DE60021955T2 - Verfahren und Vorrichtung zum Verdampfen von einem flüssigen Glasvorläufer für die Herstellung von Vorformen für optische Fasern - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Verdampfen von einem flüssigen Glasvorläufer für die Herstellung von Vorformen für optische Fasern Download PDF

Info

Publication number
DE60021955T2
DE60021955T2 DE60021955T DE60021955T DE60021955T2 DE 60021955 T2 DE60021955 T2 DE 60021955T2 DE 60021955 T DE60021955 T DE 60021955T DE 60021955 T DE60021955 T DE 60021955T DE 60021955 T2 DE60021955 T2 DE 60021955T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
vaporizing
production
optical fiber
liquid glass
glass precursor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE60021955T
Other languages
English (en)
Other versions
DE60021955D1 (de
Inventor
Hiroshi Tsumura
Hiroyuki Koide
Yuuji Tobisaka
Kazuhisa Hatayama
Go Ogino
Tadakatsu Shimada
Hideo Hirasawa
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP11156274A external-priority patent/JP2000344530A/ja
Priority claimed from JP18485199A external-priority patent/JP2001019438A/ja
Priority claimed from JP19911099A external-priority patent/JP2001026429A/ja
Application filed by Shin Etsu Chemical Co Ltd filed Critical Shin Etsu Chemical Co Ltd
Application granted granted Critical
Publication of DE60021955D1 publication Critical patent/DE60021955D1/de
Publication of DE60021955T2 publication Critical patent/DE60021955T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B19/00—Other methods of shaping glass
    • C03B19/14—Other methods of shaping glass by gas- or vapour- phase reaction processes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413—Reactant delivery systems

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
DE60021955T 1999-06-03 2000-06-02 Verfahren und Vorrichtung zum Verdampfen von einem flüssigen Glasvorläufer für die Herstellung von Vorformen für optische Fasern Expired - Lifetime DE60021955T2 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11156274A JP2000344530A (ja) 1999-06-03 1999-06-03 多孔質ガラス母材の製造方法
JP18485199A JP2001019438A (ja) 1999-06-30 1999-06-30 多孔質ガラス母材原料液の気化装置
JP19911099A JP2001026429A (ja) 1999-07-13 1999-07-13 石英ガラスの原料ガス供給系

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE60021955D1 DE60021955D1 (de) 2005-09-22
DE60021955T2 true DE60021955T2 (de) 2006-06-14

Family

ID=27320977

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE60021955T Expired - Lifetime DE60021955T2 (de) 1999-06-03 2000-06-02 Verfahren und Vorrichtung zum Verdampfen von einem flüssigen Glasvorläufer für die Herstellung von Vorformen für optische Fasern

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6698240B1 (de)
EP (1) EP1057792B1 (de)
KR (1) KR100632879B1 (de)
DE (1) DE60021955T2 (de)
TW (1) TW584611B (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2150634A1 (de) * 2007-05-23 2010-02-10 Centrotherm Thermal Solutions GmbH + CO. KG Verfahren zur steuerung der prozessgaskonzentration

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DK1719739T3 (da) * 2004-02-27 2013-07-08 Sumitomo Electric Industries Fremgangsmåde og apparatur til fremstilling af en præform til en optisk fiber
KR20060057930A (ko) * 2004-11-24 2006-05-29 삼성전자주식회사 석영관의 압력 자동 조절 장치
CN103058512B (zh) * 2012-12-19 2015-04-08 江苏亨通光电股份有限公司 一种光纤预制棒制造时控制气态原料流量的装置和方法
EP3059212A1 (de) * 2015-02-18 2016-08-24 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Verfahren und vorrichtung zur herstellung von quarzglas aus einer polymerisierbaren polyalkylsiloxanverbindung mit membranfilter als reinigungsvorrichtung
KR101689862B1 (ko) * 2015-12-08 2017-01-02 주식회사 에스티아이 액상 유리 원료 기화 장치

