캐니스터의 고순도 화학 제품 액체 함유량을 수용하는 용적을 형성하는 데 충분한 크기를 갖는 보조 격납용기용 도어
    를 구비하는 고순도 화학 제품의 저장 및 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 보조 격납용기용 도어는 상기 캐비넷에 힌지식으로 연결되는 것인 고순도 화학 제품의 저장 및 반송 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 보조 격납용기용 도어는 보조 격납용기용 도어가 폐쇄될 때 상기 캐비넷과 밀봉가능하게 맞물리는 개스킷을 구비하는 것인 고순도 화학 제품의 저장 및 반송 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 보조 격납용기용 도어는 상기 캐비넷의 폐쇄 위치에 보조 격납용기용 도어를 고정시키는 파스너를 구비하는 것인 고순도 화학 제품의 저장 및 반송 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 보조 격납용기용 도어는 상기 하나 이상의 도어의 내측에 있는 것인 고순도 화학 제품의 저장 및 반송 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 하나 이상의 도어는 상기 캐비넷의 개구 전체를 폐쇄하는 힌지식으로 연결된 한 쌍의 도어인 것인 고순도 화학 제품의 저장 및 반송 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 힌지식으로 연결된 한 쌍의 도어는 상기 캐비넷과의 액밀식 밀봉부를 구비하는 것인 고순도 화학 제품의 저장 및 반송 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 캐비넷은 상기 매니폴드에 연결된 캐니스터를 구비하는 것인 고순도 화학 제품의 저장 및 반송 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 캐니스터는 최대 220 리터의 고순도 화학 제품을 저장하는 크기를 갖는 것인 고순도 화학 제품의 저장 및 반송 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 캐비넷의 바닥은 캐비넷 내에 상기 캐니스터를 싣거나 내리기 위한 적어도 하나의 힌지로 연결된 경사부를 구비하는 것인 고순도 화학 제품의 저장 및 반송 장치.
  11. 제10항에 있어서, 2개의 힌지로 연결된 경사부가 존재하는 것인 고순도 화학 제품의 저장 및 반송 장치.
  12. 제1항에 있어서, 상기 캐비넷은 상기 고순도 화학 제품의 캐니스터 함유량 신호를 상기 제어 유닛에 제공하기 위해 캐비넷의 바닥에 장착된 저울을 구비하는 것인 고순도 화학 제품의 저장 및 반송 장치.
  13. 제1항에 있어서, 상기 캐비넷은 하류의 저감 처리를 위해 캐비넷으로부터 액상의 고순도 화학 제품을 제거하도록 캐비넷의 상부에 유체 배출관을 구비하는 것인 고순도 화학 제품의 저장 및 반송 장치.
  14. 제1항에 있어서, 상기 캐비넷은 상기 매니폴드에 연결된 캐비넷 내의 캐니스터로부터의 유체 유동을 단속하는 차단 밸브를 구비하는 것인 고순도 화학 제품의 저장 및 반송 장치.
  15. 제1항에 있어서, 상기 개구의 일부가 상기 캐니스터의 고순도 화학 제품 액체 함유량의 110%의 용적을 수용하기 위해 상기 캐비넷에 관한 용적을 규정하기에 충분하도록, 상기 보조 격납용기용 도어의 치수가 결정되는 것인 고순도 화학 제품의 저장 및 반송 장치.
  16. 고순도 화학 제품 캐니스터의 전체 함유량을 캐비넷 내에 수용하기 위한 방법으로서,
    고순도 화학 제품 캐니스터를 수용하는 캐비넷에 캐니스터용 개구를 마련하는 단계와,
    적어도 부분적으로 액체의 물리 상태인 고순도 화학 제품을 수용하는 캐니스터를 마련하는 단계와,
    상기 개구의 일부를 폐쇄하기 위해 상기 개구에 배치되며, 상기 개구의 일부가 상기 캐니스터의 고순도 화학 제품 액체 함유량을 수용하기 위해 상기 캐비넷에 간한 용적을 규정하기에 충분하도록 치수가 결정된 액밀식 보조 격납용기용 도어를 마련하는 단계와,
    상기 캐비넷에서 캐니스터로부터 액상의 고순도 화학 제품의 누출시, 누출된 액상의 고순도 화학 제품을 상기 캐비넷에 대한 보조 격납용기용 도어의 액밀식 결합에 의해 캐비넷 내에 보유하는 단계
    를 포함하는 방법.
  17. 제16항에 있어서, 상기 보조 격납용기용 도어는 상기 캐비넷과 함께 캐니스터의 고순도 화학 제품 액체 함유량의 110%의 용적을 수용하는 것인 방법.
  18. 제16항에 있어서, 액상의 고순도 화학 제품이 상기 캐비넷내에서 캐니스터로부터 누출될 때 캐비넷상의 제어 유닛으로 신호가 전달되는 것인 방법.
  19. 제16항에 있어서, 상기 보조 격납용기용 도어는 개스킷을 이용하여 상기 캐비넷과 액밀식 밀봉부를 형성하는 것인 방법.
  20. 제16항에 있어서, 상기 보조 격납용기용 도어는 상기 캐비넷에 대해 고정 가능하게 폐쇄되는 것인 방법.
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