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0040540B1 (de) 1980-05-20 1987-01-21 J.C. Schumacher Company Chemisches Dampf-Liefersystem und Verfahren zum Steuern des Dampfflusses in einem chemischen Dampf-Liefersystem
JPS60251144A (ja) * 1984-05-25 1985-12-11 Furukawa Electric Co Ltd:The 光学系ガラス原料のバブリング装置
US4582480A (en) * 1984-08-02 1986-04-15 At&T Technologies, Inc. Methods of and apparatus for vapor delivery control in optical preform manufacture
JPS62207725A (ja) * 1986-03-07 1987-09-12 Furukawa Electric Co Ltd:The 液体ガラス原料の気化装置
JPS63218242A (ja) 1987-03-04 1988-09-12 Sumitomo Electric Ind Ltd 原料供給方法
JPS6483663A (en) * 1987-09-25 1989-03-29 Furukawa Electric Co Ltd Liquid raw material evaporating device
KR930004355B1 (ko) * 1990-10-30 1993-05-26 삼성전기 주식회사 표면탄성파 필터의 전극 형성방법
JPH04362034A (ja) * 1991-06-05 1992-12-15 Sumitomo Electric Ind Ltd ガラス微粒子堆積体の製造方法
JP3157693B2 (ja) * 1995-03-16 2001-04-16 信越化学工業株式会社 シリカガラス系堆積体の製造方法
JPH09110457A (ja) 1995-10-17 1997-04-28 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光ファイバ用ガラスの製造装置
US6161398A (en) * 1998-04-09 2000-12-19 Lucent Technologies, Inc. Methods of and systems for vapor delivery control in optical preform manufacture

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2150634A1 (de) * 2007-05-23 2010-02-10 Centrotherm Thermal Solutions GmbH + CO. KG Verfahren zur steuerung der prozessgaskonzentration

Also Published As

Publication number Publication date
DE60021955D1 (de) 2005-09-22
KR20010049475A (ko) 2001-06-15
TW584611B (en) 2004-04-21
EP1057792B1 (de) 2005-08-17
EP1057792A1 (de) 2000-12-06
US6698240B1 (en) 2004-03-02
KR100632879B1 (ko) 2006-10-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60019029D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum herstellen einer Vorform aus Glas für optische Fasern mittels des Aussenabscheidungsverfahrens
DE69739984D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen einer Glasvorform für optische Fasern durch Ziehen einer Vorform
DE69931825T8 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen einer Vorform und einer optischen Faser aus der Vorform
DE69319999D1 (de) Verfahren zur Herstellung eines grossen Quarzglasrohres, sowie einer Vorform und einer optischen Faser
DE60216674D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen einer Vorform aus Glas für optische Fasern
DE69520650D1 (de) Verfahren zur Herstellung optischer Qualitätsformen mit genauen Mikroeigenschaften
DE69420818D1 (de) Verfahren zum Herstellen von Vorformen für optische Fasern
DE69617021D1 (de) Optisches faserbändchenelement,verfahren zur dessen herstellung und verfahren zum zugang zu einerfaser mitten in einem solchen element
DE69312104D1 (de) Verfahren zum Herstellen einer Vorform für optische Fasern
DE69502689D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Polarisierendem Glas
DE69525193D1 (de) Verfahren zur Herstellung eines Quarzglastiegels und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens
DE69600774D1 (de) Verfahren zum Herstellen einer Vorform für eine Optische Faser aus Chalcogenidglas und Ziehverfahren der Vorform
DE69621140D1 (de) Kristallisiertes glas, kristallisierter glasgegenstand und verfahren zur herstellung eines kristallierten glasgegenstands
DE69701114D1 (de) Verfahren zum Herstellen einer Vorform für optische Fasern
DE69407864D1 (de) Verfahren zum Herstellen von porösen Vorformen für optische Fasern
DE60003558D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum herstellen einer vorform für optische fasern durch abscheidung mittels plasma
DE60220807D1 (de) Dehnbare multikomponentenfaser-spinnvliese und verfahren zu deren herstellung
DE60045819D1 (de) Verfahren zur herstellung von einem faserformteil und vorrichtung dafür
DE60020181D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Ziehen eines Glasstabes aus einer Vorform für optische Fasern
DE602004000130D1 (de) Verfahren zur Herstellung optischer Fasern und Vorformen ausgehend von einem Glasrohr
DE69601054D1 (de) Verfahren zum Sintern von Glasvorformen für die Herstellung von planären optischen Wellenleitern
DE60239504D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von einer Vorform für optische Fasern durch Abscheidung
DE69304217D1 (de) Verfahren zum Herstellen einer Vorform für optische Fasern
DE69525222D1 (de) Verfahren zum Einbringen eines Kernes, Vorrichtung zum Herstellen von optischen Faservorformen und die daraus hergestellten optischen Fasern
DE69207076D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von Vorformen für optische Faser

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition